JPH0667223B2 - 圧電式アクチユエ−タ - Google Patents
圧電式アクチユエ−タInfo
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- JPH0667223B2 JPH0667223B2 JP61157286A JP15728686A JPH0667223B2 JP H0667223 B2 JPH0667223 B2 JP H0667223B2 JP 61157286 A JP61157286 A JP 61157286A JP 15728686 A JP15728686 A JP 15728686A JP H0667223 B2 JPH0667223 B2 JP H0667223B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
- H10N30/2043—Cantilevers, i.e. having one fixed end connected at their free ends, e.g. parallelogram type
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
- H10N30/2044—Cantilevers, i.e. having one fixed end having multiple segments mechanically connected in series, e.g. zig-zag type
Landscapes
- Conveying Record Carriers (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、駆動対象物を直線移動または回転駆動させる
ための圧電式アクチュエータに関する。
ための圧電式アクチュエータに関する。
近年、OA機器,FA機器，各種情報機器等において、各種
アクチュエータのニーズ拡大している。そして特に情報
機器においては、機器の小型化，軽量化，省エネルギー
化に伴い、記録媒体や記録ヘッドを駆動するためのアク
チュエータの小型化，高効率化が求められている。しか
るに従来は電磁力を用いたロータリー型あるいはリニア
型のアクチュエータが専ら用いられてきた。これらの電
磁型アクチュエータにおいても、例えばシートコイルを
用いて、極力薄型化，小型化されたものが開発されては
いる。しかし、これらの電磁型アクチュエータでは、記
録媒体が例えば磁気記録媒体であるような場合、記録媒
体に対して磁気的ノイズによる悪影響を与えるおそれが
ある。
アクチュエータのニーズ拡大している。そして特に情報
機器においては、機器の小型化，軽量化，省エネルギー
化に伴い、記録媒体や記録ヘッドを駆動するためのアク
チュエータの小型化，高効率化が求められている。しか
るに従来は電磁力を用いたロータリー型あるいはリニア
型のアクチュエータが専ら用いられてきた。これらの電
磁型アクチュエータにおいても、例えばシートコイルを
用いて、極力薄型化，小型化されたものが開発されては
いる。しかし、これらの電磁型アクチュエータでは、記
録媒体が例えば磁気記録媒体であるような場合、記録媒
体に対して磁気的ノイズによる悪影響を与えるおそれが
ある。
ところで最近は、電磁型アクチュエータに代わる新しい
アクチュエータとして、圧電式アクチュエータの研究開
発が盛んに行なわれている。この圧電式アクチュエータ
には種々の型式のものがあるが、総じて従来の電磁型ア
クチュエータに比べて次のような長所を有している。
アクチュエータとして、圧電式アクチュエータの研究開
発が盛んに行なわれている。この圧電式アクチュエータ
には種々の型式のものがあるが、総じて従来の電磁型ア
クチュエータに比べて次のような長所を有している。
（１）電気−機械変換効率が高く、消費エネルギーが小
さい。
さい。
（２）無接点構造であり、ゴミを巻込むことがなく、信
頼性が高い。
頼性が高い。
（３）小型かつ薄型である。
（４）電磁的な影響の授受がない。
（５）高速応答性を有している。
したがって圧電式アクチュエータは、これらの長所を活
かし、例えばウォッチ，電卓等における発音体としての
利用が考えられている。
かし、例えばウォッチ，電卓等における発音体としての
利用が考えられている。
第８図および第９図は、例えば記録媒体等の駆動対象物
を直線移動または回転駆動させるための従来の圧電式ア
クチュエータの構成を示す側面図である。
を直線移動または回転駆動させるための従来の圧電式ア
クチュエータの構成を示す側面図である。
第８図に示すものは、圧電たて振動子１の先端に、振動
片２をθだけ傾斜して取付け、上記振動子１が矢印Ａ方
向に変位したときの振動片２の先端の動きにより、駆動
対象物３を矢印Ｂ方向へ移動させるようにしたものであ
る。
片２をθだけ傾斜して取付け、上記振動子１が矢印Ａ方
向に変位したときの振動片２の先端の動きにより、駆動
対象物３を矢印Ｂ方向へ移動させるようにしたものであ
る。
第９図に示すものは、圧電たて振動子４先端に圧電すべ
り振動子５を取付け、上記振動子４が矢印Ｃ方向へ変位
し、かつ振動子５が破線で示すように変位したときの力
により、駆動対象物６を矢印Ｄ方向へ移動させるように
したものである。
り振動子５を取付け、上記振動子４が矢印Ｃ方向へ変位
し、かつ振動子５が破線で示すように変位したときの力
により、駆動対象物６を矢印Ｄ方向へ移動させるように
したものである。
第８図および第９図に示した圧電式アクチュエータは、
いずれも圧で素子を駆動源として用いているので、前記
した長所のいくつかは活かされている。しかし両者とも
薄型化の点で問題がある。すなわち第８図および第９図
に示したものは、駆動対象物に作用する駆動力が、たて
振動とよこ振動との合成により得られたものであるた
め、駆動速度をある程度高めようとすると、圧電たて振
動子を積層構造にする必要が生じる。さもなければラン
ジェバン振動子のようなハイパワーを有し、かつ寸法の
多きな素子を使用せざるを得なくなる。したがって薄型
化は困難である。
いずれも圧で素子を駆動源として用いているので、前記
した長所のいくつかは活かされている。しかし両者とも
薄型化の点で問題がある。すなわち第８図および第９図
に示したものは、駆動対象物に作用する駆動力が、たて
振動とよこ振動との合成により得られたものであるた
め、駆動速度をある程度高めようとすると、圧電たて振
動子を積層構造にする必要が生じる。さもなければラン
ジェバン振動子のようなハイパワーを有し、かつ寸法の
多きな素子を使用せざるを得なくなる。したがって薄型
化は困難である。
そこで本発明は、前記した（１）〜（５）の長所を全て
有し、特に小型で薄型な装置へ適用する場合に好適で、
しかも安価に製作可能な圧電アクチュエータを提供する
ことを目的とする。
有し、特に小型で薄型な装置へ適用する場合に好適で、
しかも安価に製作可能な圧電アクチュエータを提供する
ことを目的とする。
本発明は、上記問題点を解決し目的を達成するために、
次のような手段を講じたことを特徴としている。すなわ
ち、中央部に駆動対象物と接するように突出した接触部
を有し、両端部に互いに交差するように鋭角的に折曲さ
れた二脚を有し、上記二脚の先端が固定部に対して固定
されるバネ性部材を設け、このバネ性部材の二脚にそれ
ぞれバイモルフ構造の圧電素子を接合し、これらの圧電
素子に対して所定極性を有する電圧を選択的に印加する
ようにした。
次のような手段を講じたことを特徴としている。すなわ
ち、中央部に駆動対象物と接するように突出した接触部
を有し、両端部に互いに交差するように鋭角的に折曲さ
れた二脚を有し、上記二脚の先端が固定部に対して固定
されるバネ性部材を設け、このバネ性部材の二脚にそれ
ぞれバイモルフ構造の圧電素子を接合し、これらの圧電
素子に対して所定極性を有する電圧を選択的に印加する
ようにした。
このような手段を講じたことにより、バネ性部材とバイ
モルフ構造の圧電素子との組合わせによって、バネ性部
材の接触部が駆動対象物との接触面に沿って楕円運動を
行なうものとなり、上記接触部に接触している駆動対象
物を直線移動または回転駆動させ得るものとなる。
モルフ構造の圧電素子との組合わせによって、バネ性部
材の接触部が駆動対象物との接触面に沿って楕円運動を
行なうものとなり、上記接触部に接触している駆動対象
物を直線移動または回転駆動させ得るものとなる。
第１図（ａ）（ｂ）は本発明の第１実施例の構成を示す
斜視図および正面図である。第１図（ａ）（ｂ）におい
て、７はリン青銅，ベリリアン銅等で形成されたバネ性
部材である。このバネ性部材７は、その中央部に、駆動
対象物と接するように曲面加工を施して突出させた接触
部10を有し、その両端部に、互いに交差するように鋭角
的に折曲された二脚11,12を有している。上記二脚11,12
の先端は、固定部に対して固定可能になっている。上記
二脚11,12には、それぞれバイモルフ構造の圧電素子13,
14が、例えばエポキシ接着剤等により接着されている。
これらの圧電素子13,14に対して所定極性を有する電圧
を選択的に印加可能なように、前記一脚12にはアース用
リード端子15が取付けてあり、圧電素子13,14には電圧
印加用リード端子16,17がそれぞれ取付けてある。
斜視図および正面図である。第１図（ａ）（ｂ）におい
て、７はリン青銅，ベリリアン銅等で形成されたバネ性
部材である。このバネ性部材７は、その中央部に、駆動
対象物と接するように曲面加工を施して突出させた接触
部10を有し、その両端部に、互いに交差するように鋭角
的に折曲された二脚11,12を有している。上記二脚11,12
の先端は、固定部に対して固定可能になっている。上記
二脚11,12には、それぞれバイモルフ構造の圧電素子13,
14が、例えばエポキシ接着剤等により接着されている。
これらの圧電素子13,14に対して所定極性を有する電圧
を選択的に印加可能なように、前記一脚12にはアース用
リード端子15が取付けてあり、圧電素子13,14には電圧
印加用リード端子16,17がそれぞれ取付けてある。
第２図は前記バイモルフ構造の圧電素子13,14の構成を
示す図である。ここに示す圧電素子20は一対の圧電セラ
ミツクス板21,22を貼り合わせたものとなっている。な
お圧電セラミックス板と金属板とを貼り合わせたもので
あってもよい。図示の如く圧電セラミックス板21,22は
矢印方向に分極処理を施されており、所定極性を有しか
つ所定レベルの電圧を印加すると、圧電素子20の先端は
破線で示すように△ｘだけ変位し、その変位力Ｆにより
前記二脚11,12を所定方向へ変位させる。このときの圧
電素子20に生じる△ｘは、圧電バイモルフの長さをl,厚
みをt,厚電セラミックスの電歪定数をd31,印加電圧をＶ
とすると、 △ｘ＝３・l2・d31・Ｖ／2t2 となる。またこのときの偏位端部のおける偏位力はＦ
は、ヤング率をEh,圧電バイモルフの幅をｗとすると、 Ｆ＝３・wt・d31・Eh・Ｖ／8l となる。
示す図である。ここに示す圧電素子20は一対の圧電セラ
ミツクス板21,22を貼り合わせたものとなっている。な
お圧電セラミックス板と金属板とを貼り合わせたもので
あってもよい。図示の如く圧電セラミックス板21,22は
矢印方向に分極処理を施されており、所定極性を有しか
つ所定レベルの電圧を印加すると、圧電素子20の先端は
破線で示すように△ｘだけ変位し、その変位力Ｆにより
前記二脚11,12を所定方向へ変位させる。このときの圧
電素子20に生じる△ｘは、圧電バイモルフの長さをl,厚
みをt,厚電セラミックスの電歪定数をd31,印加電圧をＶ
とすると、 △ｘ＝３・l2・d31・Ｖ／2t2 となる。またこのときの偏位端部のおける偏位力はＦ
は、ヤング率をEh,圧電バイモルフの幅をｗとすると、 Ｆ＝３・wt・d31・Eh・Ｖ／8l となる。
次に、上記の如く構成された本実施例の圧電式アクチュ
エータの動作を、第３図および第４図（ａ）（ｂ）
（ｃ）を参照して説明する。今、バネ性部材７の二脚1
1,12に各々接合されている圧電素子13,14に対し、第３
図示すような波形の印加電圧V11およびV12をそれぞれ印
加したとする。そうすると、二脚11,12の変位状況が順
次変化し、バネ性部材７は第３図（ａ）（ｂ）（ｃ）の
ように作動する。以下その作動状態を追って説明する。
エータの動作を、第３図および第４図（ａ）（ｂ）
（ｃ）を参照して説明する。今、バネ性部材７の二脚1
1,12に各々接合されている圧電素子13,14に対し、第３
図示すような波形の印加電圧V11およびV12をそれぞれ印
加したとする。そうすると、二脚11,12の変位状況が順
次変化し、バネ性部材７は第３図（ａ）（ｂ）（ｃ）の
ように作動する。以下その作動状態を追って説明する。
の状態（V11…0,V12…０） この状態では、何等変位が生じないので、第４図（ａ）
の実線の状態を保っている。
の実線の状態を保っている。
の状態（V11…＋V,V12…＋Ｖ） この状態では、二脚11,12の各先端が第４図（ａ）の実
線矢印方向に変位するので、接触部10の点Ｐは実線矢印
Ｍのようにシフトし、第４図（ａ）の破線の状態へ移
行する。したがって接触部10の円弧面上に駆動対象物が
接触していれば、この駆動対象物は矢印Ｎ方向へ直線移
動することになる。
線矢印方向に変位するので、接触部10の点Ｐは実線矢印
Ｍのようにシフトし、第４図（ａ）の破線の状態へ移
行する。したがって接触部10の円弧面上に駆動対象物が
接触していれば、この駆動対象物は矢印Ｎ方向へ直線移
動することになる。
の状態（V11…＋V,V12…−Ｖ） この状態では、一脚11の変位は前の状態のままであり、
他脚12のみが逆方向へ変位する。このため接触部10は、
その曲率半径が大きくなるように変形しながら、駆動対
象物から離れる方向へ移動する。したがって駆動対象物
がＺ方向へ移動してくるように設けられたものでない限
り、駆動対象物が−Ｎ方向へ逆移動されることはない。
かくして第４図（ｂ）の破線の状態へ移行する。
他脚12のみが逆方向へ変位する。このため接触部10は、
その曲率半径が大きくなるように変形しながら、駆動対
象物から離れる方向へ移動する。したがって駆動対象物
がＺ方向へ移動してくるように設けられたものでない限
り、駆動対象物が−Ｎ方向へ逆移動されることはない。
かくして第４図（ｂ）の破線の状態へ移行する。
の状態（V11…0,V12…０） この状態では、二脚11,12が初期の位置まで変位する。
このため第４図（ｃ）の破線（＝）の状態へ移行す
る。したがって、接触部10が駆動対象物へ接触する状態
となる。
このため第４図（ｃ）の破線（＝）の状態へ移行す
る。したがって、接触部10が駆動対象物へ接触する状態
となる。
以下〜の作動を繰返すことによって、駆動対象物は
間欠的に矢印Ｎ方向へ移動していくことになる。
間欠的に矢印Ｎ方向へ移動していくことになる。
また上記とは逆に、第４図（ａ）において二脚11,12を
破線矢印のように変位させ、次に一脚12はそのままと
し、他脚11をＺ方向へ変位させ、次に二脚11,12を同時
に−Ｚ方向へ変位させるようにすれば、駆動対象物を前
述の場合とは逆方向すなわち−Ｎ方向へ移動させ得る。
破線矢印のように変位させ、次に一脚12はそのままと
し、他脚11をＺ方向へ変位させ、次に二脚11,12を同時
に−Ｚ方向へ変位させるようにすれば、駆動対象物を前
述の場合とは逆方向すなわち−Ｎ方向へ移動させ得る。
このように、圧電素子13,14に対し、所定の極性を有す
る印加電圧を、順次選択的に印加してやることにより、
二脚11,12の変位状況が変化し、これに伴い接触部10が
駆動対象物との接触面に沿って楕円運動を起こす。その
結果、駆動対象物を直線移動させることができる。
る印加電圧を、順次選択的に印加してやることにより、
二脚11,12の変位状況が変化し、これに伴い接触部10が
駆動対象物との接触面に沿って楕円運動を起こす。その
結果、駆動対象物を直線移動させることができる。
第５図は本発明の第２実施例を示す図で、本圧電アクチ
ュエータを、磁気カード移送用アクチュエータとして実
装した例を示す図である。図中31および32は筺体であ
り、筺体31の内面にはフェルトなどの摺動部材33が取付
けてある。34は磁気カードであり、上記摺動部材上をス
ライド可能に装填される。本圧電アクチュエータは、そ
の接触部が磁気カード34の他側面に接触する状態に、二
脚11,12の先端を筺体32の内面にネジ止めされている。3
5は電圧印加回路ボックスであり、筺体32の内面に固定
されている。
ュエータを、磁気カード移送用アクチュエータとして実
装した例を示す図である。図中31および32は筺体であ
り、筺体31の内面にはフェルトなどの摺動部材33が取付
けてある。34は磁気カードであり、上記摺動部材上をス
ライド可能に装填される。本圧電アクチュエータは、そ
の接触部が磁気カード34の他側面に接触する状態に、二
脚11,12の先端を筺体32の内面にネジ止めされている。3
5は電圧印加回路ボックスであり、筺体32の内面に固定
されている。
かくして本実施例においては、圧電アクチュエータを作
動させることにより、磁気カード34を矢印で示すように
スライドさせ得る。なお本実施例では、実装に便利なよ
うに、圧電素子13,14をバネ性部材の二脚11,12の上面側
に接着しているが、前記第１実施例と同様に、下面側に
取付けてもよいし、さらには両面に取付けて駆動力の増
大をはかるようにしてもよい。
動させることにより、磁気カード34を矢印で示すように
スライドさせ得る。なお本実施例では、実装に便利なよ
うに、圧電素子13,14をバネ性部材の二脚11,12の上面側
に接着しているが、前記第１実施例と同様に、下面側に
取付けてもよいし、さらには両面に取付けて駆動力の増
大をはかるようにしてもよい。
第６図は本発明の第３実施例を示す図である。この実施
例は、接触部10の接触面に、摩擦摺動部材40を貼り付け
た例である。本実施例によれば、スリップが生じ難く移
送精度を高め得る上、音の発生や駆動対象物に対する損
傷が生じ難いものとなる。
例は、接触部10の接触面に、摩擦摺動部材40を貼り付け
た例である。本実施例によれば、スリップが生じ難く移
送精度を高め得る上、音の発生や駆動対象物に対する損
傷が生じ難いものとなる。
第７図は本発明の第４実施例を示す図である。この実施
例は、磁気カードなどの駆動対象物50の表裏両面に対向
するように、一対の圧電アクチュエータ51,52を配置
し、両面駆動を行なうようにようにしたものである。本
実施例によれば、駆動対象物50に対する駆動力が大き
く、かつ安定化する利点がある。
例は、磁気カードなどの駆動対象物50の表裏両面に対向
するように、一対の圧電アクチュエータ51,52を配置
し、両面駆動を行なうようにようにしたものである。本
実施例によれば、駆動対象物50に対する駆動力が大き
く、かつ安定化する利点がある。
なお本発明は前記各実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施できるの
は勿論である。
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施できるの
は勿論である。
本発明によれば、中央部に駆動対象物と接するように突
出した接触部を有し、両端部に互いに交差するように鋭
角的に折曲された二脚を有し、上記二脚の先端が固定部
に対して固定されるバネ性部材を設け、このバネ性部材
の二脚にそれぞれバイモルフ構造の圧電素子を接合し、
これらの圧電素子に対して所定極性を有する電圧を選択
的に印加するようにしたので、電磁型アクチュエータが
有していない圧電式特有の長所を全て有し、特にバネ性
部材とバイモルフ構造の圧電素子との組み合わせによ
り、小型で薄型な装置へ適用する場合に好適で、しかも
安価に製作可能な圧電アクチュエータを提供できる。
出した接触部を有し、両端部に互いに交差するように鋭
角的に折曲された二脚を有し、上記二脚の先端が固定部
に対して固定されるバネ性部材を設け、このバネ性部材
の二脚にそれぞれバイモルフ構造の圧電素子を接合し、
これらの圧電素子に対して所定極性を有する電圧を選択
的に印加するようにしたので、電磁型アクチュエータが
有していない圧電式特有の長所を全て有し、特にバネ性
部材とバイモルフ構造の圧電素子との組み合わせによ
り、小型で薄型な装置へ適用する場合に好適で、しかも
安価に製作可能な圧電アクチュエータを提供できる。
第１図（ａ）（ｂ）〜第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発
明の第１実施例を示す図で、第１図（ａ）（ｂ）は全体
的な構成を示す斜視図および正面図、第２図はバイモル
フ構造の圧電素子の構成を示す側面図、第３図は印加電
圧波形を示す図、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）は動作説明
図である。第５図〜第７図はそれぞれ本発明の第２〜第
４実施例を示す図である。第８図および第９図はそれぞ
れ異なる従来例を示す側面図である。 ７……バネ性部材、10……接触部、11,12……二脚、13,
14,20……バイモルフ構造の圧電素子、21,22……圧電セ
ラミックス板。
明の第１実施例を示す図で、第１図（ａ）（ｂ）は全体
的な構成を示す斜視図および正面図、第２図はバイモル
フ構造の圧電素子の構成を示す側面図、第３図は印加電
圧波形を示す図、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）は動作説明
図である。第５図〜第７図はそれぞれ本発明の第２〜第
４実施例を示す図である。第８図および第９図はそれぞ
れ異なる従来例を示す側面図である。 ７……バネ性部材、10……接触部、11,12……二脚、13,
14,20……バイモルフ構造の圧電素子、21,22……圧電セ
ラミックス板。
Claims (1)
- 【請求項１】中央部に駆動対象物と接するように突出し
た接触部を有し両端部に互いに交差するように鋭角的に
折曲された二脚を有し上記二脚の先端が固定部に対して
固定されるバネ性部材と、このバネ性部材の二脚にそれ
ぞれ接合されたバイモルフ構造の圧電素子と、これらの
圧電素子に対して所定極性を有する電圧を選択的に印加
する電圧印加手段とを具備したことを特徴とする圧電式
アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61157286A JPH0667223B2 (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 | 圧電式アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61157286A JPH0667223B2 (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 | 圧電式アクチユエ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6315679A JPS6315679A (ja) | 1988-01-22 |
| JPH0667223B2 true JPH0667223B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=15646340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61157286A Expired - Lifetime JPH0667223B2 (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 | 圧電式アクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0667223B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006043549A1 (ja) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 圧電アクチュエータ、これを用いた撮像素子移動装置および撮像装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4965973B2 (ja) * | 2006-11-08 | 2012-07-04 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ |
-
1986
- 1986-07-04 JP JP61157286A patent/JPH0667223B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006043549A1 (ja) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 圧電アクチュエータ、これを用いた撮像素子移動装置および撮像装置 |
| US7508117B2 (en) | 2004-10-19 | 2009-03-24 | Panasonic Corporation | Piezoelectric actuator, imaging element moving device using the same, and imaging device using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6315679A (ja) | 1988-01-22 |
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