JPH0660036B2 - 赤外光用光ファイバの製造方法 - Google Patents

赤外光用光ファイバの製造方法

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JPH0660036B2
JPH0660036B2 JP59078556A JP7855684A JPH0660036B2 JP H0660036 B2 JPH0660036 B2 JP H0660036B2 JP 59078556 A JP59078556 A JP 59078556A JP 7855684 A JP7855684 A JP 7855684A JP H0660036 B2 JPH0660036 B2 JP H0660036B2
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C13/00Fibre or filament compositions
    • C03C13/04Fibre optics, e.g. core and clad fibre compositions
    • C03C13/041Non-oxide glass compositions
    • C03C13/043Chalcogenide glass compositions

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  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は波長2μmから10μm以上の赤外光に対し高
い透過率を有する赤外光用光ファイバの製造方法に関す
る。
〔発明の背景〕 波長2μm以上の赤外領域の波長において高い透過率を
有する赤外透過材料は、たとえばレーザメスやレーザ溶
接などに用いられる波長10.6μmのCOレーザの
窓などの材料として有用であり、またこのような材料を
線引して得られる赤外透過光フアイバは上記COレー
ザ伝送路や、あるいは温度計測用の伝送路としても非常
に有用である。このため波長2μm以上で透明な材料の
探索が行なわれ、カルコゲナイトガラスあるいはフツ化
物ガラスなどが研究されている。一般に赤外領域におけ
る損失の原因は不純物による吸収損失と、ガラスを形成
する原子・分子の格子振動による吸収損失とが主要なも
のである。両者のうち格子振動に起因する吸収損失は多
くは各種の不純物の吸収ピークよりも長波側に存在し、
実用上、重要であるCOレーザの波長(10.6μ
m)における吸収損失に多大の悪影響をおよぼす。この
ため10.6μmにおいて透過率の高い材料は、格子振
動による吸収の位置ができるかぎり長波長側に存在する
ことが望ましい。このような見地から各種の材料のうち
長波長まで高い透過率を有するカルコゲナイドガラスが
もつとも有望視されている。
レーザメスやレーザ溶接に用いるCOレーザのパワー
は数十ワツトと高いために、これを透過するバルクある
いはフアイバ材料の透過率は、伝送損失で0.5dB/
m以下、望ましくは0.1dB/m以下でなければなら
ない。(これらの値は透過率に換算すると各々1.2×
10−3cm−1および2.3×10−4cm−1に対応す
る。)一方赤外透過材料としてのカルコゲナイトガラス
としてはGe−S,Ge−Se,As−S,As−S
e,Ge−As−Se,Ge−Sb−Se,Ge−Se
−Te、さらにはこれらを組み合わせた4元系の組成に
いたるまで多種の例が報告されている。これらの報告例
の中でCOレーザ波長である波長が10.6μmにお
いてもつとも光透過率の高いものは、たとえばGe−S
b−Seのバルクについて吸収係数の値が0.008cm
−1(Journal of Electronic Moterials,Vol.
4,No.2,1975 pp347−362)の例がありま
たGe−As−Seのフアイバにおいて伝送損失4.5
dB/m(吸収係数に換算すると0.01cm−1に対応
する)(I00C′83,30A2−4)などの例がある。
しかしながらこれらの値は上に述べた値にくらべまだ不
充分な値であり、実用に耐え得る赤外光用光フアイバ材
料としてはより透過度の高い、言い換えると吸収係数の
値がより低い材料が必要である。上にあげた2つの報告
例においては、その論文内容によれば10.6μmにお
ける損失の主要な原因は、この波長よりも長波長側に存
在する格子振動の吸収ピークの裾の影響によるもので、
材料固有のものであり、同組成においてはこれ以上の透
過率を有する赤外透過材料は実現できない。またAsを
含む化合物はその強い毒性のため実用上問題を生じる。
さらに重要なことはカルコゲナイトなどの赤外光用ガラ
スにおいては石英系ガラスにくらべ、ガラスとしての安
定度が低いために、フアイバとすることが難かしいこと
である。たとえば文献(電子通信学会技術研究報告CP
M82−39)に記載されているごとく、Ge−P−S
系、As−S系およびGe−As−Se系のいずれの組
成においても、均質なフアイバを得ることのできる領域
はガラス形成領域よりもはるかに狭い領域である。した
がつて吸収が低いという特性を持つ組成と、光フアイバ
として好適な組成とは必ずしも一致しない。すなわちバ
ルクガラスとしては非常に透明であつても、これを線引
してフアイバとすることが出来ないか、あるいは出来た
としても線引時の再加熱による結晶化のために散乱損失
が増加し、フアイバとしての損失が大きくなる場合があ
る。
〔発明の目的〕 本発明の目的は上述したカルコゲナイド赤外光フアイバ
材料の問題点、すなわち波長10.6μmにおいてこれ
よりも長波長側に存在する格子振動の吸収ピークの裾に
よる損失増加が少なくて、かつ散乱損失などの増加をと
もなわずに光フアイバ化が可能であるように毒性の少な
い赤外光用光フアイバの製造方法を提供することにあ
る。
〔発明の概要〕
本発明はGe−SeカルコゲナイドガラスにSbを添加
することによつて、10.6μmのCO2レーザ光の透過
率に悪影響をおよぼす11.8および13.2μmに存
在する格子振動による吸収損失を低下させるようにした
ものである。すなわち本発明はモル%で示したGe−S
b−Se3成分系カルコゲナイドガラスの状態図におい
て、A点(3Ge,10Sb,87Se)、B点(30
Ge,10Sb,60Se)、C点(30Ge,15S
b,55Se)、E点(15Ge,30Sb,55S
e)、F点(3Ge,30Sb,67Se)の各点を
A,B,C,E,F,Aの順に結んだ直線で囲まれた領
域内の組成をもつガラス、さらに好ましくはG点(3G
e,20Sb,77Se)、D点(25Ge,20S
b,55Se)、E点(15Ge,30Sb,55S
e)、F点(3Ge,30Sb,67Se)の各点を
G,D,E,F,Gの順に結んだ直線で囲まれた領域内
の組成を持つガラスを赤外光用フアイバとすることによ
つて上記の目的を達成したものである。カルコゲン化物
のガラス形成のためには、その化学結合がイオン性結合
と共有性結合の中間である必要がある。また金属結合性
が強いと結合の方向性を失うので2元素からなるカルコ
ゲン化物ガラスとしてはAs−S系、Ge−S系がもつ
とも標準的なガラス網目形成体(Network Former)で
ある。またガラスの赤外透過の限界波長は、原子量の大
きい程長波長側へシフトする。またガラスの軟化温度
も、赤外透過材料の実用性を考慮すると少なくとも10
0℃以上である必要がある。
各種のカルコゲナイドガラスのうちS系はSe,Te系
にくらべてガラス化し易く、軟化点も高いが赤外吸収端
は15μm以下に制限される。たとえばAs−S系およ
びGe−S系の吸収端の位置は各々14μmおよび13
μmである。この吸収端の影響で10.6μm帯での吸
収損失は大きくなる。一方Asをベースとするカルコゲ
ナイドガラスは、毒性が強いという問題の他に、ガラス
転移温度が低いという欠点がある。またPは揮発性があ
るという欠点やSiでは融点が高くなる、あるいはSi
−Oの吸収が10.6μmの近くにあるという欠点があ
る。さらにSnにおいては不要な吸収が多く、Te系に
おいては光散乱が多いという欠点がある。
以上の理由により、波長10.6μmにおいて透過率が
高く、かつ毒性の少ない赤外透過用材料としてはGe−
Se系に絞られる。
以下本発明を図面を用いて詳細な説明する。第1図はG
e Se の組成のバルクガラスの吸収係数の長波長領
域におけるふるまいを示す。この図より、Ge−Se系
ガラスにおいては、13.2μmに格子振動による大き
な吸収ピークが存在し、さらにこれに11.8μmにあ
るやや小さな吸収ピークが重なつており、これらが、1
0.6μmにおける損失の主要な原因であることがわか
る。したがつて10.6μmにおける損失を低下させる
には、材料固有の性質である上の2つの格子振動による
吸収ピークを低減させなければならない。先にも述べた
ように、ガラスの赤外波長限界、言い換えると格子振動
による吸収ピークの位置は、原子量が大きい程長波長側
へシフトする。本発明は以上の事実からGeおよびSe
元素を、これらよりも原子量が大きく、かつ赤外透過用
カルコゲナイドガラス構成元素として最適なSbを添加
することによつて上記吸収ピークを長波長側にシフトさ
せ、波長10.6μmにおける透過率の高い材料を得る
ものである。
Ge−Se系カルコゲナイドガラスにSbを加えていつ
た時、上記の波長13.2μmおよび11.8μmにお
ける吸収ピークのふるまいと、波長10.6μmにおけ
る吸収係数が期待通りに低下するかどうかを確かめるた
めにGe Se およびGe Se、Ge Se の各
々の組成を出発材料とし、これらのSeをSbで置換し
ていつた各種組成のGe−Sb−Seの3成分系カルコ
ゲナイドガラスを作り、それらの赤外分光特性を測定し
た。その結果SeをSbで置換して行つたとき、第1図
に示した13.2μmおよび11.8μmの吸収が著しく改
善できることを見出した。第2図は10.6μmにおけ
る吸収係数の値を1m当りの伝送損失に換算した値がS
bの濃度とともにどう変化するかを示す。図中の黒丸お
よび白丸はGeのモル濃度が10%および20%の場合
を示す。図からGe−Se系においてSeをSbで置換
するとともに10.6μmにおける吸収係数は急激に減
少し、Sbの置換量が10モル%を越えると約0.5d
B/m以下に、さらに20モル%以上置換すると0.1
dB/m以下となることがわかる。
一方、Ge−Sb−Se系カルコゲナイドガラスにおけ
るガラス化領域は第3図に示す破線よりもSbの少ない
領域である。この図はGe−Sb−Se系スルコゲナイ
ドガラスではSbの量が増すとガラスとしては不安定と
なり、結晶化し易くなることを示している。すなわちG
e−Sb−Se系においては従来の発表例によれば、バ
ルクガラスの透過率が高いSbの豊富な領域は、赤外光
用光フアイバとしては必ずしも好適な組成領域とは言え
ない。しかし本発明の実施例で述べるごとく、ロツド線
引法、るつぼ法などの従来法による線引法とは異なる、
加圧るつぼ法を用いて線引を行うことによつて従来法で
はSbの量が0〜20モル%の領域までしか可能でなか
つた線引領域が、第3図の破線で示したSb約30モル
%のガラス化領域の境界まで散乱損失の増加なしに線引
できることが示される。
さらに詳細な領域は、以下に示す実施例にもとづいて決
定される。
〔発明の実施例〕
実施例1 出発原料として純度10−ナインのGeのインゴツト
と、5−ナインのSeおよびSbのシヨツトを蒸留輸送
法によつて精製したものを用い、これらをモル比におい
てGe:Sb:Se=10:28:62となるように秤
量し、次に石英ガラスアンプル中に真空度10−6torr
で封入し、振動型電気炉を用いて攪拌しながら800℃
で38時間溶融した後、空冷してガラスブロツクを得
た。このブロツクの両端を7.6mmの厚さに研磨して赤
外分光器によつて分光特性を測定したところ、第1図に
示した13.2μmの吸収ピークは0.04cm−1まで減少
し、10.6μmにおける吸収係数の値は小さすぎてこ
の厚みでは測定不可能であつた。
実施例2 実施例1と同様にしてGe:Sb:Se=15:27:
58なる組成のガラスを作製し、赤外分光特性を測定し
た。13.2μmおよび11.8μmの吸収ピークの値
は実施例1の場合と同様に約0.03cm−1まで減少
し、10.6μmにおける吸収係数の値も、先の例と同
様に非常に小さいため、バルクガラスでは測定不可能で
あつた。
実施例3 Ge−Sb−Se3成分系ガラスの線引可能な組成領域
を求めるために、実施例1に述べたものと同じ原料およ
び方法を用いてガラス化領域内の18点の異なる組成の
ガラスブロツクを作製し、これらの各々を従来法である
ロツド線引法と、加圧るつぼ法と呼ぶ新しい方法との2
つの方法で線引を行つた。ロツト線引の場合には試料の
径を約10mmφ、長さを数十mm程度に研磨し、これを石
英棒に装着して電気炉内に入れ、150℃〜480 ℃の範
囲内で、その組成に最適な温度で線引を行つた。加圧る
つぼ法とは下端にノズルを持つたるつぼに試料を入れ、
加熱すると共に圧力を加えながら線引を行う方法であ
る。本実施例においてはるつぼ下端のノズル径は0.6
〜0.8mmφ、内径8mmφの石英製るつぼを用い、加圧
にはArガスボンベを用い、圧力は0.5kg/cm2と一
定とした。電気炉はロツド線引の場合とまつたく同一の
ものを用い、線引温度は異なる組成ごとに最適条件を求
めた。このようにして求めた線引可能な領域はロツド線
引と加圧るつぼ法とでは異なつた範囲であつた。第3図
にその結果を示す。第3図の破線はGe−Sb−Se3
成分系ガラスのガラス化範囲の境界を示し、その内側の
点線は本実施例で求めたロツド線引法を用いた場合の線
引可能な境界をあらわす。この点線の外側の領域では均
質な光フアイバの線引はできなかつた。すなわちGe−
Sb−Se3成分系においても、先に述べた文献に示さ
れたGe−P−S系、As−S、Ge−As−Se系な
どと同じく、ガラス化可能な組成範囲よりも、ロツド線
引による線引可能な範囲が狭いことが判明した。一方、
加圧るつぼ法による線引の場合には、ガラス化可能な組
成範囲のすべての試料を均質なフアイバに線引すること
が可能であつた。
実施例4 実施例2で作製したガラスブロツクを研磨により径10
mmφ、長さ100mmのロツドに形成し、これを電気炉で
370℃に加熱し、従来法であるロツド線引法で線引を
行つたところ、線引中にフアイバの破線がひん発し、均
質なフアイバが得られなかつた。破断面の観察によれ
ば、破断の原因は線引時の再加熱による結晶析出のため
と思われる。なお、るつぼ法による線引も同じように破
断を生じ均質なフアイバが得られなかつた。
次に上と同じガラスブロツクを、下端に0.6mmφのノ
ズルを持つ内径8mmφの石英るつぼに入れ、電気炉で3
70℃に加熱すると共に、るつぼの上端からArガスを
用いて0.5kg/cm2の圧力で加圧しながら線引を行つ
たところ、外径260μm、長さ約80mの均質なフア
イバを得ることができた。この赤外光用光フアイバの分
光特性を測定したところ、最低損失は波長6.5μmに
おいて0.06dB/m、また波長10.6μmにおけ
る伝送損失は0.08dB/mと、バルグの分光測定の
結果から予測したごとく損失が低く、また線引時におい
ても損失増加がほとんど無いことが確められた。
実施例5 実施例1と同様な方法でGe:Sb:Se=3:25:
72の組成のガラスブロツクを作製した。このガラスブ
ロツクの赤外分光特性の測定結果は前の結果と同様に波
長10.6μmにおいて吸収係数が測定できない程小さ
な値を示した。この実施例で示した組成も赤外透過材料
に好適な事が判明した。
実施例6 上記の例と同様な方法でGe:Sb=25:75のガラ
スブロツクを作製し、赤外分光特性を測定したところ、
極端に透過率が悪く、これまでの例とは逆に吸収係数が
大きすぎるために測定不可能であった。さらにGeの量
が2%よりも小さな領域でSeとSbの組成を変えてガ
ラスブロツクを作製して赤外分光特性を測定したとこ
ろ、いずれの組成においても吸収係数が大きかつた。以
上の実験の結果Ge−Sb−Se3成分系においてGe
の量が2%以下の組成は吸収係数が大であるために赤外
透過材料としては不適当であることが判明した。
実施例7 実施例1と同様な方法でGe:Sb:Se=33:1
2:55のガラスブロツクを作製し、赤外分光特性を作
製した。この組成においては13.2μmの吸収係数の値は
これよりもSbの少ない組成にくらべ顕著な減少を示さ
ず、この測定より求めた10.6μmの伝送損失の値も
1.2dB/mと比較的高い値であつた。すなわちGe
の量が30%を越えるGe−Sb−Se系においては、
SeをSbに置換することによる損失低下の効果は顕著
には表われなかつた。
〔発明の効果〕
以上述べたことから明らかなごとく本発明のように第4
図の組成に示した組成範囲内にあるGe−Sb−Se3
成分系カルコゲナイドガラスを用いれば、10.6μm
のCOレーザ光までの赤外光の透過性が極めて高く、
かつ毒性の少ない、赤外光用光フアイバを得ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図はGe:Se=20:80のカルコゲナイドガラ
スの8〜16μmの領域における吸収係数と波長との関
係を示す図、第2図はGe−Sb−Se3成分系カルコ
ゲナイドガラスにおいて、波長10.6μmにおける光
透過率とSbの濃度との関係を表わす図、第3図は同3
成分系カルコゲナイドガラスのガラス化範囲および線引
範囲を示す図、第4図は本発明の内容である光透過率の
高いGe−Sb−Se3成分系ガラスの組成範囲を表わ
す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 勝山 俊夫 東京都国分寺市東恋ヶ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 松村 宏善 東京都国分寺市東恋ヶ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭56−50307(JP,A)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】モル%で示したGe−Sb−Seカルコゲ
    ナイド3成分系状態図において、G点(3Ge,20S
    b,77Se),D点(25Ge,20Sb,55S
    e),E点(15Ge,30Sb,55Se),F点
    (3Ge,30Sb,67Se)の各点をG,D,E,
    F,Gの順に結んだ直線で囲まれた領域内の組成をもつ
    ガラスを加圧るつぼ法により線引きして光ファイバを得
    ることを特徴とする赤外光用光ファイバの製造方法。
JP59078556A 1984-04-20 1984-04-20 赤外光用光ファイバの製造方法 Expired - Lifetime JPH0660036B2 (ja)

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