JPH0671895A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
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- JPH0671895A JPH0671895A JP23019992A JP23019992A JPH0671895A JP H0671895 A JPH0671895 A JP H0671895A JP 23019992 A JP23019992 A JP 23019992A JP 23019992 A JP23019992 A JP 23019992A JP H0671895 A JPH0671895 A JP H0671895A
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- Japan
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- photosensitive resin
- ink
- recording head
- jet recording
- ink jet
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 反応性ガスとの接触により表面改質され、耐
インク性が向上した感光性樹脂をインク流路に用いるこ
とで、寿命、信頼性が向上したインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法を提供する。 【構成】 インクジェット記録ヘッドのノズルプレート
１、及び振動板４上に弱アルカリ現像タイプの感光性樹
脂層５、６を形成、露光後、弱アルカリ水溶液で現像し
てインク流路を形成し、感光性樹脂層５、６を活性化し
た反応性ガスと接触させて表面改質した後、ノズルプレ
ート１上の感光性樹脂層５と、振動板４上の感光性樹脂
層６を接着する。
インク性が向上した感光性樹脂をインク流路に用いるこ
とで、寿命、信頼性が向上したインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法を提供する。 【構成】 インクジェット記録ヘッドのノズルプレート
１、及び振動板４上に弱アルカリ現像タイプの感光性樹
脂層５、６を形成、露光後、弱アルカリ水溶液で現像し
てインク流路を形成し、感光性樹脂層５、６を活性化し
た反応性ガスと接触させて表面改質した後、ノズルプレ
ート１上の感光性樹脂層５と、振動板４上の感光性樹脂
層６を接着する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録装置
に用いられるインクジェット記録ヘッドの製造方法に関
する。
に用いられるインクジェット記録ヘッドの製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般的なインクジェット記録ヘッドは、
ガラス板の研削加工、ガラスのエッチング加工、感光性
ガラスのエッチング加工、樹脂の射出成形等によってイ
ンク流路を形成している。また、記録密度が高いインク
ジェット記録ヘッドを製造する場合は、特公平２−４２
６７０号公報に見られるように、インク流路を感光性樹
脂の硬化層によって形成する方法が知られている。
ガラス板の研削加工、ガラスのエッチング加工、感光性
ガラスのエッチング加工、樹脂の射出成形等によってイ
ンク流路を形成している。また、記録密度が高いインク
ジェット記録ヘッドを製造する場合は、特公平２−４２
６７０号公報に見られるように、インク流路を感光性樹
脂の硬化層によって形成する方法が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のガ
ラス板の研削加工、ガラスのエッチング加工、感光性ガ
ラスのエッチング、樹脂の射出成形等の方法は、歩留ま
りが低い、加工精度が低く二次加工が必要、材料及び加
工コストが高い、高記録密度化が難しいという課題を有
していた。
ラス板の研削加工、ガラスのエッチング加工、感光性ガ
ラスのエッチング、樹脂の射出成形等の方法は、歩留ま
りが低い、加工精度が低く二次加工が必要、材料及び加
工コストが高い、高記録密度化が難しいという課題を有
していた。
【０００４】これらの課題を解決するため、フォトリソ
グラフィ技術を応用し、感光性樹脂の硬化層によってイ
ンク流路を形成する方法が発明された。この方法で用い
る感光性樹脂は、塩素系溶剤や引火性溶剤によって現像
するタイプのものである。しかし塩素系溶剤は、オゾン
層破壊や地下水汚染など環境問題のために将来廃止とな
る見通しで、長期間にわたっての使用は不可能である。
また引火性溶剤を用いる場合は、防爆設備を設置する必
要があるという課題を有していた。
グラフィ技術を応用し、感光性樹脂の硬化層によってイ
ンク流路を形成する方法が発明された。この方法で用い
る感光性樹脂は、塩素系溶剤や引火性溶剤によって現像
するタイプのものである。しかし塩素系溶剤は、オゾン
層破壊や地下水汚染など環境問題のために将来廃止とな
る見通しで、長期間にわたっての使用は不可能である。
また引火性溶剤を用いる場合は、防爆設備を設置する必
要があるという課題を有していた。
【０００５】これに対し、水溶液現像タイプの感光性樹
脂を用いた場合、現像液は水または弱アルカリ水溶液な
ので環境問題が少ない、防爆設備が不要であるという利
点がある。ところが水溶液現像タイプの感光性樹脂は、
弱アルカリ水溶液または水で現像できる樹脂構造、例え
ばベース樹脂へカルボキシル基を付加させた構造をして
おり、耐インク性が劣る。そのためインクジェット記録
ヘッドの構造材として使用できないという課題があっ
た。
脂を用いた場合、現像液は水または弱アルカリ水溶液な
ので環境問題が少ない、防爆設備が不要であるという利
点がある。ところが水溶液現像タイプの感光性樹脂は、
弱アルカリ水溶液または水で現像できる樹脂構造、例え
ばベース樹脂へカルボキシル基を付加させた構造をして
おり、耐インク性が劣る。そのためインクジェット記録
ヘッドの構造材として使用できないという課題があっ
た。
【０００６】そのうえ水溶液現像タイプの感光性樹脂
は、一般に使用後剥離することが前提であるので、基板
と樹脂の密着が悪く、耐インク性を評価中に基板と樹脂
の間で剥離した。またカップリング剤を基板と樹脂の界
面に塗布して密着性の改善を図っても、カップリング剤
自身の耐インク性や樹脂の応力によって、耐インク性試
験の後、基板とカップリング剤の界面から剥離した。
は、一般に使用後剥離することが前提であるので、基板
と樹脂の密着が悪く、耐インク性を評価中に基板と樹脂
の間で剥離した。またカップリング剤を基板と樹脂の界
面に塗布して密着性の改善を図っても、カップリング剤
自身の耐インク性や樹脂の応力によって、耐インク性試
験の後、基板とカップリング剤の界面から剥離した。
【０００７】本発明は、以上記した課題を解決するもの
でありその目的は、反応性ガスとの接触により表面改質
され、耐インク性が向上した水溶液現像タイプの感光性
樹脂をインク流路に用いることで、寿命、信頼性が向上
したインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するこ
とである。
でありその目的は、反応性ガスとの接触により表面改質
され、耐インク性が向上した水溶液現像タイプの感光性
樹脂をインク流路に用いることで、寿命、信頼性が向上
したインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するこ
とである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドの製造方法は、感光性樹脂により形成される
インクジェット記録ヘッドのインク流路、キャビティー
の表面を反応性ガスと接触反応させたことを特徴とす
る。
記録ヘッドの製造方法は、感光性樹脂により形成される
インクジェット記録ヘッドのインク流路、キャビティー
の表面を反応性ガスと接触反応させたことを特徴とす
る。
【０００９】また、前記感光性樹脂がアルカリ現像タイ
プであることを特徴とする。
プであることを特徴とする。
【００１０】また、前記反応性ガスが酸素ガスを活性化
したガスであることを特徴とする。
したガスであることを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明の水溶液現像タイプ感光性樹脂構造体の
表面改質に関するメカニズムは、反応性ガスが感光性樹
脂の重合反応を進行させ、耐インク性を向上させたと思
われる。特にオゾンを反応性ガスとした場合、感光性樹
脂では、
表面改質に関するメカニズムは、反応性ガスが感光性樹
脂の重合反応を進行させ、耐インク性を向上させたと思
われる。特にオゾンを反応性ガスとした場合、感光性樹
脂では、
【００１２】
【化１】
【００１３】または
【００１４】
【化２】
【００１５】または
【００１６】
【化３】
【００１７】のように重合反応が進行すると考えられ
る。
る。
【００１８】ガスの活性化方法は、コロナ放電、プラズ
マ励起または紫外線照射励起法などがあり、ガスの種類
は、酸素のみならず窒素、二酸化炭素、一酸化炭素、四
弗化炭素等もあり、いずれのガス及びガスの励起方法で
も本発明の目的を達成することができる。特に紫外線照
射による酸素の活性化は、約２５０ｎｍ以下の波長によ
り、酸素を原子状に分解し、酸化力の強いオゾンへ変化
するメカニズムを利用している。ただし、本発明の効果
は、ここに挙げたガスの種類、ガスの活性化方法に限定
されることはない。
マ励起または紫外線照射励起法などがあり、ガスの種類
は、酸素のみならず窒素、二酸化炭素、一酸化炭素、四
弗化炭素等もあり、いずれのガス及びガスの励起方法で
も本発明の目的を達成することができる。特に紫外線照
射による酸素の活性化は、約２５０ｎｍ以下の波長によ
り、酸素を原子状に分解し、酸化力の強いオゾンへ変化
するメカニズムを利用している。ただし、本発明の効果
は、ここに挙げたガスの種類、ガスの活性化方法に限定
されることはない。
【００１９】
【実施例】以下実施例により、本発明を詳細に説明す
る。
る。
【００２０】（実施例１）図１から図７は、本発明の第
１の実施例におけるインクジェット記録ヘッドの製造工
程順の斜視図である。
１の実施例におけるインクジェット記録ヘッドの製造工
程順の斜視図である。
【００２１】図１のノズルプレート１には所定部にイン
ク吐出孔２及び、接着時の位置合わせマーク３が設置さ
れる。また図２の振動板４には接着時の位置合わせマー
ク３が設置される。振動板４にはヘッド完成後、インク
に液滴発生、飛翔のエネルギーを与えるピエゾ素子など
の能動素子が取り付けられる。ノズルプレート１及び振
動板４上に図３、図４のように弱アルカリ現像タイプの
感光性樹脂層５、６を形成する。本実施例の樹脂層は、
ドライフィルムをラミネートすることによって形成した
が、水溶液現像タイプ液状レジストのスピンコート等、
他の適当な方法によって形成し得る。
ク吐出孔２及び、接着時の位置合わせマーク３が設置さ
れる。また図２の振動板４には接着時の位置合わせマー
ク３が設置される。振動板４にはヘッド完成後、インク
に液滴発生、飛翔のエネルギーを与えるピエゾ素子など
の能動素子が取り付けられる。ノズルプレート１及び振
動板４上に図３、図４のように弱アルカリ現像タイプの
感光性樹脂層５、６を形成する。本実施例の樹脂層は、
ドライフィルムをラミネートすることによって形成した
が、水溶液現像タイプ液状レジストのスピンコート等、
他の適当な方法によって形成し得る。
【００２２】次に感光性樹脂層５、６を露光後、１％炭
酸ナトリウム水溶液によって現像し、図５、図６のよう
にノズルプレート側と振動板側それぞれのインク流路構
造７、８及びインク供給部９を形成した。
酸ナトリウム水溶液によって現像し、図５、図６のよう
にノズルプレート側と振動板側それぞれのインク流路構
造７、８及びインク供給部９を形成した。
【００２３】これらの構造体を反応性ガス雰囲気中に放
置し、表面改質を行った。表１は表面改質処理の条件で
ある。
置し、表面改質を行った。表１は表面改質処理の条件で
ある。
【００２４】
【表１】
【００２５】試料１から試料１０は（株）サムコインタ
ーナショナル研究所製のオゾン処理装置を用いて表面改
質を実施した。また、比較試料として表２の条件でヘッ
ドを作製した。インク流路形成後に、処理を施さずに作
製したヘッドが比較試料１であり、表面改質処理を施す
代わりに、紫外線を照射して作製したヘッドが比較試料
２である。
ーナショナル研究所製のオゾン処理装置を用いて表面改
質を実施した。また、比較試料として表２の条件でヘッ
ドを作製した。インク流路形成後に、処理を施さずに作
製したヘッドが比較試料１であり、表面改質処理を施す
代わりに、紫外線を照射して作製したヘッドが比較試料
２である。
【００２６】
【表２】
【００２７】表面改質処理は、次の接着工程の後でイン
ク吐出孔２またはインク供給部９から反応性ガスを送り
込む方法で行っても良い。
ク吐出孔２またはインク供給部９から反応性ガスを送り
込む方法で行っても良い。
【００２８】次に図７のように感光性樹脂層５、６を接
着剤、融着などの方法により、位置合わせマーク３を合
わせて接着した。
着剤、融着などの方法により、位置合わせマーク３を合
わせて接着した。
【００２９】以上のように表面改質処理を施して作製し
たヘッドと、表面改質をしないで作製したヘッドを、摂
氏７０度のインクジェットプリンター用インクに１５日
間浸漬して耐インク性の評価を行った。表３は感光性樹
脂層の変形、膨潤、剥離が全く見られない場合「○」、
感光性樹脂層の変形、膨潤、剥離が一部に見られる場合
「△」、感光性樹脂層が変形、膨潤、剥離してしまった
場合「×」として評価した結果である。
たヘッドと、表面改質をしないで作製したヘッドを、摂
氏７０度のインクジェットプリンター用インクに１５日
間浸漬して耐インク性の評価を行った。表３は感光性樹
脂層の変形、膨潤、剥離が全く見られない場合「○」、
感光性樹脂層の変形、膨潤、剥離が一部に見られる場合
「△」、感光性樹脂層が変形、膨潤、剥離してしまった
場合「×」として評価した結果である。
【００３０】
【表３】
【００３１】未処理のヘッドはノズルプレートおよび振
動板から樹脂層が剥離したり、樹脂層の膨潤、変形がみ
られた。これに対し表面改質したヘッドは剥離、変形、
膨潤などが全く見られず、表面改質処理の効果が確認さ
れた。
動板から樹脂層が剥離したり、樹脂層の膨潤、変形がみ
られた。これに対し表面改質したヘッドは剥離、変形、
膨潤などが全く見られず、表面改質処理の効果が確認さ
れた。
【００３２】また酸素を活性化したガスを用いて表面改
質処理を行ったヘッドでは、樹脂表層の酸素含有量が、
樹脂内部に比べて多かった。
質処理を行ったヘッドでは、樹脂表層の酸素含有量が、
樹脂内部に比べて多かった。
【００３３】ところで、本発明は水溶液現像タイプの感
光性樹脂全般に効果があり、本実施例に用いた弱アルカ
リ現像タイプの感光性樹脂に限定されるものではない。
光性樹脂全般に効果があり、本実施例に用いた弱アルカ
リ現像タイプの感光性樹脂に限定されるものではない。
【００３４】（実施例２）図８から図１４は、本発明の
第２の実施例におけるインクジェット記録ヘッドの製造
工程順の斜視図である。
第２の実施例におけるインクジェット記録ヘッドの製造
工程順の斜視図である。
【００３５】図８の下地基板１０および図９の振動板１
２上には、接着時の位置合わせマーク１１が設置され
る。振動板１２にはヘッド完成後、インクに液滴発生、
飛翔のエネルギーを与えるピエゾ素子などの能動素子が
取り付けられる。下地基板１０及び振動板１２上に図１
０、図１１のように弱アルカリ現像タイプの感光性樹脂
層１３、１４を形成する。
２上には、接着時の位置合わせマーク１１が設置され
る。振動板１２にはヘッド完成後、インクに液滴発生、
飛翔のエネルギーを与えるピエゾ素子などの能動素子が
取り付けられる。下地基板１０及び振動板１２上に図１
０、図１１のように弱アルカリ現像タイプの感光性樹脂
層１３、１４を形成する。
【００３６】次に感光性樹脂層１３、１４を露光後、１
％炭酸ナトリウム水溶液によって現像し、図１２、図１
３のように下地基板側、振動板側それぞれのインク流路
構造１５、１６、インク吐出部１７及びインク供給部１
８を形成した。
％炭酸ナトリウム水溶液によって現像し、図１２、図１
３のように下地基板側、振動板側それぞれのインク流路
構造１５、１６、インク吐出部１７及びインク供給部１
８を形成した。
【００３７】これらの構造体を反応性ガス雰囲気中に放
置し、表面改質を行った。表４は表面改質処理の条件で
ある。
置し、表面改質を行った。表４は表面改質処理の条件で
ある。
【００３８】
【表４】
【００３９】試料１から試料１０は（株）サムコインタ
ーナショナル研究所製のオゾン処理装置を用いて表面改
質を実施した。また、比較試料として表５の条件でヘッ
ドを作製した。インク流路形成後に、処理を施さずに作
製したヘッドが比較試料１であり、表面改質処理を施す
代わりに、紫外線を照射して作製したヘッドが比較試料
２である。
ーナショナル研究所製のオゾン処理装置を用いて表面改
質を実施した。また、比較試料として表５の条件でヘッ
ドを作製した。インク流路形成後に、処理を施さずに作
製したヘッドが比較試料１であり、表面改質処理を施す
代わりに、紫外線を照射して作製したヘッドが比較試料
２である。
【００４０】
【表５】
【００４１】表面改質処理は、次の接着工程の後でイン
ク吐出部１７、またはインク供給部１８から反応性ガス
を送り込む方法で行っても良い。
ク吐出部１７、またはインク供給部１８から反応性ガス
を送り込む方法で行っても良い。
【００４２】次に図１４のように感光性樹脂層１３、１
４を接着剤、融着などの方法により、位置合わせマーク
１１を合わせて接着した。
４を接着剤、融着などの方法により、位置合わせマーク
１１を合わせて接着した。
【００４３】以上のように表面改質処理を施して作製し
たヘッドと表面改質をしないで作製したヘッドを、摂氏
７０度のインクジェットプリンター用インクに１５日間
浸漬して耐インク性の評価を行った。表４は感光性樹脂
層の変形、膨潤、剥離が全く見られない場合「○」、感
光性樹脂層の変形、膨潤、剥離が一部に見られる場合
「△」、感光性樹脂層が変形、膨潤、剥離してしまった
場合「×」として評価した結果である。
たヘッドと表面改質をしないで作製したヘッドを、摂氏
７０度のインクジェットプリンター用インクに１５日間
浸漬して耐インク性の評価を行った。表４は感光性樹脂
層の変形、膨潤、剥離が全く見られない場合「○」、感
光性樹脂層の変形、膨潤、剥離が一部に見られる場合
「△」、感光性樹脂層が変形、膨潤、剥離してしまった
場合「×」として評価した結果である。
【００４４】
【表６】
【００４５】未処理のヘッドは下地基板および振動板か
ら樹脂層が剥離したり、樹脂層の膨潤、変形がみられ
た。これに対し表面改質したヘッドは剥離、変形、膨潤
などが全く見られず、表面改質処理の効果が確認され
た。
ら樹脂層が剥離したり、樹脂層の膨潤、変形がみられ
た。これに対し表面改質したヘッドは剥離、変形、膨潤
などが全く見られず、表面改質処理の効果が確認され
た。
【００４６】また酸素を活性化したガスを用いて表面改
質処理を行ったヘッドでは、樹脂表層の酸素含有量が、
樹脂内部に比べて多かった。
質処理を行ったヘッドでは、樹脂表層の酸素含有量が、
樹脂内部に比べて多かった。
【００４７】ところで、本発明は水溶液現像タイプの感
光性樹脂全般に効果があり、弱アルカリ現像タイプの感
光性樹脂に限定されるものではない。
光性樹脂全般に効果があり、弱アルカリ現像タイプの感
光性樹脂に限定されるものではない。
【００４８】
【発明の効果】以上記したように本発明は、反応性ガス
との接触により表面改質されて耐インク性が向上した水
溶液現像タイプの感光性樹脂を、インクジェット記録ヘ
ッド内部のインク流路構造の一部または全てに使用する
ことで、樹脂の膨潤、変形等が見られず、ヘッド寿命を
飛躍的に向上させる事ができた。また表面改質処理を施
した水溶液現像タイプの感光性樹脂を使用するため、塩
素系溶剤、引火性溶剤を使うことなく、安全にインクジ
ェット記録ヘッドを製造することができた。また、驚く
べきことに活性化ガス処理により、感光性樹脂と感光性
樹脂以外の部品間の密着力が高められ、製造過程での部
品の欠落防止や、完成後のインクジェット記録ヘッドの
信頼性が向上するという効果を示した。
との接触により表面改質されて耐インク性が向上した水
溶液現像タイプの感光性樹脂を、インクジェット記録ヘ
ッド内部のインク流路構造の一部または全てに使用する
ことで、樹脂の膨潤、変形等が見られず、ヘッド寿命を
飛躍的に向上させる事ができた。また表面改質処理を施
した水溶液現像タイプの感光性樹脂を使用するため、塩
素系溶剤、引火性溶剤を使うことなく、安全にインクジ
ェット記録ヘッドを製造することができた。また、驚く
べきことに活性化ガス処理により、感光性樹脂と感光性
樹脂以外の部品間の密着力が高められ、製造過程での部
品の欠落防止や、完成後のインクジェット記録ヘッドの
信頼性が向上するという効果を示した。
【図１】本発明の第１の実施例におけるノズルプレート
の斜視図。
の斜視図。
【図２】本発明の第１の実施例における振動板の斜視
図。
図。
【図３】本発明の第１の実施例におけるノズルプレート
上に弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層形成後の斜視
図。
上に弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層形成後の斜視
図。
【図４】本発明の第１の実施例における振動板上に弱ア
ルカリ現像タイプ感光性樹脂層形成後の斜視図。
ルカリ現像タイプ感光性樹脂層形成後の斜視図。
【図５】本発明の第１の実施例におけるノズルプレート
上の感光性樹脂層現像後の斜視図。
上の感光性樹脂層現像後の斜視図。
【図６】本発明の第１の実施例における振動板上の感光
性樹脂層現像後の斜視図。
性樹脂層現像後の斜視図。
【図７】本発明の第１の実施例におけるノズルプレート
上及び振動板上の感光性樹脂層接着後の斜視図。
上及び振動板上の感光性樹脂層接着後の斜視図。
【図８】本発明の第２の実施例における下地基板の斜視
図。
図。
【図９】本発明の第２の実施例における振動板の斜視
図。
図。
【図１０】本発明の第２の実施例における下地基板上に
弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層形成後の斜視図。
弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層形成後の斜視図。
【図１１】本発明の第２の実施例における振動板上に弱
アルカリ現像タイプ感光性樹脂層形成後の斜視図。
アルカリ現像タイプ感光性樹脂層形成後の斜視図。
【図１２】本発明の第２の実施例における下地基板上の
感光性樹脂層現像後の斜視図。
感光性樹脂層現像後の斜視図。
【図１３】本発明の第２の実施例における振動板上の感
光性樹脂層現像後の斜視図。
光性樹脂層現像後の斜視図。
【図１４】本発明の第２の実施例における下地基板上及
び振動板上の感光性樹脂層接着後の斜視図。
び振動板上の感光性樹脂層接着後の斜視図。
１ ノズルプレート ２ インク吐出孔 ３ 位置合わせマーク ４ 振動板 ５ ノズルプレート上弱アルカリ現像タイプ感光性樹
脂層 ６ 振動板上弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層 ７ ノズルプレート側インク流路構造 ８ 振動板側インク流路構造 ９ インク供給部 １０ 下地基板 １１ 位置合わせマーク １２ 振動板 １３ 下地基板上弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層 １４ 振動板上弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層 １５ 下地基板側インク流路構造 １６ 振動板側インク流路構造 １７ インク吐出部 １８ インク供給部
脂層 ６ 振動板上弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層 ７ ノズルプレート側インク流路構造 ８ 振動板側インク流路構造 ９ インク供給部 １０ 下地基板 １１ 位置合わせマーク １２ 振動板 １３ 下地基板上弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層 １４ 振動板上弱アルカリ現像タイプ感光性樹脂層 １５ 下地基板側インク流路構造 １６ 振動板側インク流路構造 １７ インク吐出部 １８ インク供給部
Claims (3)
- 【請求項１】 感光性樹脂により形成されるインクジェ
ット記録ヘッドのインク流路、キャビティーの表面を反
応性ガスと接触反応させたことを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記感光性樹脂がアルカリ現像タイプで
あることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記
録ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記反応性ガスが酸素ガスを活性化した
ガスであることを特徴とする請求項１記載のインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23019992A JPH0671895A (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23019992A JPH0671895A (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0671895A true JPH0671895A (ja) | 1994-03-15 |
Family
ID=16904136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23019992A Pending JPH0671895A (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0671895A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0752830A (ja) * | 1994-03-22 | 1995-02-28 | Iseki & Co Ltd | トラクタのフェンダ |
| US6186618B1 (en) | 1997-01-24 | 2001-02-13 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printer head and method for manufacturing same |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP23019992A patent/JPH0671895A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0752830A (ja) * | 1994-03-22 | 1995-02-28 | Iseki & Co Ltd | トラクタのフェンダ |
| US6186618B1 (en) | 1997-01-24 | 2001-02-13 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printer head and method for manufacturing same |
| US6491384B2 (en) | 1997-01-24 | 2002-12-10 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printer head |
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