JPH06511532A - ダイアフラム式計量ポンプのダイアフラムの伸長度を制御するための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ダイアフラム式計量ポンプのダイアフラムの伸長度を制御するための装置鼠浬患 狸 本出願は、１９８９年１０月２０日に出願された米国特許出願第０７／４２４． ４４３号に関連した出願である。

発明の背景 本発明は、ダイアフラム式計量ポンプにこでは「ダイアフラムポンプ」又は「計 量ポンプ」又は単に「ポンプ」とも称する）に関し、特に、計量ポンプの液圧流 体を介して作動されるダイアフラムの伸長度を監視し、制御するための装置に関 する。

計量ポンプは、多くの工業プロセスにおいて多様な用途を有している。ダイアフ ラム式計量ポンプは、可撓性ダイアフラムを撓ませることによって作動するもの であり、ダイアフラムの撓みによって被ポンプ送り媒体（ポンプ送りすべき媒体 ）に圧力をかけ、ポンプの吐出側逆止弁を通して該媒体を圧送する。ダイアフラ ムに対する液圧を減少させてダイアフラムをその撓み前の状態に戻すと、計量ポ ンプのポンプ送り室と被ポンプ送り媒体のため吸入口との間に圧力差を創生ずる 。それによって、第２弁（吸入口側逆止弁）を通して追加の被ポンプ送り媒体が 吸入され、ポンプ送り室を満たす。

この種の計量ポンプは、そのいろいろな用途に応じて、ステンレス鋼やテフロン 等から成る多種多様のダイアフラムを必要とする。この種の計量ポンプの故障の 主要な原因の１つは、ダイアフラムが過度の撓み及び伸長によって裂断すること である。ダイアフラムの過度の伸長は、ダイアフラムに及ぼされる液圧力がダイ アフラムをその材質の比撓み限度を越えて押圧するか、又は引張ったときに生じ る。

ダイアフラムの両方向（ダイアフラムを押圧する方向とダイアフラムを引張る方 向）の過度伸長に対する制限は、ダイアフラムポンプの液圧流体室とポンプ送り 室にそれぞれ設けられた第１及び第２皿形プレートによって与えられる。過度伸 長の状態は、例えばポンプのピストンを通っての液圧流体の漏れによって生じる 液圧不均衡の結果として起る。ダイアフラムを作動するための液圧を創生ずるピ ストンが後退するときは、ダイアフラムが後退して後側（第］）皿形プレートに 衝接し、それによって過度伸長状態に至るのを防止される。同様にして、ピスト ンが前方へ伸長するときは、ダイアフラムが前方張り出し位置へ伸長されるが、 前側（第２）皿形プレートがダイアフラムを受け止め、それによってダイアフラ ムが過度伸長状態に達するのを防止する。しかしながら、ダイアフラムを皿形プ レートに接触させる構成は、その結果としてダイアフラムに過度の応力を及ぼす ことがあり、ダイアフラムの早期破損の原因となるので、望ましくない。

ダイアフラムの破損を監視する課題は、幾つかの先行特許に開示されている。

例えば、ミアーンズ（Ｍｅａｒｎｓ）の米国特許第４，７８１，５３５号には、 基本的にダイアフラムの破断の発生を事後に検出する漏れ検出器を設けることが 提案されている。この技法は液圧流体が被ポンプ送り媒体と混ざることによる汚 染の量を最少限にし、かつまた、可能な限り早い時点で修正動作のための信号を 発するが、ダイアプラムの撓みがその破断の可能性を回避し、その寿命を長くす るための安全な範囲内に留まることを確保するためにダイアフラムの撓みを制御 することはしない。

米国特許第４，６１９，５８９号及び４，８２８，４６４号では、ダイアフラム の位置を検出することが試みられている。これらの特許の装置では、ポンプ送り すべき流体の量を正確に制御する目的でダイアフラムの位置が監視される。しか しながら、この従来技術は、ダイアフラムの両方向の過度伸長の問題の解決に完 全には対処していない。ダイアフラムがテフロン等のある種の材質で製造されて いる場合、上述した後側皿形プレートは、ピストンの後退中にダイアフラムが引 きつけられて多孔質の後側皿形プレートに衝接したときダイアフラムを膨出させ てしまうことが経験上知られている。さらに、後側皿形プレートがダイアフラム のそれ以上の後退を阻止することにより、ある種の極限状態においてはダイアフ ラムと液圧流体との間に空気界面が発生するキャビテーション現象が起る。この ようなキャビテーション現象は、ポンプの計量精度を低下させるとともに、その 他の点でも望ましくない。

本発明は、計量ポンプの信頼性を維持することの上述したいろいろな困難な問題 に鑑みて提供されたものである。

態別（１ 本発明の目的は、計量ポンプのダイアフラムの撓みを正確に制御することである 。

本発明のより特定的な目的は、ダイアフラムの位置を常時監視し、その位置に基 づいてダイアフラムに対する液圧を制御することである。

本発明によれば、ダイアフラムが過度伸長位置に達した時点を検出するためのダ イアフラム位置表示器を計量ポンプに組み入れる。計量ポンプの液圧流体は、ソ レノイド作動の弁（電磁弁）を介して中間加圧流体の貯留器に接続される。ダイ アフラム位置センサに接続された制御回路が、ダイアフラムの撓みが最大安全変 位限度を越えた時点を見定める。その時点で制御回路は、電磁弁を作動し、ポン プの加圧室（液圧流体室）から液圧流体を中間加圧流体の貯留器へ排出させる。

加圧室から流体を排出させることにより即座にダイアフラムのそれ以上の伸長が 阻止される。

ダイアフラムの過度伸長は、ピストンが前進する加圧ストローク中においても、 また、ピストンが後退し、被ポンプ送り媒体がポンプ送り室内へ吸入されている 減圧ストローク中においても発生する可能性がある。本発明によれば、ピストン の後退中におけるダイアフラムの過度伸長は、電磁弁を作動させて加圧室を貯留 器に接続し、その貯留器からポンプの加圧室への加圧流体の逆流を可能にするこ とによって防止される。このダイアフラム式計量ポンプの加圧ストロークが開始 されると、液圧流体は、ポンプの加圧室から上記電磁弁を通って上記貯留器へ戻 るのを阻止される。かくして、ダイアフラムに対する加圧が続けられ、ダイアフ ラムは前方へ変位されてポンプ送り室を加圧し、被ポンプ送り媒体を押し出す。

ダイアフラムが安全変位領域内へ前進すると、電磁弁を閉鎖するための信号を発 する。

本発明は、また、加圧ストローク中ダイアフラムの過度伸長を防止するように構 成することもできる。その場合、ダイアフラム位置が第２の最大変位限度に達し たことが検出されると、第２電磁弁手段が作動され、ポンプの加圧室を上記貯留 器に接続する。それによって、実際上、ダイアフラムのそれ以上の伸長を停止さ せることができる。この第２電磁弁手段の作動により圧力が減少されると、ダイ アフラムは安全な変位位置に戻る。ダイアフラムがこの位置に戻ったことが検出 されると、第２電磁弁手段が閉鎖される。

ダイアフラムの実効変位量を制御することによりダイアフラムの過度撓曲を回避 することができ、それによってダイアプラムの寿命を延長し、ダイアフラムの交 換期間を長くすることができる。また、ダイアフラムの撓みを制御することによ って、ダイアフラムの期待寿命の予測が可能になり、ダイアフラムの破滅的な破 損が生じないうちに交換することができる。

図面の簡単な説明 図１は、ダイアフラムの変位量を制御するための本発明の一実施例の概略図であ る。

図２Ａは、図１の計量ポンプに対するピストンの位置とクランクの位置の関係を 例示する。

図２Ｂは、クランクの位置に対するダイアフラムの実際の位置の関係を例示する 。

図２０は、クランクの位置に関連したセンサの出力信号を例示する。

図２Ｄは、ダイアフラムの変位量を制限するためにソレノイド作動弁に印加され る制御信号を例示する。

図３Ａは、図１に概略的に示された装置のダイアフラム式計量ポンプの断面図す る。

図４は、ソレノイド弁作動信号を発生するための制御回路の概略図である。

図５は、ダイアフラムの両方向の撓みを制御するための本発明の別の実施例を例 示する。

図６Ａは、図５のダイアフラムポンプに対するピストン位置とクロスヘッド位置 の関係を例示する。

図６Ｂは、ポンプ送り動作中に検出されたダイアフラムの位置を例示する。

図６０は、後退しきい値及び伸長しきい値に関するダイアフラム位置センサの出 力を例示する。

図６Ｄは、ソレノイド弁３６に対する制御装置の出力を例示する。

図６Ｅは、ソレノイド弁３７への出力を例示する。

迂ｌ旦■衷塵但ｑ悦服 図１を参照すると、被ポンプ送り媒体の貯留器１２に接続されたダイアフラム式 計量ポンプ７の概略図が示されている。ダイアフラムポンプ７の吸入口側の逆止 弁１０は、被ポンプ送り媒体がポンプ送り室１３内に流入するのを許し、ダイア フラムポンプ７の吐出口側の逆止弁９は、被ポンプ送り媒体がダイアフラムから の圧力を受けてポンプ送り室１３から流出するのを許す。

ポンプ７は、そのポンプ送り室１３に対向した液圧流体室（「液圧室」又は「加 圧室」又は「ダイアフラム室」とも称する）１４を有している。液圧室１４は、 ポンプ送りストローク中ダイアフラム１１を加圧し、吸入ストローク中ポンプ送 り室１３内に部分真空を創生ずる働きをする。本発明によれば、ダイアフラム１ １の撓みをダイアフラム１１に固定された永久磁石のような磁石１５に対面した 近接センサ１６によって検出する。このようにして、ダイアフラム１１の運動を 近接センサ１６によって有効に監視（モニター）することができる。センサ１６ は、磁石１５から好ましい距離のところに保持されるように位置ぎめ部材１７に よって位置ぎめすることができる。

液圧室１４の加圧は、ピストンシリンダ２０内で作動するピストン２６を介して 行われる。即ち、往復動クロスヘッド２８が、ピストン２６を前進させて液圧室 １４を加圧し、逆方向（戻り）ストロークで往復動クロスヘッドが後退されると 、ピストン２６は、ばね２５によってその出発位置へ戻される。この組立体全体 はピストンクランク２７によって駆動される。

ピストンシリンダ２０を液圧室１４に接続する液圧回路内に圧力逃し逆止弁（単 に「圧力逃し弁」又は「逆止弁」とも称する）２１を設ける。この逆止弁２１は 、ダイアフラム１１の過度の変形を惹起し、駆動機構４２に損傷を与える過度の 圧力を回避するように圧力逃し弁として機能する。中間媒体の貯留器３４は、圧 力逃し弁２１を通して逃がされた液圧流体を受け入れる。

液圧室１４に逆止弁３２を介してソレノイド作動の弁（単に「電磁弁」又は「弁 」とも称する）３１を接続する。ダイアフラム１１が過度に伸長されるような位 置へと後方に移動したことが検出されると、制御装置３０が電磁弁３１へ作動信 号を送る。それによって、弁３１が開放され、貯留器３４から中間媒体である液 圧流体を液圧室１４内へ流入させる。その結果として、センサ１６へ向かう方向 のダイアフラム１１のそれ以上の移動を阻止する。

かくして、ダイアフラム１１は、ピストン２６が液圧室１４を加圧し、逆止弁３ ２を閉鎖するまで、その検出されたままの位置に留まる。

図２Ａ、２Ｂ、２０及び２Ｄは、図１の装置の動作を例示する。図に示されるよ うに、クロスヘッド従ってピストンの変位量は、０％の基準線から１００％前方 位置にまで変化し、次いで０％に戻り、これを周期的に繰返す。ピストン２６と クロスヘッド２８とは生動連結されているので、ピストンの位置は、図示の例で はクロスヘッドがそのストローク長の５０％から１００％にまで移動するときに 前進する。このクロスヘッドの移動とピストンの前進との関係は、機械的ストロ ーク調節器の設定値によって変えられる。

図２Ｂは、ピストン２６の運動に応答して変位するダイアフラム１１の位置を示 す。図２８のＹ軸線の目盛りは、ダイアフラムの変位量を％単位で示す。１゜０ ％の値は、ダイアフラムに付設された磁石１５がセンサ１６に密に近接した位置 に達したことを表す。ダイアフラムが前方位置から後退されると、従来技術では ダイアフラムが後側皿形プレートによって停止されるようになされていた位置で 制御装置３０が電磁弁３１を作動させる。この位置は、図２Ｃに点線で示されて おり、その結果として発せられる制御信号は図２Ｄに示されている。電磁弁３１ を作動させるダイアフラム１１の位置は、ダイアフラムが過度に伸長されること がないように、実験的に決定され、制御装置３０に対して指定される。この位置 は、図２０に点線で表されているが、ダイアフラムの素材や、当業者には周知の その他の考慮事項に鑑みて決定される。

以上、図１及び図２Ａ〜２Ｄを参照して好ましい実施例の作動を説明したが、上 述したシステム設計の実際的な実施例が図３Ａ及び３Ｂに示されている。図３Ａ は、ダイアフラムの撓みを制限するための図１のシステムを用いたダイアプラム 式計量ポンプの断面図である。図３Ｂの細部″Ａ′は、ピストンシリンダ２゜に 連通ずるように配置されだ液圧逃し弁２１を示す。図３Ａの実施例では、中間媒 体の貯留器を、ポンプピストン２０を囲包する中間媒体貯留器４ｏとして構成し ている。ピストン２６を「クロスヘッド」とも称されるカム従節４３を介して往 復動させるようにカム２８を駆動するための手段として、駆動モータ４１と歯車 機構４２が用いられている。ばね２５によって押し戻されるときのピストン２６ の後退行程を制限するストローク調節器（つまみ）４５が設けられている。ピス トン２６のための機構の駆動に関するこれらの構造細部は、計量ポンプの設計に おいて慣用のものであるから、これ以上は説明しない。

電磁弁３１は、導管４６を介して内部中間媒体貯留器４０に接続されている。

電磁弁３１の液圧入口は、逆止弁３２を介してシリンダ即ちピストン室２ｏに接 続されている。

磁石１５は、ダイアフラム１１に取り付けられており、ピストンシリンダ２゜の 出口のところに支持されたセンサ１６によって検出される。センサ１６は、例え ば、磁石１５の磁界を検出し、磁石１５とセンサ１６との間の距離に比例して電 流を流すホール効果近接トランスジューサデバイスによって構成することができ る。センサ１６は、電気コネクタ４７を介して制御装置３０に接続されている。

好ましい実施例では、制御装置３０は、電磁弁３１が開放状態にあるか、閉鎖状 態にあるかを示すための１対の光指示器（表示灯）５９．４８を有し、さらに、 電磁弁３１が開放される位置しきい値（限界位置）を手で調節することを可能に するしきい値調節器（つまみ）４９を備えている。かくして、いろいろなダイア フラムに対して、そのダイアフラムに課すべき撓み限度に応じて、しきい値の設 定を増減させることができる。このしきい値電圧の調節は、抵抗器５１（図４参 照）の両端間に電圧計デバイスを設けることによって容易に実施することができ る。図３Ａ及び３Ｂに示されるように、本発明の上述した好ましい実施例は、慣 用の計量ポンプ構成に組み入れて実施することができる。

制御装置３０は、図４の回路図に詳しく示されている。図４を参照して説明する と、この制御回路は、ホール効果トランスジューサ１６からの信号を受信するよ うに直列抵抗器５１を介してトランスジューサ１６に接続された第１演算増幅器 ５０を備えている。増幅器５０の出力信号をオフセットするための内部オフセッ ト制御器５２が設けられ、また、増幅器５ｏのための適当な利得設定値を工場で 設定するための慣用の内部利得制御器５３が設けられている。また、ダイアフラ ムの位置を監視するための手段として、増幅器５０の出力端に接続した電圧計を 用いることも可能であることは、当業者には明らかであろう。

増幅器５０の出力（１０ボルトの基準レベル）又は浮動基準レベルのいずれかを 選択的に比較器５６の入力端に接続するためのスイッチ５４が設けられている。

このスイッチの切り換えにより弁３１を自動強制開放状態又は自動強制閉鎖状態 のいずれかで作動させる。しきい値開節制御器４９は、２つの制限抵抗器に直列 に接続されたポテンショメータからなる。比較器５６の出力は、ホール効果トラ ンスジューサ１６が、しきい値開節ポテンショメータ４９によって与えられる信 号より大きい信号を比較器５６の入力端に与えたときに、変化する。即ち、比較 器５６によって与えられる２つの状態は、磁石１５のセンサ１６に対する近接度 によって決定される弁開放状態と弁閉鎖状態のいずれかを表す。

指示器５９及び４８は、比較器５６によって発せられる信号に応答する慣用のＬ ＥＤダイオードである。比較器５８は、光アイソレータへの信号を、電磁弁３１ を作動させるのに必要とされる信号に調整する。以上の説明から分かるように、 図３Ａの実施例に対する制御装置３０は、ダイアフラム１１に過度伸長状態が課 せられているかどうかを示すために電磁弁３１の現時点の（時々刻々の）作動状 態を表示することができる標準的な電子部品で構成することができる。

以上の説明は、ダイアフラム１１の過度伸長を回避するように構成することがで きる幾つかの実施例の１つだけを例示したものにすぎない。上述した例は、ダイ アフラム１１及びそれに付設された磁石１５がセンサ１６に密に近接しているか どうかということに基づいてダイアプラムの過度伸長を表示する。しかしながら 、この同じシステムを用いて、ダイアフラム１１を反対方向の（即ち、センサ１ ６から遠くに離れたときの）過度伸長から保護するように構成することができる 。それは、単に図４に示される比較器５６への入力を逆にし、図３Ａに示される 逆止弁３２の停止方向を逆にするだけで達成することができる。さらに、これら の両方の保護機構を同時に適用することも可能である。

図５は、ダイアフラム１１を加圧ストローク中の過度伸長から保護する実施例を 示す。この場合、センサ１６は、ダイアフラム１１が伸長しきい値を越えた時点 を表示することができる。制御装置３０は、ダイアフラム位置が伸長しきい値を 越えたことを検出すると、図６Ｅに示されるような信号を発し、電磁弁３７を制 御する。弁２１は、先の実施例の場合と同様に、弁３７によって逃し切れない過 度の圧力が発生した場合にフェールセーフ逃し弁として機能する。

この実施例においては、ダイアフラムが伸長しきい値に達したとき、液圧が中間 液圧流体貯留器へ戻されることにより液圧室１４のそれ以上の加圧が停止される 。その後のダイアプラムの適正な作動態様が、図６Ｂに示されている。即ち、ダ イアフラムの位置は、その両方の撓み方向での過度伸長を回避するために後退限 度及び伸長限度内に維持される。ダイアフラムの後退中は、図５の実施例は、図 １の場合と同様に作動し、信号が制御装置３０から電磁弁３１に与えられ、ピス トンの後退中におけるダイアプラムの伸長を制限する。

図３Ａには示されていないが、ダイアフラムポンプの吸入サイクル中ダイアフラ ム１１の過度伸長を抑止するための二次的バックアップ手段として、ダイアフラ ムの後退をストップする在来の皿形プレートを引き続き用いてもよい。

以上に説明した各実施例は、ダイアフラム１１の特定の素材に限定されるもので はなく、ダイアフラムの最大安全変位範囲を設定するように使用するしきい値を 適当に変更することによってあらゆる種類の素材のダイアフラムに適用すること ができる。また、本発明は、ポンプ変位量（ストローク）を調節するための手段 に関しても特定の手段に限定されるものではない。当業者は、以下の請求の範囲 に記載されるところに従ってさらに他のいろいろな実施例を考えることができる であろう。

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. １．計量ポンプのダイアフラムの過度伸長を防止するための装置であって、ダイ アフラムが過度伸長されつつあるときそのダイアフラムの位置を検出するための ダイアフラム位置センサと、中間加圧流体の貯留器と、 中間加圧流体を計量ポンプのダイアフラム室の一側に接続しており、制御信号に 応答して該ダイアフラム室に補給加圧流体を供給する弁手段と、前記ダイアフラ ムの撓みが最大安全変位量を越える時点を検出するために前記ダイアフラム位置 センサに接続されており、前記補給加圧流体の流れを通すために前記制御信号を 前記弁手段に供給する制御回路と、前記補給加圧流体が前記弁手段を通って逆流 するのを防止するための手段と を具備することを特徴とする計量ポンプのダイアフラムの過度伸長を防止するた めの装置。
2. ２．前記ダイアフラム位置センサは、 前記ダイアフラムと共に移動するように該ダイアフラムに付設された永久磁石と 、 該磁石に対面して前記ダイアフラム室の壁に支持されており、該磁石の離隔位置 に比例して電流を供給するための磁界検出器とからなる請求の範囲第１項に記載 の装置。
3. ３．補給加圧流体の逆流を防止するための前記手段は、前記弁手段とダイアフラ ム室の間に接続された逆止弁である請求の範囲第１項に記載の装置。
4. ４．前記磁石は、前記ダイアフラムの、前記中間加圧流体に接触する面において 前記ダイアフラムに取り付けられている請求の範囲第２項に記載の装置。
5. ５．ダイアフラムの位置を表す前記ダイアフラム位置センサの出力を表示するた めの電流計量デバイスが設けられている請求の範囲第２項に記載の装置。
6. ６．前記弁手段は、前記ダイアフラム室からの加圧流体の逃し分を、この弁手段 を通っての加圧流体の逆流を防止するための手段を備えている前記貯留器に供給 する請求の範囲第１項に記載の装置。
7. ７．前記制御回路は、 ダイアフラム位置を表すしきい値電圧を第１入力端で受信し、前記センサから前 記ダイアフラムの時々刻々の位置を表す信号を第２入力端で受信する比較器回路 と、 該比較器回路及び前記弁手段に接続されており、該比較器回路が前記ダイアフラ ム位置が最大安全変位量に達したことを指示する信号を発するのに応答して前記 弁手段を作動させるリレーと からなる請求の範囲第１項に記載の装置。
8. ８．前記中間加圧流体が前記ダイアフラム室内に過度の流体圧を創生したとき、 前記ダイアフラム室から前記中間加圧流体の貯留器へ流体を逃がすために前記ダ イアフラム室と前記中間加圧流体の貯留器との間に接続された圧力逃し弁をさら に含む請求の範囲第１項に記載の装置。
9. ９．前記圧力逃し弁は、前記ダイアフラム室と前記中間加圧流体の貯留器との間 で加圧流体を一方向に流すための逆止弁を含む請求の範囲第６項に記載の装置。
10. １０．ポンプ送り室を加圧室から分離するダイアフラムを有するダイアフラム式 計量ポンプにおいて、該加圧室内の圧力の変化に応答する該ダイアフラムの撓み を制限するための装置であって、 前記加圧室を加圧媒体の貯留器に接続しており、前記ダイアフラムが第１の極度 位置に達したときダイアフラムのそれ以上の撓みを阻止するために過度圧力状態 に応答して核加圧媒体を該貯留器へ逃がす働きをする第１弁手段と、前記加圧室 を前記貯留器に接続する第２電子弁手段と、前記ダイアフラムの位置を表す信号 を供給するためのダイアフラム位置検出手段と、 該信号を受信するように接続されており、前記ダイアフラムが前記加圧媒体の圧 力の減少に応答して第２の極度位置に達したとき該ダイアフラムのそれ以上の撓 みを阻止するために前記電子弁手段を作動させる回路手段とを具備することを特 徴とするダイアフラムの撓みを制限するための装置。
11. １１．前記第１弁手段は、前記加圧室からの加圧媒体の一方向の流れを許し、前 記第２弁手段は、該加圧室への加圧媒体の一方向の流れを許すものである請求の 範囲第８項に記載の装置。
12. １２．前記ダイアフラム位置検出手段は、前記ダイアフラムに付設された永久磁 石と、該磁石の相対的位置を検出するために前記加圧室内に配設されたセンサと を含む請求の範囲第８項に記載の装置。
13. １３．ポンプ送り室を加圧室から分離するダイアフラムを有するダイアフラム式 計量ポンプにおいて、該加圧室内の圧力の変化に応答する該ダイアフラムの撓み を制限するための装置であって、 前記加圧室を加圧媒体の貯留器に接続しており、前記ダイアフラムが第１の極度 位置に達したときダイアフラムのそれ以上の撓みを阻止するために過度の低圧状 態に応答して前記加圧媒体を前記貯留器へ逃がす働きをする第１弁手段と、 前記加圧室を前記貯留器に接続する第２電子弁手段と、前記ダイアフラムの位置 を表す信号を供給するためのダイアフラム位置検出手段と、 該信号を受信するように接続されており、前記ダイアフラムが前記加圧媒体の圧 力の増大に応答して第２の極度位置に達したとき該ダイアフラムのそれ以上の撓 みを阻止するために前記電子弁手段を作動させる回路手段とを具備することを特 徴とするダイアフラムの撓みを制限するための装置。
14. １４．前記ダイアフラム位置検出手段は、前記ダイアフラムに付設された永久磁 石と、該磁石の相対的位置を検出するために前記加圧室内に配設されたセンサと を含む請求の範囲第１３項に記載の装置。
15. １５．前記電子弁手段は、前記加圧媒体の逆流を防止するように該電子弁手段と ダイアフラム室との間に接続された逆止弁を含む請求の範囲第１３に記載の装置 。
16. １６．ダイアフラムの位置を表す前記ダイアフラム位置センサの出力を表示する ための電流計量デバイスを含む請求の範囲第１３項に記載の装置。
17. １７．ポンプ送り室を加圧室から分離するダイアフラムを有するダイアフラム式 計量ポンプにおいて、該加圧室内の圧力の変化に応答する該ダイアフラムの撓み を制限するための装置であって、 前記加圧室を加圧媒体の貯留器に接続しており、前記ダイアフラムが第１の極度 位置に達したときダイアフラムのそれ以上の撓みを阻止するために過度の圧力状 態に応答して前記加圧媒体を前記貯留器へ逃がす働きをする第１弁手段と、 前記加圧室を前記貯留器に接続する第２及び第３電子弁手段と、前記ダイアフラ ムの位置を表す信号を供給するためのダイアフラム位置検出手段と、 該信号を受信するように接続されており、前記ダイアフラムが前記加圧媒体の圧 力の増大に応答して第２の極度位置に達したとき前記第２電子弁手段を作動させ 、前記ダイアフラムが前記加圧媒体の圧力の減少に応答して第３の極度位置に達 したとき前記第３電子弁手段を作動させ、それによって、該ダイアフラムの撓み を加圧媒体の圧力の該極度値に対するダイアフラムの応答によって規定される前 記範囲に限定する働きをする回路手段とを具備することを特徴とするダイアフラ ムの撓みを制限するための装置。
18. １８．前記ダイアフラム位置検出手段は、前記ダイアフラムに付設された永久磁 石と、該磁石の相対的位置を検出するために前記加圧室内に配設されたセンサと を含む請求の範囲第１６項に記載の装置。
19. １９．前記電子弁手段は、前記加圧媒体の逆流を防止するように該電子弁手段と ダイアフラム室との間に接続された逆止弁を含む請求の範囲第１６に記載の装置 。
20. ２０．ダイアフラムの位置を表す前記ダイアフラム位置センサの出力を表示する ための電流計量デバイスを含む請求の範囲第１６項に記載の装置。