JPH04206910A - Manufacture of laminated coil - Google Patents

Manufacture of laminated coil

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JPH04206910A
JPH04206910A JP33932390A JP33932390A JPH04206910A JP H04206910 A JPH04206910 A JP H04206910A JP 33932390 A JP33932390 A JP 33932390A JP 33932390 A JP33932390 A JP 33932390A JP H04206910 A JPH04206910 A JP H04206910A
Authority
JP
Japan
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hole
insulating
coil pattern
sheet
insulating sheet
Prior art date
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Pending
Application number
JP33932390A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaru Makino
槙野 勝
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH04206910A publication Critical patent/JPH04206910A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To prevent a conductive paste from coming off, sagging, etc., by printing a coil pattern on an insulating material sheet with a conducting hole formed therein and simultaneously by filling the through hole with the conductive paste. CONSTITUTION:A through hole 3a for connecting coil patterns 2 and 3 is filled with a conductive paste in a state where a second insulating sheet 1b is temporarily contact-bonded to a first insulating sheet 1a with the coil pattern 2 formed therein. Consequently, it is possible to fill the hole simply and surely by the use of a thick film printing method known heretofore irrespective of the diameter of the through hole 3a relative to the thickness of the second insulating sheet 1b. In the title manufacture, therefore, the connection of the coil patterns 2 and 3 becomes more certain than that of a lamination contact bonding method known heretofore and there occurs neither defective conduction in the through hole part nor separation between the insulating sheets. That is, the through hole is completely conducted by a thin insulating sheet irrespective of the diameter of the through hole.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は積層しfこ絶縁性シート間にコイルパターンを
有する積層コイルの製造方法に関するものである。 【従来の技術】 従来、チップ状の積層コイルの製造方法として次の2つ
がある。 絶縁性磁性体層」二にL字状の半ターン分のコイルパタ
ーンを厚膜印刷・乾燥し、該コイルパターンの一部を露
出するように磁性体14Ptペーストを印刷・乾燥して
磁性体層を形成し、これを交互に繰り返し、この印刷積
層体を焼成してコイル部品を製造する方法かあった(印
刷積層によるコイル形成方法)。 また、コイルパターン及び導電材料か充填されたスルー
ホールを形成した磁性体のグリーンシートを、複数枚積
層し、焼成してコイル部品を製造する方法(USP37
65082)かあった(スルーホールによるコイル形成
方法)。
The present invention relates to a method for manufacturing a laminated coil having a coil pattern between laminated insulating sheets. BACKGROUND ART Conventionally, there are the following two methods for manufacturing chip-shaped laminated coils. "Insulating magnetic layer" A half-turn L-shaped coil pattern is thickly printed and dried, and a magnetic 14Pt paste is printed and dried to expose a part of the coil pattern to form the magnetic layer. There was a method of manufacturing a coil component by forming a printed laminate, repeating this process alternately, and firing this printed laminate (coil forming method using printed laminate). In addition, a method of manufacturing coil parts by laminating and firing a plurality of magnetic green sheets each having a coil pattern and through-holes filled with conductive material (USP 37)
65082) (coil formation method using through holes).

【発明か解決しようとする課題】[Invention or problem to be solved]

しかしながら、上述の印刷積層によるコイル形成方法で
は、コイルパターン及び磁性体層の印刷した後は、乾燥
工程が必要となり、1タ一ン分のコイルパターンを形成
するに2〜4回の乾燥工程か必要となるなと、その作業
性、量産性が大きく低下してしまう。 また、コイルパターンの接続か、印刷のスクリーンのパ
ターンニンクによって行われるため、スクリーンのズレ
などを考慮して、その接続部分か相当大面積の領域で行
う必要かあり、小型化のインダクタを形成することか困
難であった。 また、上述のスルーホールによるコイル形成方法ては、
グリーンシートのスルーホール部分での接合に種々の欠
点かある。 近年、インダクタ部品か小型化されている。積層後のチ
ップ部品の厚みを1mmとし、その内部に20ターンの
コイルパターンを有する部品を想定した時、絶縁性グリ
ーンシートの1枚の厚みか50μm以下となる。スルー
ホールの加工技術、導通の信頼性、導通抵抗を考慮する
と、直径100〜200μm程度か必要となる。 絶縁性グリーンシー1への厚み例えば50μmに対して
、直径100〜200μmのスルーホールに導電性ペー
ストを充填すると、厚みに対して直径か過剰に大きくな
り、スルーホールに導電性ペーストて充填する時に、第
4図(a)に示すように絶縁性グリーンシート41のス
ルーポール43からペースト42か抜けてしまったり、
また第4図(1))に示すように絶縁性クリーンシート
41の裏面側にペースト42かたれてしまったりしまう
。このようなペース1〜抜けか発生してしまうと絶縁性
シートの積層後に導通不良か発生してしまい、また、ペ
ーストだれか発生すると、緻密な積層体か得られないな
どの問題点かある。 このペースト抜けやだれを防止するために、スルーホー
の直径を小さくすることか考えれるか、直径を小さくす
ることで、導通部分の電気抵抗か大きくなり、特性の劣
化を惹起してしまうことになる。 本発明は上述の問題点に鑑みて案出されたちのてあり、
その目的は、作業性を考慮して、スルーホ一部分の導通
信頼性の積層インダクタの製造方−3= 法を提供することにある。
However, in the above-described coil forming method using printed lamination, a drying process is required after printing the coil pattern and magnetic layer, and it takes 2 to 4 drying processes to form a coil pattern for one coil. If it becomes necessary, its workability and mass productivity will be greatly reduced. In addition, since the connection is made by coil pattern connection or by pattern printing on a printing screen, it is necessary to take into account misalignment of the screen and perform the connection in a fairly large area, making it possible to form a smaller inductor. It was quite difficult. In addition, the above-mentioned method of forming a coil using through holes,
There are various drawbacks to joining the green sheets at the through-hole portions. In recent years, inductor parts have become smaller. Assuming that the thickness of the chip component after lamination is 1 mm and the component has a 20-turn coil pattern inside, the thickness of one insulating green sheet is 50 μm or less. Considering the processing technology of the through hole, the reliability of conduction, and the conduction resistance, the diameter of the through hole is approximately 100 to 200 μm. For example, if the thickness of the insulating green sea 1 is 50 μm, if you fill a through hole with a diameter of 100 to 200 μm with conductive paste, the diameter will be excessively large compared to the thickness, so when filling the through hole with conductive paste, , as shown in FIG. 4(a), the paste 42 may come off from the through poles 43 of the insulating green sheet 41, or
Moreover, as shown in FIG. 4(1)), the paste 42 ends up dripping onto the back side of the insulating clean sheet 41. If this kind of paste failure occurs, poor conductivity will occur after the insulating sheets are laminated, and if any paste occurs, there will be problems such as a dense laminate cannot be obtained. Is it possible to reduce the diameter of the through-hole in order to prevent this paste from falling out or dripping? If the diameter is made smaller, the electrical resistance of the conductive part will increase, causing deterioration of the characteristics. . The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems.
The purpose is to provide a method for manufacturing a laminated inductor with continuity reliability in a portion of the through-hole, taking workability into consideration.

【課題を解決するための手段】[Means to solve the problem]

本発明の積層インダクタの製造方法は、以下の工程を含
んでいる。 第1の絶縁性磁性体シート又は絶縁材料シーl司二に第
1のコイルパターンを印刷、乾燥する]1程。 前記第1のコイルパターンと接続する位置に第1のスル
ーホールか形成された第2の絶縁性磁性体シート又は絶
縁材料シートを、前記第1の絶縁性磁性体シート又は絶
縁材料シート上に積層する工程。 前記第2の絶縁性磁性体シート又は絶縁材料シー1i二
に、第1のスルーホールを含んで導電性ペース1〜で第
2のコイルパターンを印刷し、同時に第1のスルーホー
ルに導電性ペーストを充填、乾燥する工程。 前記第2のコイルパターンが印刷された第2の絶縁性磁
性体シート又は絶縁材料シー1i二に第3の絶縁性磁性
体シート又は絶縁材料シートを積層する工程。 前記第1乃至第3の絶縁性磁性体シート又は絶縁材料シ
ートから成る積層体を焼成する工程。
The method for manufacturing a laminated inductor of the present invention includes the following steps. Step 1: Printing the first coil pattern on the first insulating magnetic sheet or insulating material sheet and drying. A second insulating magnetic sheet or insulating material sheet having a first through hole formed at a position connected to the first coil pattern is laminated on the first insulating magnetic sheet or insulating material sheet. The process of doing. A second coil pattern is printed on the second insulating magnetic sheet or the insulating material sheet 1i2, including the first through holes, with conductive paste 1, and at the same time, conductive paste is printed on the first through holes. The process of filling and drying. A step of laminating a third insulating magnetic sheet or insulating material sheet on the second insulating magnetic sheet or insulating material sheet 1i on which the second coil pattern is printed. A step of firing the laminate made of the first to third insulating magnetic sheets or insulating material sheets.

【作用】[Effect]

上述の本発明の製造方法によれば、導通穴が形成された
絶縁性磁性体シート又は絶縁材料シート上にコイルパタ
ーンを印刷し、同時にスルーホールに導電性ペーストを
充填する時には、その絶縁性磁性体シート又は絶縁材料
シートの下部には、既にコイルパターンか印刷された絶
縁性磁性体又は絶縁材料層か存在されているため、スル
ーホールによるコイル形成方法のように導電性ペース1
への抜けや導電性ペーストのたれなどが一切発生しない
。 また、絶縁性磁性体シート又は絶縁材料シート層かグリ
ーンシートて形成されているため、積層工程中における
乾燥工程がコイルパターンの印刷の後たけとなり、作業
性を大きく低下させない製造方法となる。 また、絶縁性磁性体シート又は絶縁材料シート層上の1
タ一ン分のコイルパターンか一回の印刷工程で形成でき
、さらにスルーホールの穴直径か導通抵抗を考慮した最
小直径でパンチング加]二できる。
According to the manufacturing method of the present invention described above, when a coil pattern is printed on an insulating magnetic sheet or an insulating material sheet in which conductive holes are formed, and at the same time the through holes are filled with conductive paste, the insulating magnetic Since a coil pattern or a printed insulating magnetic material or an insulating material layer is already present at the bottom of the body sheet or insulating material sheet, the conductive paste 1 is used as in the coil forming method using through holes.
No leakage or dripping of conductive paste occurs. Furthermore, since the insulating magnetic sheet or the insulating material sheet layer is formed of a green sheet, the drying step during the lamination step is carried out after printing the coil pattern, resulting in a manufacturing method that does not significantly reduce workability. In addition, 1 on an insulating magnetic sheet or an insulating material sheet layer
A coil pattern for one tan can be formed in one printing process, and punching can be performed with the minimum diameter considering the through-hole diameter or conduction resistance.

【実施例】【Example】

以下、本発明を図面にもとついて説明する。尚、説明上
、内部に2.5ターンのコイルパターンを有するチップ
インダクタ部品を用いて説明する。 第1図(a)は本発明にかかるチップインダクタ部品の
外観図であり、第1図(b)は本発明にかかるチップイ
ンダクタ部品の断面図である。 チップインダクタ部品は、コイルパターン2〜4か形成
された積層本体lと、前記コイルパターン2.4と接続
された端子電極5.6とから構成されている。 積層本体lは、フェライトなとの絶縁性磁性体シートや
アルミナからなる絶縁材料シートてあり、絶縁性シート
1a〜1dを積層・焼成して形成されている。 各絶縁性シー)1a−1dの層間には、略1ターン分の
コイルパターン2.3又は略半ターン分のコイルパター
ン4か形成されている。このコイルパターン2〜4はA
g、Ag合金などを主体として導電材料と、ガラス成分
、有機ビヒクルなとからなる導電性ペーストを厚膜印刷
方法でもって形成されている。 また、各コイルパターン2〜4は絶縁性シートlb、、
lcを貫通し、導電性材料か充填されたスルーホール3
a、4aて互いに導通している。 また、コイルパターン2.4は積層本体1の端部に、幅
方向に拡かった端子接続部2b、/Ibを有し、積層本
体1の長手方向の両端部に形成した端子電極5.6と接
続している。 端子電極5.6は、Ag、Ag合金を主体として塗料を
塗布、又はデツプによって形成される。 このような構造のチップインダクタ部品は、端子電極5
から端子電極6の間に、コイルパターン2〜4か形成さ
れていることになり、2.5ターンのコイルか達成され
ることになる。 次に、本発明の製造方法を第2図の工程図、及る。 先ず、所定磁性体材料、例えばフェライ1〜粉末、有機
バインダーなどを混練し、引上げ法又はドクターブレー
ド法で絶縁性磁性体グリーンテープを作成し、さらに適
当な大きさに裁断して、複数枚のグリーンシートを作成
する。 工程21は、第3図(a)に示すように、最下層となる
第1の絶縁性シー1−1 aをベース基体(図示せず)
に固定する。 このベース基体は、後の仮圧着による積層工程や、コイ
ルパターンの形成工程で、基準となる基体であり、例え
ば平板状の金属などから構成される。固定方法は、第1
の絶縁性シー1−1aをベース表面にバインターなとを
介して接着される。 次の工程22は、第3図(b)に示すように、第1の絶
縁性シート1a上に略1ターン分の第1のコイルパター
ン2を形成する工程である。 具体的には、Ag又はAg−Pdの導電材料を主体とし
、ガラス成分、有機バインダーなどを混−〇 − 練した導電性ペーストを、スクリーン印刷法でもって印
刷形成し、その後、所定時間乾燥する。 この第1のコイルパターン2の一端には、絶縁性シー1
□ ] aの一端部側に延出し、端子電極5と接続する
端子接続部2 bか形成される。端子接続部2bは端子
電極5との導通信頼性を高めるため絶縁性シー1− ]
、 aの幅方向に広く形成されている。 また、第1のコイルパターン2の他端には、後述の第2
のコイルパターン3との導通を確実にするためのスルー
ホールラント2cか形成されている。 このコイルパターン2の線幅は例えば80〜200μm
であり、スルーホールランド2cは、スルーホール2b
の位置ずれなどを考慮して少なくとも100〜300角
の矩形状、又は直径100〜300μm以上の円形を成
している。 次の工程23は、第3図(c)に示すように、第2の絶
縁性シー1− ] bを、第1の絶縁性シートIaJ:
に仮圧着によって積層する工程である。 この第2の絶縁性シート11〕には、前記スルー−I 
O= ホールランド2cに対応する位置に予めパンチング加工
によりスルーホール3aが形成されている。 このスルーホール3aの直径は少な(とも]、 00μ
mを有し、スルーホール3a部分での導通抵抗を低下さ
せている。 具体的な仮圧着条件は、絶縁性磁性体シートの厚み又は
コイルパターンの大きさにより適正な圧力は異なるか、
常温で5〜501<g/cm2程度である。5 K g
 / c m 2未満ではこの後積層工程で、仮圧着部
分で剥離が生じる可能性か高く、また、50Kg/cm
2を越えると、スルーホール3aが変形したり、積層し
たシートに凹凸かできてしまい、次のスルーホール3a
への導電性ペーストの充填及び印刷か精度よく行うこと
か困難となる。 次の工程24は、第3図(d)に示すように、第2の絶
縁性シー1−1 b−J二に略1ターン分の第2のコイ
ルパターン3を形成する工程である。 具体的には、上述の導電性ペーストを、スクリーン印刷
法でもって印刷形成し、その後、所定時間乾燥する。 この第2のコイルパターン3の一端は、第2の絶縁性シ
ー1−1 bのスルーホール3aを覆う形状となってい
る。これにより、スルーホール3a内に導電性ペースト
か確実に充填され、第1のコイルパターン2の他端と接
続されている。また、第2のコイルパターン3の他端は
、第1のコイルパターン2の他端と同様に、後述の第3
のコイルパターン4との導通を確実にするためのスルー
ホールランド3cか形成されている。 次の工程25は、第3図(e)に示すように、第3の絶
縁性シートICを、第2の絶縁性ノートlb上に仮圧着
により積層する工程である。 この第3の絶縁性シー1□ l cには、前記スルーポ
ールランド3cに対応する位置に予めパンチング加工に
よりスルーホール4aか形成されている。 このスルーホール4aの直径は」二連のスルーホール3
aの直径と同様な径を有している。 具体的な仮圧着条件は、第2の絶縁性シート1)〕と同
様に、常温で5〜50Kg/cm2程度の= 11− 圧着て仮圧着される。 次の工程26は、第3図(f)に示すように、第3の絶
縁性シーt−1cl−に略半ターン分の第3のコイルパ
ターン4を形成する工程である。 具体的には、上述の導電性ペーストを、スクリーン印刷
法でもって印刷形成し、その後、所定時間乾燥する。 この第3のコイルパターン4の一端は、第3の絶縁性シ
ート1bのスルーホール4aを覆う形状となっている。 これにより、スルーホール4a内に導電性ベース1〜か
確実に充填され、第2のコイルパターン3の他端と接続
されることになる。また、第3のコイルパターン4の他
端は、絶縁性シー1−1 cの他端側に延出し、端子電
極6と接続する端子接続部4bか形成されている。端子
接続部/Ibは端子接続部2bと同様に、端子電極6ど
の導通信頼性を高めるため絶縁性シート1cの幅方向に
広く形成されている。 次の工程27は、第3図(g)に示すように、第4の絶
縁性シー1−1 dを、第3の絶縁性シート1c上に仮
圧着により積層する工程である。 この第4の絶縁性シー1−1 dの仮圧着条件は、第2
、第3の絶縁性シート11〕と同様に、常温て5〜50
T<g/cm2程度の圧着て、仮圧着される。 これにより、第1〜第4の絶縁性シー1−1 dかベー
ス基体上に仮圧着され、内部にコイルパターン2〜4か
形成された積層体が達成されることになる。 次の工程28は、」二連の工程で達成された積層体から
ベース基体を外す工程である。 具体的には、機械的に外したり、また、工程21て第1
の絶縁性シー1□ 1 aを固定したバインダーとして
熱の印加で接着力が低下するバインダーを使用すれば、
熱印加で簡単にベース基体から前記積層体を外すことか
できる。 これにより、第1〜第4の絶縁性シー1□ l a〜I
dか仮圧着され、積層された磁性体か完成する。 次の工程29は、仮圧着状態の磁性体1を、完全に圧着
する工程である。 具体的には、50〜130℃で、200〜300 K 
g / c m 2程度を印加する熱圧着て行われる。 これにより、第1〜第4の絶縁性シーl−1a〜ldか
完全に圧着した積層体か完成する。 次の工程30は、第1乃至第4の絶縁性シート1a〜1
dの圧着積層体を所定外観寸法で裁断し、焼結する工程
である。 」二連の第3図(a)〜(g)は、単体のインダクタ部
品の製造について示したが、夫々の絶縁性シー) 1 
a〜1dを、複数個のインダクタ部品か抽出てきる大き
さに設定し、コイルパターン2〜4、スルーホール3a
、4aを複数個分形成しておき、この工程でインダクタ
部品単体に裁断してもよい。 この外観寸法の裁断により、圧着積層体の端部から端子
接続部2b、4bか完全に露出する。 また、焼結工程は、絶縁性シー11a−Idや導電性ペ
ーストに含有している有機ヒヒクルなどを消失させる脱
バインダー工程と、絶縁性シート1a−1dや導電性ペ
ース1〜の導電材料を焼結反応させる本焼結工程とを含
んでいる。本焼結の焼結温度はピーク温度850−11
00°C,1〜数時間を要するか、磁性体材料の粒径の
微小化などにより、低温(850°C以下)で焼結か可
能である。このときには、その焼結温度に合わせて、内
部のコイルパターン2〜4の導電材料、例えばAg単体
やその他の金属なと所定材料を選択することか可能であ
る。 この工程により、完全に焼結した積層本体1か完成する
。 次の工程31は、第1図(a)、(b)に示すように、
内部にコイルパターン2〜4を存する積層本体1の端部
に夫々端子電極5.6を形成する工程である。 端子電極5.6は、Agを主体とした導電性ペースに、
積層本体lの一方端部を浸漬し、乾燥後、対向するもう
一方の端部を浸漬し、乾燥後、焼成することにより形成
される。 このとき、焼成温度は磁性体lの焼結温度に比較して低
く設定されるよに、導電性材料か適宜法定される。 この工程により、端子電極5か内部のコイルパターン2
の端子接続部2 bと接続し、また端子電極6か内部の
コイルパターン4の端子接続部41)と接続することに
なる。 以」二のような製造方法では、コイルパターン2とコイ
ルパターン3との接続を施すスルーポール3aに導電性
ペーストか、コイルパターン2か形成された第1の絶縁
性シート1aに第2の絶縁性シートI I)を仮圧着し
た状態で、充填される。このため、第2の絶縁性シー1
− ] bの厚みに刻するスルーホール3aの直径の大
きさに関係なく、従来の厚膜印刷方法を利用して、簡単
、且つ確実に充填できることになる。従って、従来の積
層圧着方法に比較して、コイルパターン2とコイルパタ
ーン3との接続か確実となり、スルーホール部分での導
通不良、絶縁性シート間での剥離か一切起こらない製造
方法となる。 即ち、スルーポール径に関係なく、薄い絶縁性シートて
、スルーホールの導通を完全に行うことがてき、小型な
チップインダクタを達成することかできる。 尚、上述の点については、第2の絶縁性シート1)〕と
第3の絶縁性シート1c及びスルーホール4aについて
も同様である。 また、1タ一ン分のコイルパターン2.3か一回の厚膜
印刷工程で形成できること、また積層本体1をグリーン
シートでもって製造し、乾燥工程が省略できることより
、従来の印刷積層方法に比較して、作業性か向」ニし、
量産性か飛躍的に向上する。 上述の製造方法では、ベース基体を金属から厚みか充分
な絶縁性シー1−1 aに代えることかできる。このと
きには、工程28のベース基体を外す工程か省略できる
。また、ベース基体を外す工程28前に熱圧着工程を行
って、その後、ベース基体を外す工程を行ってもよい。 さらに、第4の絶縁性シートの仮圧着せず、第4の絶縁
性シートを単に載置した後、直に工程29のように、熱
圧着工程を行ってもよい。 」:、述の製造方法は、2.5ターンのコイルパタンを
有するインダクタ部品で説明したか、2.5ターン数は
」1記のターン数に限定されることはない。また、1つ
のチップインダクタに同相、又は逆相のコイルパターン
を形成した複合インダクタ部品であっても構わない。 さらに、絶縁性シート間に、コイルパターンの導通か可
能なスルーホールを形成した誘電体シートを介在させ、
その誘電体シートを挟むように厚膜印刷方法でコンデン
ザ内部電極を形成した、C−り複合部品などであっても
構わない。
Hereinafter, the present invention will be explained based on the drawings. For the sake of explanation, a chip inductor component having a 2.5-turn coil pattern inside will be used. FIG. 1(a) is an external view of a chip inductor component according to the present invention, and FIG. 1(b) is a sectional view of the chip inductor component according to the present invention. The chip inductor component is composed of a laminated body l on which coil patterns 2 to 4 are formed, and terminal electrodes 5.6 connected to the coil patterns 2.4. The laminated body 1 is an insulating material sheet made of an insulating magnetic material sheet such as ferrite or alumina, and is formed by laminating and firing insulating sheets 1a to 1d. A coil pattern 2.3 for approximately one turn or a coil pattern 4 for approximately half a turn is formed between the layers of each insulating sheet 1a-1d. These coil patterns 2 to 4 are A
The conductive paste is formed by a thick film printing method using a conductive paste consisting of a conductive material mainly composed of G, Ag alloy, etc., a glass component, and an organic vehicle. In addition, each coil pattern 2 to 4 is an insulating sheet lb,
Through hole 3 that penetrates lc and is filled with conductive material
a and 4a are electrically connected to each other. Further, the coil pattern 2.4 has terminal connecting portions 2b, /Ib which are widened in the width direction at the ends of the laminated body 1, and terminal electrodes 5.6 formed at both longitudinal ends of the laminated body 1. is connected to. The terminal electrodes 5.6 are formed by applying paint or using a dip mainly made of Ag or Ag alloy. A chip inductor component with such a structure has a terminal electrode 5
This means that coil patterns 2 to 4 are formed between the terminal electrodes 6, and a coil of 2.5 turns is achieved. Next, the manufacturing method of the present invention is illustrated in the process diagram of FIG. First, a predetermined magnetic material, such as Ferrai 1 powder, an organic binder, etc., is kneaded, an insulating magnetic green tape is created using a pulling method or a doctor blade method, and then it is cut into an appropriate size and made into multiple sheets. Create a green sheet. In step 21, as shown in FIG. 3(a), the first insulating sheet 1-1a serving as the bottom layer is coated with a base substrate (not shown).
Fixed to. This base substrate serves as a reference in the subsequent lamination process using temporary pressure bonding and the coil pattern formation process, and is made of, for example, a flat metal plate. The fixing method is the first
The insulating sheet 1-1a is adhered to the base surface using a binder or the like. The next step 22 is a step of forming approximately one turn of the first coil pattern 2 on the first insulating sheet 1a, as shown in FIG. 3(b). Specifically, a conductive paste made mainly of Ag or Ag-Pd conductive material, mixed with a glass component, an organic binder, etc. is printed and formed using a screen printing method, and then dried for a predetermined period of time. . An insulating sheet 1 is provided at one end of this first coil pattern 2.
□] A terminal connecting portion 2b extending to one end side of a and connecting to the terminal electrode 5 is formed. The terminal connection portion 2b is provided with an insulating sheet 1- to improve the reliability of conduction with the terminal electrode 5.
, is formed wide in the width direction of a. Further, at the other end of the first coil pattern 2, a second
A through-hole runt 2c is formed to ensure conduction with the coil pattern 3. The line width of this coil pattern 2 is, for example, 80 to 200 μm.
The through hole land 2c is the through hole land 2b.
Taking into account misalignment, etc., it has a rectangular shape with at least 100 to 300 squares, or a circle with a diameter of 100 to 300 μm or more. In the next step 23, as shown in FIG. 3(c), the second insulating sheet IaJ:
This is a process of laminating layers by temporary pressure bonding. This second insulating sheet 11] has the through-I
O= A through hole 3a is formed in advance by punching at a position corresponding to the hole land 2c. The diameter of this through hole 3a is small (also), 00μ
m, reducing the conduction resistance at the through hole 3a portion. Regarding the specific temporary crimping conditions, do the appropriate pressures differ depending on the thickness of the insulating magnetic sheet or the size of the coil pattern?
It is about 5 to 501<g/cm2 at room temperature. 5 kg
/ cm 2, there is a high possibility that peeling will occur at the temporary pressure bonding part in the subsequent lamination process, and if it is less than 50 kg/cm
If it exceeds 2, the through hole 3a may be deformed or the laminated sheet may become uneven, and the next through hole 3a may be
It is difficult to fill and print with conductive paste accurately. The next step 24 is a step of forming approximately one turn of the second coil pattern 3 on the second insulating sheet 1-1b-J2, as shown in FIG. 3(d). Specifically, the above-described conductive paste is printed and formed using a screen printing method, and then dried for a predetermined period of time. One end of this second coil pattern 3 is shaped to cover a through hole 3a of the second insulating sheet 1-1b. This ensures that the conductive paste is filled in the through hole 3a and connected to the other end of the first coil pattern 2. Further, the other end of the second coil pattern 3 is similar to the other end of the first coil pattern 2.
A through-hole land 3c is formed to ensure conduction with the coil pattern 4. The next step 25 is a step of laminating the third insulating sheet IC on the second insulating notebook lb by temporary pressure bonding, as shown in FIG. 3(e). In this third insulating sheet 1□lc, a through hole 4a is formed in advance by punching at a position corresponding to the through pole land 3c. The diameter of this through hole 4a is "double through hole 3"
It has a diameter similar to that of a. The specific pre-compression bonding conditions are similar to the second insulating sheet 1)], and the pre-compression bonding is carried out by applying pressure of about 5 to 50 kg/cm2 at room temperature. The next step 26, as shown in FIG. 3(f), is a step of forming approximately half a turn of the third coil pattern 4 on the third insulating sheet t-1cl-. Specifically, the above-described conductive paste is printed and formed using a screen printing method, and then dried for a predetermined period of time. One end of this third coil pattern 4 is shaped to cover the through hole 4a of the third insulating sheet 1b. This ensures that the conductive bases 1 to 1 are filled in the through holes 4a and connected to the other end of the second coil pattern 3. Further, the other end of the third coil pattern 4 extends to the other end side of the insulating sheet 1-1c, and a terminal connection portion 4b is formed to connect to the terminal electrode 6. Similarly to the terminal connection part 2b, the terminal connection part /Ib is formed wide in the width direction of the insulating sheet 1c in order to improve the reliability of conduction between the terminal electrodes 6 and the like. The next step 27 is a step of laminating the fourth insulating sheet 1-1d on the third insulating sheet 1c by temporary pressure bonding, as shown in FIG. 3(g). The temporary crimping conditions for this fourth insulating sheet 1-1d are as follows:
, third insulating sheet 11], the temperature was 5 to 50 at room temperature.
Temporary pressure bonding is performed with a pressure of about T<g/cm2. As a result, the first to fourth insulating sheets 1-1d are temporarily pressed onto the base substrate, and a laminate in which the coil patterns 2 to 4 are formed is achieved. The next step 28 is to remove the base substrate from the laminate achieved in the two steps. Specifically, it can be removed mechanically, or the first
If you use a binder whose adhesive strength decreases when heat is applied as the binder that fixed the insulating sheet 1□ 1 a,
The laminate can be easily removed from the base substrate by applying heat. As a result, the first to fourth insulating sheets 1□ l a to I
d is temporarily pressed and the laminated magnetic material is completed. The next step 29 is a step of completely crimping the temporarily crimped magnetic body 1. Specifically, at 50-130°C and 200-300K
Thermocompression bonding is performed by applying approximately g/cm2. As a result, the first to fourth insulating seals 1-1a to 1-1 and the completely crimped laminate are completed. The next step 30 is to prepare the first to fourth insulating sheets 1a to 1.
This is a step of cutting the crimped laminate of step d into predetermined external dimensions and sintering it. Although the two series of Figures 3(a) to (g) show the manufacture of a single inductor component, each insulating sheet) 1
Set a to 1d to a size that allows extraction of multiple inductor parts, coil patterns 2 to 4, and through hole 3a.
, 4a may be formed in advance and cut into individual inductor parts in this step. By cutting to this external size, the terminal connecting portions 2b, 4b are completely exposed from the ends of the crimp laminate. In addition, the sintering process includes a binder removal process in which the organic vehicle contained in the insulating sheets 11a-Id and the conductive paste is eliminated, and a sintering process in which the conductive materials of the insulating sheets 1a-1d and the conductive pastes 1 to 1 are sintered. This includes a main sintering step of causing a sintering reaction. The sintering temperature of main sintering is the peak temperature 850-11
It can be sintered at 00°C for 1 to several hours, or it can be sintered at a low temperature (850°C or less) by reducing the particle size of the magnetic material. At this time, it is possible to select a conductive material for the internal coil patterns 2 to 4, such as a predetermined material such as pure Ag or other metals, in accordance with the sintering temperature. Through this step, a completely sintered laminate body 1 is completed. The next step 31 is as shown in FIGS. 1(a) and (b).
This is a step of forming terminal electrodes 5 and 6 at the ends of the laminated body 1 in which the coil patterns 2 to 4 exist, respectively. The terminal electrode 5.6 is made of a conductive paste mainly made of Ag.
It is formed by dipping one end of the laminated body l, drying, dipping the opposite end, drying, and then firing. At this time, the conductive material is appropriately determined by law so that the sintering temperature is set lower than the sintering temperature of the magnetic body 1. Through this process, the terminal electrode 5 or the internal coil pattern 2
It is connected to the terminal connection part 2b of the terminal electrode 6 or to the terminal connection part 41) of the internal coil pattern 4. In the manufacturing method described below, a conductive paste is applied to the through pole 3a that connects the coil pattern 2 and the coil pattern 3, or a second insulating paste is applied to the first insulating sheet 1a on which the coil pattern 2 is formed. The adhesive sheet II) is temporarily pressed and then filled. Therefore, the second insulating sheet 1
-] Regardless of the size of the diameter of the through hole 3a cut into the thickness b, it can be easily and reliably filled using the conventional thick film printing method. Therefore, compared to the conventional lamination pressure bonding method, the connection between the coil pattern 2 and the coil pattern 3 is more reliable, and the manufacturing method does not cause conduction failure at the through-hole portion or peeling between the insulating sheets. That is, regardless of the diameter of the through-hole, the thin insulating sheet can provide complete conduction through the through-hole, making it possible to achieve a small chip inductor. Note that the above-mentioned points also apply to the second insulating sheet 1), the third insulating sheet 1c, and the through holes 4a. In addition, the coil pattern 2.3 for one tank can be formed in a single thick film printing process, and the laminated body 1 is manufactured from a green sheet, so the drying process can be omitted, making it easy to use with conventional printing lamination methods. Compare the workability and
Mass productivity will be dramatically improved. In the above manufacturing method, the base substrate can be replaced from metal by a thick or sufficiently insulating sheet 1-1a. In this case, the step of removing the base body in step 28 can be omitted. Alternatively, a thermocompression bonding step may be performed before the step 28 of removing the base substrate, and then a step of removing the base substrate may be performed. Further, the thermocompression bonding process may be performed as in step 29 immediately after simply placing the fourth insulating sheet without temporarily press-bonding the fourth insulating sheet. Although the manufacturing method described above has been explained using an inductor component having a coil pattern of 2.5 turns, the number of turns of 2.5 turns is not limited to the number of turns of 1. Alternatively, a composite inductor component may be used in which a single chip inductor is formed with coil patterns of the same phase or opposite phase. Furthermore, a dielectric sheet with through holes formed to allow conduction of the coil pattern is interposed between the insulating sheets.
It is also possible to use a C-reel composite component in which capacitor internal electrodes are formed using a thick film printing method so as to sandwich the dielectric sheet.

【効果】【effect】

以」二のように、本発明によれば、第1のコイルパター
ンと第2のコイルパターンと接続する導通穴が、第1の
絶縁性シート」二に圧着した第2の絶縁性シートに予め
形成されており、第2の絶縁性シート上に第2のコイル
パターンの形成と同時に導電性ペーストでもって充填さ
れるため、第1の絶縁性シートに形成した第1のコイル
パターンと第2のコイルパターンとの接続が確実且つ容
易に行える。 また、磁性体がグリーンシー)・て形成されているため
、磁性体の積層にあたり乾燥工程か不要となり、作業性
を大きく低下させない製造方法となる。 また、磁性体層」二のコイルパターンに1タ一ン分か一
回の工程で形成でき、スルーホールの穴直径を、絶縁性
シートの厚みを考慮する必要がなく、最小直径て加工て
きるのて、小型、多層のインダクタか簡単に製造できる
As described above, according to the present invention, the conductive holes connecting the first coil pattern and the second coil pattern are formed in advance in the second insulating sheet crimped onto the first insulating sheet. The conductive paste is filled with the conductive paste at the same time as the formation of the second coil pattern on the second insulating sheet. Connection with the coil pattern can be made reliably and easily. In addition, since the magnetic material is formed using Green Sea, there is no need for a drying step when laminating the magnetic material, resulting in a manufacturing method that does not significantly reduce workability. In addition, the coil pattern of the second magnetic layer can be formed in one process per minute, and the diameter of the through hole can be processed to the minimum diameter without having to consider the thickness of the insulating sheet. Therefore, small, multilayer inductors can be easily manufactured.

【図面の簡単な説明】 第1図(a)は本発明にかかるインダクタ部品の外観図
であり、第1図(b)は本発明にかかるインダクタ部品
の断面図である。 第2図は、本発明の製造方法を説明する工程図であり、
第3図(a)〜第3図(g)は、主要工程における平面
図である。 第4図(a)、(1))は、従来の圧着積層の製造方法
におけるスルーポール部分の充填状況を説明する断面図
である。 = 19− 1    ・・・・・積層本体 1a〜1d・・・・・絶縁性シート 2.3.4・・・・・コイルパターン 3a、4a・・・・・スルーホール
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1(a) is an external view of an inductor component according to the present invention, and FIG. 1(b) is a sectional view of the inductor component according to the present invention. FIG. 2 is a process diagram illustrating the manufacturing method of the present invention,
FIGS. 3(a) to 3(g) are plan views of main steps. FIGS. 4(a) and 4(1)) are cross-sectional views illustrating the filling state of the through-pole portion in the conventional pressure-bonded lamination manufacturing method. = 19-1...Laminated body 1a to 1d...Insulating sheet 2.3.4...Coil pattern 3a, 4a...Through hole

Claims (1)

【特許請求の範囲】  第1の絶縁性シート上に第1のコイルパターンを印刷
する工程と、 前記第1のコイルパターンと接続する位置に第1の導通
穴が形成された第2の絶縁性シートを前記第1の絶縁性
シート上に積層する工程と、前記第2の絶縁性シート上
に、前記第1の導通穴を含んで導電性ペーストで第2の
コイルパターンを印刷する工程と、 前記第2のコイルパターンが形成された第2の絶縁性シ
ート上に第3の絶縁性シートを積層し、前記第1乃至第
3の絶縁性シートから成る積層体を焼成する工程と、 を含む積層コイルの製造方法。
[Claims] A step of printing a first coil pattern on a first insulating sheet, and a second insulating sheet in which a first conductive hole is formed at a position connected to the first coil pattern. a step of laminating a sheet on the first insulating sheet; a step of printing a second coil pattern with a conductive paste on the second insulating sheet, including the first conductive hole; Laminating a third insulating sheet on the second insulating sheet on which the second coil pattern is formed, and firing a laminate consisting of the first to third insulating sheets. Method for manufacturing laminated coils.
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