JPH0675629U - Vacuum suction pad - Google Patents
Vacuum suction padInfo
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- JPH0675629U JPH0675629U JP2375693U JP2375693U JPH0675629U JP H0675629 U JPH0675629 U JP H0675629U JP 2375693 U JP2375693 U JP 2375693U JP 2375693 U JP2375693 U JP 2375693U JP H0675629 U JPH0675629 U JP H0675629U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 環状ワークの内径と棒状ワークとの正確な位
置合わせを行う。
【構成】 棒状ワーク１に位置合わせされる被吸着物で
ある環状ワーク２を吸着するパッド６には、真空吸引通
路４を設ける。環状ワーク２の内径３が上から見えるよ
うに穴５を形成する。パッド６の上面には蓋７を設け、
真空吸引通路４の一端において、不要な空気のもれを防
ぐようにシールする。この蓋７は、環状ワーク２の内径
３がパッド６の穴５を通して見えるように構成する。こ
の蓋７には、棒状ワーク１と環状ワーク２の内径３の位
置を調整するステージ８を隣接する。蓋７には、パッド
６の真空吸引通路４を介して環状ワーク２を吸着する真
空源９を接続する。所定の位置に置かれた環状ワーク２
を吸着したパッド６を、棒状ワーク１上方まで運ぶ移動
ステージを設ける。
(57) [Summary] [Purpose] To accurately align the inner diameter of the annular work with the rod-shaped work. A vacuum suction passage 4 is provided in a pad 6 which adsorbs an annular work 2 which is an object to be adsorbed and which is aligned with a rod-shaped work 1. A hole 5 is formed so that the inner diameter 3 of the annular work 2 can be seen from above. A lid 7 is provided on the upper surface of the pad 6,
A seal is provided at one end of the vacuum suction passage 4 so as to prevent unnecessary air leakage. The lid 7 is configured so that the inner diameter 3 of the annular work 2 can be seen through the hole 5 of the pad 6. A stage 8 that adjusts the positions of the inner diameters 3 of the rod-shaped work 1 and the annular work 2 is adjacent to the lid 7. A vacuum source 9 for sucking the annular work 2 is connected to the lid 7 via the vacuum suction passage 4 of the pad 6. Annular work 2 placed in place
A moving stage is provided for carrying the pad 6 adsorbed to the upper part of the rod-shaped work 1.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、真空吸着パッドに関する。 The present invention relates to a vacuum suction pad.
【０００２】[0002]
従来、環状のワークを真空吸着し、ワークの内径を棒状ワークと位置合わせす る真空吸着パッドとしては、例えば実開昭６１−１６９５４１号公報に開示され るようなものがある。 Conventionally, as a vacuum suction pad for vacuum-sucking an annular work and aligning the inner diameter of the work with a rod-shaped work, there is, for example, the one disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 61-169541.
【０００３】 この真空吸着パッドは、図７に示すようなもので、ハウジング２９には、環状 にかつ軸方向に沿って設けられ、その一部が真空を発生する真空源９１に接続さ れた真空吸引通路２８が設けられている。また、ハウジング２９には、その軸心 と同軸上にかつ前記真空吸引通路２８より外側位置にて円形ドーム状のパッド３ ０が保持されている。ハウジング２９の真空吸引通路２８と真空源９１とは、蓋 ３１により接続されている。そして、ハウジング２９と蓋３１との間には、不要 な空気もれを防ぐＯリング３２が設けられている。前記ハウジング２９の軸心は 、一端にワーク３３の穴３４に挿入されてワーク３３と位置決めするための凸部 ３５が形成され、他端に圧縮ばね３６を支持する支持部３７が設けられたセンタ リング軸３８が貫設されている。このセンタリング軸３８は、圧縮ばね３６のば ね力によって軸方向に移動する。さらに、このセンタリング軸３８の凸部３５に は、凸部３５が前記ワーク３３の穴３４に挿入すると同時に前記ワーク３３の穴 ３４を気密状態に保つ気密用のリング３９が固着されている。This vacuum suction pad is as shown in FIG. 7, and is provided in the housing 29 in an annular shape along the axial direction, and a part thereof is connected to a vacuum source 91 for generating a vacuum. A vacuum suction passage 28 is provided. A circular dome-shaped pad 30 is held in the housing 29 coaxially with its axis and at a position outside the vacuum suction passage 28. The vacuum suction passage 28 of the housing 29 and the vacuum source 91 are connected by a lid 31. An O-ring 32 that prevents unnecessary air leakage is provided between the housing 29 and the lid 31. A center of the shaft of the housing 29 is provided with a convex portion 35 that is inserted into the hole 34 of the work 33 and positioned with respect to the work 33 at one end, and a support portion 37 that supports the compression spring 36 at the other end. A ring shaft 38 is provided so as to extend therethrough. The centering shaft 38 moves in the axial direction by the spring force of the compression spring 36. Further, to the convex portion 35 of the centering shaft 38, an airtight ring 39 for fixing the hole 34 of the work 33 in an airtight state at the same time when the convex portion 35 is inserted into the hole 34 of the work 33 is fixed.
【０００４】 このような構成の真空吸着パッドによれば、ワーク３３を吸着するとき、セン タリング軸３８の凸部３５によって、ワーク３３の所定位置にセンタリング軸３ ８が位置決めされ、ワーク３３の軸心と真空吸着パッドの軸心が一致する。した がって、ワーク３３の内径３４を棒状ワーク４０に合わせるときに、真空吸着パ ッドの軸心を棒状ワーク４０に合わせればよい。According to the vacuum suction pad having such a structure, when the work 33 is sucked, the centering shaft 38 is positioned at a predetermined position of the work 33 by the convex portion 35 of the centering shaft 38, and the shaft of the work 33 is rotated. The center and the axis of the vacuum suction pad match. Therefore, when the inner diameter 34 of the work 33 is aligned with the rod-shaped work 40, the axis of the vacuum suction pad may be aligned with the rod-shaped work 40.
【０００５】[0005]
しかし、上記従来技術では、ワーク３３の軸心と真空吸着パッドの軸心をあわ せ、更に真空吸着パッドの軸心を棒状ワーク４０の軸心に合わせることにより、 ワーク３３の軸心を棒状ワーク４０の軸心に合わせている。このように位置合わ せを２回行っているので、位置合わせに伴う誤差が２回発生し、誤差が大きくな ってしまう。このため、どうしてもワーク３３の軸心と棒状ワーク４０の軸心に 、ずれが生じ、正確な位置合わせができなかった。 However, in the above-mentioned conventional technique, the shaft center of the work 33 is aligned with the shaft center of the vacuum suction pad, and the shaft center of the vacuum suction pad is further aligned with the shaft center of the rod-shaped work 40. It is aligned with the axis of 40. Since the alignment is performed twice in this way, an error associated with the alignment occurs twice and the error becomes large. For this reason, the shaft center of the work 33 and the shaft center of the rod-shaped work 40 are inevitably deviated from each other, and accurate alignment cannot be performed.
【０００６】 本考案は、かかる従来の問題点に鑑みてなされてもので、環状ワークの内径と 棒状ワークの正確な位置合わせが可能な真空吸着パッドを提供することを目的と する。The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object thereof is to provide a vacuum suction pad capable of accurately aligning the inner diameter of an annular work with a rod-shaped work.
【０００７】[0007]
上記課題を解決するために、本考案は、被吸着物である環状ワークを吸着し、 前記環状ワークの内径に合う棒状ワークと、前記環状ワークの内径の位置とを調 整する真空吸着パッドにおいて、真空吸引通路を有しかつ前記環状ワークの内径 がパッドの上から見えるように穴を形成したパッドと、前記パッドの真空吸引通 路の一端においてパッドとの間で不要な空気のもれを防ぐようにシールされかつ 前記環状ワークの内径がパッドの穴を通して見えるような蓋と、前記環状ワーク の内径に合い棒状ワークと前記環状ワークの内径の位置とを調整可能なステージ と、前記パッドの真空吸引通路を介して環状ワークを真空吸着する真空源とを具 備して真空吸着パッドを構成した。 In order to solve the above problems, the present invention provides a vacuum suction pad for adsorbing an annular work, which is an object to be adsorbed, and adjusting the position of the inner diameter of the annular work and the rod-like work that fits the inner diameter of the annular work. , There is no need for air leakage between the pad that has a vacuum suction passage and has a hole so that the inner diameter of the annular work can be seen from above the pad, and the pad at one end of the vacuum suction passage of the pad. A lid that is sealed so as to prevent the inner diameter of the annular work from being seen through the hole of the pad, a stage that fits the inner diameter of the annular work and that is capable of adjusting the positions of the rod-shaped work and the inner diameter of the annular work, The vacuum suction pad was configured by including a vacuum source for vacuum-sucking the annular work through the vacuum suction passage.
【０００８】 図１に本発明の概念図を示す。図１において、棒状ワーク１に位置合わせされ る被吸着物である環状ワーク２を吸着するパッド６には、少なくとも一つの真空 吸引通路４が設けられ、環状ワーク２の内径３が上から見えるように穴５が形成 されている。パッド６の上面には蓋７が設けられており、パッド６の少なくとも 一つの真空吸引通路４の一端において、不要な空気の漏れを防ぐようにシールさ れている。また、この蓋７は、環状ワーク２の内径３が前記パッド６の穴５を通 して見えるように構成されている。また、この蓋７には、棒状ワーク１と環状ワ ーク２の内径３の位置を調整するステージ８が隣接されている。さらに、蓋７に は、パッド６の真空吸引通路４を介して環状ワーク２を真空吸着する真空源９が 接続されている。なお、図示は省略したが、所定の位置に置かれた環状ワーク２ を吸着したパッド６を、棒状ワーク１上方まで運ぶ移動ステージが設けられてい る。FIG. 1 shows a conceptual diagram of the present invention. In FIG. 1, at least one vacuum suction passage 4 is provided in a pad 6 that adsorbs an annular work 2 that is an object to be adsorbed and is aligned with the rod-shaped work 1, so that the inner diameter 3 of the annular work 2 can be seen from above. A hole 5 is formed in the hole. A lid 7 is provided on the upper surface of the pad 6, and is sealed at one end of at least one vacuum suction passage 4 of the pad 6 so as to prevent unnecessary air leakage. The lid 7 is constructed so that the inner diameter 3 of the annular work 2 can be seen through the hole 5 of the pad 6. A stage 8 for adjusting the positions of the rod-shaped work 1 and the inner diameter 3 of the annular work 2 is adjacent to the lid 7. Further, a vacuum source 9 for vacuum-sucking the annular work 2 is connected to the lid 7 via the vacuum suction passage 4 of the pad 6. Although not shown in the drawing, a moving stage is provided for carrying the pad 6 adsorbing the annular work 2 placed at a predetermined position above the rod-shaped work 1.
【０００９】[0009]
ほぼ所定の位置に置かれた環状ワーク２を、真空源９を用いてパッド６の真空 吸引通路４から空気を吸引し、パッド６に吸着する。環状ワーク２を吸着したま ま、図示していない移動ステージにより、環状ワーク２を棒状ワーク１の上方に 運ぶ。ここで、パッド６には、穴５が設けられているので、観察手段１０により 環状ワーク２の内径３と、棒状ワーク１とが観察できる。観察手段１０で観察し ながら、ステージ８を用いて棒状ワーク１と環状ワーク２の内径３の位置合わせ を行う。 Air is sucked from the vacuum suction passage 4 of the pad 6 using the vacuum source 9 to the annular work 2 placed at a substantially predetermined position, and is sucked to the pad 6. While the ring-shaped work 2 is adsorbed, the ring-shaped work 2 is carried above the rod-shaped work 1 by a moving stage (not shown). Here, since the pad 5 is provided with the hole 5, the inner diameter 3 of the annular work 2 and the rod-shaped work 1 can be observed by the observation means 10. While observing with the observing means 10, the stage 8 is used to align the inner diameters 3 of the rod-shaped work 1 and the annular work 2.
【００１０】 観察手段１０により観察しながら位置調整ができるので、棒状ワーク１と環状 ワーク２の内径３の位置合わせが正確に行える。Since the position can be adjusted while observing with the observing means 10, the rod-shaped work 1 and the inner diameter 3 of the annular work 2 can be accurately aligned.
【００１１】[0011]
【実施例１】 （構成） 図２は本実施例の真空吸着パッドを示すもので、棒状ワーク１に位置合わせさ れる被吸着物である環状ワーク２を吸着するパッド６１は、環状体に９０度間隔 で４本の足５２を設け、中心部に穴５１を設けた形状になっている。各足５２に は、パッド６を貫通する真空吸着通路４１がそれぞれ形成されている。パッド６ １の上面には蓋７１が設けられており、この蓋７１には、パッド６１の４個の真 空吸引通路４１に接続される４個の通路１１と、環状ワーク２の内径３がパッド ６１の穴５１を通して見えるような穴１２とが形成される。そして、パッド６１ の４個の真空吸引通路４１と、蓋７１の４個の通路１１との接続箇所には、それ ぞれＯリング１３が封入されている。First Embodiment (Structure) FIG. 2 shows a vacuum suction pad according to the present embodiment. A pad 61 for adsorbing an annular work 2 which is an object to be aligned and is aligned with the rod-shaped work 1 has a ring-shaped body 90. Four legs 52 are provided at intervals, and a hole 51 is provided in the center. Each foot 52 is formed with a vacuum suction passage 41 penetrating the pad 6. A lid 71 is provided on the upper surface of the pad 61. The lid 71 has four passages 11 connected to the four vacuum suction passages 41 of the pad 61 and an inner diameter 3 of the annular work 2. The holes 12 are formed so that they can be seen through the holes 51 of the pad 61. An O-ring 13 is enclosed in each of the connection points between the four vacuum suction passages 41 of the pad 61 and the four passages 11 of the lid 71.
【００１２】 さらに、蓋７１には、棒状ワーク１とパッド６１の位置とを一致させるように 、パッド６１をＸ方向（図２において左右方向）、Ｙ方向（紙面に垂直方向）に 移動操作可能な２つのマイクロメータヘッド１４ａ、１４ｂを備えたＸＹステー ジ１４が取り付けられている。蓋７１の４個の通路１１には、それぞれ継手１５ が取り付けられており、これら継手１５にはそれぞれホース１６を介して個別に 真空ポンプ１７が接続されている。また、ＸＹステージ１４の下部には、所定の 位置に置かれた環状ワーク２を吸着したパッド６１を棒状ワーク１上まで運ぶ移 動ステージ８１が設置されている。Further, on the lid 71, the pad 61 can be moved and operated in the X direction (the left-right direction in FIG. 2) and the Y direction (the direction perpendicular to the paper surface) so that the positions of the rod-shaped work 1 and the pad 61 coincide with each other. An XY stage 14 having two micrometer heads 14a and 14b is attached. Joints 15 are attached to the four passages 11 of the lid 71, and vacuum pumps 17 are individually connected to these joints 15 via hoses 16. Further, below the XY stage 14, a moving stage 81 is installed which carries the pad 61, which adsorbs the annular work 2 placed at a predetermined position, onto the rod-shaped work 1.
【００１３】 一方、パッド６の上方には、パッド６１の４個の真空吸着通路４１を介して吸 着された環状ワーク２の内径３を撮影するカメラ１８が設置されている。このカ メラ１８は、予め棒状ワーク１の軸心と、光軸とが一致するように設定されてい る。また、カメラ１８には、カメラ１８の像を映すモニタ１９が接続されている 。On the other hand, above the pad 6, a camera 18 for taking an image of the inner diameter 3 of the annular work 2 sucked through the four vacuum suction passages 41 of the pad 61 is installed. The camera 18 is set in advance so that the optical axis of the rod-shaped work 1 coincides with the optical axis. Further, a monitor 19 for displaying an image of the camera 18 is connected to the camera 18.
【００１４】 なお、図２では、パット６１および蓋７１の一部は断面図としているので、真 空吸引通路４１、足５２、真空ポンプ１７等は数を減らして図示している。In FIG. 2, the pad 61 and the lid 71 are partially shown in a sectional view, and therefore the vacuum suction passage 41, the foot 52, the vacuum pump 17, etc. are shown in a reduced number.
【００１５】 （作用） まず、所定の位置に置かれた環状ワーク２上にパッド６１を移動させる。次に 、４個の真空ポンプ１７をそれぞれ動かし、ホース１６と継手１５、蓋７１の通 路１１を通して、パッド６１の４個の真空吸引通路４１からそれぞれ空気を吸引 し、環状ワーク２を前記パッド６１に吸着する。環状ワーク２を吸着したまま、 パッド６１を移動ステージ８１で棒状ワーク１上に移動させる。(Operation) First, the pad 61 is moved onto the annular work 2 placed at a predetermined position. Next, each of the four vacuum pumps 17 is operated to suck air from each of the four vacuum suction passages 41 of the pad 61 through the passage 11 of the hose 16, the joint 15 and the lid 71, and the annular work 2 is moved to the pad. Adsorb to 61. The pad 61 is moved onto the rod-shaped work 1 by the moving stage 81 while the ring-shaped work 2 is adsorbed.
【００１６】 棒状ワーク１上にパッド６１を移動させると、パッド６１には穴５１が、蓋７ １には穴１２が開いているので、カメラ１８で棒状ワーク１と、環状ワーク２の 一部の像が、モニタ１９に映される。このときのモニタ１９の画面の状態を示す ものが図３であり、棒状ワーク１と環状ワーク２の内径３の位置がずれているこ とを示している。When the pad 61 is moved onto the rod-shaped work 1, a hole 51 is opened in the pad 61 and a hole 12 is opened in the lid 71, so that the camera 18 makes a part of the rod-shaped work 1 and the annular work 2. Is displayed on the monitor 19. FIG. 3 shows the state of the screen of the monitor 19 at this time, and shows that the positions of the inner diameter 3 of the rod-shaped work 1 and the annular work 2 are deviated.
【００１７】 モニタ１９を見ることにより、棒状ワーク１と環状ワーク２の内径３の位置ず れが分かり、ＸＹステージ１４の２つのマイクロメーターヘッド１４ａ，１４ｂ を回軸操作して、位置調整を行う。By looking at the monitor 19, the position deviation of the inner diameter 3 of the rod-shaped work 1 and the annular work 2 can be understood, and the two micrometer heads 14a and 14b of the XY stage 14 are rotated to perform position adjustment. .
【００１８】 （効果） モニタ１９を見て、位置調整ができるので、正確な位置合わせが行える。また 、パッド６１の穴５１が４個の足５２を残して広く開けてあるので、環状ワーク ２の内径３だけでなく、上面の状態も観察できる。さらに、４個の真空吸引通路 ４１をそれぞれ独立の真空ポンプ１７で吸引しているので、例えば１つの真空吸 引通路４１と環状ワーク２との間に隙間が生じた場合にも、他の３つの真空吸引 通路４１で吸着でき、常に安定して吸着できる。(Effect) Since the position can be adjusted by looking at the monitor 19, accurate positioning can be performed. In addition, since the hole 51 of the pad 61 is widely opened except for the four legs 52, not only the inner diameter 3 of the annular work 2 but also the state of the upper surface can be observed. Further, since the four vacuum suction passages 41 are sucked by the respective independent vacuum pumps 17, even if a gap is created between one vacuum suction passage 41 and the annular work 2, the other three vacuum suction passages 41 are It can be adsorbed by one vacuum suction passage 41 and can always be adsorbed stably.
【００１９】[0019]
【実施例２】 （構成） 図４は本実施例の真空吸着パッドを示すもので、棒状ワーク１に位置合わせさ れる被吸着物である環状ワーク２を吸着するパッド６２は、上方から環状ワーク ２の内径３が見えるように逆円錐形状の穴５３が形成された形状になっている。 そして、パッド６２には、真空吸引通路４２が設けられており、その吸着面には 、吸着力を上げるために、真空吸引通路４２と接続された環状の通路２７が設け られている。Second Embodiment (Structure) FIG. 4 shows a vacuum suction pad according to the present embodiment. A pad 62 for adsorbing an annular work 2 which is an object to be aligned with a rod-shaped work 1 is an annular work from above. It has a shape in which an inverted conical hole 53 is formed so that the inner diameter 3 of 2 can be seen. The pad 62 is provided with a vacuum suction passage 42, and the suction surface thereof is provided with an annular passage 27 connected to the vacuum suction passage 42 in order to increase the suction force.
【００２０】 パッド６２上には蓋７２が載置されており、この蓋７２には、パッド６２の真 空吸引通路４２に接続される通路２０と、環状ワーク２の内径３がパッド６２の 穴５３を通して見えるような穴２２とが形成されている。また、パッド６２の真 空吸引通路４２と、蓋７２の通路２０との間には、Ｏリング２３が封入されてい る。さらに、蓋７２の通路２０には継手２４が取り付けられ、継手２４にはホー ス２５を介して真空ポンプ２６が接続されている。その他の構成は実施例１と同 様であり、その説明は省略する。A lid 72 is placed on the pad 62. In the lid 72, the passage 20 connected to the vacuum suction passage 42 of the pad 62 and the inner diameter 3 of the annular work 2 are the holes of the pad 62. A hole 22 that is visible through 53 is formed. An O-ring 23 is enclosed between the vacuum suction passage 42 of the pad 62 and the passage 20 of the lid 72. Further, a joint 24 is attached to the passage 20 of the lid 72, and a vacuum pump 26 is connected to the joint 24 via a hose 25. The other structure is the same as that of the first embodiment, and the description thereof is omitted.
【００２１】 （作用） まず、所定の位置に置かれた環状ワーク２上にパッド６２を移動させる。次に 真空ポンプ２６を動かし、ホース２５と継手２４、蓋７２の通路２０を通して、 パッド６２の真空吸引通路４２から空気を吸引し、環状ワーク２を前記パッド６ ２に吸着する。環状ワーク２を吸着したまま、パッド６２を図示していない移動 ステージで棒状ワーク１上に移動させる。(Operation) First, the pad 62 is moved onto the annular work 2 placed at a predetermined position. Next, the vacuum pump 26 is operated, air is sucked from the vacuum suction passage 42 of the pad 62 through the passage 20 of the hose 25, the joint 24 and the lid 72, and the annular work 2 is adsorbed to the pad 62. The pad 62 is moved onto the rod-shaped work 1 by a moving stage (not shown) while the ring-shaped work 2 is adsorbed.
【００２２】 棒状ワーク１上にパッド６２が移動すると、パッド６２には穴５３が、蓋７２ には穴２２が開いているので、カメラ１８で棒状ワーク１と、環状ワーク２の一 部の像が、モニタ１９に映される。このときのモニタ１９の画面の状態を示すも のが図５であり、棒状ワーク１と環状ワーク２の内径３の位置がずれていること を示している。When the pad 62 is moved onto the rod-shaped work 1, a hole 53 is opened in the pad 62 and a hole 22 is opened in the lid 72. Therefore, the image of a part of the rod-shaped work 1 and the annular work 2 is taken by the camera 18. Is displayed on the monitor 19. FIG. 5 shows the state of the screen of the monitor 19 at this time, and shows that the positions of the inner diameter 3 of the rod-shaped work 1 and the annular work 2 are deviated.
【００２３】 モニタ１９を見ることにより、棒状ワーク１と環状ワーク２の内径３の位置の ずれが分かり、ＸＹステージ１４を用いて、位置調整を行う。その他の作用は実 施例１と同様である。By looking at the monitor 19, the position deviation of the inner diameter 3 of the rod-shaped work 1 and the annular work 2 can be understood, and the position adjustment is performed using the XY stage 14. The other actions are similar to those of the first embodiment.
【００２４】 （効果） 本実施例によれば、実施例１に比べ、パッド６２の形状が簡単になり、安価に 加工できる。(Effects) According to this embodiment, the shape of the pad 62 is simpler than that of the first embodiment, and the pad 62 can be processed at low cost.
【００２５】[0025]
【実施例３】 （構成） 図６は本実施例の真空吸着パッドを示すもので、実施例２で用いた蓋７２を、 パッド６２の真空吸引通路４２に接続される通路２０を有する透明なアクリル板 の蓋７３に換えてある。その他の構成は実施例２と同様である。Third Embodiment (Structure) FIG. 6 shows a vacuum suction pad according to the present embodiment. The lid 72 used in the second embodiment is a transparent member having a passage 20 connected to a vacuum suction passage 42 of a pad 62. The cover 73 is replaced with an acrylic plate. Other configurations are similar to those of the second embodiment.
【００２６】 （作用） 環状ワーク２を吸着したパッド６２が、棒状ワーク２上に移動すると、パッド ６２には穴５３が開いており、蓋７３は透明なアクリルでできているので、カメ ラ１８で棒状ワーク１と、環状ワーク２の一部の像が、モニタ１９に映される。(Operation) When the pad 62 that has adsorbed the annular work 2 moves onto the rod-shaped work 2, the pad 62 has a hole 53 and the lid 73 is made of transparent acrylic resin. Then, images of a part of the rod-shaped work 1 and the annular work 2 are displayed on the monitor 19.
【００２７】 モニタ１９を見ることにより、棒状ワーク１と環状ワーク２の内径３の位置の ずれが分かり、ＸＹステージ１４を用いて、位置調整を行う。その他の作用は、 実施例２と同様である。By looking at the monitor 19, the positional deviation of the inner diameter 3 of the rod-shaped work 1 and the annular work 2 is known, and the position adjustment is performed using the XY stage 14. Other actions are similar to those of the second embodiment.
【００２８】 （効果） 本実施例によれば、実施例２に比べ、パッド６２の上が透明なアクリル板７３ で覆われているので、パッド６２の穴５３や、環状ワーク２に、ホコリやゴミが かからない。(Effects) According to the present embodiment, as compared with the second embodiment, the top of the pad 62 is covered with the transparent acrylic plate 73, so that the holes 53 of the pad 62 and the ring-shaped workpiece 2 are protected from dust and dust. There is no dust.
【００２９】[0029]
以上のように、本考案の真空吸着パッドによれば、被吸着物である環状ワーク を吸着し、環状ワークの内径に合う棒状ワークと、環状ワークの内径の位置を調 整する真空吸着パッドにおいて、環状ワークと棒状ワークの正確な位置合わせが 可能である。 As described above, according to the vacuum suction pad of the present invention, there are a rod-shaped work piece that adsorbs an annular work, which is an object to be adsorbed, and a vacuum suction pad that adjusts the position of the inner diameter of the annular work. It is possible to accurately align the annular work and the rod-shaped work.
【図１】本考案の真空吸着パッドを示す概念図である。FIG. 1 is a conceptual view showing a vacuum suction pad of the present invention.
【図２】本考案の実施例１の真空吸着パッドを示す一部
縦断正面図である。FIG. 2 is a partially longitudinal front view showing the vacuum suction pad according to the first embodiment of the present invention.
【図３】実施例１のモニタ１９の画面状態を示す図であ
る。FIG. 3 is a diagram showing a screen state of the monitor 19 according to the first embodiment.
【図４】本考案の実施例２の真空吸着パッドを示す一部
縦断正面図である。FIG. 4 is a partially longitudinal front view showing a vacuum suction pad according to a second embodiment of the present invention.
【図５】実施例２のモニタ１９の画面状態を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing a screen state of a monitor 19 according to the second embodiment.
【図６】本考案の実施例３の真空吸着パッドを示す一部
縦断正面図である。FIG. 6 is a partially longitudinal front view showing a vacuum suction pad according to a third embodiment of the present invention.
【図７】従来の真空吸着パッドを示す縦断面図である。FIG. 7 is a vertical sectional view showing a conventional vacuum suction pad.
１ 棒状ワーク ２ 環状ワーク ３ 内径 ４，４１，４２ 真空吸引通路 ５，５１，５３ 穴 ６，６１，６２ パッド ７，７２，７３ 蓋 ８ ステージ ９ 真空源 １０ 観察手段 １２，２２ 穴 １４ ＸＹステージ １７，２６ 真空ポンプ １８ カメラ １９ モニタ ８１ 移動ステージ 1 rod-shaped work 2 annular work 3 inner diameter 4,41,42 vacuum suction passage 5,51,53 hole 6,61,62 pad 7,72,73 lid 8 stage 9 vacuum source 10 observation means 12, 22 hole 14 XY stage 17 , 26 Vacuum pump 18 Camera 19 Monitor 81 Moving stage
Claims (1)
記環状ワークの内径に合う棒状ワークと、前記環状ワー
クの内径の位置とを調整する真空吸着パッドにおいて、
真空吸引通路を有しかつ前記環状ワークの内径がパッド
の上から見えるように穴を形成したパッドと、前記パッ
ドの真空吸引通路の一端においてパッドとの間で不要な
空気のもれを防ぐようにシールされかつ前記環状ワーク
の内径がパッドの穴を通して見えるような蓋と、前記環
状ワークの内径に合う棒状ワークと前記環状ワークの内
径の位置とを調整可能なステージと、前記パッドの真空
吸引通路を介して環状ワークを真空吸着する真空源とを
具備したことを特徴とする真空吸着パッド。1. A vacuum suction pad for adsorbing an annular work, which is an object to be adsorbed, and adjusting the position of the inner diameter of the annular work and the rod-like work that fits the inner diameter of the annular work,
To prevent unnecessary leakage of air between a pad having a vacuum suction passage and a hole formed so that the inner diameter of the annular work can be seen from above the pad, and the pad at one end of the vacuum suction passage of the pad. A lid that is sealed to the inner diameter of the annular work and can be seen through the hole of the pad, a stage that can adjust the position of the rod-shaped work that matches the inner diameter of the annular work and the inner diameter of the annular work, and vacuum suction of the pad. A vacuum suction pad comprising: a vacuum source for vacuum-sucking an annular work through a passage.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2375693U JP2567433Y2 (en) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | Vacuum suction pad |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2375693U JP2567433Y2 (en) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | Vacuum suction pad |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0675629U true JPH0675629U (en) | 1994-10-25 |
| JP2567433Y2 JP2567433Y2 (en) | 1998-04-02 |
Family
ID=12119179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2375693U Expired - Lifetime JP2567433Y2 (en) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | Vacuum suction pad |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2567433Y2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013173191A (en) * | 2012-02-23 | 2013-09-05 | Seiko Epson Corp | Robot apparatus, robot control apparatus, robot control method, and robot control program |
| JP2014193511A (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Fujitsu Ltd | Article fitting device and article fitting method |
| CN107187684A (en) * | 2017-06-30 | 2017-09-22 | 东莞三润田智能科技股份有限公司 | Vacuum labels head |
-
1993
- 1993-04-09 JP JP2375693U patent/JP2567433Y2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013173191A (en) * | 2012-02-23 | 2013-09-05 | Seiko Epson Corp | Robot apparatus, robot control apparatus, robot control method, and robot control program |
| JP2014193511A (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Fujitsu Ltd | Article fitting device and article fitting method |
| CN107187684A (en) * | 2017-06-30 | 2017-09-22 | 东莞三润田智能科技股份有限公司 | Vacuum labels head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2567433Y2 (en) | 1998-04-02 |
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