JPH065392A - 粒子加速器真空チェンバーの熱電対取り付け構造 - Google Patents
粒子加速器真空チェンバーの熱電対取り付け構造Info
- Publication number
- JPH065392A JPH065392A JP15834492A JP15834492A JPH065392A JP H065392 A JPH065392 A JP H065392A JP 15834492 A JP15834492 A JP 15834492A JP 15834492 A JP15834492 A JP 15834492A JP H065392 A JPH065392 A JP H065392A
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- thermocouple
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- thermo
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明の粒子加速器真空チェンバーの熱電対
取り付け構造は、熱電対２１の先端部２１ａに、螺着用
の穴が形成された端子２２が設けられ、前記真空チェン
バー３１の外面３１ａに螺子３２が形成され、前記真空
チェンバー３１の外面３１ａに前記熱電対２１の端子２
２を螺着してなることを特徴とする。 【効果】 熱電対を真空チェンバーの外面に密着した状
態で容易かつ強固に固定することができ、しかも着脱自
在である。また、前記熱電対のシース部が溶接できない
材質であっても強固に固定することができる。また、熱
電対を外面に密着させることにより、伝熱面積を大きく
採ることができる。また、従来のような取付金具やアル
ミニウム板が不要になるので、狭い場所であっても取り
付けることが可能である。また、溶接作業も不要になる
等の優れた効果もある。
取り付け構造は、熱電対２１の先端部２１ａに、螺着用
の穴が形成された端子２２が設けられ、前記真空チェン
バー３１の外面３１ａに螺子３２が形成され、前記真空
チェンバー３１の外面３１ａに前記熱電対２１の端子２
２を螺着してなることを特徴とする。 【効果】 熱電対を真空チェンバーの外面に密着した状
態で容易かつ強固に固定することができ、しかも着脱自
在である。また、前記熱電対のシース部が溶接できない
材質であっても強固に固定することができる。また、熱
電対を外面に密着させることにより、伝熱面積を大きく
採ることができる。また、従来のような取付金具やアル
ミニウム板が不要になるので、狭い場所であっても取り
付けることが可能である。また、溶接作業も不要になる
等の優れた効果もある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン等の粒
子加速器の真空チェンバーの熱電対取り付け構造に関す
るものである。
子加速器の真空チェンバーの熱電対取り付け構造に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、超ＬＳＩの製造、医療分野におけ
る診断、分子解析、構造解析等様々な分野において、シ
ンクロトロン放射（Ｓynchrotron Ｏrbital Ｒadiatio
n）光（略してＳＯＲ光）を用いたＳＯＲリソグラフィ
ー技術が有望視されている。このＳＯＲ光は、線型加速
装置（ライナック）により光速近くまで加速された電子
ビームを蓄積リング内に入射し、該電子ビームにエネル
ギーを与えながら該電子ビームを加速する間に、該電子
ビームを偏向電磁石で偏向する際に発生するもので、高
いビーム出力を有ししかも指向性が強く高輝度である等
の優れた特徴を有する。そして、超ＬＳＩ等の半導体工
業においては、この発生したＳＯＲ光をビームチャンネ
ルを通して露光装置等の半導体微細加工装置に送り、超
ＬＳＩの微細加工用光源として用いる。
る診断、分子解析、構造解析等様々な分野において、シ
ンクロトロン放射（Ｓynchrotron Ｏrbital Ｒadiatio
n）光（略してＳＯＲ光）を用いたＳＯＲリソグラフィ
ー技術が有望視されている。このＳＯＲ光は、線型加速
装置（ライナック）により光速近くまで加速された電子
ビームを蓄積リング内に入射し、該電子ビームにエネル
ギーを与えながら該電子ビームを加速する間に、該電子
ビームを偏向電磁石で偏向する際に発生するもので、高
いビーム出力を有ししかも指向性が強く高輝度である等
の優れた特徴を有する。そして、超ＬＳＩ等の半導体工
業においては、この発生したＳＯＲ光をビームチャンネ
ルを通して露光装置等の半導体微細加工装置に送り、超
ＬＳＩの微細加工用光源として用いる。
【０００３】蓄積リングは、アルミニウム製の真空チェ
ンバーをフランジで順次連結して全体をリング状に構成
したもので、前記真空チェンバーの内部を超高真空に保
つために電気ヒータあるいはチェンバーの水路に熱水を
流し加熱脱ガス処理を行う。図４は上記の真空チェンバ
ーの一例を示すもので、二槽式の真空チェンバー１の断
面図である。この真空チェンバー１は、断面楕円状のビ
ームチェンバー２と、断面略矩形状のゲッタポンプチェ
ンバー３と、ビームチェンバー２とゲッタポンプチェン
バー３とを連通するスリット４とから構成されている。
そして、真空チェンバー１の外面１ａの所定位置、すな
わちビームチェンバー２、ゲッタポンプチェンバー３及
びスリット４のそれぞれの外面の所定位置にはそれぞれ
外管がステンレススチール製のシース熱電対５，５，…
が設けられている。
ンバーをフランジで順次連結して全体をリング状に構成
したもので、前記真空チェンバーの内部を超高真空に保
つために電気ヒータあるいはチェンバーの水路に熱水を
流し加熱脱ガス処理を行う。図４は上記の真空チェンバ
ーの一例を示すもので、二槽式の真空チェンバー１の断
面図である。この真空チェンバー１は、断面楕円状のビ
ームチェンバー２と、断面略矩形状のゲッタポンプチェ
ンバー３と、ビームチェンバー２とゲッタポンプチェン
バー３とを連通するスリット４とから構成されている。
そして、真空チェンバー１の外面１ａの所定位置、すな
わちビームチェンバー２、ゲッタポンプチェンバー３及
びスリット４のそれぞれの外面の所定位置にはそれぞれ
外管がステンレススチール製のシース熱電対５，５，…
が設けられている。
【０００４】この真空チェンバー１のシース熱電対５の
取り付け構造としては、例えば図５に示すように、真空
チェンバー１の外面１ａの所定位置にシース熱電対５を
配設し、このシース熱電対５の所定の位置に断面略Ω状
のアルミニウム板からなる取付金具６を嵌め込み該取付
金具６を外面１ａの所定位置に溶接（またはロウ付け）
７する構造、あるいは図６に示すようにシース熱電対５
の先端部５ａに溶接時の発熱を散逸させるための金属
板、例えばアルミニウム板８を溶接（またはロウ付け）
９し、該アルミニウム板８を外面１ａの所定位置に溶接
（またはロウ付け）１０する構造等が知られている。
取り付け構造としては、例えば図５に示すように、真空
チェンバー１の外面１ａの所定位置にシース熱電対５を
配設し、このシース熱電対５の所定の位置に断面略Ω状
のアルミニウム板からなる取付金具６を嵌め込み該取付
金具６を外面１ａの所定位置に溶接（またはロウ付け）
７する構造、あるいは図６に示すようにシース熱電対５
の先端部５ａに溶接時の発熱を散逸させるための金属
板、例えばアルミニウム板８を溶接（またはロウ付け）
９し、該アルミニウム板８を外面１ａの所定位置に溶接
（またはロウ付け）１０する構造等が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
シース熱電対５の取り付け構造においては下記に挙げる
ような問題点があった。例えば、取付金具６を用いた構
造においては、シース熱電対５に取付金具６を嵌め込ん
だ後に該取付金具６を外面１ａに溶接７するために、こ
の真空チェンバー１に溶接７に起因する歪が発生する虞
があった。また、シース熱電対５と真空チェンバー１の
密着性が悪く、伝熱面積を大きく採ることができないと
いう問題点があった。また、溶接作業に長時間を要し作
業効率が低下するという問題点もあった。
シース熱電対５の取り付け構造においては下記に挙げる
ような問題点があった。例えば、取付金具６を用いた構
造においては、シース熱電対５に取付金具６を嵌め込ん
だ後に該取付金具６を外面１ａに溶接７するために、こ
の真空チェンバー１に溶接７に起因する歪が発生する虞
があった。また、シース熱電対５と真空チェンバー１の
密着性が悪く、伝熱面積を大きく採ることができないと
いう問題点があった。また、溶接作業に長時間を要し作
業効率が低下するという問題点もあった。
【０００６】また、アルミニウム板８を用いた構造にお
いては、シース熱電対５にアルミニウム板８を溶接（ま
たはロウ付け）９した後に、該アルミニウム板８を外面
１ａの所定位置に溶接１０するために、この真空チェン
バー１に溶接１０に起因する歪が発生する虞があった。
また、溶接時の発熱を散逸させるためにこれ以上アルミ
ニウム板８を小さくすることができないという問題点が
あった。また、溶接作業に長時間を要し作業効率が低下
するという問題点もあった。
いては、シース熱電対５にアルミニウム板８を溶接（ま
たはロウ付け）９した後に、該アルミニウム板８を外面
１ａの所定位置に溶接１０するために、この真空チェン
バー１に溶接１０に起因する歪が発生する虞があった。
また、溶接時の発熱を散逸させるためにこれ以上アルミ
ニウム板８を小さくすることができないという問題点が
あった。また、溶接作業に長時間を要し作業効率が低下
するという問題点もあった。
【０００７】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、従来の問題点を解決することのできる粒子
加速器真空チェンバーの熱電対取り付け構造を提供する
ことにある。
のであって、従来の問題点を解決することのできる粒子
加速器真空チェンバーの熱電対取り付け構造を提供する
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次の様な粒子加速器真空チェンバーの熱電
対取り付け構造を採用した。すなわち、熱電対の先端部
に、螺着用の穴が形成された端子が設けられ、前記真空
チェンバーの外面に螺子が形成され、前記真空チェンバ
ーの外面に前記熱電対の端子を螺着してなることを特徴
としている。
に、本発明は次の様な粒子加速器真空チェンバーの熱電
対取り付け構造を採用した。すなわち、熱電対の先端部
に、螺着用の穴が形成された端子が設けられ、前記真空
チェンバーの外面に螺子が形成され、前記真空チェンバ
ーの外面に前記熱電対の端子を螺着してなることを特徴
としている。
【０００９】
【作用】本発明の粒子加速器真空チェンバーの熱電対取
り付け構造では、真空チェンバーの外面の螺子に熱電対
の端子の螺着用の穴を合わせ、この穴に螺子を挿入し螺
着する。これにより、熱電対は真空チェンバーの外面に
密着した状態で固定され、しかも着脱自在である。
り付け構造では、真空チェンバーの外面の螺子に熱電対
の端子の螺着用の穴を合わせ、この穴に螺子を挿入し螺
着する。これにより、熱電対は真空チェンバーの外面に
密着した状態で固定され、しかも着脱自在である。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明のシンクロトロン（粒子加速
器）真空チェンバーのシース熱電対取り付け構造の一実
施例を示す斜視図であり、図２は本発明に係るシース熱
電対を示す平面図である。この熱電対取り付け構造は、
シース熱電対２１の端子２２が真空チェンバー３１の外
周面３１ａに雄螺子２３により螺着されたものである。
シース熱電対２１は、図２に示すように、従来のシース
熱電対５の先端部５ａに端子２２が溶接またはロウ付け
されている。そして、この端子２２は、熱伝導性の良好
な金属板、例えばアルミニウム板からなるもので、螺着
用の穴２４が形成されている。また、真空チェンバー３
１の外周面３１ａのシース熱電対２１を取り付けるべき
位置には、雄螺子２３を螺着するための螺子３２が形成
されている。
器）真空チェンバーのシース熱電対取り付け構造の一実
施例を示す斜視図であり、図２は本発明に係るシース熱
電対を示す平面図である。この熱電対取り付け構造は、
シース熱電対２１の端子２２が真空チェンバー３１の外
周面３１ａに雄螺子２３により螺着されたものである。
シース熱電対２１は、図２に示すように、従来のシース
熱電対５の先端部５ａに端子２２が溶接またはロウ付け
されている。そして、この端子２２は、熱伝導性の良好
な金属板、例えばアルミニウム板からなるもので、螺着
用の穴２４が形成されている。また、真空チェンバー３
１の外周面３１ａのシース熱電対２１を取り付けるべき
位置には、雄螺子２３を螺着するための螺子３２が形成
されている。
【００１１】シース熱電対２１の端子２２を真空チェン
バー３１の外周面３１ａに取り付けるには、真空チェン
バー３１の外周面３１ａの螺子３２にシース熱電対２１
の螺着用の穴２４を合わせ、この穴２４に雄螺子２３を
挿入し該雄螺子２３を外周面３１ａの螺子３２に螺着す
る。これにより、シース熱電対２１は真空チェンバー３
１の外周面３１ａに密着した状態で固定され、しかも着
脱自在である。
バー３１の外周面３１ａに取り付けるには、真空チェン
バー３１の外周面３１ａの螺子３２にシース熱電対２１
の螺着用の穴２４を合わせ、この穴２４に雄螺子２３を
挿入し該雄螺子２３を外周面３１ａの螺子３２に螺着す
る。これにより、シース熱電対２１は真空チェンバー３
１の外周面３１ａに密着した状態で固定され、しかも着
脱自在である。
【００１２】本実施例の真空チェンバー３１のシース熱
電対２１取り付け構造によれば、シース熱電対２１の端
子２２を真空チェンバー３１の外周面３１ａに雄螺子２
３により螺着してなることとしたので、シース熱電対２
１を真空チェンバー３１の外周面３１ａに密着した状態
で容易かつ強固に固定することができ、しかも着脱自在
である。また、前記シース熱電対２１のシース部が溶接
できない材質であっても強固に固定することができる。
電対２１取り付け構造によれば、シース熱電対２１の端
子２２を真空チェンバー３１の外周面３１ａに雄螺子２
３により螺着してなることとしたので、シース熱電対２
１を真空チェンバー３１の外周面３１ａに密着した状態
で容易かつ強固に固定することができ、しかも着脱自在
である。また、前記シース熱電対２１のシース部が溶接
できない材質であっても強固に固定することができる。
【００１３】また、シース熱電対２１を外周面３１ａに
密着させることにより、伝熱面積を大きく採ることがで
きる。また、従来のような取付金具６やアルミニウム板
８が不要になり、狭い場所であっても取り付けることが
可能である。また、溶接作業も不要になる等の優れた効
果もある。
密着させることにより、伝熱面積を大きく採ることがで
きる。また、従来のような取付金具６やアルミニウム板
８が不要になり、狭い場所であっても取り付けることが
可能である。また、溶接作業も不要になる等の優れた効
果もある。
【００１４】図３は、前記シース熱電対２１の変形実施
例であるシース熱電対４１を示す平面図である。このシ
ース熱電対４１は、上記実施例のシース熱電対２１の端
子２２を略リング状の端子４２に置き換えたもので、当
該端子４２はシース熱電対５の先端部５ａに圧着または
ロウ付けされたものである。
例であるシース熱電対４１を示す平面図である。このシ
ース熱電対４１は、上記実施例のシース熱電対２１の端
子２２を略リング状の端子４２に置き換えたもので、当
該端子４２はシース熱電対５の先端部５ａに圧着または
ロウ付けされたものである。
【００１５】このシース熱電対４１においても、上記実
施例のシース熱電対２１と全く同様の作用・効果を奏す
ることができる。
施例のシース熱電対２１と全く同様の作用・効果を奏す
ることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の粒子加速器
真空チェンバーの熱電対取り付け構造によれば、熱電対
の先端部に、螺着用の穴が形成された端子が設けられ、
前記真空チェンバーの外面に螺子が形成され、前記真空
チェンバーの外面に前記熱電対の端子を螺着してなるこ
ととしたので、熱電対を真空チェンバーの外面に密着し
た状態で容易かつ強固に固定することができ、しかも着
脱自在である。また、前記熱電対のシース部が溶接でき
ない材質であっても強固に固定することができる。
真空チェンバーの熱電対取り付け構造によれば、熱電対
の先端部に、螺着用の穴が形成された端子が設けられ、
前記真空チェンバーの外面に螺子が形成され、前記真空
チェンバーの外面に前記熱電対の端子を螺着してなるこ
ととしたので、熱電対を真空チェンバーの外面に密着し
た状態で容易かつ強固に固定することができ、しかも着
脱自在である。また、前記熱電対のシース部が溶接でき
ない材質であっても強固に固定することができる。
【００１７】また、熱電対を外面に密着させることによ
り、伝熱面積を大きく採ることができる。また、従来の
ような取付金具やアルミニウム板が不要になるので、狭
い場所であっても取り付けることが可能である。また、
溶接作業も不要になる等の優れた効果もある。
り、伝熱面積を大きく採ることができる。また、従来の
ような取付金具やアルミニウム板が不要になるので、狭
い場所であっても取り付けることが可能である。また、
溶接作業も不要になる等の優れた効果もある。
【００１８】以上のように、熱電対を、シースの材質が
限定されることもなく真空チェンバーの外面に密着した
状態で容易かつ強固しかも着脱自在に固定することがで
きる粒子加速器真空チェンバーの熱電対取り付け構造を
提供することができる。
限定されることもなく真空チェンバーの外面に密着した
状態で容易かつ強固しかも着脱自在に固定することがで
きる粒子加速器真空チェンバーの熱電対取り付け構造を
提供することができる。
【図１】本発明の粒子加速器真空チェンバーの熱電対取
り付け構造の一実施例を示す斜視図である。
り付け構造の一実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の熱電対の一実施例を示す平面図であ
る。
る。
【図３】本発明の熱電対の変形実施例を示す平面図であ
る。
る。
【図４】従来の粒子加速器の真空チェンバーを示す断面
図である。
図である。
【図５】従来の粒子加速器真空チェンバーの熱電対取り
付け構造を示す斜視図である。
付け構造を示す斜視図である。
【図６】従来の粒子加速器真空チェンバーの熱電対取り
付け構造を示す斜視図である。
付け構造を示す斜視図である。
２１ シース熱電対 ２２ 端子 ２３ 雄螺子 ２４ 螺着用の穴 ３１ 真空チェンバー ３１ａ 外周面 ３２ 螺子 ５ シース熱電対 ５ａ 先端部 ４１ シース熱電対 ４２ 端子
Claims (1)
- 【請求項１】 粒子加速器の真空チェンバーに熱電対を
取り付ける構造であって、 熱電対の先端部に、螺着用の穴が形成された端子が設け
られ、 前記真空チェンバーの外面に螺子が形成され、 前記真空チェンバーの外面に前記熱電対の端子を螺着し
てなることを特徴とする粒子加速器真空チェンバーの熱
電対取り付け構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15834492A JPH065392A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 粒子加速器真空チェンバーの熱電対取り付け構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15834492A JPH065392A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 粒子加速器真空チェンバーの熱電対取り付け構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065392A true JPH065392A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15669594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15834492A Withdrawn JPH065392A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 粒子加速器真空チェンバーの熱電対取り付け構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065392A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018174298A1 (ja) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | 京セラ株式会社 | 電磁場制御用部材 |
-
1992
- 1992-06-17 JP JP15834492A patent/JPH065392A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018174298A1 (ja) * | 2017-03-24 | 2018-09-27 | 京セラ株式会社 | 電磁場制御用部材 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |