JPH06679A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- JPH06679A JPH06679A JP4159810A JP15981092A JPH06679A JP H06679 A JPH06679 A JP H06679A JP 4159810 A JP4159810 A JP 4159810A JP 15981092 A JP15981092 A JP 15981092A JP H06679 A JPH06679 A JP H06679A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 内部に第１ミラー２８が配設された第１ミラ
ー台車１４を、Ｙ軸方向に駆動可能に設ける一方、加工
ヘッド１２の上方に、ＸＹ平面に垂直なＺ軸方向に駆動
可能に、内部に第２ミラー３０が配設された第２ミラー
台車１８を設ける。そして、加工ヘッド１２をＹ軸方向
に移動させる際には、該加工ヘッド１２の移動量に応じ
て、第１ミラー台車１４及び第２ミラー台車１８を移動
させ、レーザ発振器２０から加工ヘッド１２に至る光路
長が常に一定となるように制御する。このとき、Ｘ軸方
向視における三角形ＡＢＣが常に相似な直角三角形とな
るように、第１ミラー台車１４及び第２ミラー台車１８
を移動させる。 【効果】 加工範囲の全範囲に渡って加工ヘッド１２の
位置によらず、光路長を一定にすることができ、エネル
ギー密度の変化しない、安定したレーザ加工を行うこと
ができる。しかも、レーザ発振器２０から加工ヘッド１
２に至るまでの光路において、ミラーの使用枚数を少な
くできるので、レーザーパワーの伝達効率がよい。
ー台車１４を、Ｙ軸方向に駆動可能に設ける一方、加工
ヘッド１２の上方に、ＸＹ平面に垂直なＺ軸方向に駆動
可能に、内部に第２ミラー３０が配設された第２ミラー
台車１８を設ける。そして、加工ヘッド１２をＹ軸方向
に移動させる際には、該加工ヘッド１２の移動量に応じ
て、第１ミラー台車１４及び第２ミラー台車１８を移動
させ、レーザ発振器２０から加工ヘッド１２に至る光路
長が常に一定となるように制御する。このとき、Ｘ軸方
向視における三角形ＡＢＣが常に相似な直角三角形とな
るように、第１ミラー台車１４及び第２ミラー台車１８
を移動させる。 【効果】 加工範囲の全範囲に渡って加工ヘッド１２の
位置によらず、光路長を一定にすることができ、エネル
ギー密度の変化しない、安定したレーザ加工を行うこと
ができる。しかも、レーザ発振器２０から加工ヘッド１
２に至るまでの光路において、ミラーの使用枚数を少な
くできるので、レーザーパワーの伝達効率がよい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ光を利用して
金属板、プラスチック板等の被加工物を加工するレーザ
加工装置に関する。
金属板、プラスチック板等の被加工物を加工するレーザ
加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】従来、この種のレーザ加工
装置の一つとして、ヘッド固定型のレーザ加工装置があ
る。このヘッド固定型のレーザ加工装置は、レーザ光を
発振するレーザ発振器と、該レーザ発振器からのレーザ
光を集光して被加工物に照射する集光光学器を有する加
工ヘッドとを備え、前記加工ヘッドを固定して被加工物
を移動させることにより、被加工物の切断加工等を行う
ものである。
装置の一つとして、ヘッド固定型のレーザ加工装置があ
る。このヘッド固定型のレーザ加工装置は、レーザ光を
発振するレーザ発振器と、該レーザ発振器からのレーザ
光を集光して被加工物に照射する集光光学器を有する加
工ヘッドとを備え、前記加工ヘッドを固定して被加工物
を移動させることにより、被加工物の切断加工等を行う
ものである。
【０００３】このヘッド固定型のレーザ加工装置におい
ては、レーザ発振器から加工ヘッドまでの光路長が加工
中、常に一定であるため、品質の一定した加工を行うこ
とができるという利点を有する。しかし、その反面、被
加工物を移動させねばならないため、被加工物の４倍の
大きさの作業領域を必要とし、長大な被加工物の加工を
行うのには不向きであるという問題があった。
ては、レーザ発振器から加工ヘッドまでの光路長が加工
中、常に一定であるため、品質の一定した加工を行うこ
とができるという利点を有する。しかし、その反面、被
加工物を移動させねばならないため、被加工物の４倍の
大きさの作業領域を必要とし、長大な被加工物の加工を
行うのには不向きであるという問題があった。
【０００４】これを解決するものとして、被加工物を固
定し、加工ヘッドを移動して該被加工物の加工を行う、
ヘッド移動型のレーザ加工装置があるが、いまだ満足す
べき性能をもつものは得られていない。本発明は、この
ような課題を解決することを目的とするものである。
定し、加工ヘッドを移動して該被加工物の加工を行う、
ヘッド移動型のレーザ加工装置があるが、いまだ満足す
べき性能をもつものは得られていない。本発明は、この
ような課題を解決することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ加工装置
は、Ｘ軸方向に移動可能に設けられた加工機本体と、前
記加工機本体と一体となって前記Ｘ軸上を移動せしめら
れるレーザ発振器と、前記Ｘ軸方向に前記加工機本体と
ともに移動可能に設けられるとともに、前記Ｘ軸方向と
直交するＹ軸方向に移動可能に設けられ、前記レーザ発
振器から出力されて所定方向から入力されたレーザを、
被加工物上に照射する加工ヘッドとを備えたレーザ加工
装置において、前記加工機本体とともに前記Ｘ軸方向に
移動可能に設けられ、所定の傾斜角度を保持したまま、
前記Ｙ軸方向に移動可能に設けられた第１ミラーと、前
記第１ミラーを前記Ｙ軸方向に駆動する第１駆動手段
と、前記加工ヘッドとともに前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸
方向に移動可能に設けられ、所定の傾斜角度を保持した
まま、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向とに直交するＺ軸方
向に移動可能に設けられた第２ミラーと、前記第２ミラ
ーを前記Ｚ軸方向に駆動する第２駆動手段と、前記加工
ヘッドの前記Ｙ軸方向への移動時、Ｘ軸方向視において
前記第１ミラーと前記第２ミラーを結ぶ直線がＸＹ平面
となす角度が常に一定値を保ちつつ、前記レーザ発振器
から前記加工ヘッドに至る光路長が一定となるように前
記第１駆動手段と前記第２駆動手段を駆動制御する制御
手段とを備えたことを特徴とするものである。
は、Ｘ軸方向に移動可能に設けられた加工機本体と、前
記加工機本体と一体となって前記Ｘ軸上を移動せしめら
れるレーザ発振器と、前記Ｘ軸方向に前記加工機本体と
ともに移動可能に設けられるとともに、前記Ｘ軸方向と
直交するＹ軸方向に移動可能に設けられ、前記レーザ発
振器から出力されて所定方向から入力されたレーザを、
被加工物上に照射する加工ヘッドとを備えたレーザ加工
装置において、前記加工機本体とともに前記Ｘ軸方向に
移動可能に設けられ、所定の傾斜角度を保持したまま、
前記Ｙ軸方向に移動可能に設けられた第１ミラーと、前
記第１ミラーを前記Ｙ軸方向に駆動する第１駆動手段
と、前記加工ヘッドとともに前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸
方向に移動可能に設けられ、所定の傾斜角度を保持した
まま、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向とに直交するＺ軸方
向に移動可能に設けられた第２ミラーと、前記第２ミラ
ーを前記Ｚ軸方向に駆動する第２駆動手段と、前記加工
ヘッドの前記Ｙ軸方向への移動時、Ｘ軸方向視において
前記第１ミラーと前記第２ミラーを結ぶ直線がＸＹ平面
となす角度が常に一定値を保ちつつ、前記レーザ発振器
から前記加工ヘッドに至る光路長が一定となるように前
記第１駆動手段と前記第２駆動手段を駆動制御する制御
手段とを備えたことを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】上記構成に係るレーザ加工装置にあっては、レ
ーザ発振器からＹ軸方向に照射されたレーザを第１ミラ
ーで反射させて第２ミラーに導き、さらに第２ミラーで
反射させて加工ヘッドに導き、該加工ヘッドで集光して
被加工物上に照射する。加工ヘッドのＹ軸方向への移動
中、制御手段は、第１の駆動手段及び第２の駆動手段を
駆動して、Ｘ軸方向視において前記第１ミラーと前記第
２ミラーを結ぶ直線がＸＹ平面となす角度が常に一定値
を保ちつつ、前記レーザ発振器から前記加工ヘッドに至
る光路長が一定となるように駆動制御する。
ーザ発振器からＹ軸方向に照射されたレーザを第１ミラ
ーで反射させて第２ミラーに導き、さらに第２ミラーで
反射させて加工ヘッドに導き、該加工ヘッドで集光して
被加工物上に照射する。加工ヘッドのＹ軸方向への移動
中、制御手段は、第１の駆動手段及び第２の駆動手段を
駆動して、Ｘ軸方向視において前記第１ミラーと前記第
２ミラーを結ぶ直線がＸＹ平面となす角度が常に一定値
を保ちつつ、前記レーザ発振器から前記加工ヘッドに至
る光路長が一定となるように駆動制御する。
【０００７】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。図１は本発明の一実施例に係るレーザ加工装
置の側面図であり、図２は同実施例に係るレーザ加工装
置の平面図である。ここで、本明細書において、Ｘ軸方
向とは、被加工物Ｈに対して想定した加工平面上の任意
の一直線の方向をいい、Ｙ軸方向とは、前記加工平面上
の、前記一直線（Ｘ軸）に直交する直線の方向をいい、
Ｚ軸方向とは、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向の双方に直
交する方向、即ちＸＹ平面の垂線の方向をいうものとす
る。
説明する。図１は本発明の一実施例に係るレーザ加工装
置の側面図であり、図２は同実施例に係るレーザ加工装
置の平面図である。ここで、本明細書において、Ｘ軸方
向とは、被加工物Ｈに対して想定した加工平面上の任意
の一直線の方向をいい、Ｙ軸方向とは、前記加工平面上
の、前記一直線（Ｘ軸）に直交する直線の方向をいい、
Ｚ軸方向とは、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向の双方に直
交する方向、即ちＸＹ平面の垂線の方向をいうものとす
る。
【０００８】これらの図において、符号２は加工機本体
であり、Ｘ軸方向に平行に敷設されたレール８上を移動
せしめられるメインフレーム４と、該メインフレーム４
にＹ軸方向と平行に接続されたガーダ６とから構成され
ている。ガーダ６の端部側の一部は、レール８と平行に
設けられたレール１０上を摺動可能となっている。
であり、Ｘ軸方向に平行に敷設されたレール８上を移動
せしめられるメインフレーム４と、該メインフレーム４
にＹ軸方向と平行に接続されたガーダ６とから構成され
ている。ガーダ６の端部側の一部は、レール８と平行に
設けられたレール１０上を摺動可能となっている。
【０００９】前記ガーダ６には、加工ヘッド１２及び第
１ミラー台車１４が、該ガーダ６の側面を走行可能に設
けられている。加工ヘッド１２の側方には、ガーダ６へ
の取付部の上方に、Ｚ軸方向に沿って延びるレール部材
１６が立設され、また、加工ヘッド１２のＺ軸方向の上
方には、第２ミラー台車１８がレール部材１６に沿って
上下動可能に配設されている。
１ミラー台車１４が、該ガーダ６の側面を走行可能に設
けられている。加工ヘッド１２の側方には、ガーダ６へ
の取付部の上方に、Ｚ軸方向に沿って延びるレール部材
１６が立設され、また、加工ヘッド１２のＺ軸方向の上
方には、第２ミラー台車１８がレール部材１６に沿って
上下動可能に配設されている。
【００１０】前記加工ヘッド１２及び第１ミラー台車１
４の内部には、図示されないコントローラに接続された
サーボモータ（図示省略）と、該サーボモータによって
駆動される駆動輪（図示省略）とがそれぞれ配設され、
ガーダ６に沿ってＹ軸方向の任意の位置に駆動可能とな
っている。なお、加工ヘッド１２のＹ軸方向の移動に伴
って、レール部材１６及び第２ミラー台車１８もＹ軸方
向に移動することは勿論である。
４の内部には、図示されないコントローラに接続された
サーボモータ（図示省略）と、該サーボモータによって
駆動される駆動輪（図示省略）とがそれぞれ配設され、
ガーダ６に沿ってＹ軸方向の任意の位置に駆動可能とな
っている。なお、加工ヘッド１２のＹ軸方向の移動に伴
って、レール部材１６及び第２ミラー台車１８もＹ軸方
向に移動することは勿論である。
【００１１】また、前記メインフレーム４の内部にも、
前記コントローラに接続されたサーボモータ（図示省
略）と該サーボモータによって駆動される駆動輪（図示
省略）とが設けられており、これにより加工機本体２
は、レール８に沿ってＸ軸方向の任意の位置に駆動可能
となっている。また、前記第２ミラー台車１８の内部に
は、前記コントローラに接続されたサーボモータと該サ
ーボモータによって駆動されるピニオン（図示省略）と
が設けられ、このピニオンがレール部材１６の内部に設
けられたラック（図示省略）に噛合しており、これによ
り第２ミラー台車１８はレール部材１６に沿ってＺ軸方
向の任意の位置に駆動可能となっている。
前記コントローラに接続されたサーボモータ（図示省
略）と該サーボモータによって駆動される駆動輪（図示
省略）とが設けられており、これにより加工機本体２
は、レール８に沿ってＸ軸方向の任意の位置に駆動可能
となっている。また、前記第２ミラー台車１８の内部に
は、前記コントローラに接続されたサーボモータと該サ
ーボモータによって駆動されるピニオン（図示省略）と
が設けられ、このピニオンがレール部材１６の内部に設
けられたラック（図示省略）に噛合しており、これによ
り第２ミラー台車１８はレール部材１６に沿ってＺ軸方
向の任意の位置に駆動可能となっている。
【００１２】前記メインフレーム４の上部には、図１に
示すように、炭酸ガスレーザ発振器（以下、「発振器」
という。）２０が固設されており、この発振器２０から
照射されたレーザは、同じくメインフレーム４上に固設
された円偏光ミラー２２、反射鏡２４及びレンズ２６を
経て、ガーダ６上を、Ｙ軸方向と平行に直進するように
なっている。
示すように、炭酸ガスレーザ発振器（以下、「発振器」
という。）２０が固設されており、この発振器２０から
照射されたレーザは、同じくメインフレーム４上に固設
された円偏光ミラー２２、反射鏡２４及びレンズ２６を
経て、ガーダ６上を、Ｙ軸方向と平行に直進するように
なっている。
【００１３】前記第１ミラー台車１４の内部には、図１
に示すように、第１ミラー（反転ミラー）２８が、所定
角度傾斜した状態で、第１ミラー台車１４に固定して設
けられている。この第１ミラー１４の傾斜角度は、発振
器２０から照射され、Ｙ軸方向に直進したレーザが、該
第１ミラー２８で反射されて、Ｘ軸方向視においてＸＹ
平面と４５゜の角度をなす方向に進行するように調整さ
れている。
に示すように、第１ミラー（反転ミラー）２８が、所定
角度傾斜した状態で、第１ミラー台車１４に固定して設
けられている。この第１ミラー１４の傾斜角度は、発振
器２０から照射され、Ｙ軸方向に直進したレーザが、該
第１ミラー２８で反射されて、Ｘ軸方向視においてＸＹ
平面と４５゜の角度をなす方向に進行するように調整さ
れている。
【００１４】同様に、第２ミラー台車１８の内部には、
図１に示すように第２ミラー（反転ミラー）３０が、所
定角度傾斜した状態で、第２ミラー台車１８に固定して
設けられている。この第２ミラー３０の傾斜角度は、第
１ミラー２８で反射されてＸ軸方向視においてＸＹ平面
と４５゜の角度をなす方向に進行してきたレーザが、該
第２ミラー３０で反射されてＺ軸方向下方に向かうよう
に調整されている。そして、該第２ミラー３０で反射さ
れたレーザが、加工ヘッド１２の内部に設けられた集光
レンズ３２に導かれ、被加工物Ｈ上に照射されるように
なっている。
図１に示すように第２ミラー（反転ミラー）３０が、所
定角度傾斜した状態で、第２ミラー台車１８に固定して
設けられている。この第２ミラー３０の傾斜角度は、第
１ミラー２８で反射されてＸ軸方向視においてＸＹ平面
と４５゜の角度をなす方向に進行してきたレーザが、該
第２ミラー３０で反射されてＺ軸方向下方に向かうよう
に調整されている。そして、該第２ミラー３０で反射さ
れたレーザが、加工ヘッド１２の内部に設けられた集光
レンズ３２に導かれ、被加工物Ｈ上に照射されるように
なっている。
【００１５】なお、前記第１ミラー２８は、Ｚ軸と平行
な直線の回りに微小量回転した状態とされており、これ
により、レンズ２６から第１ミラー２８に向かうレーザ
と、第２ミラー３０から集光レンズ３２に向かうレーザ
とが交差せず、干渉が起こらない配慮がなされている。
また、以下の説明の便宜上、Ｘ軸方向視（図１）におい
て、第１ミラー２８の中心を点Ａ、第２ミラー３０の中
心を点Ｂ、レンズ２６から第１ミラー２８に向かうレー
ザ光路と、第２ミラー３０から集光レンズ３２に向かう
レーザ光路とがクロスする部分の中心を点Ｃとする。こ
の場合、Ｘ軸方向視における三角形ＡＢＣは直角二等辺
三角形となる。
な直線の回りに微小量回転した状態とされており、これ
により、レンズ２６から第１ミラー２８に向かうレーザ
と、第２ミラー３０から集光レンズ３２に向かうレーザ
とが交差せず、干渉が起こらない配慮がなされている。
また、以下の説明の便宜上、Ｘ軸方向視（図１）におい
て、第１ミラー２８の中心を点Ａ、第２ミラー３０の中
心を点Ｂ、レンズ２６から第１ミラー２８に向かうレー
ザ光路と、第２ミラー３０から集光レンズ３２に向かう
レーザ光路とがクロスする部分の中心を点Ｃとする。こ
の場合、Ｘ軸方向視における三角形ＡＢＣは直角二等辺
三角形となる。
【００１６】上記構成に係るレーザ加工装置において
は、加工ヘッド１２がＹ軸方向に移動せず、加工機本体
２のみがＸ軸方向に移動する場合においては、第１ミラ
ー台車１４はガーダ６上に、第２ミラー台車１８はレー
ル部材１６上に、それぞれ静止するように制御され、こ
れにより発振器２０から加工ヘッド１２に至るまでの光
路長Ｌc（以下、「光路長Ｌc」という。）は変化せず、
常に一定に保たれる。
は、加工ヘッド１２がＹ軸方向に移動せず、加工機本体
２のみがＸ軸方向に移動する場合においては、第１ミラ
ー台車１４はガーダ６上に、第２ミラー台車１８はレー
ル部材１６上に、それぞれ静止するように制御され、こ
れにより発振器２０から加工ヘッド１２に至るまでの光
路長Ｌc（以下、「光路長Ｌc」という。）は変化せず、
常に一定に保たれる。
【００１７】また、加工ヘッド１２がガーダ６上をＹ軸
方向に移動するときにおいては、第１ミラー台車１４及
び第２ミラー台車１８は以下のように制御されて、光路
長Ｌcが一定に保たれるようになっている。
方向に移動するときにおいては、第１ミラー台車１４及
び第２ミラー台車１８は以下のように制御されて、光路
長Ｌcが一定に保たれるようになっている。
【００１８】まず、図１に想像線で示されるように、加
工ヘッド１２が被加工物Ｈに対してＹ軸方向レール１０
側の端部にあるときの位置を初期位置とし、この初期位
置から加工ヘッド１２を、Ｙ軸方向レール８側に距離Ｌ
だけ移動させる場合を考える。
工ヘッド１２が被加工物Ｈに対してＹ軸方向レール１０
側の端部にあるときの位置を初期位置とし、この初期位
置から加工ヘッド１２を、Ｙ軸方向レール８側に距離Ｌ
だけ移動させる場合を考える。
【００１９】但しこの場合、Ｘ軸方向視における三角形
ＡＢＣが、初期位置における直角二等辺三角形と常に相
似な三角形（従って直角二等辺三角形）となるように第
１ミラー１４及び第２ミラー１８を制御することを原則
とする。従って、この原則を守りつつ、光路長Ｌcを一
定とするためには、三角形ＡＢＣの各辺の長さを同一の
比率で増加させればよい。
ＡＢＣが、初期位置における直角二等辺三角形と常に相
似な三角形（従って直角二等辺三角形）となるように第
１ミラー１４及び第２ミラー１８を制御することを原則
とする。従って、この原則を守りつつ、光路長Ｌcを一
定とするためには、三角形ＡＢＣの各辺の長さを同一の
比率で増加させればよい。
【００２０】辺ＡＣの長さをｋとすると、三角形ＡＢＣ
の３つの辺の長さの合計は、（２＋２0.5）ｋとなるか
ら、辺ＡＣを増加させる長さをΔｋとすると、
の３つの辺の長さの合計は、（２＋２0.5）ｋとなるか
ら、辺ＡＣを増加させる長さをΔｋとすると、
【００２１】（２＋２0.5）Δｋ＝Ｌ となる。上式を変形して、
【００２２】Δｋ＝（１−２0.5／２）Ｌ を得る。従って、第１ミラー１４の、初期位置からのＹ
軸方向レール８側（図１の矢印Ｐ方向）の移動量を、
軸方向レール８側（図１の矢印Ｐ方向）の移動量を、
【００２３】Ｌ−Δｋ＝（２0.5／２）Ｌとし、第２ミ
ラー１８の、初期位置からのＺ軸方向上側への移動量を
ラー１８の、初期位置からのＺ軸方向上側への移動量を
【００２４】Δｋ＝（１−２0.5／２）Ｌ とするように、第１ミラー台車１４及び第２ミラー台車
１８を駆動すれば、光路長Ｌｃが一定に保たれる。
１８を駆動すれば、光路長Ｌｃが一定に保たれる。
【００２５】なお、Ｘ軸方向視における三角形ＡＢＣ
が、上述のように直角二等辺三角形である必要はない。
例えば、上述の初期位置において、Ｘ軸方向視における
三角形ＡＢＣが図３に示すように３０゜と６０゜の底角
を持つ直角三角形である場合には、辺ＢＣの長さをｎと
すると、三角形ＡＢＣの３つの辺の長さの合計は、（３
＋３0.5）ｎとなるから、上記の場合と同様に初期位置
から加工ヘッド１２を、Ｙ軸方向レール８側に距離Ｌだ
け移動させた時の辺ＢＣを増加させる長さをΔｎとする
と、
が、上述のように直角二等辺三角形である必要はない。
例えば、上述の初期位置において、Ｘ軸方向視における
三角形ＡＢＣが図３に示すように３０゜と６０゜の底角
を持つ直角三角形である場合には、辺ＢＣの長さをｎと
すると、三角形ＡＢＣの３つの辺の長さの合計は、（３
＋３0.5）ｎとなるから、上記の場合と同様に初期位置
から加工ヘッド１２を、Ｙ軸方向レール８側に距離Ｌだ
け移動させた時の辺ＢＣを増加させる長さをΔｎとする
と、
【００２６】（３＋３0.5）Δｎ＝Ｌ となる。上式を変形して、
【００２７】Δｎ＝（０.５−３0.5／６）Ｌ を得る。従って、第１ミラー１４の、初期位置からのＹ
軸方向レール８側（図１の矢印Ｐ方向）の移動量を、
軸方向レール８側（図１の矢印Ｐ方向）の移動量を、
【００２８】Ｌ−３0.5×Δｎ＝（１.５−３0.5／２）
Ｌとし、第２ミラー１８の、初期位置からのＺ軸方向上
側への移動量を
Ｌとし、第２ミラー１８の、初期位置からのＺ軸方向上
側への移動量を
【００２９】Δｎ＝（０.５−３0.5／６）Ｌ とするように、第１ミラー台車１４及び第２ミラー台車
１８を駆動すれば、光路長Ｌｃが一定に保たれる。
１８を駆動すれば、光路長Ｌｃが一定に保たれる。
【００３０】上述のように加工ヘッド１２のＹ軸方向へ
の移動量に応じて第１ミラー台車１４のＹ軸方向の移動
及び第２ミラー台車１８のＺ軸方向の移動を制御するこ
とにより、加工ヘッド１２の、ＸＹ平面の任意の位置に
おいて光路長Ｌcが一定となる。
の移動量に応じて第１ミラー台車１４のＹ軸方向の移動
及び第２ミラー台車１８のＺ軸方向の移動を制御するこ
とにより、加工ヘッド１２の、ＸＹ平面の任意の位置に
おいて光路長Ｌcが一定となる。
【００３１】上記構成に係るレーザ加工装置によれば、
加工ヘッド１２のＹ軸方向移動中においては、レーザ発
振器２０から加工ヘッド１２に至るまでの光路長Ｌcを
一定に保つことができ、加工ヘッド１２のＸ軸方向移動
中においては光路が固定されたままであるので、常に光
路長が一定の状態で、長尺状の被加工物ＨをＸ軸方向及
びＹ軸方向の広範囲にわたって加工することができる。
従って、加工範囲の全範囲に渡って加工ヘッド１２の位
置によらず、エネルギー密度が変化せず、安定したレー
ザ加工を行うことができる。しかも、レーザ発振器２０
から加工ヘッド１２に至るまでの光路において、ミラー
（反射鏡）の使用枚数を少なくできるので、レーザーパ
ワーの伝達効率がよい。
加工ヘッド１２のＹ軸方向移動中においては、レーザ発
振器２０から加工ヘッド１２に至るまでの光路長Ｌcを
一定に保つことができ、加工ヘッド１２のＸ軸方向移動
中においては光路が固定されたままであるので、常に光
路長が一定の状態で、長尺状の被加工物ＨをＸ軸方向及
びＹ軸方向の広範囲にわたって加工することができる。
従って、加工範囲の全範囲に渡って加工ヘッド１２の位
置によらず、エネルギー密度が変化せず、安定したレー
ザ加工を行うことができる。しかも、レーザ発振器２０
から加工ヘッド１２に至るまでの光路において、ミラー
（反射鏡）の使用枚数を少なくできるので、レーザーパ
ワーの伝達効率がよい。
【００３２】また、上記のＸ軸方向視における三角形Ａ
ＢＣの形状の初期設定を適宜選択することにより、第１
ミラー１４及び第２ミラー１８の可動範囲長を任意に調
整することができ、装置全体をコンパクト化できる。ま
た、簡易な構成であるため、低コストで容易に実施する
ことができる。
ＢＣの形状の初期設定を適宜選択することにより、第１
ミラー１４及び第２ミラー１８の可動範囲長を任意に調
整することができ、装置全体をコンパクト化できる。ま
た、簡易な構成であるため、低コストで容易に実施する
ことができる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、加工ヘッドのＹ軸方向移動中においては、レーザ発
振器から加工ヘッドに至るまでの光路長を一定に保つこ
とができ、加工ヘッドのＸ軸方向移動中においては光路
が固定されたままであるので、常に光路長が一定の状態
で、長尺状の被加工物をＸ軸方向及びＹ軸方向の広範囲
にわたって加工することができる。従って、加工範囲の
全範囲に渡って加工ヘッドの位置によらず、エネルギー
密度が変化せず、安定したレーザ加工を行うことができ
る。しかも、レーザ発振器から加工ヘッドに至るまでの
光路において、ミラー（反射鏡）の使用枚数を少なくで
きるので、レーザーパワーの伝達効率がよい。
ば、加工ヘッドのＹ軸方向移動中においては、レーザ発
振器から加工ヘッドに至るまでの光路長を一定に保つこ
とができ、加工ヘッドのＸ軸方向移動中においては光路
が固定されたままであるので、常に光路長が一定の状態
で、長尺状の被加工物をＸ軸方向及びＹ軸方向の広範囲
にわたって加工することができる。従って、加工範囲の
全範囲に渡って加工ヘッドの位置によらず、エネルギー
密度が変化せず、安定したレーザ加工を行うことができ
る。しかも、レーザ発振器から加工ヘッドに至るまでの
光路において、ミラー（反射鏡）の使用枚数を少なくで
きるので、レーザーパワーの伝達効率がよい。
【００３４】また、本発明は加工ヘッドの移動に応じて
第１駆動手段及び第２駆動手段を一定の比率で制御する
簡易な構成であるため、装置全体をコンパクト化できる
とともに、低コストで容易に実施することができる。
第１駆動手段及び第２駆動手段を一定の比率で制御する
簡易な構成であるため、装置全体をコンパクト化できる
とともに、低コストで容易に実施することができる。
【図１】本発明の一実施例に係るレーザ加工装置の側面
図である。
図である。
【図２】同実施例に係るレーザ加工装置の平面図であ
る。
る。
【図３】第１ミラーと第２ミラーの駆動制御に係る説明
図である。
図である。
２ 加工機本体 １４ 第１ミラー台車 １２ 加工ヘッド １８ 第２ミラー台車 ２０ レーザ発振器 ２８ 第１ミラー ３０ 第２ミラー
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ軸方向に移動可能に設けられた加工機本
体と、前記加工機本体と一体となって前記Ｘ軸上を移動
せしめられるレーザ発振器と、前記Ｘ軸方向に前記加工
機本体とともに移動可能に設けられるとともに、前記Ｘ
軸方向と直交するＹ軸方向に移動可能に設けられ、前記
レーザ発振器から出力されて所定方向から入力されたレ
ーザを、被加工物上に照射する加工ヘッドとを備えたレ
ーザ加工装置において、前記加工機本体とともに前記Ｘ
軸方向に移動可能に設けられ、所定の傾斜角度を保持し
たまま、前記Ｙ軸方向に移動可能に設けられた第１ミラ
ーと、前記第１ミラーを前記Ｙ軸方向に駆動する第１駆
動手段と、前記加工ヘッドとともに前記Ｘ軸方向及び前
記Ｙ軸方向に移動可能に設けられ、所定の傾斜角度を保
持したまま、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向とに直交する
Ｚ軸方向に移動可能に設けられた第２ミラーと、前記第
２ミラーを前記Ｚ軸方向に駆動する第２駆動手段と、前
記加工ヘッドの前記Ｙ軸方向への移動時、Ｘ軸方向視に
おいて前記第１ミラーと前記第２ミラーを結ぶ直線がＸ
Ｙ平面となす角度が常に一定値を保ちつつ、前記レーザ
発振器から前記加工ヘッドに至る光路長が一定となるよ
うに前記第１駆動手段と前記第２駆動手段を駆動制御す
る制御手段とを備えたことを特徴とするレーザ加工装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04159810A JP3083912B2 (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04159810A JP3083912B2 (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06679A true JPH06679A (ja) | 1994-01-11 |
| JP3083912B2 JP3083912B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=15701754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04159810A Expired - Fee Related JP3083912B2 (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3083912B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7248019B2 (en) | 2002-12-04 | 2007-07-24 | Max Co., Ltd. | Cordless power tool |
| JP2010099667A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | 光学系、レーザ加工装置およびスキャン装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2723636C1 (ru) * | 2016-11-28 | 2020-06-17 | Пола Кемикал Индастриз, Инк. | Средство для устранения морщин |
| BR112020023802B1 (pt) | 2018-05-29 | 2023-10-31 | Pola Chemical Industries, Inc | Agente iluminador de pele |
-
1992
- 1992-06-18 JP JP04159810A patent/JP3083912B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7248019B2 (en) | 2002-12-04 | 2007-07-24 | Max Co., Ltd. | Cordless power tool |
| JP2010099667A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | 光学系、レーザ加工装置およびスキャン装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3083912B2 (ja) | 2000-09-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000523 |
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