JPH0676644B2 - 内周刃スライサ− - Google Patents
内周刃スライサ−Info
- Publication number
- JPH0676644B2 JPH0676644B2 JP60278786A JP27878685A JPH0676644B2 JP H0676644 B2 JPH0676644 B2 JP H0676644B2 JP 60278786 A JP60278786 A JP 60278786A JP 27878685 A JP27878685 A JP 27878685A JP H0676644 B2 JPH0676644 B2 JP H0676644B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner peripheral
- base metal
- peripheral blade
- slicer
- blade slicer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
- B24D5/12—Cut-off wheels
- B24D5/126—Cut-off wheels having an internal cutting edge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体素子、ICなどの基板材およびガラス等の
薄板スライスに使用される内周刃スライサーに関するも
のである。
薄板スライスに使用される内周刃スライサーに関するも
のである。
〔従来の技術〕 従来、半導体素子、ICなどの基板材料としてのシリコン
ウエハーの切断に用いる内周刃スライサーとしては、図
に示す内孔２を有する金属製の薄物の円板状台金３とこ
の台金３の内孔近傍部にダイヤモンドなどの硬質砥粒４
を電着その他の手段で付着させ内周刃部５を形成させた
ものが用いられている。
ウエハーの切断に用いる内周刃スライサーとしては、図
に示す内孔２を有する金属製の薄物の円板状台金３とこ
の台金３の内孔近傍部にダイヤモンドなどの硬質砥粒４
を電着その他の手段で付着させ内周刃部５を形成させた
ものが用いられている。
内周刃スライサーの寿命ならびに、スライスされた製品
の精度は、台金３の性能によるところが大きい。そし
て、台金３としては、その用途上次のような特性が要求
されている。
の精度は、台金３の性能によるところが大きい。そし
て、台金３としては、その用途上次のような特性が要求
されている。
（１）機械的強度が大きいこと 内周刃スライサー用の台金は非常に薄い板であり、その
自身で剛性がないので切断機に装着し、内周刃スライサ
ーの半径方向に張力を与えて剛性を得るためこの張力に
耐える高強度が必要である。
自身で剛性がないので切断機に装着し、内周刃スライサ
ーの半径方向に張力を与えて剛性を得るためこの張力に
耐える高強度が必要である。
（２）圧延方向および直角方向の延性が大きく、かつそ
の差が小さいこと 内周刃スライサーに用いられる台金は、冷間圧延材から
打抜き又はフォトエッチングにより真円に加工されたも
のが用いられている。内周刃スライサーの台金の剛性を
与えるために半径方向に外周部全周に張力を与えるが、
台金を構成する冷間圧延材の圧延方向とこれに直角方向
での延性には差があり、台金を真円に保つためには張力
の調整が必要となる。台金を構成する材料の圧延方向お
よびそれに直角方向の延性の差が大きいと張力の調整が
難しく、かつ調整後も機械的異方向による歪が生じる。
この結果切断時に剛性が変動し、振動発生、内周刃スラ
イサーの短寿命化および切断精度の低下を招いている。
の差が小さいこと 内周刃スライサーに用いられる台金は、冷間圧延材から
打抜き又はフォトエッチングにより真円に加工されたも
のが用いられている。内周刃スライサーの台金の剛性を
与えるために半径方向に外周部全周に張力を与えるが、
台金を構成する冷間圧延材の圧延方向とこれに直角方向
での延性には差があり、台金を真円に保つためには張力
の調整が必要となる。台金を構成する材料の圧延方向お
よびそれに直角方向の延性の差が大きいと張力の調整が
難しく、かつ調整後も機械的異方向による歪が生じる。
この結果切断時に剛性が変動し、振動発生、内周刃スラ
イサーの短寿命化および切断精度の低下を招いている。
従来の内周刃スライサーの台金としてはJIS規格SUS304
又はSUS301の材料が用いられており、これは安価に入手
できるが高強度を得るために高い冷間加工度を必要とし
このため高強度は得られるが延性が著しく低下し圧延方
向とこれの直角方向での延性の差が大きくなる。従っ
て、上述の特性を充分に満足させることが出来ず、内周
刃スライサーの寿命低下並びにスライスされた製品の精
度が悪くなる問題点があった。
又はSUS301の材料が用いられており、これは安価に入手
できるが高強度を得るために高い冷間加工度を必要とし
このため高強度は得られるが延性が著しく低下し圧延方
向とこれの直角方向での延性の差が大きくなる。従っ
て、上述の特性を充分に満足させることが出来ず、内周
刃スライサーの寿命低下並びにスライスされた製品の精
度が悪くなる問題点があった。
本発明はかかる点に鑑み、内周刃スライサーの台金を構
成する材料の圧延方向および直角方向の延性を改善し、
かつ高強度を兼ねそなえたものとすることにより、寿命
の向上ならびにスライスされた製品の精度を上げること
ができる内周刃スライサーを提供しようとするものであ
る。
成する材料の圧延方向および直角方向の延性を改善し、
かつ高強度を兼ねそなえたものとすることにより、寿命
の向上ならびにスライスされた製品の精度を上げること
ができる内周刃スライサーを提供しようとするものであ
る。
本願発明者は種々検討した結果、中心部に内孔を有する
薄物の円板状台金と、該台金の内孔近傍部に硬質砥粒を
付着させて内周刃を形成する内周刃スライサーにおい
て、前記台金を重量％でC 0.05〜0.15％,Cr 15.0〜18.0
％,Ni 4.0〜5.0％,Mo 2.0〜4.0％,N 0.05〜0.15％、残
部Feと通常含まれる不純物からなる合金とすることによ
り前述の問題点を解決するに到ったのである。
薄物の円板状台金と、該台金の内孔近傍部に硬質砥粒を
付着させて内周刃を形成する内周刃スライサーにおい
て、前記台金を重量％でC 0.05〜0.15％,Cr 15.0〜18.0
％,Ni 4.0〜5.0％,Mo 2.0〜4.0％,N 0.05〜0.15％、残
部Feと通常含まれる不純物からなる合金とすることによ
り前述の問題点を解決するに到ったのである。
なお、本願内周刃スライサーにおいては、その引張強度
が180kgf/mm2以上であり、圧延方向の引張伸びＡ
（％）、該圧延方向と直角方向の引張伸びＢ（％）がそ
れぞれ５％以上であり、かつ、（ｉ）Ａ＞Ｂのとき Ａ
−B/A （ii）Ａ＜Ｂのとき Ｂ−A/Bで示される関係式の値が
0.4以下であることが重要である。関係式（ｉ）（ii）
の値は0.2以下であることがさらに望ましい。
が180kgf/mm2以上であり、圧延方向の引張伸びＡ
（％）、該圧延方向と直角方向の引張伸びＢ（％）がそ
れぞれ５％以上であり、かつ、（ｉ）Ａ＞Ｂのとき Ａ
−B/A （ii）Ａ＜Ｂのとき Ｂ−A/Bで示される関係式の値が
0.4以下であることが重要である。関係式（ｉ）（ii）
の値は0.2以下であることがさらに望ましい。
引張強度が180kgf/mm2未満では切断機に装着し張力を与
えた場合にこの強度に耐えることがむずかしくなる。ま
た（ｉ）（ii）に示す関係式の値が0.4を超えると台金
を真円に保つ張力の調整が難しく、かつ調整後も機械的
異方性張力を与えるのにその調整がむずかしく切断時に
種々の問題を併発する。
えた場合にこの強度に耐えることがむずかしくなる。ま
た（ｉ）（ii）に示す関係式の値が0.4を超えると台金
を真円に保つ張力の調整が難しく、かつ調整後も機械的
異方性張力を与えるのにその調整がむずかしく切断時に
種々の問題を併発する。
本発明を実施例に基ずいて説明する。本発明の一実施例
の内周刃スライサーの台金として用いた材料と従来品の
材料の化学成分を表１に示す。
の内周刃スライサーの台金として用いた材料と従来品の
材料の化学成分を表１に示す。
これらの材料は電気炉で溶解し鋳造したインゴットを分
塊圧延機でスラブとし、これを熱間圧延で3.5mm厚さの
フープとしたものを冷間圧延および焼鈍を繰り返し0.13
mmに仕上げた。これらの試料についての引張強さ、延性
の測定結果ならびに最終冷間加工率を表２に示す。
塊圧延機でスラブとし、これを熱間圧延で3.5mm厚さの
フープとしたものを冷間圧延および焼鈍を繰り返し0.13
mmに仕上げた。これらの試料についての引張強さ、延性
の測定結果ならびに最終冷間加工率を表２に示す。
第２表の結果から明らかなように本発明の内周刃スライ
サーを構成する台金は従来品と比較し最終冷間加工率が
小さいにもかかわらず高い強度を示し、かつ伸びが著し
く改善されていることがわかる。また前述の関係式
（ｉ）の値は本発明においては、0.16,0.18となってお
り、台金として充分な特性を有しているが、従来品では
前述の関係式（ii）の値は0.87となり圧延方向とこれに
直角方向での延性に差が大きく台金を真円に保つ調整が
難しく、かつ調整後も歪が残っている。
サーを構成する台金は従来品と比較し最終冷間加工率が
小さいにもかかわらず高い強度を示し、かつ伸びが著し
く改善されていることがわかる。また前述の関係式
（ｉ）の値は本発明においては、0.16,0.18となってお
り、台金として充分な特性を有しているが、従来品では
前述の関係式（ii）の値は0.87となり圧延方向とこれに
直角方向での延性に差が大きく台金を真円に保つ調整が
難しく、かつ調整後も歪が残っている。
これらの内周刃スライサーの台金として最適な材料を用
い、ダイヤモンド砥粒を電着して内周刃を構成した本発
明の内周刃スライサーは、従来品の1.8倍の寿命を有
し、かつスライスされた製品の寸法精度並びに切断面が
良好であった。
い、ダイヤモンド砥粒を電着して内周刃を構成した本発
明の内周刃スライサーは、従来品の1.8倍の寿命を有
し、かつスライスされた製品の寸法精度並びに切断面が
良好であった。
以上説明したように本発明の内周刃スライサーは従来品
よりも寿命が長く、かつスライスされた製品の精度を向
上できるものであり工業上非常に有益である。
よりも寿命が長く、かつスライスされた製品の精度を向
上できるものであり工業上非常に有益である。
第１図は内周刃スライサーの概略図である。 1:内周刃スライサー、2:内孔、3:台金、4:硬質砥粒付着
部、5:内周刃
部、5:内周刃
Claims (1)
- 【請求項１】中心部に内孔を有する薄物の円板状台金
と、該台金の内孔近傍部に硬質砥粒を付着させて内周刃
を形成する内周刃スライサーにおいて、前記台金が重量
％でC 0.05〜0.15％,Cr 15.0〜18.0％,Ni 4.0〜5.0％,M
o 2.0〜4.0％,N 0.05〜0.15％、残部Feと通常含まれる
不純物からなる合金により形成され、前記台金の引張強
さが180kgf/mm2以上であり、台金の圧延方向の引張伸び
Ａ（％）および該圧延方向と直角方向の引張伸びＢ
（％）が５％以上で、かつ 関係式の値が0.4以下であることを特徴とする内周刃ス
ライサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60278786A JPH0676644B2 (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | 内周刃スライサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60278786A JPH0676644B2 (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | 内周刃スライサ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62139854A JPS62139854A (ja) | 1987-06-23 |
| JPH0676644B2 true JPH0676644B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=17602158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60278786A Expired - Lifetime JPH0676644B2 (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | 内周刃スライサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0676644B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63172563U (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-09 | ||
| US5218948A (en) * | 1988-03-11 | 1993-06-15 | Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Inside diameter blade |
| JPH01138565U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-21 |
-
1985
- 1985-12-11 JP JP60278786A patent/JPH0676644B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62139854A (ja) | 1987-06-23 |
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