JPH0666432A - クリーンルームの空調方式 - Google Patents
クリーンルームの空調方式Info
- Publication number
- JPH0666432A JPH0666432A JP21985892A JP21985892A JPH0666432A JP H0666432 A JPH0666432 A JP H0666432A JP 21985892 A JP21985892 A JP 21985892A JP 21985892 A JP21985892 A JP 21985892A JP H0666432 A JPH0666432 A JP H0666432A
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- JP
- Japan
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- air
- room
- clean room
- conditioner
- conditioning system
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】クリーンルーム内の発熱を温湿度規格を逸脱す
ることなく空調機へ帰し、単位風量当りの熱量を上げる
ことで、循環風量を削減し、運転コストを低減させる。 【構成】室内に設置したテスター２からの温風をクリー
ンルーム内に散乱させない様に吸込口５で集束させ、空
調機７へ帰すことによって空調機７に入るリターンエア
ー６の熱エネルギーが高くなり、単位風量当りの取得熱
量を大きくして循環風量を削減させる。
ることなく空調機へ帰し、単位風量当りの熱量を上げる
ことで、循環風量を削減し、運転コストを低減させる。 【構成】室内に設置したテスター２からの温風をクリー
ンルーム内に散乱させない様に吸込口５で集束させ、空
調機７へ帰すことによって空調機７に入るリターンエア
ー６の熱エネルギーが高くなり、単位風量当りの取得熱
量を大きくして循環風量を削減させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームの空調方
式に関し、特に半導体製造装置を設置するクリーンルー
ムの空調方式に関する。
式に関し、特に半導体製造装置を設置するクリーンルー
ムの空調方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンルームの空調方式は、稼
働中の発熱を除去するために室内に熱風を放出している
半導体製造装置と、浄化された冷風を室内に吹き出すフ
ィルターと、室内の熱風と冷風が混合された空気を室内
から取り出し、冷却して再びクリーンルームへ送気する
空調機とを有している。クリーンルーム内に設置された
半導体製造装置から放出されている熱風は、フィルター
から吹き出された冷風と室内にて混合されて温風とな
り、クリーンルームの温湿度を維持する様になってい
る。
働中の発熱を除去するために室内に熱風を放出している
半導体製造装置と、浄化された冷風を室内に吹き出すフ
ィルターと、室内の熱風と冷風が混合された空気を室内
から取り出し、冷却して再びクリーンルームへ送気する
空調機とを有している。クリーンルーム内に設置された
半導体製造装置から放出されている熱風は、フィルター
から吹き出された冷風と室内にて混合されて温風とな
り、クリーンルームの温湿度を維持する様になってい
る。
【０００３】フィルターから吹出される冷風量は、クリ
ーンルーム内の設備負荷と清浄度を維持する為の循環回
数で決まるが、設備負荷が大きいときは冷風量を多くし
て温風と混合させ、設定された温湿度を維持させる。こ
の混合されて一定温度の室内空気は、空調機にて冷却、
即ち冷媒にて間接冷却され再び室内へ送気される。
ーンルーム内の設備負荷と清浄度を維持する為の循環回
数で決まるが、設備負荷が大きいときは冷風量を多くし
て温風と混合させ、設定された温湿度を維持させる。こ
の混合されて一定温度の室内空気は、空調機にて冷却、
即ち冷媒にて間接冷却され再び室内へ送気される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のクリーンル
ームの空調方式では、クリーンルーム内で温風と冷風を
混合させている為、設定された温湿度にするためには排
出される温風の持っている熱量と同じか、それ以上の冷
風が必要である。冷風の取得し得る熱量は、温風と混合
する前後の温度差が一つの要因となって決まり、クリー
ンルームの特性上その温度は１４℃付近で冷風として吹
出し、２５℃付近で温風として空調機へ帰るようになっ
ているので、温度差が一定となってそれ以上大きな熱量
を得ることができない。また、清浄度を維持するのに必
要な風量以上の風量を常時循環させるには、設備投資と
運転コストが大きくなるという問題点があった。
ームの空調方式では、クリーンルーム内で温風と冷風を
混合させている為、設定された温湿度にするためには排
出される温風の持っている熱量と同じか、それ以上の冷
風が必要である。冷風の取得し得る熱量は、温風と混合
する前後の温度差が一つの要因となって決まり、クリー
ンルームの特性上その温度は１４℃付近で冷風として吹
出し、２５℃付近で温風として空調機へ帰るようになっ
ているので、温度差が一定となってそれ以上大きな熱量
を得ることができない。また、清浄度を維持するのに必
要な風量以上の風量を常時循環させるには、設備投資と
運転コストが大きくなるという問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の空調方式では、
クリーンルーム内に設置された発熱体から放出している
廃熱温風を効率良く回収する為の吸込口を発熱体付近に
設け、この吸込んだ温風を別ルートで空調機へ帰す為の
ダクトを備えている。本発明によれば、室内空調負荷の
大部分である廃熱温風を空調機へ直接帰すことにより、
室内に放出する温風量を削減する作用がある。
クリーンルーム内に設置された発熱体から放出している
廃熱温風を効率良く回収する為の吸込口を発熱体付近に
設け、この吸込んだ温風を別ルートで空調機へ帰す為の
ダクトを備えている。本発明によれば、室内空調負荷の
大部分である廃熱温風を空調機へ直接帰すことにより、
室内に放出する温風量を削減する作用がある。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１はクリーンルームに半導体測定用テスターを設
置したときの本発明の一実施例の空調方式を示す断面図
である。空調機７にて所定の温湿度に冷却されたサプラ
イエアー８は、ダクトを通ってＨＥＰＡフィルター３か
ら室内に清浄空気４として吹き込まれる。この清浄空気
４はテスター１以外の照明、人、建屋、その他の設備な
どと対流によって熱交換を行い、その結果室内空気１の
温度，相対温度が所定の規格値に達する。
る。図１はクリーンルームに半導体測定用テスターを設
置したときの本発明の一実施例の空調方式を示す断面図
である。空調機７にて所定の温湿度に冷却されたサプラ
イエアー８は、ダクトを通ってＨＥＰＡフィルター３か
ら室内に清浄空気４として吹き込まれる。この清浄空気
４はテスター１以外の照明、人、建屋、その他の設備な
どと対流によって熱交換を行い、その結果室内空気１の
温度，相対温度が所定の規格値に達する。
【０００７】次にこの室内空気１の一部はテスター２に
吸い込まれ、内部でさらに熱交換を行い、３０℃以上、
３５％ＲＨ以下の温風となって上方へ吹き出され、吸込
口５に吸い込まれる。一方、残りの室内空気１は床下へ
吸い込まれ、リターンエアー６となり空調機７へ帰ろう
とする。ここで、リターンエアー６と吸込口５からの空
気が空調機７の入口直前にて合流し、２８℃，３８％Ｒ
Ｈ前後の空気になって空調機７に入り、冷媒によって冷
却され、再びサプライエアー８となってＨＥＰＡフィル
ター３へ向う。
吸い込まれ、内部でさらに熱交換を行い、３０℃以上、
３５％ＲＨ以下の温風となって上方へ吹き出され、吸込
口５に吸い込まれる。一方、残りの室内空気１は床下へ
吸い込まれ、リターンエアー６となり空調機７へ帰ろう
とする。ここで、リターンエアー６と吸込口５からの空
気が空調機７の入口直前にて合流し、２８℃，３８％Ｒ
Ｈ前後の空気になって空調機７に入り、冷媒によって冷
却され、再びサプライエアー８となってＨＥＰＡフィル
ター３へ向う。
【０００８】本実施例において、仮に室内の総負荷を５
００００ｋｃａｌ／Ｈ，ＨＥＰＡフィルターからの冷風
吹出し温度を１４℃とした時の循環風量Ｑをリターンエ
アーが２５℃と２８℃の場合とで比較すると、 リターンエアー２５℃のとき Ｑ＝５００００÷｛１．
２×０．２４（２５−１４）｝＝１５７８５ｍ3 ／Ｈ リターンエアー２８℃のとき Ｑ＝５００００÷｛１．
２×０．２４（２８−１４）｝＝１２４００ｍ3 ／Ｈ となる。ただし、空気の密度を１．２ｋｇ／ｍ3 ，比熱
を０．２４ｋｃａｌ／ｋｇ・Ｋとする。
００００ｋｃａｌ／Ｈ，ＨＥＰＡフィルターからの冷風
吹出し温度を１４℃とした時の循環風量Ｑをリターンエ
アーが２５℃と２８℃の場合とで比較すると、 リターンエアー２５℃のとき Ｑ＝５００００÷｛１．
２×０．２４（２５−１４）｝＝１５７８５ｍ3 ／Ｈ リターンエアー２８℃のとき Ｑ＝５００００÷｛１．
２×０．２４（２８−１４）｝＝１２４００ｍ3 ／Ｈ となる。ただし、空気の密度を１．２ｋｇ／ｍ3 ，比熱
を０．２４ｋｃａｌ／ｋｇ・Ｋとする。
【０００９】本実施例によれば、複数個所の吸込口５で
吸引することによって室内の熱のよどみがなくなり、か
つリターンエアー６との合流点における温度を上昇させ
ることが可能となる。その結果、計算風量に示すように
所要吹出し風量を削減でき、それに伴って運転コストを
低減できる。
吸引することによって室内の熱のよどみがなくなり、か
つリターンエアー６との合流点における温度を上昇させ
ることが可能となる。その結果、計算風量に示すように
所要吹出し風量を削減でき、それに伴って運転コストを
低減できる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、クリーン
ルーム内の一つの空間において、空調負荷となる発熱体
からの廃熱ルートを２分化したことで、リターンエアー
温度を上昇させることができるので所要吹出し風量を削
減でき、かつ温湿度の管理規格値を逸脱することなく少
ない冷風量で単位風量当りの取得熱量を上げることがで
き、循環風量を最小化することができる。また、それに
伴い運転コストを低減できる。
ルーム内の一つの空間において、空調負荷となる発熱体
からの廃熱ルートを２分化したことで、リターンエアー
温度を上昇させることができるので所要吹出し風量を削
減でき、かつ温湿度の管理規格値を逸脱することなく少
ない冷風量で単位風量当りの取得熱量を上げることがで
き、循環風量を最小化することができる。また、それに
伴い運転コストを低減できる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】 １ 室内空気 ２ テスター ３ ＨＥＰＡフィルター ４ 清浄空気 ５ 吸込口 ６ リターンエアー ７ 空調機 ８ サプライエアー
Claims (1)
- 【請求項１】 発熱体が設置された室内に清浄空気を吹
き込むためのＨＥＰＡフィルターと、送風された清浄空
気を熱交換しその廃気を吸込んで清浄空気として循環さ
せる空気調和機とを有するクリーンルームの空調方式に
おいて、前記廃気の吸込み口の一部を室内の発熱体付近
に位置させ、その発熱体から放出される廃熱を吸込んで
空気調和機に送気する廃熱ルートを別に設けたことを特
徴とするクリーンルームの空調方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04219858A JP3105655B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | クリーンルームの空調方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04219858A JP3105655B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | クリーンルームの空調方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666432A true JPH0666432A (ja) | 1994-03-08 |
| JP3105655B2 JP3105655B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=16742164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04219858A Expired - Fee Related JP3105655B2 (ja) | 1992-08-19 | 1992-08-19 | クリーンルームの空調方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3105655B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100112926A1 (en) * | 2007-06-25 | 2010-05-06 | Unitec Inc. | Unit type clean room |
| ES2399776R1 (es) * | 2010-10-11 | 2013-04-17 | Tecnica En Instalaciones De Fluidos S L | Sistema de climatizacion para recintos de reducidas dimensiones |
| JP2014052129A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | 温調システム |
-
1992
- 1992-08-19 JP JP04219858A patent/JP3105655B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100112926A1 (en) * | 2007-06-25 | 2010-05-06 | Unitec Inc. | Unit type clean room |
| US8371912B2 (en) * | 2007-06-25 | 2013-02-12 | Unitec Inc. | Unit type clean room |
| ES2399776R1 (es) * | 2010-10-11 | 2013-04-17 | Tecnica En Instalaciones De Fluidos S L | Sistema de climatizacion para recintos de reducidas dimensiones |
| JP2014052129A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | 温調システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3105655B2 (ja) | 2000-11-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |