JPH0666657A - 圧力変換器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 半導体圧力センサチップと被圧力測定流体と
の間のゲル状の圧力伝達媒体を不要とし、従来発生して
いたダンピング等の種々の問題がなく、安定した出力を
得ることができる圧力変換器を提供する。 【構成】 側壁に圧力検出孔３２を有するとともに、こ
の圧力検出孔を囲むように側壁に設けられた溝部３７を
有し、流体管３１と環状弾性部材３８と、半導体圧力セ
ンサ３３と、半導体圧力センサの出力信号を取出すフレ
キシブルプリント基板４１と、対向する側の面に凸部４
４が形成されたスペーサー４７と、半導体圧力センサ３
３を流体管３１の側壁に押圧する押圧蓋４３と、押圧蓋
４３の嵌合により生じる押圧力の不均一状態を吸収する
板状弾性部材４８とを備えてなり、凸部４４は、その幅
が溝部３７の幅よりも広く、その内周は溝部３７の内周
より小さく、かつその外周は溝部３７の外周よりも大き
いものとして溝部３７と同心円状に形成されていること
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は医療分野等で使用される
圧力変換器に係わり、特に生体の血圧、子宮内圧、膀胱
圧、食道圧、その他特定の圧力を測定するために用いる
使い捨て可能な圧力変換器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、医療分野においては、肝炎やエイ
ズウイルス等の感染問題が発生したことから、使い捨て
（シングルユース）の圧力変換器の開発が盛んになって
いる。従来、この種の圧力変換器としては、例えば特開
平２−１６７４４１号公報に開示されるものがある。

【０００３】この圧力変換器では、流体室内の被圧力測
定流体の圧力を、ゲル状の圧力伝達媒体を介して半導体
圧力センサのダイアフラム部に伝え、このダイアフラム
部の表面に熱拡散処理にて形成された感圧ゲージの抵抗
を変化させ、これによって生ずる電気信号を外部の表示
器または記録装置に伝達させるものである。

【０００４】しかしながら、この圧力変換器では、被圧
力測定流体と半導体圧力センサとの間にゲル状の圧力伝
達媒体を介在させているため、圧力伝達の過程でダンピ
ングが生じ、正確な圧力波形の検出が困難であった。ま
た、半導体圧力センサと結合蓋とを接着剤を用いて絶縁
基板に接着しているため、接着剤の塗り斑等による接合
不良があると、その部分からゲル状の圧力伝達媒体の漏
れが生じ、正確な測定ができなくなる場合がある等の問
題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明者らは先に、上
記のような従来の圧力変換器の欠点を解消し得る圧力変
換器（特願平３−１７５１７０号）を提案した。図７
は、この圧力変換器の断面構造を示すものである。

【０００６】この圧力変換器では、半導体圧力センサ１
１３の受圧面１１４が流体管１１１の側壁に設けられた
圧力導入口１１２に臨ませて配置されており、受圧面１
１４の周囲を流体管１１１の外側壁面に押圧する押圧手
段と、流体管１１１の外側壁面と半導体圧力センサ１１
３との間を液密に封止する封止手段とを有している。

【０００７】押圧手段は、具体的には、流体管１１１に
おける圧力導入口１１２の周囲に突出して設けられた押
圧蓋嵌合部１２２と、この押圧蓋嵌合部１２２に嵌合さ
れるとともに凸部１２４を有し、この突部により半導体
圧力センサ１１２を流体管１１１の外側壁面に押圧する
押圧蓋１２３とにより構成されている。封止手段は、流
体管１１１の外側壁面に圧力導入口１１２を囲むように
設けられた溝部１１７と、この溝部１１７に嵌め込ま
れ、半導体圧力センサ１１３を介して押圧蓋１２３の凸
部１２４により押圧されるＯリング１１８とにより構成
されている。

【０００８】この圧力変換器では、半導体圧力センサ１
１３は受圧面１１４の反対面に出力端子を有し、この出
力端子が柔軟性を有するプリント基板（以下フレキシブ
ルプリント基板という）１２１上に形成した接続電極１
２０に接続され、半導体圧力センサ１１３の出力信号を
フレキシブルプリント基板１２１を介して外部に取出す
構成となっている。

【０００９】しかしながら、この圧力変換器では、図７
に示すように押圧蓋１２３の凸部１２４の幅は、Ｏリン
グ１１８が嵌挿される流体管１１１の溝部１１７の幅と
同じか若干狭いものとされる、すなわち、この凸部１２
４が溝部１１７に嵌合可能な大きさに形成されていた。
このため、押圧蓋１２３が押圧蓋嵌合部１２２に嵌合さ
れた際の押圧力が、Ｏリング１１８の配された溝部１１
７の内部位置のみに集中して加わるものとなり、半導体
圧力センサチップ１１３に剪断力による歪が生じたり、
熱膨脹率の違いによる半導体圧力センサチップの反りが
発生したりする虞れがあった。

【００１０】従って、本発明は新規な圧力変換器を提供
することを目的とするものである。本発明はまた、半導
体圧力センサチップと被圧力測定流体との間のゲル状の
圧力伝達媒体を不要とし、従来発生していたダンピング
等の種々の問題がなく、しかも安定した出力を得ること
ができる安価な圧力変換器を提供することを目的とする
ものである。本発明はさらにまた、圧力センサを流体管
壁面部に押圧設置する際に、圧力センサに剪断力による
歪が生じたり、熱膨脹率の違いによる反りが発生したり
する虞れの少ない構造を有する圧力変換器を提供するこ
とを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決しようとするための手段】上記諸目的は、
側壁に圧力検出孔を有するとともに、この圧力検出孔を
囲むように側壁に設けられた溝部を有し、さらにこの溝
部より外方において前記圧力検出孔を囲むように側壁よ
り突出した押圧蓋嵌合部を有する流体管と、前記溝部に
嵌挿された環状弾性部材と、受圧面を前記圧力検出孔内
に臨ませて前記押圧蓋嵌合部内に配設された半導体圧力
センサと、前記押圧蓋嵌合部内に前記半導体圧力センサ
に接して配設され、前記半導体圧力センサの出力信号を
取出すフレキシブルプリント基板と、押圧蓋嵌合部に嵌
合されるとともに、前記フレキシブルプリント基板と対
向する側の面に凸部が形成されており、この凸部により
前記半導体圧力センサを前記流体管の側壁に押圧する押
圧蓋とを備えてなり、前記凸部は、その幅が前記溝部の
幅よりも広く、その内周は前記溝部の内周より小さく、
かつその外周は前記溝部の外周よりも大きいものとして
前記溝部と同心円状に形成されていることを特徴とする
圧力変換器により達成される。

【００１２】上記諸目的はまた、側壁に圧力検出孔を有
するとともに、この圧力検出孔を囲むように側壁に設け
られた溝部を有し、さらにこの溝部より外方において前
記圧力検出孔を囲むように側壁より突出した押圧蓋嵌合
部を有する流体管と、前記溝部に嵌挿された環状弾性部
材と、受圧面を前記圧力検出孔内に臨ませて前記押圧蓋
嵌合部内に配設された半導体圧力センサと、前記押圧蓋
嵌合部内に前記半導体圧力センサに接して配設され、前
記半導体圧力センサの出力信号を取出すフレキシブルプ
リント基板と、前記押圧蓋嵌合部内に配設され、前記フ
レキシブルプリント基板と対向する側の面に凸部が形成
されたスペーサーと、前記押圧蓋嵌合部に嵌合され、前
記スペーサーを介して前記半導体圧力センサを前記流体
管の側壁に押圧する押圧蓋と、この押圧蓋と前記スペー
サーとの間に介在し、前記押圧蓋の嵌合により生じる押
圧力の不均一状態を吸収する板状弾性部材とを備えてな
り、前記凸部は、その幅が前記溝部の幅よりも広く、そ
の内周は前記溝部の内周より小さく、かつその外周は前
記溝部の外周よりも大きいものとして前記溝部と同心円
状に形成されていることを特徴とする圧力変換器によっ
ても達成される。

【００１３】

【作用】このように本発明の圧力変換器は、被圧力測定
流体に半導体圧力センサの受圧面を直接接触させること
ができ、センサチップと被圧力測定流体との間にゲル状
の圧力伝達媒体が介在しないので、従来発生していた圧
力伝達媒体中の気泡の発生による圧力損失や圧力伝達過
程でのダンピング等の発生が全く亡くなり、歪みや鈍化
のない正確な圧力波形の検出が可能となる。

【００１４】また、本発明の圧力変換器は、半導体圧力
センサを流体管の側壁に接合させるのに、流体管におけ
る圧力検出孔の周囲に突出して設けられた押圧蓋嵌合部
に押圧蓋を嵌合させ、この押圧蓋に設けられた環状の凸
部、あるいは押圧蓋と半導体圧力センサの間に介在する
スペーサに設けられた環状の凸部により半導体圧力セン
サを流体管の側壁へと押圧し、流体管の圧力検出孔を囲
むように流体管の側壁に設けられた溝部に配されたＯリ
ング等の環状弾性部材により、流体管の側壁と半導体圧
力センサとの間を液密に封止するように構成し、接着剤
による接合を完全に廃止したものであるために、不確実
な封止の一因が排除されるとともに確実な封止で高い信
頼性が得られる。さらに前記凸部はその幅が前記溝部の
幅よりも広く、その内周は前記溝部の内周より小さく、
かつその外周は前記溝部の外周よりも大きいものとして
前記溝部と同心円状に形成されているために、押圧力が
環状弾性部材の配された溝部の内部位置のみに集中して
加わることはなく、半導体圧力センサに剪断応力による
歪が生じたり、熱膨張率の違いによる半導体圧力センサ
の反りが発生したりする問題はない。

【００１５】さらに本発明の圧力検出器において、押圧
蓋嵌合部と押圧蓋とで形成されるセンサ内蔵室に半導体
圧力センサおよびフレキシブルプリント基板とともに、
スペーサおよび板状弾性部材を内蔵し、これら板状弾性
部材およびスペーサを介して押圧蓋により半導体圧力セ
ンサを押圧させるようにすれば、押圧蓋が押圧蓋嵌合部
に嵌合することにより生ずる押圧力の不均一さが板状弾
性部材により吸収され、均一かつ適度な押圧力で半導体
圧力センサを押圧することができる。したがって、半導
体圧力センサ内部に生ずる歪みが低減され、出力のオフ
セット電圧が小さくなるとともに直線性が改善される。
また、半導体圧力センサと環状弾性体との間に均一な押
圧力が加えられるため、片圧による液漏れ等の不良事態
の発生を防止できるという効果がある。

【００１６】

【実施例】以下本発明を実施例に基づき詳細に説明す
る。図１は本発明の第一の実施態様の一実施例に係わる
使い捨て圧力変換器の外観透視図を表すもので、図２は
そのII−II線に沿った断面構造を表すものである。円筒
状の流体管１１の側壁には圧力検出孔１２が設けられて
おり、この圧力検出孔１２に対向して流体管１１の外側
壁面には半導体圧力センサチップ（以下、センサチップ
という）１３が配設されている。このセンサチップ１３
は半導体材料、例えばシリコン（Ｓｉ）により形成さ
れ、その中央部は裏面（図において上側）側から所定の
深さまで選択的にエッチングされており薄膜のダイアフ
ラム部１４となっている。このダイアフラム部１４を含
むセンサチップ１３の裏面側は誘電体保護膜、例えばシ
リコンオキシナイトライド膜１５により被覆されてい
る。一方、このセンサチップ１３の表面側は、誘電体
膜、例えばシリコンオキシナイトライド膜１６により覆
われている。なお誘電体膜としてはシリコン酸化膜、シ
リコン窒化膜等を用いてもよい。

【００１７】流体管１１の圧力検出孔１２の周囲には環
状に溝部１７が形成されている。溝部１７内にはＯリン
グ１８が嵌入されており、このＯリング１８により流体
管１１の外側壁面とセンサチップ１３の裏面側との間を
液密に封止している。

【００１８】このセンサチップ１３のダイアフラム部１
４の表面（図において下面）には、不純物拡散層による
ゲージ抵抗（図示せず）が形成されており、このゲージ
抵抗は金属配線（図示せず）を介してセンサチップ１３
の周縁部に設けられた出力端子（図示せず）に電気的に
接続されている。センサチップ１３の下部にはセンサチ
ップ１３の出力端子に対応させて接続電極（コンタクト
パッド）２０を有するフレキシブルプリント基板（ＦＰ
Ｃ）２１が配設され、その接続電極２０と出力端子とが
半田付けにより電気的に接続されている。

【００１９】流体管１１の外側壁面には、前記溝部１７
より外方において前記圧力検出孔１２を囲むように押圧
蓋嵌合部２２が突出形成されており、この押圧蓋嵌合部
２２に図において下方から押圧蓋２３が嵌合されてい
る。フレキシブルプリント基板２１は押圧蓋２３に設け
た導出孔２５を通じて外部に導出されている。押圧蓋２
３の裏面には溝部１７と同心円状に凸部２４が形成され
ている。この凸部２４が押圧蓋２４の押圧蓋嵌合部２２
への嵌合に伴いフレキシブルプリント基板２１上の銅箔
２７とセンサチップ１３との間、およびＯリング１８と
センサチップ１３との間にそれぞれ適度な強さの押圧力
を与えている。この凸部２４の幅は、図示されているよ
うにＯリング１８が嵌挿されている溝部１７の幅よりも
広く、その内周は前記溝部１７の内周より小さく、かつ
その外周は前記溝部１７の外周よりも大きいものとさ
れ、溝部１７の内側、外側にわたって押圧できるように
構成されていることが望ましい。すなわち、Ｏリング１
８が嵌挿された溝部１７の内側および外側においてセン
サチップ１３をその表面側から押圧することにより、セ
ンサチップ１３に剪断応力による歪が生じたり、熱膨張
率の違いによるセンサチップ１３の反りが発生したりす
る問題はなくなる。

【００２０】なお、これは図３に表すように押圧蓋２３
に遮光機能を持たせた場合には、押圧蓋２３の凸部２４
とフレキシブルプリント基板２１とが接触しないように
フレキシブル基板２１の中央部に貫通孔２１ａを設け、
凸部２４が直接センサチップ１３に接触し、Ｏリング１
８とセンサチップ１３との間に適度な強さの押圧力を与
えるようにすることもできる。

【００２１】本実施例の圧力変換器では、流体管１１の
内部を輸液等の被圧力測定流体２６が流通し、この被圧
力測定流体２６お圧力によりセンサチップ１３のダイア
フラム部１４が変形し、このダイアフラム部１４の変形
に応じてゲージ抵抗（図示せず）の抵抗値すなわち出力
信号が変化するもので、この出力信号をフレキシブルプ
リント基板２１を介して外部の表示器または記録装置に
伝達することにより、被圧力測定流体２６の圧力を測定
することができる。

【００２２】また、押圧蓋２３により適度な押圧力が加
えられたＯリング１８により、流体管１１の外側壁面と
センサチップ１３との間が液密に封止されており、しか
も接着剤による接合部がないため、確実な封止を行なう
ことができ、信頼性が向上する。実際に、被圧力測定流
体２６に３００ｍｍＨｇ以上の圧力を印加した結果、被
圧力測定流体２６の漏れは全く認められなかった。

【００２３】本実施例の圧力変換器では、センサチップ
１３の出力端子がプリント基板２１の接続電極２０に対
応して設けられ、両者を半田付け接続させるだけでよい
ので、単一の工程で電気的配線を完了することができ
る。また電気的配線に管する部品がセンサチップ１３と
フレキシブルプリント基板２１のみでよいため、従来の
圧力変換器に比べて部品点数を大幅に削減することがで
きる。しかも、センサ製造工程でブリッジ抵抗バランス
の取れたセンサチップ１３が９０％以上の高い歩留りで
実現できた。このため大多数のセンサチップ１３におい
ては、レーザを用いたトリミングが不要であった。規格
外品をトリミングせずに廃棄することで生じる損失は、
従来方法でブリッジ抵抗のトリミングを行うのに必要と
なる費用よりも少額であった。

【００２４】図４は、本発明の第二の実施態様の実施例
に係わる圧力変換器の各部の位置関係を表す分解斜視図
であり、また図５はそのＶ−Ｖ線に沿った組立後の断面
構造を表すものである。

【００２５】この実施例において、半導体圧力センサー
３３と押圧蓋４３との間にはスペーサ４７とラバー４８
とが挟み込まれている。スペーサ４７の上面および下面
には、溝部３７と同心円状となるように凸部４４が設け
られている。この凸部４４が押圧蓋４３の押圧蓋嵌合部
４２への嵌合に伴い、フレキシブルプリント基板４１の
貫通孔４１ａを通して半導体圧力センサ３３を直接押圧
し、これにより半導体圧力センサ３３とＯリング３８と
の間にそれぞれ適度な強さの押圧力を与えている。この
凸部４４の幅は、上述した図１および図２に示す実施例
の凸部２４の場合と同様に、Ｏリング３８が嵌挿されて
いる溝部３７の幅よりも広く、その内周は前記溝部３７
の内周より小さく、かつその外周は前記溝部３７の外周
よりも大きいものとされ、溝部３７の内側、外側にわた
って押圧できるように構成されていることが望ましい。
また押圧力は、前述のように押圧蓋４３と押圧蓋嵌合部
４２との嵌合により生ずるものであるため、両者の加工
具合によっては不均一な押圧力が半導体圧力センサ３３
に加わってしまうことがある。押圧蓋４３に接着され、
押圧蓋４３とスペーサ４７との間に挟み込まれるラバー
４８は、その柔軟性により不均一な力を吸収し、半導体
圧力センサ３３に均一に押圧力を与える働きをする。

【００２６】本実施例の圧力変換器では、ラバー４８が
押圧蓋４３とスペーサ４７との間に挟み込まれており、
押圧蓋４３が押圧蓋嵌合部４２に嵌合して生ずる押圧力
の不均一さを柔軟に吸収するため、スペーサ４７を介し
て均一かつ適度な強さの押圧力で半導体圧力センサ３３
を押圧することができる。このため図１〜３に示す圧力
変換器で生じやすかったオフセット電圧を低減させるこ
とができると同時に、直線性を改善し、性能を向上させ
ることが可能になった。

【００２７】なお、フレキシブルプリント基板４１およ
びスペーサ４７は、押圧蓋嵌合部４２の内側に設けられ
たセンサ内蔵室４９の内壁に合せた形状となっており、
適度な余裕をもって挿入することができ、かつ両者がセ
ンサ内蔵室４９の適当な位置に収まるようになってい
る。半導体圧力センサ３３は予めフレキシブルプリント
基板４１に半田付けにより接合され、フレキシブルプリ
ント基板４１をセンサ内蔵室４９に挿入することにより
半導体圧力センサ３３のダイアフラム３４と流体管３１
の圧力検出孔３２とが適切に位置合せされて組立てられ
るようになっていることは勿論である。

【００２８】以上実施例を上げて本発明の圧力検出器を
説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、その要旨を変更しない範囲で種々変形可能であ
る。例えば、上記実施例においては、押圧蓋４３に遮光
機能を持たせるとともにフレキシブルプリント基板４１
に環通孔４１ａを設け、スペーサー４７の凸部４４が直
接半導体圧力センサ３３を押圧し、Ｏリング３８と半導
体圧力センサ３３との間に適度な強さの押圧力を与える
ように構成したが、押圧蓋４３に遮光機能を持たせない
場合には、フレキシブルプリント基板に遮光機能を持た
せ、図６に示すように、スペーサー４７の凸部４４がフ
レキシブルプリント基板４２を介して半導体圧力センサ
３３を間接的に押圧するような構成とする。あるいは、
フレキシブルプリント基板４１と押圧蓋４３との間に遮
光シートまたは遮光層を設ければよい。また、上記実施
例においては、スペーサ４７の上下面各々に凸部４４を
有する構成としたが、下面の凸部４４は必要に応じて形
状を変えたり、あるいは凸部４４を無くすこともでき
る。なお、図４〜６において、図１〜３における符号の
数に２０を加えた数の符号は、図１〜３において対応す
る符号が示す部材と同一の部材を表すものである。

【００２９】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の圧力変換器
は、側壁に圧力検出孔を有するとともに、この圧力検出
孔を囲むように側壁に設けられた溝部を有し、さらにこ
の溝部より外方において前記圧力検出孔を囲むように側
壁より突出した押圧蓋嵌合部を有する流体管と、前記溝
部に嵌挿された環状弾性部材と、受圧面を前記圧力検出
孔内に臨ませて前記押圧蓋嵌合部内に配設された半導体
圧力センサと、前記押圧蓋嵌合部内に前記半導体圧力セ
ンサに接して配設され、前記半導体圧力センサの出力信
号を取出すフレキシブルプリント基板と、押圧蓋嵌合部
に嵌合されるとともに、前記フレキシブルプリント基板
と対向する側の面に凸部が形成されており、この凸部に
より前記半導体圧力センサを前記流体管の側壁に押圧す
る押圧蓋とを備えてなり、前記凸部は、その幅が前記溝
部の幅よりも広く、その内周は前記溝部の内周より小さ
く、かつその外周は前記溝部の外周よりも大きいものと
して前記溝部と同心円状に形成されていることを特徴と
するものである、あるいは側壁に圧力検出孔を有すると
ともに、この圧力検出孔を囲むように側壁に設けられた
溝部を有し、さらにこの溝部より外方において前記圧力
検出孔を囲むように側壁より突出した押圧蓋嵌合部を有
する流体管と、前記溝部に嵌挿された環状弾性部材と、
受圧面を前記圧力検出孔内に臨ませて前記押圧蓋嵌合部
内に配設された半導体圧力センサと、前記押圧蓋嵌合部
内に前記半導体圧力センサに接して配設され、前記半導
体圧力センサの出力信号を取出すフレキシブルプリント
基板と、前記押圧蓋嵌合部内に配設され、前記フレキシ
ブルプリント基板と対向する側の面に凸部が形成された
スペーサーと、前記押圧蓋嵌合部に嵌合され、前記スペ
ーサーを介して前記半導体圧力センサを前記流体管の側
壁に押圧する押圧蓋と、この押圧蓋と前記スペーサーと
の間に介在し、前記押圧蓋の嵌合により生じる押圧力の
不均一状態を吸収する板状弾性部材とを備えてなり、前
記凸部は、その幅が前記溝部の幅よりも広く、その内周
は前記溝部の内周より小さく、かつその外周は前記溝部
の外周よりも大きいものとして前記溝部と同心円状に形
成されていることを特徴とするものであるから、被圧力
測定流体に半導体圧力センサの受圧面を直接接触させる
ことができ、従来発生していた圧力伝達媒体中の気泡の
発生による圧力損失や圧力伝達過程でのダンピング等の
発生が全く亡くなり、歪みや鈍化のない正確な圧力波形
の検出が可能となる。また接着剤による接合を完全に廃
止したものであるために、不確実な封止の一因が排除さ
れるとともに確実な封止で高い信頼性が得られる。さら
に前押圧力が環状弾性部材の配された溝部の内部位置の
みに集中して加わることはなく、半導体圧力センサに剪
断応力による歪が生じたり、熱膨張率の違いによる半導
体圧力センサの反りが発生したりする問題はない。加え
て後者の構成によれば、より均一かつ適度な押圧力で半
導体圧力センサを押圧することができ、半導体圧力セン
サ内部に生ずる歪みが低減され、出力のオフセット電圧
が小さくなるとともに直線性が改善される。また、半導
体圧力センサと環状弾性体との間に均一な押圧力が加え
られるため、片圧による液漏れ等の不良事態の発生を防
止できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】は、本発明の第一の実施態様の一実施例に係わ
る使い捨て圧力変換器の外観透視図、

【図２】は、図１のII−II線に沿う断面図、

【図３】は、本発明の第一の実施態様の別の実施例の図
２と同様な断面図、

【図４】は、本発明の第二の実施態様の一実施例の組立
面の分解斜視図、

【図５】は、図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図、

【図６】は、本発明の第二の実施態様の別の実施例の図
５と同様な断面図であり、また

【図７】は、一比較例としての圧力変換器の断面図であ
る。

【符号の説明】

１１，３１…流体管、１２，３２…圧力検出孔、１３，
３３…半導体圧力センサチップ、１４，３４…ダイアフ
ラム、１５，３５…シリコンオキシナイトライド膜（誘
電体保護膜）、１７，３７…溝部、１８，３８…Ｏリン
グ（環状弾性部材）、２１，４１…フレキシブルプリン
ト基板、２２，４２…押圧蓋嵌合部、２３，４３…押圧
蓋、２４，４４…凸部、２６，４６…被圧力測定流体、
４７…スペーサ、４８…ラバー（板状弾性部材）、４９
…センサ内蔵室。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 側壁に圧力検出孔を有するとともに、こ
   の圧力検出孔を囲むように側壁に設けられた溝部を有
   し、さらにこの溝部より外方において前記圧力検出孔を
   囲むように側壁より突出した押圧蓋嵌合部を有する流体
   管と、 前記溝部に嵌挿された環状弾性部材と、 受圧面を前記圧力検出孔内に臨ませて前記押圧蓋嵌合部
   内に配設された半導体圧力センサと、 前記押圧蓋嵌合部内に前記半導体圧力センサに接して配
   設され、前記半導体圧力センサの出力信号を取出すフレ
   キシブルプリント基板と、 押圧蓋嵌合部に嵌合されるとともに、前記フレキシブル
   プリント基板と対向する側の面に凸部が形成されてお
   り、この凸部により前記半導体圧力センサを前記流体管
   の側壁に押圧する押圧蓋とを備えてなり、 前記凸部は、その幅が前記溝部の幅よりも広く、その内
   周は前記溝部の内周より小さく、かつその外周は前記溝
   部の外周よりも大きいものとして前記溝部と同心円状に
   形成されていることを特徴とする圧力変換器。
2. 【請求項２】 側壁に圧力検出孔を有するとともに、こ
   の圧力検出孔を囲むように側壁に設けられた溝部を有
   し、さらにこの溝部より外方において前記圧力検出孔を
   囲むように側壁より突出した押圧蓋嵌合部を有する流体
   管と、 前記溝部に嵌挿された環状弾性部材と、 受圧面を前記圧力検出孔内に臨ませて前記押圧蓋嵌合部
   内に配設された半導体圧力センサと、 前記押圧蓋嵌合部内に前記半導体圧力センサに接して配
   設され、前記半導体圧力センサの出力信号を取出すフレ
   キシブルプリント基板と、 前記押圧蓋嵌合部内に配設され、前記フレキシブルプリ
   ント基板と対向する側の面に凸部が形成されたスペーサ
   ーと、 前記押圧蓋嵌合部に嵌合され、前記スペーサーを介して
   前記半導体圧力センサを前記流体管の側壁に押圧する押
   圧蓋と、 この押圧蓋と前記スペーサーとの間に介在し、前記押圧
   蓋の嵌合により生じる押圧力の不均一状態を吸収する板
   状弾性部材とを備えてなり、 前記凸部は、その幅が前記溝部の幅よりも広く、その内
   周は前記溝部の内周より小さく、かつその外周は前記溝
   部の外周よりも大きいものとして前記溝部と同心円状に
   形成されていることを特徴とする圧力変換器。