JPH0669737A - Microwave semiconductor amplifier - Google Patents

Microwave semiconductor amplifier

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JPH0669737A
JPH0669737A JP21905692A JP21905692A JPH0669737A JP H0669737 A JPH0669737 A JP H0669737A JP 21905692 A JP21905692 A JP 21905692A JP 21905692 A JP21905692 A JP 21905692A JP H0669737 A JPH0669737 A JP H0669737A
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元 豊嶋
Yasuyuki Ito
康之 伊藤
Sunao Takagi
直 高木
Kiyoharu Kiyono
清春 清野
Masahiko Funada
雅彦 舟田
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Abstract

PURPOSE:To obtain the microwave semiconductor amplifier of a high gain and high output by dividing the gate electrode and the drain electrode of FET into plural number and setting the division number of the gate electrodes to be larger than the division number of the drain electrodes. CONSTITUTION:In the microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor(FET), the gate electrodes 2 and the drain electrodes 3 of FET 1 where the number of gate fingers is increased and gate width is increased are divided into the plural electrodes lest the RF signals of the adjacent electrodes are mutually transmitted, and the division number of the gate electrodes 2 is made larger than the division number of the drain electrodes 3. The phases of the RF signals transmitted through the gate electrodes 2 become the same in the case when they pass through the center part of FET 1 and the case when they pass through a peripheral part, and they are efficiently synthesized. A synthesis circuit on an output-side becomes small, the loss of the synthesis circuit can be reduced and high output can be obtained by the high gain by making the division number of the drain electrodes 3 to be smaller than the division number of the gate electrodes 2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、衛星通信、地上マイ
クロ波通信、移動体通信等に使用する準マイクロ波、マ
イクロ波帯の半導体増幅器に関するものであり、さらに
詳しくは高利得、高出力なマイクロ波半導体増幅器を提
供するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a quasi-microwave or microwave band semiconductor amplifier used for satellite communication, terrestrial microwave communication, mobile communication, etc., and more particularly to high gain and high output. A microwave semiconductor amplifier is provided.

【0002】[0002]

【従来の技術】準マイクロ波、マイクロ波帯の各種通信
装置の送信機には電界効果トランジスタ(以下、FET
と略す)を用いた高出力のマイクロ波半導体増幅器がよ
く用いられる。このマイクロ波半導体増幅器には高利
得、高出力が要求される。図5は、特開平1−2067
10号公報「マイクロ波集積回路」に示された従来の高
出力用のFETである。図において、1はFET、2は
ゲート電極、3はドレイン電極である。
2. Description of the Related Art Field effect transistors (hereinafter referred to as FETs) are used in transmitters of various communication devices in the quasi-microwave and microwave bands.
High-power microwave semiconductor amplifiers are often used. This microwave semiconductor amplifier is required to have high gain and high output. FIG. 5 shows Japanese Patent Laid-Open No. 1-2067.
This is a conventional high output FET shown in No. 10 publication "Microwave integrated circuit". In the figure, 1 is a FET, 2 is a gate electrode, and 3 is a drain electrode.

【0003】次に動作について説明する。入力端子から
入力されたRF信号はゲート電極2によりFET1の各
ゲートフィンガーに分配され、FET1により増幅され
る。増幅された信号はドレイン電極3により合成されて
出力端子より取り出される。
Next, the operation will be described. The RF signal input from the input terminal is distributed to each gate finger of the FET 1 by the gate electrode 2 and amplified by the FET 1. The amplified signals are combined by the drain electrode 3 and taken out from the output terminal.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】各種通信装置の送信機
に用いるマイクロ波半導体増幅器では高利得、高出力な
性能が要求される。FETを用いたマイクロ波半導体増
幅器では高出力を得るためにFETのゲートフィンガー
の数をふやし、ゲート幅を増加させることが行われる。
その結果、FETのゲートフィンガーに垂直な方向の長
さが増大し、ゲート電極を伝搬するRF信号の位相がF
ETの中央部を通る場合と周辺部を通る場合で異なって
くる。このため、信号の合成が効率よく行われなくなり
利得が低下する。加えて、ゲート幅を増大することによ
り、ゲート側のインピーダンスが低くなり、整合が難し
くなるという問題があった。
Microwave semiconductor amplifiers used in transmitters of various communication devices are required to have high gain and high output performance. In a microwave semiconductor amplifier using a FET, the number of gate fingers of the FET is increased to increase the gate width in order to obtain a high output.
As a result, the length of the FET in the direction perpendicular to the gate finger is increased, and the phase of the RF signal propagating through the gate electrode is F.
It differs when passing through the central part of ET and when passing through the peripheral part. Therefore, the signals are not efficiently combined and the gain is reduced. In addition, increasing the gate width lowers the impedance on the gate side, making matching difficult.

【0005】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、高利得、高出力なマイクロ波半
導体増幅器を提供するものである。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and provides a high gain and high output microwave semiconductor amplifier.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1のマイクロ波半
導体増幅器は、電界効果トランジスタを用いたマイクロ
波半導体増幅器において、電界効果トランジスタのゲー
ト電極およびドレイン電極を複数に分割し、かつ、ゲー
ト電極の分割数をドレイン電極の分割数より多くしたも
のである。
A microwave semiconductor amplifier according to claim 1 is a microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor, wherein a gate electrode and a drain electrode of the field effect transistor are divided into a plurality of parts, and the gate electrode is The number of divisions is larger than the number of divisions of the drain electrode.

【0007】請求項2のマイクロ波半導体増幅器は、電
界効果トランジスタを用いたマイクロ波半導体増幅器に
おいて、電界効果トランジスタのゲート電極およびドレ
イン電極を複数に分割し、分割した電極の所定の隣合う
電極と電極の間に抵抗を設けたものである。
A microwave semiconductor amplifier according to a second aspect of the present invention is a microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor, wherein a gate electrode and a drain electrode of the field effect transistor are divided into a plurality of parts, and the divided electrodes are provided with predetermined adjacent electrodes. A resistor is provided between the electrodes.

【0008】請求項3のマイクロ波半導体増幅器は、電
界効果トランジスタを用いたマイクロ波半導体増幅器に
おいて、電界効果トランジスタのゲートフィンガーの長
さを変え、入力信号のゲート電極からドレイン電極への
経路差による位相の変化量の差を補償するものである。
A microwave semiconductor amplifier according to a third aspect of the present invention is a microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor, wherein a length of a gate finger of the field effect transistor is changed and a path difference of an input signal from a gate electrode to a drain electrode is caused. This is to compensate for the difference in the amount of phase change.

【0009】[0009]

【作用】以上のように構成された請求項1のマイクロ波
半導体増幅器においては、ゲート電極を分割することに
より、ゲート電極を伝搬するRF信号の位相がFETの
中央部を通る場合と周辺部を通る場合とでほぼ同位相と
なり、効率よく信号が合成される。それに加え、分割さ
れた各ゲート電極から見たFETのインピーダンスが高
くなるため整合しやすくなり、高利得なマイクロ波半導
体増幅器を実現できる。また、ドレイン電極の分割数を
ゲート電極の分割数より少なくすることにより、出力側
の合成回路が小形となるため、合成回路の損失を低減で
き、出力の低下も少なくなり、高利得で、高出力なマイ
クロ波半導体増幅器を実現できる。
In the microwave semiconductor amplifier of the first aspect of the present invention configured as described above, the gate electrode is divided so that the phase of the RF signal propagating through the gate electrode passes through the central portion of the FET and the peripheral portion. The signals have almost the same phase when they pass, and the signals are efficiently combined. In addition, the impedance of the FET as viewed from each of the divided gate electrodes becomes high, which facilitates matching and realizes a high-gain microwave semiconductor amplifier. Also, by making the number of divisions of the drain electrode smaller than the number of divisions of the gate electrode, the size of the synthesis circuit on the output side becomes smaller, so the loss of the synthesis circuit can be reduced, the output drop is reduced, and the high gain, high An output microwave semiconductor amplifier can be realized.

【0010】また、以上のように構成された請求項2の
マイクロ波半導体増幅器においては、隣り合った電極に
つながるFETの特性に多少のバラツキがあった場合に
その特性の差を電極と電極の間に設けた抵抗により吸収
することができ、小形で高利得、高出力な安定して動作
するマイクロ波半導体増幅器を実現することができる。
In the microwave semiconductor amplifier according to the second aspect of the present invention configured as described above, when there is some variation in the characteristics of the FETs connected to the adjacent electrodes, the difference in the characteristics is calculated between the electrodes. It is possible to realize a small-sized microwave semiconductor amplifier which can be absorbed by a resistor provided therebetween and which stably operates with high gain and high output.

【0011】さらに、以上のように構成された請求項3
のマイクロ波半導体増幅器においては、電界効果トラン
ジスタのゲートフィンガーの長さを変え、ゲート電極の
中心部、FETの中心部、ドレイン電極の中心部を通る
RF信号の位相の変化量と、ゲート電極の周辺部、FE
Tの周辺部、ドレイン電極の周辺部を通るRF信号の経
路差による位相の変化量の差を補償して位相の変化量を
ほぼ同じになるようにすることにより、効率よく信号が
合成され、高利得、高出力なマイクロ波半導体増幅器を
実現できる。
Further, claim 3 configured as described above
In the microwave semiconductor amplifier of, the length of the gate finger of the field effect transistor is changed to change the phase of the RF signal passing through the center of the gate electrode, the center of the FET, and the center of the drain electrode, and the gate electrode. Peripheral area, FE
By compensating for the difference in the amount of change in the phase due to the difference in the path of the RF signal passing through the peripheral portion of T and the peripheral portion of the drain electrode so that the amount of change in the phase becomes approximately the same, the signals are efficiently combined, A high gain and high output microwave semiconductor amplifier can be realized.

【0012】[0012]

【実施例】実施例1.図1はこの発明のマイクロ波半導
体増幅器に用いるFETの一実施例の構成図である。図
において、1はFET、2はゲート電極、3はドレイン
電極である。FETのゲートフィンガーの数をふやしゲ
ート幅を増大させたFETのゲートおよびドレイン電極
を、隣り合った電極のRF信号が、互いに伝搬し合わな
いようにして数個の電極に分割している。また、ゲート
電極2の分割数をドレイン電極3の分割数より多くして
いる。
EXAMPLES Example 1. FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of an FET used in the microwave semiconductor amplifier of the present invention. In the figure, 1 is a FET, 2 is a gate electrode, and 3 is a drain electrode. The gate and drain electrodes of the FET whose gate width is increased by increasing the number of gate fingers of the FET are divided into several electrodes so that RF signals of adjacent electrodes do not propagate to each other. Further, the number of divisions of the gate electrode 2 is made larger than the number of divisions of the drain electrode 3.

【0013】次に動作について説明する。分配され、各
ゲート電極2に入力したRF信号は、FET1のゲート
フィンガーに入力される。その分配されたRF信号はF
ET1でそれぞれほぼ同じ位相で増幅される。増幅され
たRF信号はドレイン電極3で合成され、さらに外部の
出力回路でそれぞれのドレイン電極3からの出力が合成
され、出力端子より出力される。
Next, the operation will be described. The RF signal distributed and input to each gate electrode 2 is input to the gate finger of the FET 1. The distributed RF signal is F
The signals are amplified by ET1 in substantially the same phase. The amplified RF signals are combined by the drain electrode 3, and the outputs from the respective drain electrodes 3 are combined by an external output circuit, and output from the output terminal.

【0014】図2はFETの電極を分割しないFET、
ゲート電極を分割したFET、ゲート電極、ドレイン電
極を同じ数で分割したFETをそれぞれモデル化し、そ
のモデルを用いたFETの最大有能電力利得を計算した
一例を示す。図2から電極を分割するとFETの最大有
能電力利得が改善されることがわかる。また、ゲート電
極とともにドレイン電極を分割しても利得にほとんど差
が生じない。このようにゲート電極およびドレイン電極
を分割することによりゲート電極からドレイン電極への
経路差による位相の変化量の差が小さくなり、増幅され
るRF信号はほぼ同じ位相で増幅され、効率よく信号が
合成されると共に、各ゲート電極から見たFETのイン
ピーダンスが高くなるため整合を行いやすくなり、高利
得なマイクロ波半導体増幅器を実現できる。
FIG. 2 shows a FET in which the electrodes of the FET are not divided,
An example of calculating the maximum available power gain of the FET using the model in which the FET in which the gate electrode is divided and the FET in which the gate electrode and the drain electrode are divided in the same number is modeled is shown. It can be seen from FIG. 2 that splitting the electrodes improves the maximum available power gain of the FET. Further, even if the drain electrode is divided together with the gate electrode, there is almost no difference in gain. By dividing the gate electrode and the drain electrode in this way, the difference in the amount of change in the phase due to the difference in the path from the gate electrode to the drain electrode is reduced, and the amplified RF signal is amplified in substantially the same phase, and the signal is efficiently generated. Since the impedances of the FETs as viewed from the respective gate electrodes are increased while being synthesized, matching is facilitated, and a high gain microwave semiconductor amplifier can be realized.

【0015】また、ドレイン電極の分割数を多くする
と、FETの出力回路に電力合成回路がその分多く必要
になるため、電力合成回路の損失により出力電力が劣化
する問題がある。そのため、ドレイン電極の分割数をゲ
ート電極の分割数より少なくすることにより電力合成回
路が小形になり電力合成回路の損失も少なくなり、高利
得で高出力なマイクロ波半導体増幅器を実現することが
できる効果がある。
Further, if the number of divisions of the drain electrode is increased, a larger amount of power combining circuit is required for the output circuit of the FET, so that there is a problem that the output power is deteriorated due to the loss of the power combining circuit. Therefore, by making the number of divisions of the drain electrode smaller than the number of divisions of the gate electrode, the power combining circuit becomes smaller, the loss of the power combining circuit is reduced, and a high gain and high output microwave semiconductor amplifier can be realized. effective.

【0016】なお、本実施例で示した図1では、ゲート
電極とドレイン電極の分割の割合を2:1で示している
が、もちろん、ゲート電極の分割数がドレイン電極の分
割数より多ければどのような割合で分割しても構わな
い。
In FIG. 1 shown in this embodiment, the ratio of division of the gate electrode and the drain electrode is shown as 2: 1. Of course, if the division number of the gate electrode is larger than the division number of the drain electrode. It may be divided at any ratio.

【0017】実施例2.FETを製作する場合、同一の
ウェハ上でも位置により特性がばらつくことがある。こ
れがゲート幅を増大させて長くなったFETでは、隣り
合った電極につながるFETの特性にも多少のばらつき
がある場合がある。この様な場合には、その特性の差が
FETの安定動作など特性に影響することがある。
Example 2. When manufacturing a FET, the characteristics may vary depending on the position even on the same wafer. In an FET in which the gate width is increased and the length is increased, there may be some variations in the characteristics of the FET connected to adjacent electrodes. In such a case, the difference in the characteristics may affect the characteristics such as the stable operation of the FET.

【0018】図3はこの発明のマイクロ波半導体増幅器
の他の実施例を示すマイクロ波半導体増幅器に用いるF
ETの構成図である。このFETでは複数に分割された
ゲート電極2の各電極の間に抵抗4を設けたものであ
る。このように隣り合ったゲート電極2の間に抵抗4を
設けることにより隣り合ったFETの特性の差は抵抗4
に吸収され、FETは安定な動作を行うことができる。
この抵抗4をFETを作る過程において、薄膜抵抗など
で同時に作りこむことにより小形で、安定な動作をする
マイクロ波半導体増幅器を実現できる効果がある。ま
た、図3においては抵抗4をゲート電極2にのみ設けた
例を示したが、抵抗4をドレイン電極3側に設けても同
様の効果がある。
FIG. 3 shows another embodiment of the microwave semiconductor amplifier according to the present invention.
It is a block diagram of ET. In this FET, a resistor 4 is provided between each electrode of the gate electrode 2 divided into a plurality of parts. By providing the resistor 4 between the adjacent gate electrodes 2 in this way, the difference in characteristics between the adjacent FETs is
Is absorbed by the FET, and the FET can perform stable operation.
By simultaneously forming the resistor 4 with a thin film resistor or the like in the process of forming the FET, it is possible to realize a small-sized microwave semiconductor amplifier which operates stably. Although FIG. 3 shows an example in which the resistor 4 is provided only on the gate electrode 2, the same effect can be obtained by providing the resistor 4 on the drain electrode 3 side.

【0019】実施例3.図4はこの発明のマイクロ波半
導体増幅器のさらに他の実施例を示すマイクロ波半導体
増幅器に用いるFETの構成図である。このFETはF
ET1の中心部と周辺部とでゲートフィンガー5の長さ
を異なるようにしたものである。マイクロ波のRF信号
の位相の変化量は、ゲート電極2とドレイン電極3の電
極部分とFET1のゲートフィンガー5とでは異なる。
そこで図4(b)のようにRF信号が中心部を通過した
ときの位相の変化量(θ1+θ2+θ3)と、周辺部を
通過した場合の変化量(θ´1+θ´2+θ´3)が等
しくなるようにゲートフィンガーの長さと、電極の長さ
を設定することにより、効率よく信号の合成が行われ、
高利得、高出力なマイクロ波半導体増幅器が実現できる
効果がある。
Example 3. FIG. 4 is a constitutional view of an FET used in a microwave semiconductor amplifier showing still another embodiment of the microwave semiconductor amplifier of the present invention. This FET is F
The length of the gate finger 5 is different between the central portion and the peripheral portion of the ET1. The amount of change in the phase of the RF signal of the microwave differs between the electrode portions of the gate electrode 2 and the drain electrode 3 and the gate finger 5 of the FET 1.
Therefore, as shown in FIG. 4B, the phase change amount (θ1 + θ2 + θ3) when the RF signal passes through the central portion and the change amount (θ′1 + θ′2 + θ′3) when passing the peripheral portion are equal. By setting the length of the gate finger and the length of the electrode at, signal synthesis is performed efficiently,
There is an effect that a high gain and high output microwave semiconductor amplifier can be realized.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1のマイク
ロ波半導体増幅器によれば、FETのゲート電極および
ドレイン電極を分割すると共に、ゲート電極の分割数を
ドレイン電極の分割数より多くすることにより、出力側
の合成回路が小形になり、合成回路の損失を低減できる
ので、高利得で、高出力なマイクロ波半導体増幅器が得
られる。
As described above, according to the microwave semiconductor amplifier of the first aspect, the gate electrode and the drain electrode of the FET are divided, and the number of divisions of the gate electrode is made larger than the number of divisions of the drain electrode. As a result, the synthesis circuit on the output side becomes smaller and the loss of the synthesis circuit can be reduced, so that a microwave semiconductor amplifier with high gain and high output can be obtained.

【0021】請求項2のマイクロ波半導体増幅器によれ
ば、分割した電極の所定の隣合う電極と電極の間に抵抗
を設けたので、隣合うFETの特性の差は抵抗に吸収さ
れ、FETが安定な動作を行うことができるので、高利
得、高出力な安定して動作をするマイクロ波半導体増幅
器が得られる。
According to the microwave semiconductor amplifier of the second aspect, since the resistance is provided between the predetermined adjacent electrodes of the divided electrodes and the electrodes, the difference in the characteristics of the adjacent FETs is absorbed by the resistance, and the FETs are Since stable operation can be performed, a microwave semiconductor amplifier with high gain and high output that operates stably can be obtained.

【0022】請求項3のマイクロ波半導体増幅器によれ
ば、電界効果トランジスタのゲートフィンガーの長さを
変え、入力信号のゲート電極からドレイン電極への経路
差による位相の変化量の差を補償するので、効率よく信
号の合成が行われ、高利得、高出力なマイクロ波半導体
増幅器が得られる。
According to the microwave semiconductor amplifier of the third aspect, the length of the gate finger of the field effect transistor is changed to compensate for the difference in the amount of change in the phase due to the path difference of the input signal from the gate electrode to the drain electrode. Thus, the signals are efficiently combined, and a high gain and high output microwave semiconductor amplifier can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例1を示すマイクロ波半導体増
幅器に用いるFETの構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of an FET used in a microwave semiconductor amplifier showing a first embodiment of the present invention.

【図2】この発明の実施例1の効果を示すFETの最大
有能電力利得計算結果である。
FIG. 2 is a result of calculation of the maximum available power gain of the FET showing the effect of the first embodiment of the present invention.

【図3】この発明の実施例2を示すマイクロ波半導体増
幅器に用いるFETの構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram of an FET used in a microwave semiconductor amplifier showing a second embodiment of the present invention.

【図4】この発明の実施例3を示すマイクロ波半導体増
幅器に用いるFETの構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram of an FET used in a microwave semiconductor amplifier showing a third embodiment of the present invention.

【図5】従来のマイクロ波半導体増幅器に用いるFET
の構成図である。
FIG. 5: FET used in a conventional microwave semiconductor amplifier
It is a block diagram of.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 電界効果トランジスタ(FET) 2 ゲート電極 3 ドレイン電極 4 抵抗 5 ゲートフィンガー 1 Field Effect Transistor (FET) 2 Gate Electrode 3 Drain Electrode 4 Resistor 5 Gate Finger

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成5年1月11日[Submission date] January 11, 1993

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【書類名】 明細書[Document name] Statement

【発明の名称】 マイクロ波半導体増幅器Title: Microwave semiconductor amplifier

【特許請求の範囲】[Claims]

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、衛星通信、地上マイ
クロ波通信、移動体通信等に使用する準マイクロ波、マ
イクロ波帯の半導体増幅器に関するものであり、さらに
詳しくは高利得、高出力なマイクロ波半導体増幅器を提
供するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a quasi-microwave or microwave band semiconductor amplifier used for satellite communication, terrestrial microwave communication, mobile communication, etc., and more particularly to high gain and high output. A microwave semiconductor amplifier is provided.

【0002】[0002]

【従来の技術】準マイクロ波、マイクロ波帯の各種通信
装置の送信機には電解効果トランジスタ(以下、FET
と略す)を用いた高出力のマイクロ波半導体増幅器がよ
く用いられる。このマイクロ波半導体増幅器には高利
得、高出力が要求される。図5は、特開平1−2067
10公報”マイクロ波集積回路”に示された従来の高出
力ようのFETである。この図において1はFET、2
はゲート電極、3はドレイン電極である。
2. Description of the Related Art Field effect transistors (hereinafter referred to as FETs) are used as transmitters for various quasi-microwave and microwave band communication devices.
High-power microwave semiconductor amplifiers are often used. This microwave semiconductor amplifier is required to have high gain and high output. FIG. 5 shows Japanese Patent Laid-Open No. 1-2067.
This is a conventional high-output FET as shown in "Microwave Integrated Circuit" of Japanese Unexamined Patent Publication No. In this figure, 1 is a FET, 2
Is a gate electrode, and 3 is a drain electrode.

【0003】次に動作について説明する。入力端子から
入力されたRF信号はゲート電極2によりFET1の各
ゲートフィンガーに分配され、FET1により増幅され
る。増幅された信号はドレイン電極3により合成されて
出力端子より取り出される。
Next, the operation will be described. The RF signal input from the input terminal is distributed to each gate finger of the FET 1 by the gate electrode 2 and amplified by the FET 1. The amplified signals are combined by the drain electrode 3 and taken out from the output terminal.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】各種通信装置の送信機
に用いるマイクロ波半導体増幅器では高利得、高出力な
性能が要求される。FETを用いたマイクロ波半導体増
幅器では高出力を得るためにFETのゲートフィンガー
の数をふやし、ゲート幅を増加させることが行われる。
その結果、FETのゲートフィンガーに垂直な方向の長
さが増大し、ゲート電極を伝搬するRF信号の位相がF
ETの中央部を通る場合と周辺部を通る場合で異なって
くる。このため、信号の合成が効率よく行われなくなり
利得が低下する。加えて、ゲート幅を増大することによ
り、ゲート側のインピーダンスが低くなり、整合が難し
くなるという問題があった。
Microwave semiconductor amplifiers used in transmitters of various communication devices are required to have high gain and high output performance. In a microwave semiconductor amplifier using a FET, the number of gate fingers of the FET is increased to increase the gate width in order to obtain a high output.
As a result, the length of the FET in the direction perpendicular to the gate finger is increased, and the phase of the RF signal propagating through the gate electrode is F.
It differs when passing through the central part of ET and when passing through the peripheral part. Therefore, the signals are not efficiently combined and the gain is reduced. In addition, increasing the gate width lowers the impedance on the gate side, making matching difficult.

【0005】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、高利得、高出力なマイクロ波半
導体増幅器を提供するものである。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and provides a high gain and high output microwave semiconductor amplifier.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1のマイクロ波半
導体増幅器は、電解効果トランジスタを用いたマイクロ
波半導体増幅器において、電解効果トランジスタのゲー
ト電極およびドレイン電極を複数に分割し、かつ、ゲー
ト電極の分割数をドレイン電極の分割数より多くしたも
のである。
A microwave semiconductor amplifier according to claim 1 is a microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor, wherein a gate electrode and a drain electrode of the field effect transistor are divided into a plurality of parts, and the gate electrode is The number of divisions is larger than the number of divisions of the drain electrode.

【0007】請求項2のマイクロ波半導体増幅器は、電
解効果トランジスタを用いたマイクロ波半導体増幅器に
おいて、電解効果トランジスタのゲート電極およびドレ
イン電極を複数に分割し、かつ、ゲート電極の分割数を
ドレイン電極の分割数より多くし、さらにその分割した
電極の所定の隣合う電極と電極の間に抵抗を設けたもの
である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor, wherein the gate electrode and the drain electrode of the field effect transistor are divided into a plurality of parts, and the number of divisions of the gate electrode is the drain electrode. The number of divisions is greater than the number of divisions, and a resistor is provided between the electrodes and a predetermined adjacent electrode of the divided electrodes.

【0008】請求項3のマイクロ波半導体増幅器は、電
解効果トランジスタを用いたマイクロ波半導体増幅器に
おいて、電解効果トランジスタのゲートフィンガーの長
さを変え、入力信号のゲート電極からドレイン電極への
経路差による位相の変化量の差を補償するものである。
A microwave semiconductor amplifier according to a third aspect of the present invention is a microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor, wherein a length of a gate finger of the field effect transistor is changed, and a path difference of an input signal from a gate electrode to a drain electrode is caused. This is to compensate for the difference in the amount of phase change.

【0009】[0009]

【作用】以上のように構成された請求項1のマイクロ波
半導体増幅器においては、ゲート電極を分割することに
より、ゲート電極を伝搬するRF信号の位相がFETの
中央部を通る場合と周辺部を通る場合とでほぼ同位相と
なり、効率よく信号が合成される。それに加え、分割さ
れた各ゲート電極から見たFETのインピーダンスが高
くなるため整合しやすくなり、高利得なマイクロ波半導
体増幅器を実現できる。また、ドレイン電極の分割数を
ゲート電極の分割数より少なくすることにより、出力側
の合成回路が小形となるため、合成回路の損失を低減で
き、出力の低下も少なくなり、高利得で、高出力なマイ
クロ波半導体増幅器を実現できる。
In the microwave semiconductor amplifier of the first aspect of the present invention configured as described above, the gate electrode is divided so that the phase of the RF signal propagating through the gate electrode passes through the central portion of the FET and the peripheral portion. The signals have almost the same phase when they pass, and the signals are efficiently combined. In addition, the impedance of the FET as viewed from each of the divided gate electrodes becomes high, which facilitates matching and realizes a high-gain microwave semiconductor amplifier. Also, by making the number of divisions of the drain electrode smaller than the number of divisions of the gate electrode, the size of the synthesis circuit on the output side becomes smaller, so the loss of the synthesis circuit can be reduced, the output drop is reduced, and the high gain, high An output microwave semiconductor amplifier can be realized.

【0010】また、以上のように構成された請求項2の
マイクロ波半導体増幅器においては、隣あった電極につ
ながるFETの特性に多少のバラツキがあった場合にそ
の特性の差を電極と電極の間に設けた抵抗により吸収す
ることができ、小形で高利得、高出力な安定して動作す
るマイクロ波半導体増幅器を実現することができる。
Further, in the microwave semiconductor amplifier of the present invention configured as described above, when there is some variation in the characteristics of the FETs connected to the adjacent electrodes, the difference between the characteristics is determined by the difference between the electrodes. It is possible to realize a small-sized microwave semiconductor amplifier which can be absorbed by a resistor provided therebetween and which stably operates with high gain and high output.

【0011】さらに、以上のように構成された請求項3
のマイクロ波半導体増幅器においては、電解効果トラン
ジスタのゲートフィンガーの長さを変え、ゲート電極の
中心部、FETの中心部、ドレイン電極の中心部を通る
RF信号の位相の変化量と、ゲート電極の周辺部、FE
Tの周辺部、ドレイン電極の周辺部を通るRF信号の経
路差による位相の変化量の差を補償して位相の変化量を
ほぼ同じになるようにすることにより、効率よく信号が
合成され、高利得、高出力なマイクロ波半導体増幅器を
実現できる。
Further, claim 3 configured as described above
In the microwave semiconductor amplifier of, the length of the gate finger of the field effect transistor is changed and the amount of change in the phase of the RF signal passing through the center of the gate electrode, the center of the FET and the center of the drain electrode and the gate electrode Peripheral area, FE
By compensating for the difference in the amount of change in the phase due to the difference in the path of the RF signal passing through the peripheral portion of T and the peripheral portion of the drain electrode so that the amount of change in the phase becomes approximately the same, the signals are efficiently combined, A high gain and high output microwave semiconductor amplifier can be realized.

【0012】[0012]

【実施例】実施例1.図1はこの発明のマイクロ波半導
体増幅器に用いるFETの一実施例の構成図である。図
において、1はFET、2はゲート電極、3はドレイン
電極である。FETのゲートフィンガーの数をふやしゲ
ート幅を増大させたFETのゲートおよびドレイン電極
を、隣り合った電極のRF信号が、互いに伝搬し合わな
いようにして数個の電極に分割している。また、ゲート
電極2の分割数をドレイン電極3の分割数より多くして
いる。
EXAMPLES Example 1. FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of an FET used in the microwave semiconductor amplifier of the present invention. In the figure, 1 is a FET, 2 is a gate electrode, and 3 is a drain electrode. The gate and drain electrodes of the FET whose gate width is increased by increasing the number of gate fingers of the FET are divided into several electrodes so that RF signals of adjacent electrodes do not propagate to each other. Further, the number of divisions of the gate electrode 2 is made larger than the number of divisions of the drain electrode 3.

【0013】次に動作について説明する。分配され、各
ゲート電極2に入力したRF信号は、FET1のゲート
フィンガーに入力される。その分配されたRF信号はF
ET1でそれぞれほぼ同じ位相で増幅される。増幅され
たRF信号はドレイン電極3で合成され、さらに外部の
出力回路でそれぞれのドレイン電極3からの出力が合成
され、出力端子より出力される。
Next, the operation will be described. The RF signal distributed and input to each gate electrode 2 is input to the gate finger of the FET 1. The distributed RF signal is F
The signals are amplified by ET1 in substantially the same phase. The amplified RF signals are combined by the drain electrode 3, and the outputs from the respective drain electrodes 3 are combined by an external output circuit, and output from the output terminal.

【0014】図2はFETの電極を分割しないFET、
ゲート電極を分割したFET、ゲート電極、ドレイン電
極を同じ数で分割したFETをそれぞれモデル化し、そ
のモデルを用いたFETの最大有能電力利得の計算の一
例を示す。図2から電極を分割するとFETの最大有能
電力利得が改善されることがわかる。また、ゲート電極
とともにドレイン電極を分割しても利得にほとんど差が
生じない。このようにゲート電極およびドレイン電極を
分割することによりゲート電極からドレイン電極への経
路差による位相の変化量の差が小さくなり、増幅される
RF信号はほぼ同じ位相で増幅され、効率よく信号が合
成されると共に、各ゲート電極から見たFETのインピ
ーダンスが高くなるため整合を行いやすくなり、高利得
なマイクロ波半導体増幅器を実現できる。
FIG. 2 shows a FET in which the electrodes of the FET are not divided,
An example of calculating the maximum available power gain of the FET using the model in which the FET in which the gate electrode is divided and the FET in which the gate electrode and the drain electrode are divided by the same number is modeled is shown. It can be seen from FIG. 2 that splitting the electrodes improves the maximum available power gain of the FET. Further, even if the drain electrode is divided together with the gate electrode, there is almost no difference in gain. By dividing the gate electrode and the drain electrode in this way, the difference in the amount of change in the phase due to the difference in the path from the gate electrode to the drain electrode is reduced, and the amplified RF signal is amplified in substantially the same phase, and the signal is efficiently generated. Since the impedances of the FETs as viewed from the respective gate electrodes are increased while being synthesized, matching is facilitated, and a high gain microwave semiconductor amplifier can be realized.

【0015】また、ドレイン電極の分割数を多くする
と、FETの出力回路に電力合成回路がその分多く必要
になるため、電力合成回路の損失により出力電力が劣化
する問題がある。そのため、ドレイン電極の分割数をゲ
ート電極の分割数より少なくすることにより電力合成回
路が小形になり電力合成回路の損失も少なくなり、高利
得で高出力なマイクロ波半導体増幅器を実現することが
できる効果がある。
Further, if the number of divisions of the drain electrode is increased, a larger amount of power combining circuit is required for the output circuit of the FET, so that there is a problem that the output power is deteriorated due to the loss of the power combining circuit. Therefore, by making the number of divisions of the drain electrode smaller than the number of divisions of the gate electrode, the power combining circuit becomes smaller, the loss of the power combining circuit is reduced, and a high gain and high output microwave semiconductor amplifier can be realized. effective.

【0016】なお、本実施例で示した図1では、ゲート
電極とドレイン電極の分割の割合を2:1で示している
が、もちろん、ゲート電極の分割数がドレイン電極の分
割数より多ければどのような割合で分割しても構わな
い。
In FIG. 1 shown in this embodiment, the ratio of division of the gate electrode and the drain electrode is shown as 2: 1. Of course, if the division number of the gate electrode is larger than the division number of the drain electrode. It may be divided at any ratio.

【0017】実施例2.FETを製作する場合、同一の
ウェハ上でも位置により特性がばらつくことがある。こ
れがゲート幅を増大させて長くなったFETでは、隣り
合った電極につながるFETの特性にも多少のばらつき
がある場合がある。この様な場合には、その特性の差が
FETの安定動作など特性に影響することがある。
Example 2. When manufacturing a FET, the characteristics may vary depending on the position even on the same wafer. In an FET in which the gate width is increased and the length is increased, there may be some variations in the characteristics of the FET connected to adjacent electrodes. In such a case, the difference in the characteristics may affect the characteristics such as the stable operation of the FET.

【0018】図3はこの発明のマイクロ波半導体増幅器
の他の実施例を示すマイクロ波半導体増幅器に用いるF
ETの構成図である。このFETでは複数に分割された
ゲート電極2の各電極の間に抵抗4を設けたものであ
る。このように隣り合ったゲート電極2の間に抵抗4を
設けることにより隣り合ったFETの特性の差は抵抗4
に吸収され、FETは安定な動作を行うことができる。
この抵抗4をFETを作る過程において、薄膜抵抗など
で同時に作りこむことにより小形で、安定な動作をする
マイクロ波半導体増幅器を実現できる効果がある。ま
た、図3においては抵抗4をゲート電極2にのみ設けた
例を示したが、抵抗4をドレイン電極3側に設けても同
様の効果がある。
FIG. 3 shows another embodiment of the microwave semiconductor amplifier according to the present invention.
It is a block diagram of ET. In this FET, a resistor 4 is provided between each electrode of the gate electrode 2 divided into a plurality of parts. By providing the resistor 4 between the adjacent gate electrodes 2 in this way, the difference in characteristics between the adjacent FETs is
Is absorbed by the FET, and the FET can perform stable operation.
By simultaneously forming the resistor 4 with a thin film resistor or the like in the process of forming the FET, it is possible to realize a small-sized microwave semiconductor amplifier which operates stably. Although FIG. 3 shows an example in which the resistor 4 is provided only on the gate electrode 2, the same effect can be obtained by providing the resistor 4 on the drain electrode 3 side.

【0019】実施例3.図4はこの発明のマイクロ波半
導体増幅器のさらに他の実施例を示すマイクロ波半導体
増幅器に用いるFETの構成図である。このFETはF
ET1の中心部と周辺部でゲートフィンガー5の長さを
異なるようにしたものである。マイクロ波のRF信号の
位相の変化量は、ゲート電極2とドレイン電極3の電極
部分とFET1のゲートフィンガー5とでは異なる。そ
こで図4(b)のようにRF信号が中心部を通過したと
きの位相の変化量(θ1+θ2+θ3)と、周辺部を通
過した場合の変化量(θ’1+θ’2+θ’3)が等し
くなるようにゲートフィンガーの長さと、電極の長さを
設定することにより、効率よく信号の合成が行われ、高
利得、高出力なマイクロ波半導体増幅器が実現できる効
果がある。
Example 3. FIG. 4 is a constitutional view of an FET used in a microwave semiconductor amplifier showing still another embodiment of the microwave semiconductor amplifier of the present invention. This FET is F
The length of the gate finger 5 is different between the central portion and the peripheral portion of ET1. The amount of change in the phase of the RF signal of the microwave differs between the electrode portions of the gate electrode 2 and the drain electrode 3 and the gate finger 5 of the FET 1. Therefore, as shown in FIG. 4B, the amount of change in phase when the RF signal passes through the central portion (θ1 + θ2 + θ3) and the amount of change when passing through the peripheral portion (θ′1 + θ′2 + θ′3) become equal. By setting the length of the gate fingers and the length of the electrodes, the signals can be efficiently combined, and a high gain and high output microwave semiconductor amplifier can be realized.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1のマイク
ロ波半導体増幅器によれば、FETのゲート電極および
ドレイン電極を複数に分割すると共に、ゲート電極の分
割数をドレイン電極の分割数より多くすることにより、
出力側の合成回路が小形になり、合成回路の損失を提言
できるので、高利得で、高出力なマイクロ波半導体増幅
器が得られる。
As described above, according to the microwave semiconductor amplifier of the first aspect, the gate electrode and the drain electrode of the FET are divided into a plurality of pieces, and the number of divisions of the gate electrode is larger than the number of divisions of the drain electrode. By doing
Since the synthesis circuit on the output side becomes smaller and the loss of the synthesis circuit can be proposed, a microwave semiconductor amplifier with high gain and high output can be obtained.

【0021】請求項2のマイクロ波半導体増幅器によれ
ば、FETのゲート電極およびドレイン電極を複数に分
割すると共に、ゲート電極の分割数をドレイン電極の分
割数より多くし、さらにその分割した電極の所定の隣合
う電極と電極の間に抵抗を設けたので、隣合うFETの
特性の差は抵抗に吸収され、FETが安定な動作を行う
ことができるので、小形で高利得、高出力な安定して動
作をするマイクロ波半導体増幅器が得られる。
According to another aspect of the microwave semiconductor amplifier of the present invention, the gate electrode and the drain electrode of the FET are divided into a plurality of pieces, and the number of divisions of the gate electrode is made larger than the number of divisions of the drain electrode. Since a resistor is provided between the predetermined adjacent electrodes, the difference in the characteristics of the adjacent FETs is absorbed by the resistors, and the FETs can perform stable operation. Therefore, a small size, high gain, and high output stability A microwave semiconductor amplifier that operates in this way is obtained.

【0022】請求項3のマイクロ波半導体増幅器によれ
ば、FETのゲートフィンガーの長さを変え、入力信号
のゲート電極からドレイン電極への経路差による位相の
変化量の差を補償するので、効率よく信号の合成が行わ
れ、高利得、高出力なマイクロ波半導体増幅器が得られ
る。
According to the microwave semiconductor amplifier of the third aspect of the present invention, the length of the gate finger of the FET is changed to compensate for the difference in the amount of phase change due to the path difference of the input signal from the gate electrode to the drain electrode. Signals are often synthesized, and a high gain, high output microwave semiconductor amplifier can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例1を示すマイクロ波半導体増
幅器に用いるFETの構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of an FET used in a microwave semiconductor amplifier showing a first embodiment of the present invention.

【図2】この発明の実施例1の効果を示すFETの最大
有能電力利得の計算結果である。
FIG. 2 is a calculation result of the maximum available power gain of the FET showing the effect of the first embodiment of the present invention.

【図3】この発明の実施例2を示すマイクロ波半導体増
幅器に用いるFETの構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram of an FET used in a microwave semiconductor amplifier showing a second embodiment of the present invention.

【図4】この発明の実施例3を示すマイクロ波半導体増
幅器に用いるFETの構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram of an FET used in a microwave semiconductor amplifier showing a third embodiment of the present invention.

【図5】従来のマイクロ波半導体増幅器に用いるFET
の構成図である。
FIG. 5: FET used in a conventional microwave semiconductor amplifier
It is a block diagram of.

【符号の説明】 1 電解効果トランジスタ(FET) 2 ゲート電極 3 ドレイン電極 4 抵抗 5 ゲートフィンガー[Explanation of symbols] 1 field effect transistor (FET) 2 gate electrode 3 drain electrode 4 resistance 5 gate finger

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清野 清春 鎌倉市上町屋325番地 三菱電機株式会社 鎌倉製作所内 (72)発明者 舟田 雅彦 鎌倉市上町屋325番地 三菱電機株式会社 鎌倉製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Kiyoharu Kiyono, 325 Kamimachiya, Kamakura City, Mitsubishi Electric Corporation Kamakura Factory (72) Masahiko Funada, 325, Kamimachiya, Kamakura City Mitsubishi Electric Corporation, Kamakura Factory

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電界効果トランジスタを用いたマイクロ
波半導体増幅器において、電界効果トランジスタのゲー
ト電極およびドレイン電極を複数に分割し、かつ、ゲー
ト電極の分割数をドレイン電極の分割数より多くしたこ
とを特徴とするマイクロ波半導体増幅器。
1. In a microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor, the gate electrode and the drain electrode of the field effect transistor are divided into a plurality of pieces, and the number of divisions of the gate electrode is larger than the number of divisions of the drain electrode. Characteristic microwave semiconductor amplifier.
【請求項2】 電界効果トランジスタを用いたマイクロ
波半導体増幅器において、電界効果トランジスタのゲー
ト電極およびドレイン電極を複数に分割し、分割した電
極の所定の隣合う電極と電極の間に抵抗を設けたことを
特徴とするマイクロ波半導体増幅器。
2. In a microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor, a gate electrode and a drain electrode of the field effect transistor are divided into a plurality of pieces, and a resistor is provided between a predetermined adjacent electrode of the divided electrodes and the electrode. A microwave semiconductor amplifier characterized in that
【請求項3】 電界効果トランジスタを用いたマイクロ
波半導体増幅器において、電界効果トランジスタのゲー
トフィンガーの長さを変え、入力信号のゲート電極から
ドレイン電極への経路差による位相の変化量の差を補償
することを特徴とするマイクロ波半導体増幅器。
3. In a microwave semiconductor amplifier using a field effect transistor, the length of the gate finger of the field effect transistor is changed to compensate for the difference in the amount of phase change due to the path difference of the input signal from the gate electrode to the drain electrode. A microwave semiconductor amplifier characterized by:
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