JPH0676949A - High intensity color el panel - Google Patents

High intensity color el panel

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JPH0676949A
JPH0676949A JP4248772A JP24877292A JPH0676949A JP H0676949 A JPH0676949 A JP H0676949A JP 4248772 A JP4248772 A JP 4248772A JP 24877292 A JP24877292 A JP 24877292A JP H0676949 A JPH0676949 A JP H0676949A
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JP
Japan
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panel
substrate
color
transparent electrode
insulating film
Prior art date
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Pending
Application number
JP4248772A
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Japanese (ja)
Inventor
Tokuji Miyakoshi
篤司 宮越
Akira Matsuno
明 松野
Takashi Nire
孝 楡
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Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide a high intensity color EL panel by using surface-polished highly heat resistant ceramic as a substrate, and sticking a light emitting layer of three-layer structure of a transparent electrode, an insulating film and so on, an EL panel formed by laminating an insulating film and a transparent electrode upon each other and color filter-patterned glass together on the substrate. CONSTITUTION:In a color El panel 1, a light emitting layer 14 composed of a three-layer structure of an ITO transparent electrode 12, an SiON insulating film 13 and ZnS:Mn, SrS:Ce, ZnS:Mn, is arranged on a surface polished ceramic (aluminum oxide) substrate 11. An EL panel 10 formed by laminating an SiON insulating film 15 and an ITO transparent electrode 16 in order upon each other is arranged in the light emitting layer 14. This El panel 10 and color filter 21-patterned sealing glass 22 are stuck together by using adhesive 23, and an insulating fluid body 24 is sealed up in the clearance. Thereby, since reflected light from the ceramic substrate surface is contained in light taken out from the panel, high intensity can be exhibited.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フルカラーまたはマル
チカラー表示フラットディスプレイに用いられる高輝度
ELディスプレイに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high brightness EL display used for a full color or multi-color display flat display.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、カラーELパネルの制作方法に
は、RGB(赤、緑、青)の各発光色が得られる材料を
平面上にパターニングスル方法と、幅広い発光スペクト
ルをもつ発光層からの光をカラーフィルタでRGBに分
解する方法に大別できる。発光層をパターニングする方
法はパターニング自体が困難であり、プロセスも複雑と
なることから、現在ではカラーフィルター方式が主流に
なってきている。カラーフィルター方式のELパネルで
も、ガラス基板上にカラーフィルターを形成し、その上
にELデバイスを構成する各層を成膜していくタイプ
と、背面電極に透明電極を用いたELパネルに、カラー
フィルターがパターニングされたガラスを貼り合わせる
タイプがある。しかし、前者ではカラーフィルターの耐
熱性が低く、ELの製作工程に耐えられない。また、耐
熱性の高い干渉フィルターを使用してもパターニングや
視野角が問題となるため後者のタイプが有望である。前
述したように、カラーフィルター方式のELパネルでは
幅広い発光スペクトルを持って発光層が必要であり、そ
の発光はフィルターを通して取り出されるため、かなり
の高輝度が必要である。この2つの要求に対し、我々は
ZnS:Mn/SrS:Ce/ZnS:Mnからなる3
層構造の発光層を持つELデバイス(特願平4−121
137)により、大きな成果をあげた。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for producing a color EL panel, a method of patterning a material capable of obtaining each of RGB (red, green, blue) emission colors on a plane and a method of emitting a light emission layer having a wide emission spectrum are used. It can be roughly classified into a method of separating light into RGB by a color filter. In the method of patterning the light emitting layer, the patterning itself is difficult and the process is complicated, so that the color filter method is now predominant. Even in the color filter type EL panel, a type in which a color filter is formed on a glass substrate and each layer constituting an EL device is formed thereon, and an EL panel using a transparent electrode as a back electrode is used as a color filter. There is a type of laminating patterned glass. However, in the former case, the heat resistance of the color filter is low and the EL manufacturing process cannot be endured. In addition, the latter type is promising because patterning and viewing angle become problems even if an interference filter having high heat resistance is used. As described above, a color filter type EL panel requires a light emitting layer having a wide emission spectrum, and the emitted light is taken out through a filter, so that a considerably high brightness is required. For these two requirements, we consist of ZnS: Mn / SrS: Ce / ZnS: Mn 3
EL device having a layered light emitting layer (Japanese Patent Application No. 4-121
137) has produced great results.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実用化
のためには、SrS:Ceにより得られている青色の発
光に対して、更なる高輝度化が必要とされている。Sr
S:Ceの高輝度化には、成膜時の基板温度を高くする
ことが非常に有効であるが、ガラス基板の熱的限界のた
め最適な基板温度で成膜することができないという問題
がある。本発明は上記従来の問題点に着目し、フルカラ
ー、マルチカラー、表示フラットディスプレイに用いら
れる高輝度ELディスプレイの提供を目的としている。
However, for practical use, further higher brightness is required for blue light emission obtained by SrS: Ce. Sr
To increase the brightness of S: Ce, it is very effective to raise the substrate temperature during film formation, but there is a problem that the film cannot be formed at the optimum substrate temperature due to the thermal limit of the glass substrate. is there. The present invention focuses on the above-mentioned conventional problems, and an object thereof is to provide a high-brightness EL display used for full-color, multi-color, and display flat displays.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の高輝度カラーELパネルでは、表面を研磨
した耐熱性の高いセラミックを基板として用いること事
を特徴とし、その上に、透明電極と、絶縁膜と、Zn
S:Mn/SrS:Ce/ZnS:Mnの3層構造から
なる発光層と、絶縁膜と、透明電極とを積層したELパ
ネルと、カラーフィルターがパターニングされたガラス
(封止ガラス)を貼り合わせる。
In order to achieve the above object, the high-brightness color EL panel of the present invention is characterized by using a highly heat-resistant ceramic whose surface is polished, as a substrate, and further, Transparent electrode, insulating film, Zn
An EL panel in which a light emitting layer having a three-layer structure of S: Mn / SrS: Ce / ZnS: Mn, an insulating film, and a transparent electrode is laminated, and a glass (sealing glass) on which a color filter is patterned are bonded together. .

【0005】[0005]

【作用】カラーフィルター貼り合わせ方式のELパネル
では基板が透明である必要がない。それで耐熱性が高い
セラミックを基板に用いることで、熱による膨張や変
形、割れ等を伴わずに、ガラス基板使用時よりも高い基
板温度でSrS:Ceを成膜できる。
In the EL panel of the color filter bonding type, the substrate does not need to be transparent. Therefore, by using a ceramic having high heat resistance for the substrate, SrS: Ce can be formed at a substrate temperature higher than that when a glass substrate is used, without being expanded, deformed, or cracked by heat.

【0006】[0006]

【実施例】ELデイバイスの基板として、表面を研磨し
た酸化アルミ(Al2 3 )等の耐熱性の高いセラミッ
クを使用した場合の効果を調べた。表面を研磨した酸化
アルミ(Al2 3 )の基板上に、厚さ0.1μmのI
TO透明電極と、厚さ0.12μmのSiON絶縁膜
と、厚さ0.85μmのSrS:Ceの発光層と、厚さ
0.12μmのSiON絶縁膜と、厚さ0.1μmのI
TO透明電極を、順次積層したELデバイスを、Sr
S:Ceの発光層成膜時の基板温度を換えて3種類制作
した。デバイスの青フィルター透過後の輝度ー電圧特性
を、パルス幅40μsec、周波数60Hzのパルス波
で測定した結果を図2に示す。この結果では、SrS:
Ceの発光層成膜時の基板温度が550℃→600℃→
650℃と高くなる従い、輝度が向上している。また、
ガラス基板では550℃程度が熱的限界であるが、本発
明では650℃でも問題なく成膜が可能であった。
[Example] The effect of using a highly heat-resistant ceramic such as aluminum oxide (Al 2 O 3 ) whose surface was polished was examined as a substrate of an EL device. On a substrate of aluminum oxide (Al 2 O 3 ) whose surface was polished, a 0.1 μm thick I film was formed.
TO transparent electrode, 0.12 μm thick SiON insulating film, 0.85 μm thick SrS: Ce light emitting layer, 0.12 μm thick SiON insulating film, and 0.1 μm thick I
An EL device in which TO transparent electrodes are sequentially stacked is
Three types of S: Ce light emitting layers were formed by changing the substrate temperature. The brightness-voltage characteristics of the device after passing through the blue filter are measured with a pulse wave having a pulse width of 40 μsec and a frequency of 60 Hz, and the results are shown in FIG. In this result, SrS:
The substrate temperature at the time of forming the light emitting layer of Ce is 550 ° C. → 600 ° C. →
As the temperature rises to 650 ° C., the brightness is improved. Also,
The glass substrate has a thermal limit of about 550 ° C, but in the present invention, film formation was possible without problems even at 650 ° C.

【0007】上記比較実験の結果、ELデバイスの基板
に耐熱性の高いセラミックを用いれば、高い基板温度で
SrS:Ceの発光層を成膜することができ、それによ
り高輝度化することができた。次に、セラミック基板を
用いて、実際にカラーELパネルを試作した例を図面を
参照して詳細に説明する。図1は本発明による高輝度カ
ラーELの構造図である。図1において、高輝度カラー
ELパネル1は、表面を研磨したセラミック(酸化アル
ミ:Al2 3 )基板11上に、ITO透明電極12
と、SiON絶縁膜13と、ZnS:Mn、SrS:C
e、ZnS:Mnの3層構造からなる発光層14と、S
iON絶縁膜15と、ITO透明電極16を、順次積層
したELパネル10と、カラーフィルター21がパター
ニングされた封止ガラス22を、接着材23を用いて貼
り合わせ、その隙間に、絶縁性流動体24が封止された
構造になっている。
As a result of the above comparative experiment, if a highly heat-resistant ceramic is used for the substrate of the EL device, the light emitting layer of SrS: Ce can be formed at a high substrate temperature, and thus the brightness can be increased. It was Next, an example in which a color EL panel is actually prototyped using a ceramic substrate will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a structural diagram of a high brightness color EL according to the present invention. In FIG. 1, a high-brightness color EL panel 1 includes an ITO transparent electrode 12 on a ceramic (aluminum oxide: Al 2 O 3 ) substrate 11 whose surface is polished.
, SiON insulating film 13, ZnS: Mn, SrS: C
e, a light emitting layer 14 having a three-layer structure of ZnS: Mn, and S
The EL panel 10 in which the iON insulating film 15 and the ITO transparent electrode 16 are sequentially laminated, and the sealing glass 22 on which the color filter 21 is patterned are bonded together by using an adhesive 23, and the insulating fluid is provided in the gap. 24 has a sealed structure.

【0008】試作したパネルは、3層構造からなる発光
層のうち、SrS:Ce層成膜時の基板温度を550
℃、650℃とした2種類である。これらのパネルの赤
(R)、緑(G)、青(B)フィルター透過後の画素輝
度をパルス幅40μsec、周波数60Hzのパルス波
で測定した。図3の輝度ー電圧特性に示すように、Sr
S:Ce層成膜時の基板温度が650℃と高温の方が青
色の輝度が増加している。
The prototype panel has a substrate temperature of 550 when the SrS: Ce layer is formed in the light emitting layer having a three-layer structure.
There are two types: ℃ and 650 ℃. The pixel brightness of these panels after passing through the red (R), green (G) and blue (B) filters was measured with a pulse wave having a pulse width of 40 μsec and a frequency of 60 Hz. As shown in the luminance-voltage characteristic of FIG.
When the substrate temperature at the time of forming the S: Ce layer is 650 ° C., the blue brightness is increased when the temperature is high.

【0009】[0009]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板側第1電極に、EL製作中の高温工程でも問題が生
じない透明電極を使用しても、パネルから取り出される
光にはセラミック基板表面からの反射光が含まれるた
め、ガラス基板を用いた同様の構造を持つカラーELパ
ネルに比べ、赤、緑、青の全発光領域にわたって高輝度
のカラーELパネルが得られる。
As described above, according to the present invention,
Even if a transparent electrode that does not cause any problems in the high temperature process during EL fabrication is used as the first electrode on the substrate side, the glass substrate is used because the light extracted from the panel includes the reflected light from the surface of the ceramic substrate. As compared with a color EL panel having a similar structure, a color EL panel with high brightness can be obtained over the entire red, green, and blue light emitting regions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の薄膜カラーELパネルの断面構造図で
ある。
FIG. 1 is a cross-sectional structural diagram of a thin film color EL panel of the present invention.

【図2】SrS:Ce ELデバイスの青色フィルター
透過後の輝度ー電圧特性の、SrS:Ce成膜時基板温
度依存性を示した図である。
FIG. 2 is a diagram showing a substrate temperature dependence of a luminance-voltage characteristic of a SrS: Ce EL device after passing through a blue filter, during SrS: Ce film formation.

【図3】本発明のR.G.Bフィルター透過後の輝度−
電圧特性を測定した図である。
FIG. 3 shows the R. G. Luminance after passing B filter −
It is the figure which measured the voltage characteristic.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 高輝度カラーELパネル 10 ELパネル 11 セラミック基板 12、16 透明電極 13、15 絶縁膜 14 発光層 21 封止ガラス 1 High Brightness Color EL Panel 10 EL Panel 11 Ceramic Substrate 12, 16 Transparent Electrode 13, 15 Insulating Film 14 Light Emitting Layer 21 Sealing Glass

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成5年1月29日[Submission date] January 29, 1993

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】請求項1[Name of item to be corrected] Claim 1

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0002[Name of item to be corrected] 0002

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、カラーELパネルの作方法に
は、RGB(赤、緑、青)の各発光色が得られる材料を
平面上にパターニングする方法と、幅広い発光スペクト
ルをもつ発光層からの光をカラーフィルタでRGBに分
解する方法に大別できる。発光層をパターニングする方
法はパターニング自体が困難であり、プロセスも複雑と
なることから、現在ではカラーフィルター方式が主流に
なってきている。カラーフィルター方式のELパネルで
も、ガラス基板上にカラーフィルターを形成し、その上
にELデバイスを構成する各層を成膜していくタイプ
と、背面電極に透明電極を用いたELパネルに、カラー
フィルターがパターニングされたガラスを貼り合わせる
タイプがある。しかし、前者ではカラーフィルターの耐
熱性が低く、ELの製作工程に耐えられない。また、耐
熱性の高い干渉フィルターを使用してもパターニングや
視野角が問題となるため後者のタイプが有望である。前
述したように、カラーフィルター方式のELパネルでは
幅広い発光スペクトルを持っ発光層が必要であり、そ
の発光はフィルターを通して取り出されるため、かなり
の高輝度が必要である。この2つの要求に対し、我々は
ZnS:Mn/SrS:Ce/ZnS:Mnからなる3
層構造の発光層を持つELデバイス(特願平4−121
137)により、大きな成果をあげた。
Conventionally, the manufacturing operation method of the color EL panel, RGB (red, green, blue) and a method of patterning a material that each emission color can be obtained on the plane, from the light-emitting layer having a broad emission spectrum The light can be roughly divided into RGB using a color filter. In the method of patterning the light emitting layer, the patterning itself is difficult and the process is complicated, so that the color filter method is now predominant. Even in the color filter type EL panel, a type in which a color filter is formed on a glass substrate and each layer constituting an EL device is formed thereon, and an EL panel using a transparent electrode as a back electrode is used as a color filter. There is a type of laminating patterned glass. However, in the former case, the heat resistance of the color filter is low and the EL manufacturing process cannot be endured. In addition, the latter type is promising because patterning and viewing angle become problems even if an interference filter having high heat resistance is used. As described above, a color filter type EL panel requires a light emitting layer having a wide light emission spectrum, and the emitted light is taken out through a filter, so that a considerably high brightness is required. For these two requirements, we consist of ZnS: Mn / SrS: Ce / ZnS: Mn 3
EL device having a layered light emitting layer (Japanese Patent Application No. 4-121
137) has produced great results.

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0003[Name of item to be corrected] 0003

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実用化
のためには、SrS:Ceにより得られている青色の発
光に対して、更なる高輝度化が必要とされている。Sr
S:Ceの高輝度化には、成膜時の基板温度を高くする
ことが非常に有効であるが、ガラス基板の熱的限界のた
め最適な基板温度で成膜することができないという問題
がある。本発明は上記従来の問題点に着目し、フルカラ
またはマルチカラー表示フラットディスプレイに用い
られる高輝度ELディスプレイの提供を目的としてい
る。
However, for practical use, further higher brightness is required for blue light emission obtained by SrS: Ce. Sr
To increase the brightness of S: Ce, it is very effective to raise the substrate temperature during film formation, but there is a problem that the film cannot be formed at the optimum substrate temperature due to the thermal limit of the glass substrate. is there. The present invention focuses on the above-mentioned conventional problems, and an object thereof is to provide a high-brightness EL display used for a full -color or multi-color display flat display .

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0006[Correction target item name] 0006

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0006】ELデイバイスの基板として、表面を研磨
した酸化アルミ(Al)等の耐熱性の高いセラミ
ックを使用した場合の効果を調べた。表面を研磨した酸
化アルミ(Al)の基板上に、厚さ0.1μmの
ITO透明電極と、厚さ0.12μmのSiON絶縁膜
と、厚さ0.85μmのSrS:Ceの発光層と、厚さ
0.12μmのSiON絶縁膜と、厚さ0.1μmのI
TO透明電極を、順次積層したELデバイスを、Sr
S:Ceの発光層成膜時の基板温度をえて3種類
した。デバイスの青フィルター透過後の輝度−電圧特性
を、パルス幅40μsec、周波数60Hzのパルス波
で測定した結果を図2に示す。この結果では、SrS:
Ceの発光層成膜時の基板温度が550℃→600℃→
650℃と高くなる従い、輝度が向上している。ま
た、ガラス基板では550℃程度が熱的限界であるが、
本発明では650℃でも問題なく成膜が可能であった。
The effect of using a highly heat-resistant ceramic such as aluminum oxide (Al 2 O 3 ) whose surface was polished was examined as the substrate of the EL device. A 0.1 μm thick ITO transparent electrode, a 0.12 μm thick SiON insulating film, and a 0.85 μm thick SrS: Ce emission on a polished aluminum oxide (Al 2 O 3 ) substrate. Layer, 0.12 μm thick SiON insulating film, and 0.1 μm thick I
An EL device in which TO transparent electrodes are sequentially stacked is
S: it was strange Ete three types made of operation of the substrate temperature at the time of the light-emitting layer formation of Ce. The luminance-voltage characteristics of the device after passing through the blue filter are measured with a pulse wave having a pulse width of 40 μsec and a frequency of 60 Hz, and the results are shown in FIG. In this result, SrS:
The substrate temperature at the time of forming the light emitting layer of Ce is 550 ° C. → 600 ° C. →
Follow as high as 650 ° C., and improved luminance. Also, the glass substrate has a thermal limit of about 550 ° C.,
In the present invention, film formation was possible without problems even at 650 ° C.

【手続補正5】[Procedure Amendment 5]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0009[Correction target item name] 0009

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0009】[0009]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板として、表面を研磨した耐熱性の高いセラミックを
用いているために、ガラス基板使用時よりも高い基板温
度でSrS:Ceを成膜できる。これにより、ガラス基
板を用いた同様の構造を持つカラーELパネルで問題と
なっていた青色の発光輝度不足を解決した高輝度のカラ
ーELパネルが得られる。
As described above, according to the present invention,
As a substrate, a highly heat-resistant ceramic with a polished surface
Substrate temperature higher than when using a glass substrate
The SrS: Ce film can be formed at various times. This allows the glass base
There is a problem with a color EL panel with a similar structure using a plate
High-brightness color that solved the lack of blue emission brightness
-The EL panel is obtained.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面を研磨した耐熱性の高いセラミック
を基板として用いること事を特徴とし、その上に、透明
電極と、絶縁膜と、ZnS:Mn/SrS:Ce/Zn
S:Mnの3層構造からなる発光層と、絶縁膜と、透明
電極とを積層したELパネルと、カラーフィルターがパ
ターニングされたガラス(封止ガラス)を貼り合わせた
高輝度カラーELパネル。
1. A ceramic having a high heat resistance whose surface is polished is used as a substrate, and a transparent electrode, an insulating film, and ZnS: Mn / SrS: Ce / Zn are further formed on the substrate.
A high-brightness color EL panel in which a light-emitting layer having a three-layered structure of S: Mn, an insulating film, and a transparent electrode are laminated, and a glass (sealing glass) on which a color filter is patterned is attached.
JP4248772A 1992-08-25 1992-08-25 High intensity color el panel Pending JPH0676949A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100844021B1 (en) * 2006-05-12 2008-07-04 주식회사 센플러스 substrate for flat panel display device and manufacturing method the same, flat panel display device and manufacturing method the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100844021B1 (en) * 2006-05-12 2008-07-04 주식회사 센플러스 substrate for flat panel display device and manufacturing method the same, flat panel display device and manufacturing method the same

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