JPH0652293A - プローバの文字認識システム - Google Patents
プローバの文字認識システムInfo
- Publication number
- JPH0652293A JPH0652293A JP4201661A JP20166192A JPH0652293A JP H0652293 A JPH0652293 A JP H0652293A JP 4201661 A JP4201661 A JP 4201661A JP 20166192 A JP20166192 A JP 20166192A JP H0652293 A JPH0652293 A JP H0652293A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- character
- prober
- wafer
- image
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Character Discrimination (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】プローバにおいて、ウエハ上にマーキングされ
た文字を、ウエハ表面状態にかかわらず読み取る事を可
能とする。 【構成】プローバにカメラ１を取付け、カメラ１で撮像
した画像をプローバ画像処理制御部３から、文字認識装
置の文字特徴データ抽出部８へ送信する。ここで画像中
の文字の二値化及び文字特徴データを求め、文字データ
確度演算部９及び文字判定回路１０で画像の表わす文字
を認識し、プローバ制御部４及び外部装置１２に対して
認識した文字コードを出力する。
た文字を、ウエハ表面状態にかかわらず読み取る事を可
能とする。 【構成】プローバにカメラ１を取付け、カメラ１で撮像
した画像をプローバ画像処理制御部３から、文字認識装
置の文字特徴データ抽出部８へ送信する。ここで画像中
の文字の二値化及び文字特徴データを求め、文字データ
確度演算部９及び文字判定回路１０で画像の表わす文字
を認識し、プローバ制御部４及び外部装置１２に対して
認識した文字コードを出力する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ上にマーキング
された文字を文字認識装置で認識させることにより、プ
ローバで文字認識に基づく処理を行うプローバの文字認
識システムに関する。
された文字を文字認識装置で認識させることにより、プ
ローバで文字認識に基づく処理を行うプローバの文字認
識システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のプローバにおけるウエハ上の文字
の認識方法を、図を用いて説明する。図６は従来のプロ
ーバにおける文字認識機構の構成図である。図６でプロ
ーバは、プローバ制御部２８と画像処理制御部２９とカ
メラ１とステージ２とモニタ５を備えている。プローバ
はカメラ１で撮影した画像を画像処理制御部２９及び画
像メモリ３０を介して二値化部３１へ送信する。二値化
部３１において、送信されてきた画像は任意のしきい値
（以下スレシュホールドと称す）において二値化処理を
行い、二値化データとして、二値化画像メモリ３２へ記
憶される。ここで、標準文字データメモリ３３には予
め、標準文字データを登録しておき二値化画像メモリ３
２の内容と標準文字データを文字比較部３４で比較を行
う。
の認識方法を、図を用いて説明する。図６は従来のプロ
ーバにおける文字認識機構の構成図である。図６でプロ
ーバは、プローバ制御部２８と画像処理制御部２９とカ
メラ１とステージ２とモニタ５を備えている。プローバ
はカメラ１で撮影した画像を画像処理制御部２９及び画
像メモリ３０を介して二値化部３１へ送信する。二値化
部３１において、送信されてきた画像は任意のしきい値
（以下スレシュホールドと称す）において二値化処理を
行い、二値化データとして、二値化画像メモリ３２へ記
憶される。ここで、標準文字データメモリ３３には予
め、標準文字データを登録しておき二値化画像メモリ３
２の内容と標準文字データを文字比較部３４で比較を行
う。
【０００３】標準文字データメモリ３３には、予めプロ
ーバから入力される文字を読みこませ、標準文字データ
として、文字のパターンを記憶させておく。この操作に
より、プローバのカメラ１により撮影された文字映像が
何の文字であるかの判断基準とする。文字判定部３５で
は、カメラ１で撮影された文字が標準文字データに登録
されている文字の中で最も類似度の高い文字を判定す
る。判定結果に従い、文字データは文字判定部３５から
プローバ制御部２８へ送信される。この文字データをプ
ローバ制御部２８で処理してプローバにおける様々な処
理を行う。
ーバから入力される文字を読みこませ、標準文字データ
として、文字のパターンを記憶させておく。この操作に
より、プローバのカメラ１により撮影された文字映像が
何の文字であるかの判断基準とする。文字判定部３５で
は、カメラ１で撮影された文字が標準文字データに登録
されている文字の中で最も類似度の高い文字を判定す
る。判定結果に従い、文字データは文字判定部３５から
プローバ制御部２８へ送信される。この文字データをプ
ローバ制御部２８で処理してプローバにおける様々な処
理を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来のプロー
バにおける文字認識においては、プローバのカメラで撮
影した文字画像をそのまま二値化処理し、その二値化画
像と標準文字データとの比較による相関をとっている
為、文字の近くのウエハ面に傷があったり、文字のマー
キングされているウエハの表面状態が違っていたり、ウ
エハ上に回路パターンがありその上に文字がマーキング
されていたりすると二値化後のデータが、傷及び表面状
態の違い（以下ノイズと称す）による影響を受けること
により、文字認識で誤認識をおこす欠点が有った。
バにおける文字認識においては、プローバのカメラで撮
影した文字画像をそのまま二値化処理し、その二値化画
像と標準文字データとの比較による相関をとっている
為、文字の近くのウエハ面に傷があったり、文字のマー
キングされているウエハの表面状態が違っていたり、ウ
エハ上に回路パターンがありその上に文字がマーキング
されていたりすると二値化後のデータが、傷及び表面状
態の違い（以下ノイズと称す）による影響を受けること
により、文字認識で誤認識をおこす欠点が有った。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、プローバに文
字認識のカメラと、カメラからの画像を文字認識装置に
送信するための画像処理制御部と、送信された画像から
その画像に投影されている文字を判定する為の文字認識
と、認識された文字のデータを利用して処理を行う外部
装置とを備えている。
字認識のカメラと、カメラからの画像を文字認識装置に
送信するための画像処理制御部と、送信された画像から
その画像に投影されている文字を判定する為の文字認識
と、認識された文字のデータを利用して処理を行う外部
装置とを備えている。
【０００６】
【実施例】本発明について図面を参照して説明する。図
１は、本発明の実施例１の全体を示すシステム構成図、
図２は、文字特徴データ抽出部の動作説明図、図３は文
字データ確度演算部の動作説明図、図４は文字判定回路
の動作説明図である。
１は、本発明の実施例１の全体を示すシステム構成図、
図２は、文字特徴データ抽出部の動作説明図、図３は文
字データ確度演算部の動作説明図、図４は文字判定回路
の動作説明図である。
【０００７】図１のプローバにおいて、ステージ２の上
に搬送されたウエハには表面に、半導体チップが形成さ
れている。このウエハ上の任意の位置に、例えばレーザ
マーキング装置により、文字をマーキングする。プロー
バはウエハ上の文字がカメラ１の撮像範囲に入るよう、
ステージ２を移動させ、上記説明のウエハ上の文字を、
カメラ１で撮像し、撮像した画像を電気信号に変換しプ
ローバ画像処理制御部３へ送信する。プローバ画像処理
制御部３は増幅器６を介して文字特徴データ抽出部８へ
カメラ１で撮像された画像を送信する。
に搬送されたウエハには表面に、半導体チップが形成さ
れている。このウエハ上の任意の位置に、例えばレーザ
マーキング装置により、文字をマーキングする。プロー
バはウエハ上の文字がカメラ１の撮像範囲に入るよう、
ステージ２を移動させ、上記説明のウエハ上の文字を、
カメラ１で撮像し、撮像した画像を電気信号に変換しプ
ローバ画像処理制御部３へ送信する。プローバ画像処理
制御部３は増幅器６を介して文字特徴データ抽出部８へ
カメラ１で撮像された画像を送信する。
【０００８】次に、図２を用いて、文字特徴データ抽出
部８の動作を説明する。文字特徴データ抽出部８では、
プローバ画像処理制御部３より送信されてきた画像の電
気信号をＡ／Ｄ変換器１３を介して画像メモリ１４へ記
憶させる。画像メモリ１４へ記憶された画像データは、
任意のスレッシュホールドで二値化処理１５が行われ
る。このとき二値化のスレッシュホールドレベルは、画
像上で文字によって、投影される二値化レベルと、ノイ
ズによって投影される二値化レベルの間の値を設定す
る。二値化された画像データは、ソフトウエア処理によ
りノイズ除去１６が行われ、画像上の文字部分以外のノ
イズが除去される。こうして、画像から文字のみを二値
化処理で取りだし、文字部分の範囲を決定する文字切り
出し１７と大きさ補正１８を行う。この操作により、文
字データをソフトウエア処理で規定の格子状に分割し、
その格子内の情報を文字特徴量抽出１９の処理を行うこ
とにより、文字特徴データ確度演算部９へ送信する。
部８の動作を説明する。文字特徴データ抽出部８では、
プローバ画像処理制御部３より送信されてきた画像の電
気信号をＡ／Ｄ変換器１３を介して画像メモリ１４へ記
憶させる。画像メモリ１４へ記憶された画像データは、
任意のスレッシュホールドで二値化処理１５が行われ
る。このとき二値化のスレッシュホールドレベルは、画
像上で文字によって、投影される二値化レベルと、ノイ
ズによって投影される二値化レベルの間の値を設定す
る。二値化された画像データは、ソフトウエア処理によ
りノイズ除去１６が行われ、画像上の文字部分以外のノ
イズが除去される。こうして、画像から文字のみを二値
化処理で取りだし、文字部分の範囲を決定する文字切り
出し１７と大きさ補正１８を行う。この操作により、文
字データをソフトウエア処理で規定の格子状に分割し、
その格子内の情報を文字特徴量抽出１９の処理を行うこ
とにより、文字特徴データ確度演算部９へ送信する。
【０００９】文字データ確度演算部９は、図３に示す様
に、入力２１、中間層２２、出力層２３の階層構造をも
っている。文字データ確度演算部９においては、入力層
２１に対応する中間層２２と出力層２３の出力値（以下
文字確度と称す）を計算する。出力層２３の文字確度
が、任意のセルに於いて最大となる様に、ネットワーク
荷重データ２４を調整することにより、任意の文字の出
力層２３のセルを定義しておけば入力層２１に対する文
字を確認する事が出来る。文字特徴データは、特徴量入
力バッファ２０に記憶され、入力層２１へ入力される。
ここで、例えば入力層２１の入力を、９×１１の格子に
よる文字特徴データとして９９セルで表現されるものと
仮定する。ここで例えば文字「１」を出力層２３では、
１００…００（７２セル）とするように定義する。１セ
ル目の１は確度を示しこの値は１以下となる。画像デー
タとして文字「１」を撮像し、文字特徴データ抽出部８
で得た文字特徴データを入力層２１に入力し、出力層２
３の確度が、定義したデータに近づくように、ここで
は、文字「１」に対応した出力が１００…００（７２セ
ル）に近づくように、ネットワーク荷重データ２４を任
意の文字特徴データの出力に対して調節することにより
定義された文字を割り付ける事が出来る。
に、入力２１、中間層２２、出力層２３の階層構造をも
っている。文字データ確度演算部９においては、入力層
２１に対応する中間層２２と出力層２３の出力値（以下
文字確度と称す）を計算する。出力層２３の文字確度
が、任意のセルに於いて最大となる様に、ネットワーク
荷重データ２４を調整することにより、任意の文字の出
力層２３のセルを定義しておけば入力層２１に対する文
字を確認する事が出来る。文字特徴データは、特徴量入
力バッファ２０に記憶され、入力層２１へ入力される。
ここで、例えば入力層２１の入力を、９×１１の格子に
よる文字特徴データとして９９セルで表現されるものと
仮定する。ここで例えば文字「１」を出力層２３では、
１００…００（７２セル）とするように定義する。１セ
ル目の１は確度を示しこの値は１以下となる。画像デー
タとして文字「１」を撮像し、文字特徴データ抽出部８
で得た文字特徴データを入力層２１に入力し、出力層２
３の確度が、定義したデータに近づくように、ここで
は、文字「１」に対応した出力が１００…００（７２セ
ル）に近づくように、ネットワーク荷重データ２４を任
意の文字特徴データの出力に対して調節することにより
定義された文字を割り付ける事が出来る。
【００１０】図４は、文字判定回路１０の動作を示す。
上記説明の文字データ確度演算部９によりカメラ１で撮
像した文字確度を求めている。文字判定回路１０では、
入力した文字確度を認識し、文字確度の高い文字から第
１候補検出２５及び第２候補検出２６を行う。文字判定
回路１０では、文字確度を任意の値で規定しておき、第
１候補と第２候補の文字確度結果を制御部１１へ出力す
る。文字判定回路１０で判定された文字は、制御部１１
に送信され、Ｉ／Ｏ７を介して、プローバ制御部４及び
外部装置１２に対して、文字コードとして送信される。
上記説明の文字データ確度演算部９によりカメラ１で撮
像した文字確度を求めている。文字判定回路１０では、
入力した文字確度を認識し、文字確度の高い文字から第
１候補検出２５及び第２候補検出２６を行う。文字判定
回路１０では、文字確度を任意の値で規定しておき、第
１候補と第２候補の文字確度結果を制御部１１へ出力す
る。文字判定回路１０で判定された文字は、制御部１１
に送信され、Ｉ／Ｏ７を介して、プローバ制御部４及び
外部装置１２に対して、文字コードとして送信される。
【００１１】プローバ制御部４及び外部装置１２では、
送信された文字コードを認識し各々の装置における処理
を行う。ここで言う処理とは、例えば、プローバにおい
て、ウエハに文字としてロット番号と、ウエハ番号をマ
ーキングしておく事によりプローバのカメラ１で撮像さ
れた文字を、文字認識装置部で文字認識を行い、プロー
バに対して文字コードとして送信することにより、プロ
ーバでその文字を認識する。ここでウエハの半導体チッ
プの検査結果をロット番号とウエハ番号に対応づけるこ
とにより、プローバで持つウエハの検査結果とロット番
号及びウエハ番号を１対１で対応させることが出来る。
送信された文字コードを認識し各々の装置における処理
を行う。ここで言う処理とは、例えば、プローバにおい
て、ウエハに文字としてロット番号と、ウエハ番号をマ
ーキングしておく事によりプローバのカメラ１で撮像さ
れた文字を、文字認識装置部で文字認識を行い、プロー
バに対して文字コードとして送信することにより、プロ
ーバでその文字を認識する。ここでウエハの半導体チッ
プの検査結果をロット番号とウエハ番号に対応づけるこ
とにより、プローバで持つウエハの検査結果とロット番
号及びウエハ番号を１対１で対応させることが出来る。
【００１２】また、プローバから外部装置１２にプロー
バで認識した文字と、検査結果を送信し、外部装置１２
に記憶しておくことにより、例えば、外部装置１２での
検査結果の統計や、外部装置１２と接続されたマーキン
グ専用のプローバを設けることにより、マーキング専用
プローバで、前述した文字認識を行い、ロット番号及び
ウエハ番号をマーキングプローバから外部装置１２へ送
信することにより、外部装置１２では送信されたロット
番号とウエハ番号に対応したウエハ検査結果、ここでは
ウエハ上の半導体装置の良否結果及びウエハに対するチ
ップの位置などをマーキングプローバに対して送信し、
マーキングプローバはこのデータに基づきチップに対す
る良否判定のマーキングを行う事が出来る。
バで認識した文字と、検査結果を送信し、外部装置１２
に記憶しておくことにより、例えば、外部装置１２での
検査結果の統計や、外部装置１２と接続されたマーキン
グ専用のプローバを設けることにより、マーキング専用
プローバで、前述した文字認識を行い、ロット番号及び
ウエハ番号をマーキングプローバから外部装置１２へ送
信することにより、外部装置１２では送信されたロット
番号とウエハ番号に対応したウエハ検査結果、ここでは
ウエハ上の半導体装置の良否結果及びウエハに対するチ
ップの位置などをマーキングプローバに対して送信し、
マーキングプローバはこのデータに基づきチップに対す
る良否判定のマーキングを行う事が出来る。
【００１３】図５は本発明の実施例２を示すシステム構
成図で、図１中の文字認識装置部の制御部１１の処理
を、プローバ画像処理制御部３で行うようにした時のシ
ステム構成図である。本実施例においては、プローバ部
において、画像処理関係の制御を全て行う為、図１中の
Ｉ／Ｏ７を介しての文字認識装置とプローバとの通信手
段が不要になる。
成図で、図１中の文字認識装置部の制御部１１の処理
を、プローバ画像処理制御部３で行うようにした時のシ
ステム構成図である。本実施例においては、プローバ部
において、画像処理関係の制御を全て行う為、図１中の
Ｉ／Ｏ７を介しての文字認識装置とプローバとの通信手
段が不要になる。
【００１４】
【発明の効果】本発明のプローバの文字認識システムに
よれば、文字認識の手段として、ニューラルネットワー
クを使用している為、ウエハの文字周辺の傷や、ウエハ
表面の違っている部分にマーキングされた文字の認識率
が向上する。また、半導体装置が形成されているパター
ンの上にマーキングされている文字などの読取が可能と
なる等の効果が有るとともに、ウエハにマーキングされ
た文字とウエハの検査結果を対応させる事により、ウエ
ハの検査結果の枚葉管理が可能となるという効果を有す
る。
よれば、文字認識の手段として、ニューラルネットワー
クを使用している為、ウエハの文字周辺の傷や、ウエハ
表面の違っている部分にマーキングされた文字の認識率
が向上する。また、半導体装置が形成されているパター
ンの上にマーキングされている文字などの読取が可能と
なる等の効果が有るとともに、ウエハにマーキングされ
た文字とウエハの検査結果を対応させる事により、ウエ
ハの検査結果の枚葉管理が可能となるという効果を有す
る。
【図１】本発明の実施例１のシステム構成図である。
【図２】実施例１の文字特徴データ抽出部の動作説明図
である。
である。
【図３】実施例１の文字データ確度演算部の動作説明図
である。
である。
【図４】実施例１の文字判定部の動作説明図である。
【図５】本発明の実施例２のシステム構成図である。
【図６】従来のプローバの文字認識システム構成図であ
る。
る。
１ カメラ ２ ステージ ３ プローバ画像処理制御部 ４ プローバ制御部 ５ モニタ ６ 増幅器 ７ Ｉ／Ｏ ８ 文字特徴データ抽出部 ９ 文字データ確度演算部 １０ 文字判定回路 １１ 制御部 １２ 外部装置 １３ Ａ／Ｄ変換器 １４ 画像メモリ １５ 二値化処理 １６ ノイズ除去 １７ 文字切り出し １８ 大きさ補正 １９ 文字特徴量抽出 ２０ 特徴量入力バッファ ２１ 入力層 ２２ 中間層 ２３ 出力層 ２４ ネットワーク荷重データ ２５ 第１候補検出 ２６ 第２候補検出 ２７ 文字判定回路 ２８ プローバ制御部 ２９ 画像処理制御部 ３０ 画像メモリ ３１ 二値化部 ３２ 二値化画像メモリ ３３ 標準文字データメモリ ３４ 文字比較部 ３５ 文字判定部
Claims (3)
- 【請求項１】 プローバに、画像認識装置と、画像認識
装置からの画像を文字認識装置に送信する為の画像処理
制御部と、プローバの統括制御を行うプローバ制御部
と、ウエハ上にマーキングされた文字の文字認識を行う
文字認識装置部と、プローバと文字認識装置部との通信
を行うＩ／Ｏとを有する事を特徴とするプローバの文字
認識システム。 - 【請求項２】 前記文字認識装置部の文字認識手段とし
てニューラルネットワークを構成した請求項１記載のプ
ローバの文字認識システム。 - 【請求項３】 前記ウエハ上にマーキングされた文字を
認識し、その認識された文字をプローバおよびプローバ
以外の外部処理装置へ送信する請求項１記載のプローバ
の文字認識システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4201661A JPH0652293A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | プローバの文字認識システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4201661A JPH0652293A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | プローバの文字認識システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0652293A true JPH0652293A (ja) | 1994-02-25 |
Family
ID=16444805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4201661A Withdrawn JPH0652293A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | プローバの文字認識システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0652293A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010538474A (ja) * | 2007-08-31 | 2010-12-09 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーション | ウエハの領域全体の半導体パラメータを予測するための装置および方法 |
| US9280141B2 (en) | 2012-04-11 | 2016-03-08 | Bose Corporation | Controlling table music system |
-
1992
- 1992-07-29 JP JP4201661A patent/JPH0652293A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010538474A (ja) * | 2007-08-31 | 2010-12-09 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーション | ウエハの領域全体の半導体パラメータを予測するための装置および方法 |
| US9280141B2 (en) | 2012-04-11 | 2016-03-08 | Bose Corporation | Controlling table music system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN115914741B (zh) | 基于动作分类的婴儿视频集锦抓取方法、装置及设备 | |
| CN116523921B (zh) | 一种针对极耳翻折情况的检测方法、装置和系统 | |
| CN111291749B (zh) | 手势识别方法、装置及机器人 | |
| JPH0762606B2 (ja) | パターン位置認識装置 | |
| JP3893829B2 (ja) | 画像処理装置および画像処理方法ならびに画像形成装置 | |
| CN117788394A (zh) | 电力设备的状态检测方法、装置、设备及存储介质 | |
| JPH0652293A (ja) | プローバの文字認識システム | |
| JP2613959B2 (ja) | 指紋紋様分類装置 | |
| CN114119472A (zh) | 缺陷分类方法和装置、设备及存储介质 | |
| CN113538337A (zh) | 检测方法、检测装置及计算机可读存储介质 | |
| JPH1083452A (ja) | パターン欠陥検出装置 | |
| JP3074691B2 (ja) | 文字認識装置 | |
| JP2702441B2 (ja) | ウェーハ識別文字認識システム | |
| JPH0452975A (ja) | 指紋紋様分類装置 | |
| JPH0217832B2 (ja) | ||
| JPH08122267A (ja) | マーク認識装置およびマーク認識方法 | |
| CN217638759U (zh) | 一种基于光学ccd模组的芯片生产自动检测系统 | |
| US6174375B1 (en) | Semiconductor device manufacturing system capable of automatic branching and merging of wafers | |
| JP3105353B2 (ja) | クリーム半田印刷検査装置 | |
| JP3936039B2 (ja) | 網がけ領域抽出装置 | |
| JPH0875432A (ja) | 切断ライン測定装置 | |
| JP2000251016A (ja) | ナンバープレート認識装置 | |
| JP2000268131A (ja) | 文字認識装置 | |
| JPH0584946B2 (ja) | ||
| JPH05113315A (ja) | 円形画像データの中心位置検出方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |