JPH0660352A - 接触型薄膜磁気ヘッド - Google Patents
接触型薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH0660352A JPH0660352A JP21016492A JP21016492A JPH0660352A JP H0660352 A JPH0660352 A JP H0660352A JP 21016492 A JP21016492 A JP 21016492A JP 21016492 A JP21016492 A JP 21016492A JP H0660352 A JPH0660352 A JP H0660352A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は磁気ディスク装置等に用いる接触型
薄膜磁気ヘッドに関し、可撓性支持体により支持された
電磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対して最適
な押圧力で良好な接触摺動状態に容易に制御し得るよう
にすることを目的とする。 【構成】 磁束リターンヨーク、主磁極1e、コイル1dを
有する電磁変換素子部１と、該電磁変換素子部１からの
信号を導出する信号リードパターン2bを埋設し、かつそ
の電磁変換素子部１を支持する細長い平板形状の可撓性
支持体２とをＬ字形状に接合して一体に構成してなる接
触型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記可撓性支持体２に、
電磁変換素子部１を記録媒体面に押圧接触した際の可撓
性支持体２の撓曲度を電気抵抗値の変化として検出して
前記電磁変換素子部１の記録媒体面に対する押圧接触状
態を検出するための抵抗線歪み計11を設けた構成とす
る。
薄膜磁気ヘッドに関し、可撓性支持体により支持された
電磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対して最適
な押圧力で良好な接触摺動状態に容易に制御し得るよう
にすることを目的とする。 【構成】 磁束リターンヨーク、主磁極1e、コイル1dを
有する電磁変換素子部１と、該電磁変換素子部１からの
信号を導出する信号リードパターン2bを埋設し、かつそ
の電磁変換素子部１を支持する細長い平板形状の可撓性
支持体２とをＬ字形状に接合して一体に構成してなる接
触型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記可撓性支持体２に、
電磁変換素子部１を記録媒体面に押圧接触した際の可撓
性支持体２の撓曲度を電気抵抗値の変化として検出して
前記電磁変換素子部１の記録媒体面に対する押圧接触状
態を検出するための抵抗線歪み計11を設けた構成とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等に用
いて好適な接触型薄膜磁気ヘッドに係り、特に磁気記録
媒体に対して超軽荷重で最適な接触姿勢を得ることの可
能な信頼性の高い小型な接触型薄膜磁気ヘッドに関する
ものである。
いて好適な接触型薄膜磁気ヘッドに係り、特に磁気記録
媒体に対して超軽荷重で最適な接触姿勢を得ることの可
能な信頼性の高い小型な接触型薄膜磁気ヘッドに関する
ものである。
【０００２】情報処理装置の外部記憶装置として用いら
れる磁気ディスク装置では、情報量の増大に伴って益々
高密度記録化と共に、小型化が要求されている。高密度
記録化においては記録媒体に対する磁気ヘッドの低浮上
動作が不可欠であり、更に究極的には超軽荷重な接触摺
動動作の適用が必要となる。
れる磁気ディスク装置では、情報量の増大に伴って益々
高密度記録化と共に、小型化が要求されている。高密度
記録化においては記録媒体に対する磁気ヘッドの低浮上
動作が不可欠であり、更に究極的には超軽荷重な接触摺
動動作の適用が必要となる。
【０００３】そのような超軽荷重な接触摺動動作と小型
化を実現し得るヘッド構成として、薄膜磁気ヘッドと弾
性支持部材とを組み合わせた薄膜磁気ヘッド組立体、即
ち、薄膜形成技術により形成した媒体接触面を有する電
磁変換素子部と信号リードパターンを内蔵し、かつ該電
磁変換素子部を支持する細長い平板状の可撓性支持体と
を一体に構成したマイクロコンタクトタイプの薄膜磁気
ヘッドが提案されている。
化を実現し得るヘッド構成として、薄膜磁気ヘッドと弾
性支持部材とを組み合わせた薄膜磁気ヘッド組立体、即
ち、薄膜形成技術により形成した媒体接触面を有する電
磁変換素子部と信号リードパターンを内蔵し、かつ該電
磁変換素子部を支持する細長い平板状の可撓性支持体と
を一体に構成したマイクロコンタクトタイプの薄膜磁気
ヘッドが提案されている。
【０００４】このマイクロコンタクトタイプの薄膜磁気
ヘッドは、それ自体が非常に小型であるが故に、その電
磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対して最良な
接触摺動状態に制御することが容易でなく、記録再生特
性が低下する傾向にある。このため、電磁変換素子部の
媒体接触面を記録媒体面に対して最良な接触摺動状態に
容易に制御することのできる構成のマイクロコンタクト
タイプの薄膜磁気ヘッドが必要とされている。
ヘッドは、それ自体が非常に小型であるが故に、その電
磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対して最良な
接触摺動状態に制御することが容易でなく、記録再生特
性が低下する傾向にある。このため、電磁変換素子部の
媒体接触面を記録媒体面に対して最良な接触摺動状態に
容易に制御することのできる構成のマイクロコンタクト
タイプの薄膜磁気ヘッドが必要とされている。
【０００５】
【従来の技術】前記した従来の接触型薄膜磁気ヘッド
は、図４(a) の概略斜視図及び図４(b)の要部側断面図
に示すように媒体接触面を有する電磁変換素子部１と信
号リードパターン2bを内蔵する細長い平板状の可撓性支
持体２とが接着剤等によりＬ字形状に接合されて一体化
した構成からなっている。
は、図４(a) の概略斜視図及び図４(b)の要部側断面図
に示すように媒体接触面を有する電磁変換素子部１と信
号リードパターン2bを内蔵する細長い平板状の可撓性支
持体２とが接着剤等によりＬ字形状に接合されて一体化
した構成からなっている。
【０００６】前記電磁変換素子部１は、薄膜形成技術に
よりNiFe合金からなる磁束リターンヨーク1a上に Al2O3
からなる絶縁層1bと、層間絶縁層1cを介してコイル1dが
捲回され、かつ該磁束リターンヨーク1aと磁気的に接続
された主磁極1eと、該コイル1dの接続端子1fとが積層状
に形成され、更に媒体接触面に前記磁束リターンヨーク
1aと主磁極1eの先端が露出している。
よりNiFe合金からなる磁束リターンヨーク1a上に Al2O3
からなる絶縁層1bと、層間絶縁層1cを介してコイル1dが
捲回され、かつ該磁束リターンヨーク1aと磁気的に接続
された主磁極1eと、該コイル1dの接続端子1fとが積層状
に形成され、更に媒体接触面に前記磁束リターンヨーク
1aと主磁極1eの先端が露出している。
【０００７】前記可撓性支持体２は、細長い金属平板2a
上に沿って絶縁膜により被包された信号リードパターン
2b, 2bと、この信号リードパターン2b, 2bの両端に接続
端子2cと2dがそれぞれ形成されている。また前記電磁変
換素子部１に設けたコイル1dの接続端子1f, 1fと可撓性
支持体２に設けた信号リードパターン2b, 2bの各接続端
子2cとの間は、ワイヤーボンディイグにより金(Au)など
のワイヤーリード線３で接続されている。
上に沿って絶縁膜により被包された信号リードパターン
2b, 2bと、この信号リードパターン2b, 2bの両端に接続
端子2cと2dがそれぞれ形成されている。また前記電磁変
換素子部１に設けたコイル1dの接続端子1f, 1fと可撓性
支持体２に設けた信号リードパターン2b, 2bの各接続端
子2cとの間は、ワイヤーボンディイグにより金(Au)など
のワイヤーリード線３で接続されている。
【０００８】そしてこの可撓性支持体２の後端部は図示
しないヘッド位置決め機構の支持アーム４に支持され、
該可撓性支持体２に設けた信号リードパターン2b, 2bの
接続端子2dには図示しない記録再生制御回路等に接続し
たリード線が接続されるようになっている。
しないヘッド位置決め機構の支持アーム４に支持され、
該可撓性支持体２に設けた信号リードパターン2b, 2bの
接続端子2dには図示しない記録再生制御回路等に接続し
たリード線が接続されるようになっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うな接触型の薄膜磁気ヘッドをヘッド位置決め機構の支
持アーム４に支持し、その電磁変換素子部１の主磁極1e
先端等を露出させた媒体接触面を低押圧荷重で記録媒体
面に接触させた状態で記録再生を行う場合、ヘッド自体
が極めて小さいために前記電磁変換素子部１の媒体接触
面を記録媒体面に対して平行に、かつ良好に接触させる
ことが困難であった。
うな接触型の薄膜磁気ヘッドをヘッド位置決め機構の支
持アーム４に支持し、その電磁変換素子部１の主磁極1e
先端等を露出させた媒体接触面を低押圧荷重で記録媒体
面に接触させた状態で記録再生を行う場合、ヘッド自体
が極めて小さいために前記電磁変換素子部１の媒体接触
面を記録媒体面に対して平行に、かつ良好に接触させる
ことが困難であった。
【００１０】従って、該電磁変換素子部１の媒体接触面
を記録媒体面に接触した状態で再生出力をモニタしなが
ら、該再生出力が最大となるようにヘッド取付け部で当
該磁気ヘッドの取付け角度等を微調整していた。また、
前記電磁変換素子部１を記録媒体面に押し付ける力（押
圧荷重）も、可撓性支持体２の支持状態によって異なり
最適な押圧力で接触させることが困難であった。
を記録媒体面に接触した状態で再生出力をモニタしなが
ら、該再生出力が最大となるようにヘッド取付け部で当
該磁気ヘッドの取付け角度等を微調整していた。また、
前記電磁変換素子部１を記録媒体面に押し付ける力（押
圧荷重）も、可撓性支持体２の支持状態によって異なり
最適な押圧力で接触させることが困難であった。
【００１１】このため、記録再生特性が低下するばかり
でなく、最悪の場合にはヘッドクラッシュを引き起こす
という問題があった。本発明は上記した従来の問題点に
鑑み、電磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対し
て最適な押圧力で良好な接触摺動状態に容易に制御し得
るようにした新規な接触型薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とするものである。
でなく、最悪の場合にはヘッドクラッシュを引き起こす
という問題があった。本発明は上記した従来の問題点に
鑑み、電磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対し
て最適な押圧力で良好な接触摺動状態に容易に制御し得
るようにした新規な接触型薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、磁束リターンヨーク、該磁束リターンヨ
ークと磁気的に接続された磁極、コイルを有する電磁変
換素子部と、該電磁変換素子部からの信号を導出する信
号リードパターンを埋設し、かつ電磁変換素子部を支持
する細長い平板形状の可撓性支持体とをＬ字形状に一体
に構成してなる接触型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記可
撓性支持体に、電磁変換素子部を記録媒体面に押圧接触
した際の可撓性支持体の撓曲度を電気抵抗の変化として
検出して該電磁変換素子部の記録媒体面に対する押圧接
触状態を検出するための抵抗線歪み計を設けた構成とす
る。
達成するため、磁束リターンヨーク、該磁束リターンヨ
ークと磁気的に接続された磁極、コイルを有する電磁変
換素子部と、該電磁変換素子部からの信号を導出する信
号リードパターンを埋設し、かつ電磁変換素子部を支持
する細長い平板形状の可撓性支持体とをＬ字形状に一体
に構成してなる接触型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記可
撓性支持体に、電磁変換素子部を記録媒体面に押圧接触
した際の可撓性支持体の撓曲度を電気抵抗の変化として
検出して該電磁変換素子部の記録媒体面に対する押圧接
触状態を検出するための抵抗線歪み計を設けた構成とす
る。
【００１３】
【作用】本発明では、電磁変換素子部を支持する可撓性
支持体上に抵抗線歪み計を配設し、電磁変換素子部の媒
体接触面を記録媒体面に対して押圧した接触状態にする
と、そのときの可撓性支持体の撓曲する度合い（接触状
態）が、該可撓性支持体と共に撓曲する前記抵抗線歪み
計での電気抵抗値の変化として検出することができる。
支持体上に抵抗線歪み計を配設し、電磁変換素子部の媒
体接触面を記録媒体面に対して押圧した接触状態にする
と、そのときの可撓性支持体の撓曲する度合い（接触状
態）が、該可撓性支持体と共に撓曲する前記抵抗線歪み
計での電気抵抗値の変化として検出することができる。
【００１４】従って、最良な接触摺動状態で電磁変換素
子部の媒体接触面が該記録媒体面に押圧している状態で
の可撓性支持体の撓曲度に対する電気抵抗値を該抵抗線
歪み計によりあらかじめ測定しておき、これを基準にし
て前記抵抗線歪み計の電気抵抗値により電磁変換素子部
の記録媒体面に対する押圧力を検出することにより、該
電磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対して最適
の押圧力で、最良な接触摺動状態に容易に調整するがで
きるので、良好な記録再生特性を得ることが可能とな
る。
子部の媒体接触面が該記録媒体面に押圧している状態で
の可撓性支持体の撓曲度に対する電気抵抗値を該抵抗線
歪み計によりあらかじめ測定しておき、これを基準にし
て前記抵抗線歪み計の電気抵抗値により電磁変換素子部
の記録媒体面に対する押圧力を検出することにより、該
電磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対して最適
の押圧力で、最良な接触摺動状態に容易に調整するがで
きるので、良好な記録再生特性を得ることが可能とな
る。
【００１５】更に、記録媒体に対する薄膜磁気ヘッドの
接触摺動状態も安定することから、ヘッドクラッシュも
低減され、信頼性が向上する。
接触摺動状態も安定することから、ヘッドクラッシュも
低減され、信頼性が向上する。
【００１６】
【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。図１は本発明に係る接触型薄膜磁気ヘッ
ドの一実施例を示す概略斜視図であり、図４と同等部分
には同一符号を付して説明する。
細に説明する。図１は本発明に係る接触型薄膜磁気ヘッ
ドの一実施例を示す概略斜視図であり、図４と同等部分
には同一符号を付して説明する。
【００１７】図において、１は従来例と同様に薄膜形成
技術によりNiFe合金からなる磁束リターンヨーク上に A
l2O3膜からなる絶縁層と、層間絶縁層を介してコイル1d
が捲回され、かつ該磁束リターンヨークと磁気的に接続
された主磁極1eと、該コイル1dの接続端子1fとが積層状
に形成され、更に媒体接触面に前記磁束リターンヨーク
と主磁極1eの先端が露出した構成の電磁変換素子部であ
る。
技術によりNiFe合金からなる磁束リターンヨーク上に A
l2O3膜からなる絶縁層と、層間絶縁層を介してコイル1d
が捲回され、かつ該磁束リターンヨークと磁気的に接続
された主磁極1eと、該コイル1dの接続端子1fとが積層状
に形成され、更に媒体接触面に前記磁束リターンヨーク
と主磁極1eの先端が露出した構成の電磁変換素子部であ
る。
【００１８】２は、電磁変換素子部１とＬ字形状に接合
して支持している可撓性支持体であり、細長い金属平板
2a上に沿って絶縁膜により被包された一対の信号リード
パターン2b, 2bと、該信号リードパターン2b, 2bの両端
にそれぞれ接続端子2cと2dが配設され、その各接続端子
2cと前記コイル1dの接続端子1f間は金(Au)などのワイヤ
ーリード線３により接続されている。
して支持している可撓性支持体であり、細長い金属平板
2a上に沿って絶縁膜により被包された一対の信号リード
パターン2b, 2bと、該信号リードパターン2b, 2bの両端
にそれぞれ接続端子2cと2dが配設され、その各接続端子
2cと前記コイル1dの接続端子1f間は金(Au)などのワイヤ
ーリード線３により接続されている。
【００１９】更に、前記可撓性支持体２上には、例えば
絶縁台紙上にアドバンス（58％Cu,42％Ni）やニクロム
などの抵抗の温度係数が小さい細い合金線、或いは合金
箔及びリード端子11a を貼着してなる構成の抵抗線歪み
計11が接着剤等により貼設されている。
絶縁台紙上にアドバンス（58％Cu,42％Ni）やニクロム
などの抵抗の温度係数が小さい細い合金線、或いは合金
箔及びリード端子11a を貼着してなる構成の抵抗線歪み
計11が接着剤等により貼設されている。
【００２０】そして、このような構成の薄膜磁気ヘッド
の可撓性支持体２の後端部を図示しないヘッド位置決め
機構の支持アームに支持した状態で、前記電磁変換素子
部１の媒体接触面を回転する記録媒体面に対して押圧し
た接触摺動状態にすると、その押圧接触状態により前記
可撓性支持体２の撓曲する度合いが変化し、該可撓性支
持体２と共に撓曲する前記抵抗線歪み計11の合金線の歪
みによる電気抵抗値も変化する。
の可撓性支持体２の後端部を図示しないヘッド位置決め
機構の支持アームに支持した状態で、前記電磁変換素子
部１の媒体接触面を回転する記録媒体面に対して押圧し
た接触摺動状態にすると、その押圧接触状態により前記
可撓性支持体２の撓曲する度合いが変化し、該可撓性支
持体２と共に撓曲する前記抵抗線歪み計11の合金線の歪
みによる電気抵抗値も変化する。
【００２１】従って、最良な接触摺動状態で電磁変換素
子部１の媒体接触面が該記録媒体面に押圧している状態
での可撓性支持体２の撓曲度を、あらかじめ前記抵抗線
歪み計11により電気抵抗値の変化として検出してその電
気抵抗値を測定しておき、その電気抵抗値を基準にして
電磁変換素子部１の記録媒体面に対する押圧力を制御す
ることによって、該電磁変換素子部１の媒体接触面を記
録媒体面に対して容易に最適の押圧力で、最良な接触摺
動状態に調整することができる。
子部１の媒体接触面が該記録媒体面に押圧している状態
での可撓性支持体２の撓曲度を、あらかじめ前記抵抗線
歪み計11により電気抵抗値の変化として検出してその電
気抵抗値を測定しておき、その電気抵抗値を基準にして
電磁変換素子部１の記録媒体面に対する押圧力を制御す
ることによって、該電磁変換素子部１の媒体接触面を記
録媒体面に対して容易に最適の押圧力で、最良な接触摺
動状態に調整することができる。
【００２２】よって、良好な記録再生特性を得ることが
可能となると共に、記録媒体に対する薄膜磁気ヘッドの
接触摺動状態も安定化するので、ヘッドクラッシュも低
減することができる。
可能となると共に、記録媒体に対する薄膜磁気ヘッドの
接触摺動状態も安定化するので、ヘッドクラッシュも低
減することができる。
【００２３】図２(a),(b),(c) は接触型薄膜磁気ヘッド
の電磁変換素子部１を記録媒体12面に押圧接触させた状
態と、そのときの抵抗線歪み計の電気抵抗値との関係を
説明するための図であり、図２(a) で示すような場合は
薄膜磁気ヘッドの電磁変換素子部１の記録媒体12面に対
する押圧が弱くて接触状態が不十分であることから、可
撓性支持体２の撓曲度も少なく、検出される電気抵抗値
(Ra)も低くなる。
の電磁変換素子部１を記録媒体12面に押圧接触させた状
態と、そのときの抵抗線歪み計の電気抵抗値との関係を
説明するための図であり、図２(a) で示すような場合は
薄膜磁気ヘッドの電磁変換素子部１の記録媒体12面に対
する押圧が弱くて接触状態が不十分であることから、可
撓性支持体２の撓曲度も少なく、検出される電気抵抗値
(Ra)も低くなる。
【００２４】また、図２(c) で示すような場合は薄膜磁
気ヘッドの電磁変換素子部１の記録媒体12面に対する押
圧が強力過ぎるため、逆に浮き上がりぎみな接触状態と
なって可撓性支持体２の撓曲度が大きく、検出される電
気抵抗値(Rc)も高くなる。図２(b) で示すような場合が
薄膜磁気ヘッドの電磁変換素子部１を記録媒体12面に対
して最も良好な押圧接触状態としている例であり、可撓
性支持体２の撓曲度も適度であり、検出される電気抵抗
値(Rb)は、Ra＜Rb＜Rcで示されるように中間の値になっ
ている。
気ヘッドの電磁変換素子部１の記録媒体12面に対する押
圧が強力過ぎるため、逆に浮き上がりぎみな接触状態と
なって可撓性支持体２の撓曲度が大きく、検出される電
気抵抗値(Rc)も高くなる。図２(b) で示すような場合が
薄膜磁気ヘッドの電磁変換素子部１を記録媒体12面に対
して最も良好な押圧接触状態としている例であり、可撓
性支持体２の撓曲度も適度であり、検出される電気抵抗
値(Rb)は、Ra＜Rb＜Rcで示されるように中間の値になっ
ている。
【００２５】なお、以上の実施例では薄膜磁気ヘッドに
おける可撓性支持体上に個別の抵抗線歪み計を接着剤等
により貼設した構成の場合の例について説明したが、本
発明とそのような実施例に限定されるものではない。
おける可撓性支持体上に個別の抵抗線歪み計を接着剤等
により貼設した構成の場合の例について説明したが、本
発明とそのような実施例に限定されるものではない。
【００２６】例えば、図３(a) の概略平面図及び図３
(b) の要部側断面図に示すように、電磁変換素子部１と
Ｌ字形状に接合して支持している可撓性支持体21の形成
工程において、50μｍの厚さの細長いステンレス等から
なる金属平板21a 上に２μｍの膜厚の Al2O3膜からなる
絶縁層21b を介して１μｍの膜厚の一対の信号リードパ
ターン21c, 21cと、該信号リードパターン21c, 21cの両
端にコイルの接続端子1fとワイヤーリード線３で接続す
るそれぞれ３μｍの膜厚の接続端子21d と記録・再生制
御回路等とリード線により接続する接続端子21e とをフ
ォトリソグラフィ工程により形成し、その全表面に２μ
ｍの膜厚の Al2O3膜からなる絶縁層22を形成する。
(b) の要部側断面図に示すように、電磁変換素子部１と
Ｌ字形状に接合して支持している可撓性支持体21の形成
工程において、50μｍの厚さの細長いステンレス等から
なる金属平板21a 上に２μｍの膜厚の Al2O3膜からなる
絶縁層21b を介して１μｍの膜厚の一対の信号リードパ
ターン21c, 21cと、該信号リードパターン21c, 21cの両
端にコイルの接続端子1fとワイヤーリード線３で接続す
るそれぞれ３μｍの膜厚の接続端子21d と記録・再生制
御回路等とリード線により接続する接続端子21e とをフ
ォトリソグラフィ工程により形成し、その全表面に２μ
ｍの膜厚の Al2O3膜からなる絶縁層22を形成する。
【００２７】その後、その表面を前記接続端子21d, 21e
が露出するまで平坦に研摩し、その絶縁層22上の所定領
域に、１μｍの膜厚のアドバンス（58％Cu, 42％Ni）、
或いはNiCrなどの抵抗の温度係数が小さい合金膜を被着
し、その合金膜をフォトリソグラフィ工程によりパター
ニングして細線を多数に折り返した蛇行状細線パターン
からなる抵抗線歪み計23を設けると共に、３μｍの膜厚
のそのリード端子23aと前記接続端子21d, 21e上に上積
み端子膜を形成する。
が露出するまで平坦に研摩し、その絶縁層22上の所定領
域に、１μｍの膜厚のアドバンス（58％Cu, 42％Ni）、
或いはNiCrなどの抵抗の温度係数が小さい合金膜を被着
し、その合金膜をフォトリソグラフィ工程によりパター
ニングして細線を多数に折り返した蛇行状細線パターン
からなる抵抗線歪み計23を設けると共に、３μｍの膜厚
のそのリード端子23aと前記接続端子21d, 21e上に上積
み端子膜を形成する。
【００２８】更に、その全表面に再度の１μｍの膜厚の
Al2O3膜からなる絶縁層24を形成し、その表面を前記信
号リードパターン21c, 21cの接続端子21d と21e 及び抵
抗線歪み計23のリード端子23a が露出するまで平滑に研
摩することにより、抵抗線歪み計23を内蔵した可撓性支
持体21が前記図１に示す可撓性支持体の全体よりも薄型
で小型に得られ、このような構成の可撓性支持体21を適
用した薄膜磁気ヘッドによっても前記図１による実施例
と同様な目的、効果が得られる。
Al2O3膜からなる絶縁層24を形成し、その表面を前記信
号リードパターン21c, 21cの接続端子21d と21e 及び抵
抗線歪み計23のリード端子23a が露出するまで平滑に研
摩することにより、抵抗線歪み計23を内蔵した可撓性支
持体21が前記図１に示す可撓性支持体の全体よりも薄型
で小型に得られ、このような構成の可撓性支持体21を適
用した薄膜磁気ヘッドによっても前記図１による実施例
と同様な目的、効果が得られる。
【００２９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る接触型薄膜磁気ヘッドによれば、該薄膜磁気ヘッ
ドの可撓性支持体に抵抗線歪み計を設け、最良な接触摺
動状態で電磁変換素子部の媒体接触面が該記録媒体面に
押圧している状態での可撓性支持体の撓曲度を、同時に
撓曲する前記抵抗線歪み計によりあらかじめ電気抵抗値
の変化として検出してその電気抵抗値を測定しておき、
その電気抵抗値を基準にして電磁変換素子部の記録媒体
面に対する押圧力（ヘッド荷重）を制御することによっ
て、該電磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対し
て容易に最適の押圧力で、最良な接触摺動状態に調整す
ることが可能となる。
に係る接触型薄膜磁気ヘッドによれば、該薄膜磁気ヘッ
ドの可撓性支持体に抵抗線歪み計を設け、最良な接触摺
動状態で電磁変換素子部の媒体接触面が該記録媒体面に
押圧している状態での可撓性支持体の撓曲度を、同時に
撓曲する前記抵抗線歪み計によりあらかじめ電気抵抗値
の変化として検出してその電気抵抗値を測定しておき、
その電気抵抗値を基準にして電磁変換素子部の記録媒体
面に対する押圧力（ヘッド荷重）を制御することによっ
て、該電磁変換素子部の媒体接触面を記録媒体面に対し
て容易に最適の押圧力で、最良な接触摺動状態に調整す
ることが可能となる。
【００３０】従って、良好な記録再生特性が得られると
共に、記録媒体に対する薄膜磁気ヘッドの接触摺動状態
も安定してヘッドクラッシュが低減されるなど優れた利
点を有し、高密度記録における信頼性が向上する。
共に、記録媒体に対する薄膜磁気ヘッドの接触摺動状態
も安定してヘッドクラッシュが低減されるなど優れた利
点を有し、高密度記録における信頼性が向上する。
【図１】 本発明の接触型薄膜磁気ヘッドの一実施例を
示す概略斜視図である。
示す概略斜視図である。
【図２】 本発明の接触型薄膜磁気ヘッドの記録媒体面
への押圧接触状態と、そのときの抵抗線歪み計の電気抵
抗値との関係を説明するための図である。
への押圧接触状態と、そのときの抵抗線歪み計の電気抵
抗値との関係を説明するための図である。
【図３】 本発明の接触型薄膜磁気ヘッドの他の実施例
を説明するための概略平面図とその要部側断面図であ
る。
を説明するための概略平面図とその要部側断面図であ
る。
【図４】 従来の接触型薄膜磁気ヘッドの一例を示す概
略斜視図とその要部側断面図である。
略斜視図とその要部側断面図である。
１ 電磁変換素子部 １ｄ コイル １ｅ 主磁極 １ｆ，２ｃ，２ｄ，２１ｄ，２１ｅ 接続端子 ２，２１ 可撓性支持体 ２ａ，２１ａ 金属平板 ２ｂ，２１ｃ， 信号リードパターン ３ ワイヤーリード線 １１，２３ 抵抗線歪み計 ２１ｂ，２２，２４ 絶縁層 ２３ａ リード端子
Claims (1)
- 【請求項１】 磁束リターンヨーク、該磁束リターンヨ
ークと磁気的に接続された磁極(1e)、コイル(1d)を有す
る電磁変換素子部（１）と、該電磁変換素子部（１）か
らの信号を導出する信号リードパターン(2b)を埋設し、
かつ電磁変換素子部（１）を支持する細長い平板形状の
可撓性支持体（２）とをＬ字形状に一体に構成してなる
接触型薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記可撓性支持体（２）に、電磁変換素子部（１）を記
録媒体面に押圧接触した際の可撓性支持体（２）の撓曲
度を電気抵抗値の変化として検出して該電磁変換素子部
（１）の記録媒体面に対する押圧接触状態を検出するた
めの抵抗線歪み計(11)を設けたことを特徴とする接触型
薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21016492A JPH0660352A (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 接触型薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21016492A JPH0660352A (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 接触型薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0660352A true JPH0660352A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16584831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21016492A Withdrawn JPH0660352A (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 接触型薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660352A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6181520B1 (en) | 1997-07-04 | 2001-01-30 | Fujitsu Limited | Head slider and disk unit having contact detection means |
| WO2008075432A1 (ja) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Fujitsu Limited | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
-
1992
- 1992-08-06 JP JP21016492A patent/JPH0660352A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6181520B1 (en) | 1997-07-04 | 2001-01-30 | Fujitsu Limited | Head slider and disk unit having contact detection means |
| WO2008075432A1 (ja) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Fujitsu Limited | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991102 |