JPH0658705A - 金属物体の距離検出装置 - Google Patents
金属物体の距離検出装置Info
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- JPH0658705A JPH0658705A JP21525092A JP21525092A JPH0658705A JP H0658705 A JPH0658705 A JP H0658705A JP 21525092 A JP21525092 A JP 21525092A JP 21525092 A JP21525092 A JP 21525092A JP H0658705 A JPH0658705 A JP H0658705A
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- voltage
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 センサから金属物体までの距離を正確に表わ
す情報を得る。 【構成】 一対の励磁器１，２間に磁気センサ３を、両
励磁器１，２の励磁磁界が平衡する中間位置に配置し、
被検知金属２０と励磁器２間の距離ｙと、励磁電圧に対
する磁気センサ３の発生電圧の位相差を表わす電圧Ｖと
の関係を示す式から電圧Ｖを距離ｙに変換する。またこ
の際、出力電圧Ｖを最大とするように磁気センサ３と励
磁器１の間隔ｄとコイル半径ａの比ｋ（＝ｄ／ａ）を設
定する。
す情報を得る。 【構成】 一対の励磁器１，２間に磁気センサ３を、両
励磁器１，２の励磁磁界が平衡する中間位置に配置し、
被検知金属２０と励磁器２間の距離ｙと、励磁電圧に対
する磁気センサ３の発生電圧の位相差を表わす電圧Ｖと
の関係を示す式から電圧Ｖを距離ｙに変換する。またこ
の際、出力電圧Ｖを最大とするように磁気センサ３と励
磁器１の間隔ｄとコイル半径ａの比ｋ（＝ｄ／ａ）を設
定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属物体の距離検出装
置に関し、特に、これに限る意図ではないが一定の方向
に直線運動する金属物体の該運動方向の距離（位置）を
検出する装置に関する。
置に関し、特に、これに限る意図ではないが一定の方向
に直線運動する金属物体の該運動方向の距離（位置）を
検出する装置に関する。
【０００２】
【従来技術】この種の距離検出装置の１つの利用形態が
特公昭６０−８９００号公報に開示されている。これに
おいては、一対の励磁コイル間の励磁磁界が平衡する位
置に磁気センサを配置し、励磁コイルに対する連続鋳造
鋳型内溶融金属の接近あるいは退行による平衡磁界の乱
れを磁気センサで検出する。その検出原理は、特公昭５
６−２９２０２号公報に開示されているが、ここであら
ましを説明すると、図１に示すように１対の励磁コイル
１および２の励磁磁界が平行する位置に磁気検知コイル
３を配置し、励磁コイル１および２を電源４により一定
周波数の励磁電圧を印加し、励磁電圧に対する磁気検知
コイル３の誘起電圧の位相差を表わす電圧Ｖを位相比較
回路６で得ると、この電圧Ｖは、励磁コイル１，２に対
する金属物体２０の距離に対応する。特公昭６０−８９
００号公報に開示の湯面レベル測定装置では、励磁コイ
ル１，２および磁気検知コイル３の組合せでなるセンサ
１０を上下に駆動する機構とセンサ１０の上下方向の位
置を検出又は追跡する位置検出装置を備えて、この電圧
Ｖが一定値（Ｖｓ）になるように、センサ１０を金属物
体２０（連続鋳造鋳型内の溶鋼上面）の上下動に連動し
て移動させかつこの方向のセンサ１０の位置を追跡す
る。すなわち、センサ１０を金属物体２０から常に一定
距離に追従させ、センサ１０の上下位置を追跡して、金
属物体２０の位置を把握する。電圧Ｖ＝Ｖｓのときの、
金属物体２０に対するセンサ１０の距離をｙｄとし、セ
ンサ１０よりも上方のある基準位置ｙｏからのセンサ１
０の距離をｙｍとすると、金属物体２０は、該基準位置
ｙｏから下方にｙｍ＋ｙｄの距離にあることになる。セ
ンサ１０に対する金属物体２０の距離に対応する位相比
較回路６の出力電圧Ｖが一定になるようにセンサ１０を
金属物体２０の上下動に連動させるので、Ｖ＝Ｖｓのと
きのｙｄを実測等により確認することにより、出力電圧
Ｖの値が、金属物体２０のいかなる距離を表わすかの、
電圧対距離の関係を表わす関数又はグラフもしくは変換
メモリ（例えば関数発生器）は実質上必要としない。
特公昭６０−８９００号公報に開示されている。これに
おいては、一対の励磁コイル間の励磁磁界が平衡する位
置に磁気センサを配置し、励磁コイルに対する連続鋳造
鋳型内溶融金属の接近あるいは退行による平衡磁界の乱
れを磁気センサで検出する。その検出原理は、特公昭５
６−２９２０２号公報に開示されているが、ここであら
ましを説明すると、図１に示すように１対の励磁コイル
１および２の励磁磁界が平行する位置に磁気検知コイル
３を配置し、励磁コイル１および２を電源４により一定
周波数の励磁電圧を印加し、励磁電圧に対する磁気検知
コイル３の誘起電圧の位相差を表わす電圧Ｖを位相比較
回路６で得ると、この電圧Ｖは、励磁コイル１，２に対
する金属物体２０の距離に対応する。特公昭６０−８９
００号公報に開示の湯面レベル測定装置では、励磁コイ
ル１，２および磁気検知コイル３の組合せでなるセンサ
１０を上下に駆動する機構とセンサ１０の上下方向の位
置を検出又は追跡する位置検出装置を備えて、この電圧
Ｖが一定値（Ｖｓ）になるように、センサ１０を金属物
体２０（連続鋳造鋳型内の溶鋼上面）の上下動に連動し
て移動させかつこの方向のセンサ１０の位置を追跡す
る。すなわち、センサ１０を金属物体２０から常に一定
距離に追従させ、センサ１０の上下位置を追跡して、金
属物体２０の位置を把握する。電圧Ｖ＝Ｖｓのときの、
金属物体２０に対するセンサ１０の距離をｙｄとし、セ
ンサ１０よりも上方のある基準位置ｙｏからのセンサ１
０の距離をｙｍとすると、金属物体２０は、該基準位置
ｙｏから下方にｙｍ＋ｙｄの距離にあることになる。セ
ンサ１０に対する金属物体２０の距離に対応する位相比
較回路６の出力電圧Ｖが一定になるようにセンサ１０を
金属物体２０の上下動に連動させるので、Ｖ＝Ｖｓのと
きのｙｄを実測等により確認することにより、出力電圧
Ｖの値が、金属物体２０のいかなる距離を表わすかの、
電圧対距離の関係を表わす関数又はグラフもしくは変換
メモリ（例えば関数発生器）は実質上必要としない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ｙｄを各種値
に調整又は変更する場合には、電圧対距離の関係を表わ
す関数又はグラフもしくは変換メモリが必要である。一
方、上述のセンサ１０を金属物体２０の上下動に追従さ
せる場合、センサ１０を上下駆動する機構の遅れによ
り、時間軸に関して微視的に見れば、金属物体２０に対
するセンサ１０の距離はｙｄからずれている時間があ
る。金属物体２０の上下動の速度に対してセンサ駆動機
構の遅れが大きい程、ずれ量が大きくなる。このずれ量
は金属物体位置検出の誤差となる。電圧Ｖを距離値に変
換し、これにより得る距離値ｙｓｄをセンサ位置ｙｍに
加算した値ｙｍ＋ｙｓｄを測定値とすることにより、こ
の種の誤差が実質上無くなる。このためには、電圧Ｖ対
距離ｙｓｄの関係を表わす関数又はグラフもしくは変換
メモリが必要である。
に調整又は変更する場合には、電圧対距離の関係を表わ
す関数又はグラフもしくは変換メモリが必要である。一
方、上述のセンサ１０を金属物体２０の上下動に追従さ
せる場合、センサ１０を上下駆動する機構の遅れによ
り、時間軸に関して微視的に見れば、金属物体２０に対
するセンサ１０の距離はｙｄからずれている時間があ
る。金属物体２０の上下動の速度に対してセンサ駆動機
構の遅れが大きい程、ずれ量が大きくなる。このずれ量
は金属物体位置検出の誤差となる。電圧Ｖを距離値に変
換し、これにより得る距離値ｙｓｄをセンサ位置ｙｍに
加算した値ｙｍ＋ｙｓｄを測定値とすることにより、こ
の種の誤差が実質上無くなる。このためには、電圧Ｖ対
距離ｙｓｄの関係を表わす関数又はグラフもしくは変換
メモリが必要である。
【０００４】本発明は、センサから金属物体までの距離
各値を正確に表わす情報を得ることを第１の目的とし、
上述の測定誤差を低減することを第２の目的とする。
各値を正確に表わす情報を得ることを第１の目的とし、
上述の測定誤差を低減することを第２の目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の金属物体の距離
検出装置は、各々の励磁磁界が互いに打ち消し合う方向
に２ｄの距離を置いて対向配置した、半径ａの一対の励
磁器（１，２）；該一対の励磁器（１，２）間の、両励
磁器（１，２）の励磁磁界が平衡する位置に配置した磁
気検出手段（３）；該一対の励磁器（１，２）に定周波
数の励磁電圧を印加する励磁電源（４）；および、前記
励磁電圧に対する前記磁気検出手段（３）の磁気検出電
圧の位相差を表わす電気信号を発生する電圧位相比較手
段（６）；を備える、金属物体の距離検出装置におい
て、前記電圧位相比較手段（６）の出力に対応する前記
電気信号が表わすレベルＶを、
検出装置は、各々の励磁磁界が互いに打ち消し合う方向
に２ｄの距離を置いて対向配置した、半径ａの一対の励
磁器（１，２）；該一対の励磁器（１，２）間の、両励
磁器（１，２）の励磁磁界が平衡する位置に配置した磁
気検出手段（３）；該一対の励磁器（１，２）に定周波
数の励磁電圧を印加する励磁電源（４）；および、前記
励磁電圧に対する前記磁気検出手段（３）の磁気検出電
圧の位相差を表わす電気信号を発生する電圧位相比較手
段（６）；を備える、金属物体の距離検出装置におい
て、前記電圧位相比較手段（６）の出力に対応する前記
電気信号が表わすレベルＶを、
【０００６】
【数２】
【０００７】の関係で前記一対の励磁器（１，２）から
金属物体（２０）の距離ｙに変換する距離算出手段
（７）を備えることを特徴とする。
金属物体（２０）の距離ｙに変換する距離算出手段
（７）を備えることを特徴とする。
【０００８】本発明の好ましい実施例では、金属物体の
距離ｙが設定値Ｍのとき、前記Ｖが実質上最大値となる
値に、前記ｄとａの比ｋ＝ｄ／ａを定める。
距離ｙが設定値Ｍのとき、前記Ｖが実質上最大値となる
値に、前記ｄとａの比ｋ＝ｄ／ａを定める。
【０００９】なお、カッコ内の記号は、図面に示し後述
する実施例の対応要素又は対応事項を示す。
する実施例の対応要素又は対応事項を示す。
【００１０】
【作用】励磁器（１，２）と金属物体（２０）の距離ｙ
と、電圧位相比較手段（６）の出力電圧Ｖとの関係は図
２に示すようになる。図２中の黒丸および黒三角が実測
値を表わす。この実測値で表わされる電圧Ｖ対距離ｙの
関係を、下記関数で近似すると、図２に実線および破線
で示すように、実測値との偏差がほとんどない。
と、電圧位相比較手段（６）の出力電圧Ｖとの関係は図
２に示すようになる。図２中の黒丸および黒三角が実測
値を表わす。この実測値で表わされる電圧Ｖ対距離ｙの
関係を、下記関数で近似すると、図２に実線および破線
で示すように、実測値との偏差がほとんどない。
【００１１】
【数３】
【００１２】本発明では、この関数に従って電圧Ｖを距
離ｙに変換するので、励磁器（１，２）に対する金属物
体（２０）の距離ｙを正確に表わす情報が得られる。
離ｙに変換するので、励磁器（１，２）に対する金属物
体（２０）の距離ｙを正確に表わす情報が得られる。
【００１３】一方、距離ｙを特定の値Ｍに固定すると、
電圧Ｖは図３に示すように、ｄ／ａに対応した変化を示
し、ｄ／ａの特定値に対して最高となり、この特定値ｄ
／ａに設定するとｙ＝Ｍ前後で測定精度が高い。すなわ
ち、測定範囲（ｙ値）に対応した、ｄ／ａの適値があ
る。本発明の好ましい実施例ではこの適値にｄ／ａを設
定するので、得られる距離情報の精度がより高い。
電圧Ｖは図３に示すように、ｄ／ａに対応した変化を示
し、ｄ／ａの特定値に対して最高となり、この特定値ｄ
／ａに設定するとｙ＝Ｍ前後で測定精度が高い。すなわ
ち、測定範囲（ｙ値）に対応した、ｄ／ａの適値があ
る。本発明の好ましい実施例ではこの適値にｄ／ａを設
定するので、得られる距離情報の精度がより高い。
【００１４】本発明の他の目的および特徴は図面を参照
した以下の実施例の説明より明らかになろう。
した以下の実施例の説明より明らかになろう。
【００１５】
【実施例】図１に、本発明の一実施例の構成概要を示
す。本発明の金属物体の距離検出装置は、一対の励磁器
であるＡコイル１とＢコイル２，Ａコイル１とＢコイル
２間に配置された磁気検知部であるＣコイル３からなる
センサ１０、Ａコイル１やＢコイル２等に交流電圧を印
加する励磁電源４、Ｃコイル３の誘起電圧すなわち磁気
検出信号のノイズを除去し増幅する信号処理回路５、励
磁電源４の電圧と信号処理回路５で処理した磁気検出信
号の位相を比較し位相差に対応する電圧Ｖを発生する位
相比較回路６、位相比較回路６が発生する電圧Ｖを距離
ｙを表わす電気信号（距離信号）に変換する距離変換器
７、および、距離信号が表わす距離ｙを表示する表示器
８で構成されている。
す。本発明の金属物体の距離検出装置は、一対の励磁器
であるＡコイル１とＢコイル２，Ａコイル１とＢコイル
２間に配置された磁気検知部であるＣコイル３からなる
センサ１０、Ａコイル１やＢコイル２等に交流電圧を印
加する励磁電源４、Ｃコイル３の誘起電圧すなわち磁気
検出信号のノイズを除去し増幅する信号処理回路５、励
磁電源４の電圧と信号処理回路５で処理した磁気検出信
号の位相を比較し位相差に対応する電圧Ｖを発生する位
相比較回路６、位相比較回路６が発生する電圧Ｖを距離
ｙを表わす電気信号（距離信号）に変換する距離変換器
７、および、距離信号が表わす距離ｙを表示する表示器
８で構成されている。
【００１６】Ａコイル１とＢコイル２は同一の励磁コイ
ルであり、その各々の磁界は打ち消し合う方向に配置さ
れている。Ｃコイル３は磁気検知コイルであり、Ａコイ
ル１とＢコイル２の励磁磁界が互いに打ち消し合って平
衡する位置（Ａコイル１とＢコイル２間の中間位置）に
配置されている。なお、図１においてａはＡコイル１
（又はＢコイル２）の半径，ｄはＣコイル３とＡコイル
１（又はＢコイル２）のコイル間隔，ｙはセンサ１０と
被検知金属２０との距離（Ｂコイル２と被検知金属２０
との距離）をそれぞれ示す。
ルであり、その各々の磁界は打ち消し合う方向に配置さ
れている。Ｃコイル３は磁気検知コイルであり、Ａコイ
ル１とＢコイル２の励磁磁界が互いに打ち消し合って平
衡する位置（Ａコイル１とＢコイル２間の中間位置）に
配置されている。なお、図１においてａはＡコイル１
（又はＢコイル２）の半径，ｄはＣコイル３とＡコイル
１（又はＢコイル２）のコイル間隔，ｙはセンサ１０と
被検知金属２０との距離（Ｂコイル２と被検知金属２０
との距離）をそれぞれ示す。
【００１７】磁気検知コイル３は、コイル１とコイル２
が発生する磁界の平衡状態からのずれに対応する電圧を
発生する。平衡状態では、コイル３の誘起電圧は実質上
零である。金属物体２０の接近により平衡状態が乱れる
と、コイル３がこの乱れに対応するレベルおよび位相差
（電源４の発生電圧に対する位相差）の電圧を誘起し、
位相比較回路が、この位相差に対応するレベルの電圧Ｖ
を発生する。距離変換器７が、この電圧Ｖを、
が発生する磁界の平衡状態からのずれに対応する電圧を
発生する。平衡状態では、コイル３の誘起電圧は実質上
零である。金属物体２０の接近により平衡状態が乱れる
と、コイル３がこの乱れに対応するレベルおよび位相差
（電源４の発生電圧に対する位相差）の電圧を誘起し、
位相比較回路が、この位相差に対応するレベルの電圧Ｖ
を発生する。距離変換器７が、この電圧Ｖを、
【００１８】
【数４】
【００１９】に従った距離ｙを表わす電気信号に変換す
る。
る。
【００２０】図２に、センサ１０と被検知金属２０との
測定距離ｙに対する出力電圧Ｖの関係を示す。半径ａを
２０mmとしコイル間隔ｄを２０mmとしたときの実測値を
黒三角印で示し、半径ａを２０mmとしコイル間隔ｄを６
０mmとしたときの実測値を黒丸印で示した。また、上記
関数（式１）による計算値を図２中に点線および実線で
示した。点線は、式１において比例定数α＝２＊１０3
とし、半径ａを２０mmとしコイル間隔ｄを２０mmとした
ときの計算値、実線は、比例定数α＝２＊１０3とし、
半径ａを２０mmとしコイル間隔ｄを６０mmとしたときの
計算値である。図２に示すように、実測値と計算値は非
常によく一致していることが分かる。
測定距離ｙに対する出力電圧Ｖの関係を示す。半径ａを
２０mmとしコイル間隔ｄを２０mmとしたときの実測値を
黒三角印で示し、半径ａを２０mmとしコイル間隔ｄを６
０mmとしたときの実測値を黒丸印で示した。また、上記
関数（式１）による計算値を図２中に点線および実線で
示した。点線は、式１において比例定数α＝２＊１０3
とし、半径ａを２０mmとしコイル間隔ｄを２０mmとした
ときの計算値、実線は、比例定数α＝２＊１０3とし、
半径ａを２０mmとしコイル間隔ｄを６０mmとしたときの
計算値である。図２に示すように、実測値と計算値は非
常によく一致していることが分かる。
【００２１】この実施例では、測定距離範囲の中心値が
１００ｍｍ（ｙ＝１００ｍｍ）であるので、金属物体２
０をｙ＝１００ｍｍの位置に固定し、コイル間隔ｄとコ
イル半径ａの比ｋ(＝ｄ／ａ)に対する電圧Ｖを求めたと
ころ、図３に示すように、ｋ＝２で電圧Ｖが最高になっ
た。したがって、上述の実施例では、ｋ＝２に設定して
いる。このようにｋは、測定範囲（の中心値又は最大
値）に対して適値があるので、上述のように、測定対象
の金属物体（２０）を測定範囲の中心値又は最高値に固
定してｋ（コイル間距離ｄおよび又はコイル半径ａ）を
変化させて電圧Ｖをプロットし、電圧Ｖがピ−クとなる
値に設定するのが好ましい。
１００ｍｍ（ｙ＝１００ｍｍ）であるので、金属物体２
０をｙ＝１００ｍｍの位置に固定し、コイル間隔ｄとコ
イル半径ａの比ｋ(＝ｄ／ａ)に対する電圧Ｖを求めたと
ころ、図３に示すように、ｋ＝２で電圧Ｖが最高になっ
た。したがって、上述の実施例では、ｋ＝２に設定して
いる。このようにｋは、測定範囲（の中心値又は最大
値）に対して適値があるので、上述のように、測定対象
の金属物体（２０）を測定範囲の中心値又は最高値に固
定してｋ（コイル間距離ｄおよび又はコイル半径ａ）を
変化させて電圧Ｖをプロットし、電圧Ｖがピ−クとなる
値に設定するのが好ましい。
【００２２】
【発明の効果】本発明では、上述の関数に従って電圧Ｖ
を距離ｙに変換するので、励磁器（１，２）に対する金
属物体（２０）の距離ｙを正確に表わす情報が得られ
る。
を距離ｙに変換するので、励磁器（１，２）に対する金
属物体（２０）の距離ｙを正確に表わす情報が得られ
る。
【００２３】本発明の好ましい実施例では、測定範囲に
対応してその範囲において電圧Ｖが最大となる値にｋ＝
ｄ／ａを設定するので、得られる距離情報の精度がより
高い。
対応してその範囲において電圧Ｖが最大となる値にｋ＝
ｄ／ａを設定するので、得られる距離情報の精度がより
高い。
【図１】 本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】 センサ１０と被検知金属２０との距離に対す
る出力電圧Ｖの関係を示すグラフである。
る出力電圧Ｖの関係を示すグラフである。
【図３】 磁気検知コイル（Ｃコイル）３とＡ（又は
Ｂ）コイルの間隔ｄとコイル半径ａの比に対する出力電
圧Ｖの関係を示すグラフである。
Ｂ）コイルの間隔ｄとコイル半径ａの比に対する出力電
圧Ｖの関係を示すグラフである。
１：励磁コイル ２：励磁コイル ３：磁気検知コイル ４：励磁電源 ５：信号処理回路 ６：位相比較回路 ７：距離変換器 ８：表示器 １０：センサ ２０：被検知金属
Claims (2)
- 【請求項１】各々の励磁磁界が互いに打ち消し合う方向
に２ｄの距離を置いて対向配置した、半径ａの一対の励
磁器；該一対の励磁器間の、両励磁器の励磁磁界が平衡
する位置に配置した磁気検出手段；該一対の励磁器に定
周波数の励磁電圧を印加する励磁電源；および、前記励
磁電圧に対する前記磁気検出手段の磁気検出電圧の位相
差を表わす電気信号を発生する電圧位相比較手段；を備
える、金属物体の距離検出装置において、 前記電圧位相比較手段の出力に対応する前記電気信号が
表わすレベルＶを、 【数１】 の関係で前記一対の励磁器から金属物体の距離ｙに変換
する距離算出手段を備えることを特徴とする、金属物体
の距離検出装置。 - 【請求項２】金属物体の距離ｙが設定値Ｍのとき、前記
Ｖが実質上最大値となる値に、前記ｄとａの比ｋ＝ｄ／
ａを定めた、請求項１記載の、金属物体の距離検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21525092A JPH0658705A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 金属物体の距離検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21525092A JPH0658705A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 金属物体の距離検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0658705A true JPH0658705A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16669207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21525092A Pending JPH0658705A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 金属物体の距離検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658705A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6836650B2 (en) | 1998-10-21 | 2004-12-28 | Parkervision, Inc. | Methods and systems for down-converting electromagnetic signals, and applications thereof |
| JP2006234535A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 渦流探傷試験用プローブ |
| WO2017138479A1 (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | 株式会社東海理化電機製作所 | 位置検出装置 |
-
1992
- 1992-08-12 JP JP21525092A patent/JPH0658705A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6836650B2 (en) | 1998-10-21 | 2004-12-28 | Parkervision, Inc. | Methods and systems for down-converting electromagnetic signals, and applications thereof |
| JP2006234535A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 渦流探傷試験用プローブ |
| WO2017138479A1 (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | 株式会社東海理化電機製作所 | 位置検出装置 |
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