JPH06507027A - 集光器のマトリクス、かかるマトリクスを組み込んでいる光学アレイおよびマトリクスの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 集光器のマトリクス、かかるマトリクスを組み込んでいる光学アレイおよびマト リクスの製造方法技術分野 本発明は集光器の直線または二次元マトリクス、かかるマトリクスを有する光放 出マトリクス受光アレイかっまた前記マトリクスの製造方法に関する。

発明の背景 太陽エネルギ分野から単独の要素として大きな、円錐集光器を使用することが知 られておりかつその記載は論文「非画像集光器、光および太陽エネルギの光学系 」、ダブユリュー・ティー・ウェルフォードおよびアール・ウィンストン、アカ デミツク・プレス、１９７８において明白である。

しかしながら、これらの集光器の使用はそれらの寸法および使用される技術によ りこの特別な分野に指定される。

本出願人は光ファイバによる光伝送および端部要素との光ファイバの結合に関す るまったく異なる分野を取り扱っている。それらは一般に小さな、半導体エレク トロニクス構成要素である。寸法は常に高い周波数で作動しようとするとき減少 する。

光ファイバとかかる構成要素との間の結合これまで優れた結果を導かなかった困 難な作業である。これらの結果は目標が常により小さい接触面を有する構成要素 へファイバを結合する程度にさらに低下させる。

さらに他の目途は、興味を引く、蛍光または透き通ったプラスチック光ファイバ が使用されるとき放出器または受信器と光ファイバとの間の考え得る最良の結合 （最適結合）を得ることにある。

そのうえ、ファイバとそれに対応する放出器または受信器との間の非常に良好な 品質の結合を有する必要とは別に、多くの用途において非常に多数の接続を製造 する必要が増加しかつ幾つかの装置は数千および同様に数十万のファイバを有す るかも知れない。それゆえこれらの幾つかの接続の迅速かつ信頼し得る形成を許 容する装置を存することが非常に重要である。

単一の受信器によりファイバのアレイを読み取ることが望まれるとき、撚り糸形 状に結合されかつそれらの端部において研磨されるファイバは受信器の能動面と 光学的接触に置かれる。これらのファイバを個々に読み取ることが望まれる場合 には問題はより複雑となる。

したがって、これまで、大径の光ファイバと端部構成要素（放出器、受信器）と の間の完全な結合を許容する幾つかの解決がある。これまで最も欠点の少ない解 決として見做されていた一般に採用される解決は、構成要素をファイバの端部に 直接配置することからなる。これは光学的損失、すなわち入口または入口通路に おける開口数の損失および出口または出口通路における表面の関係の減衰を想定 している。

通常の光学屈折系が、それらが光ファイバの開口数に比べて一般に過度に少ない 開口数を有するため、稀に使用される。

例えば多重アノード光増倍器により読み取られるファイバの場合に時折使用され る解決は球面レンズとして結合を改善するために２つの装置ｔＨに、高い光学係 数を有するサファイアボールを挿入することからなる。その直径をファイバ直径 のほぼ１．５倍にすべきであるこのボールはファイバ間の大きい最小間隔を付与 しかつ隣接するファイバ層を読み取ることが望まれる場合にもはや使用し得ない 。

また、この場合にファイバの大きさより小さいサイズを有する画像が受信器上に 得られないことが指摘される。この方法はまたファイバと受信器との間へのボー ルの個々の配置を前提とし、それは大きな数が必要とされるとき複雑または単調 で退屈となる。

他の結合の可能性は、そのコストは別として、２つの欠点をこうむる光ファイバ のテーパを使用することからなる。

第１は開口数の減少でありかつ第２は一般に単一ファイバに対応するサイズを備 えた要素がないことである。ファイバからなるマトリクスに適用されるとき、テ ーパがファイバの端部の画像を減少するだけでなく、またファイバの画像の間隔 を減少しかつしたがって端部構成要素上で非常に制限された間隔を付与する。

他の例は光ファイバとアバランシェフォトダイオードとの間の結合力を示す。市 場で提案された構成要素は同一直径のフォトダイオードとこれを収容するケース の前面との間の接続を形成するための３００μの直径の光ファイバを使用する。

ケースの窓に対するファイバの簡単な位置決めに比べて、前記装置その出力信号 が測定されることが望まれるファイバとの良好な結合を許容するが、小さい開口 数および２本のファイバの表面間の小さい比率（１ｍｍのファイバに関して９％ ）の結果として有害である。

発明の開示 本発明はこれらの欠点の除去を可能にする。本発明は第１に集光器からなるアレ イを有する、光ファイバに接続されかつ主として集光器がファイバの芯の屈折率 に近い屈折率ｎを有する光を透過する光学材料で充填される対称回転を有する光 学的に独立のカタジオブタであることを特徴とすることができる集光器の直線ま たは二次元マトリクスに関する。

本発明の第２の特徴によれば、光透過の光学材料は屈折率ｎが１．５６を越える ような方法において選ばれる。

本発明の他の特徴によれば、集光器は維持、保留または保持材料によってマトリ クスを形成するためにともに接合される。

本発明の他の特徴によれば、保持材料は重合された材料である。

他の特徴によれば、集光器はまた該集光器の内壁を被覆する反射材料を有しかつ 保持材料と透過光学材料との間の光学的隔離を形成する。

本発明の特徴によれば、反射材料は金属層により構成され他の特徴によれば、集 光器は直線または屈曲母線により発生される回転形状の対称を有する。

本発明はまた光ファイバのマトリクス、放出器および受信器のマトリクスを有し そしてまたそれが光ファイバのマトリクスと放出器および受信器のマトリクスと の間に光結合手段を有しそして前記結合手段が回転対称を有しかつ光を透過する 光学材料で充填されかつ光ファイバのコアの屈折率に近い屈折率を有する光学的 に独立のカタジオブタにより形成される集光器のマトリクスを組み込んでいる光 放出および検出アレイに関する。

本発明の他の特徴によれば、光学アレイはまたフレネル反射を低減しかつ集光器 の出力面上のすべての反射を防止するために適合された光学係数を有する光学接 触材料を有し、該材料は放出器または受信器のマトリクスと集光器のマトリクス との間のかつ集光器のマトリクスと光ファイバのマトリクスとの間の接触を保証 するるような方法において位置決めされる。

前記光学アレイにおいて、集光器はマトリクスを形成するために保持材料により ともに接合される。

保持材料は重合された材料である。集光器はまた内壁を被覆する反射材料を有し かつ保持材料と透明光学材料との間の隔離を形成する。

本発明はまた以下の工程、すなわち、 一回転対称を備えた雄要素のマトリクス配置を有する基本型を製造し、 １雄型の形状に補完的な形状を存する雌要素のマトリクス配置を得るために基本 型の対向型を製造し、−雄要素により構成される新たな型を得るために対向型に 材料を注入し、 一結果として得られるような種々の光学要素間の機械的な密着を保証するように 雄要素の上方に保持材料を注入し、続いて、硬化後、得られたマトリクスを型か ら取り出し、−型から取り出した後得られた中空形状内に薄層材料を任意に堆積 しかつこれが種々の要素間の光学的隔離を保証するのに使用され、 １型から取り出し後マトリクスの中空形状を充填しかつ剰余の厚さを得るように 、薄い隔離層の上方にファイバのコアの屈折率に近い屈折率ｎを有する光透過材 料を注入し、−屈折率ｎの光学材料の剰余の厚さを取り除くようにマトリクスの 上方および下方面を機械加工することを特徴とする、光ファイバのマトリクスに 結合されるべくなされた集光器の直線または二次元マトリクスの製造方法に関す る。

本発明はまた、以下の工程、すなわち、一回転対称を備えた雄要素のマトリクス 配置を存する基本型を製造し、 １雄要素の形状と補完的な形状を備えた雌要素のマトリクス配置を得るために基 本型の対向型を製造し、一対向型内へファイバのコアの屈折率に近い屈折率ｎを 備えた光透過材料を注入する一方、光学要素のマトリクスを得るだめに剰余の厚 さを残し、 一光学材料を硬化しかつ型から取り出した後、種々の要素間の光学的隔離を保証 するために薄い層材料を任意に堆積し、一種々の光学要素間の機械的な密着を保 証するために得られたマトリクス上に保持材料を注入し、−集光器のマトリクス を得るために屈折率ｎの光学材料の剰余の厚さを除去するように上方および下方 面を機械加工することを特徴とする、光ファイバのマトリクスに結合されるよう な集光器の直線マトリクス二次元マトリクスの製造方法に関する。

製造方法の他の特徴によれば、屈折率ｎを有する材料は１．５６を越える屈折率 ｎを存する重合された光学樹脂である。

他の特徴によれば、保持材料は重合された樹脂である。

他の特徴によれば、薄い層配置は金属化を引き起こすことからなる。

図面の簡単な説明 本発明を非限定的な実施例に関してかつ添付図面を参照して以下に説明する。

第１図は本発明による集光器の二次元マトリクスを示す図である。

第２図は第１実施例によるマトリクスの製造方法の種々の工程に対応する概略図 である。

第３図は本発明によるマトリクス製造方法の第２実施例の種々の製造工程に対応 する概略図である。

第４図は本発明による受光アレイの概略図である。

第５図は本発明による光放出アレイの概略図である。

発明を実施するための最適な形態 第１図は集光器ｌのアレイを存する二次元マトリクスを示す、本発明による集光 器のマトリクスの概略図である。本発明によれば、これらの集光器は回転対称を 有する光学的に独立したカタジオブタである。

好ましくは、これらのカタジオブタはそれらが直線または屈曲母線により製造さ れるような形状を有する。それらはしたがってパラボラまたは円錐形状を育する 。

本発明によれば、カタジオブタは製造されたマトリクスがそれと結合される光フ ァイバのコアの屈折率に近い屈折率ｎを有する光透過の、光学材料２で充填され る。かかるマトリクスを製造するために、集光器は保持材料３によりともに接合 される。使用される保持材料３は特定の場合の結果として、堅固にしてもまたは 堅固にしなくても良い重合された樹脂により構成される。

したがって、第１図に示されたマトリクスは、その大きさ、数および間隔が任意 の性質からなるが、後述されるように、結合がそれらの間に発生される端部構成 要素のマトリクスまたは光ファイバのマトリクスにより付与されたものと一般に 同一である集光器１の形において光学的に独立した装置のアレイを有する。

本発明の改良によれば、保持材料３と光透過の材料２との間の隔離を提供する集 光器の内壁が集光器を充填する光学材料により保護された反射層により被覆され る。この保護は光がその中に伝播される媒体である、ファイバのコアに対して伝 播されたすべての光の反射それに生じる光ファイバのスリーブを構成する低屈折 率の被覆により設けられる保護と同様である。

集光器のマトリクスは光ファイバの延長である。

通常の方法において、光ファイバは光がその中を伝播する比較的高い屈折率を備 えたコアおよび該コアを取り囲みかつより低い屈折率を有し、ガイド等としてか つコアイノくコア用保護として役立つスリーブを有する。

そのコアが例えばＰＭＭＡの略号で知られるポリメチルメタクリレートのごとき アモルファス透過材料により構成される通常の光ファイバの場合において、屈折 率は比較的低く、１．４８ないし１．５０の範囲にある。したがって、この場合 に、その屈折率が１．４１である、２，２．２−トリフルオロエチルポリメタク リレートにより構成される低屈折率ポリマからスリーブを形成するのが標準的実 施である。本発明によれば、光ファイバのこの実施例における集光器充填材料は ポリメチルメタクリレートにすることができる。

その屈折率が比較的高いスチレンのごとき化合物のポリマにより構成されるコア およびその屈折率が比較的低い、例えば、ＰＭＭＡ、ビニルアセテートのポリマ またはビニルアセテートのフッ素子誘導体から作られるスリーブを有する光ファ イバの場合においては、充填材料として１．５８ないし１．６２の屈折率を有す るポリスチレンを使用するのが一般的な実施である。

光ファイバのこの実施例によれば、集光器充填材料はポリスチレンにすることが できる。

一般的な言葉において、充填材料はその屈折率がファイバのコアに近いように選 ばれかつ好ましくは洗濯は１．５６を越える屈折率を存する材料から作られる。

第２図は本発明にしたがってかかるマトリクスの製造方法の種々の工程を略本す る。これらの工程は本発明による方法の第１実施例に対応する。

本方法の工程ａは基本型を製造することからなる。この型は、例えば、キャップ １２により終端される回転対称を有する雄要素１１のマトリクス配置を有する。

これらの要素１１の円錐形状は直線または屈曲母線により製造される。実際に、 集光器の錐形状は表面の光学的特性を有する金属または非金属材料中に製造され ことができる。これらの形状は機械加工、研磨および複製により得られることが 可能である。

かくして得られた形状は、第１図において見ることができるように、支持体ＩＯ 上の精密なマトリクス位置決めに次いで従わされるように適切な数において製造 される。構体１０および１１は基本型を構成する。

工程すはその場合に硬化後可撓性でありかつ型の表面の形状および状態を好まし くは再生する流体樹脂を例えば使用する、基本型の対向型１３を製造することか らなる。この樹脂はシリコン樹脂、例えばＲＴＶにすることができる。

可撓性の型の使用は、マトリクスの非常に良好な平面性を維持しながら、マトリ クスが大きいとしても、マトリクスの容易な取り外しを許容する。

この対向型はマトリクスの複製に使用されるが、その本当の性質により、作動す るとき考え得る低下により制限された寿命を有する。

かくして、基本型１０の雄要素のマトリクス配置に補完的な中空雌要素のマトリ クス配置を形成する対向型１３を製造した後、方法は工程Ｃを実施することから なる。工程Ｃは新たな雄型を得るために対向型内に材料を注入することからなる 。

方法の工程ｄはその場合に雄要素２０間に集光器を形成する種々の光学要素間の 機械的密着の保証を可能にする保持材料を注入することからなる。工程ｄはまた 、中空雌要素のマトリクス２１を得るように、材料の硬化に続いて型からの取り 出しを含む。

これに任意に工程ｅが続き、該工程ｅはマトリクス２１の中空形状内に材料の堆 積を製造することからなり、工程ｅは型からの取り出し後に得られる中空形状の 内面の薄い層被覆の獲得を可能にしかつその場合に集光器のマトリクスを構成す る光学要素間の光学的隔離を保証する。

方法の工程ｆは得られた集光器のマトリクスがそれと結合される光ファイバのコ アの屈折率に近いように選ばれた、屈折率ｎの光透過材料を注入することからな る。それゆえ工程ｆは、型から取り出した後得られるマトリクスの中空形状を充 填しかつ剰余の厚さ２４を得るように、薄い隔離層の上方に屈折率ｎの前記材料 を注入することからなる。

方法の工程ｇは、キャップ１２および屈折率ｎの光学材料の剰余の厚さ２４を除 去するように、工程ｆにおいて得られたマトリクスの上方および下方面を機械加 工することからなる。この工程ｇは、例えば第１図に示されるような集光器のマ トリクスの製造に至る。

第３図は本発明の第２実施例による製造工程の種々の工程を示す。この第２実施 例において、最初の２つの工程ａおよびｂは第２図に関連して説明された工程と 同一である。

したがって、この第２実施例によれば、基本型は、支持体ＩＯおよび例えばキャ ップ１２により終端され得る雄要素ｌｌを有し、工程ａにおいて製造される。

工程すは雄要素に補完的な中空の雌要素のアレイにより構成される対向型１３を 製造することからなる。

この実施例によれば、工程Ｃは工程すにおいて得られた対向型内に集光器のマト リクスがそれに結合されるコアイノくのコアの屈折率に近い屈折率ｎの光透過材 料を注入することからなる。

好適な実施例によれば、１．５６を越える高い光学係数を存する光透過樹脂が例 えば使用される。

前記樹脂の剰余の厚さ３１は屈折率ｎの前記材料の型からの取り出し後得られる 種々の円錐雄要素をそれらの間に維持するかまたは保持するように得られる。

これに工程ｄが任意に続き、該工程ｄは、種々の要素間の光学的隔離を保証する ように、型からのの取り出しに続いて得られた中空形状の上に薄い層材料を製造 することからなる。

前記層の堆積は集積光学系に使用される堆積方法により実施され得る。

工程ｅは薄い層３２の堆積に続いて得られたマトリクス上に保持材料３３を注入 することからなる。この保持材料は集光器を形成する種々の光学要素間の機械的 な密着を保証する。

工程ｆは、最後に、キャップ１２および剰余の厚さ３１を取り除くように、工程 ｅの終わりにおいて得られたマトリクスの上方および下方面を機械加工すること からなる。それゆえ工程ｆは、図１に示されるように、集光器３４のマトリクス の獲得を可能にする。

工程ｄが集光器の内面上に光反射を許容する表面処理を製造することからなる。

したかつて、この工程においては、好ましくは金属／低屈折率堆積の形において 、薄い層の堆積の製造が説明されかつまた多誘電性処理またはこれらの種々の処 理の組み合わせを含む。

反射器として役立つ以外に、この堆積は種々の要素間の、すなわち異なる集光器 間の光学的隔離を保証しかつ集光器を光学的に独立させる。

工程ｅにおいて非常に低い屈折率の接続樹脂を使用する場合には、これらの種々 の表面処理は除去され得る。しかしながら、目的はさらに、この方法において形 成された種々のチャンネル間のクロストークの危険を回避するために、これらの 種々の集光器内の合計反射を得ることにある。

第３図の方法の以下の工程に逆られない、光学樹脂（第３図において参照符号３ ０および第２図において２３を有する）を使用するとき、または前記樹脂へ金属 化を付与することに困難がある場合において前述した方法の第１実施例を使用す ることができる。

基本型は例えば金属にすることができる。対向型は、例えば、第２実施例の場合 にＲＴＶおよび第１実施例の場合にテフロンにすることができる。

第４図は光反射アレイの簡略化された図である。図示を簡単化するために、第１ 図に関連して説明されたように、マトリクスの集光器４０に結合された図示しな いマトリクスアレイの単一光ファイバ、ならびに図示してない受信マトリクスに 属する受信器６０をのみを見ることができる。

それゆえ光学的アレイは光ファイバ５０により示される光ファイバのマトリクス と受信器６０により示される受信マトリクスとの間の光学的結合手段を有する。

本発明によれば、これらの結合手段は集光器４０により示される集光器のマトリ クスを有し、該集光器は直線または曲線母線により製造された回転対称を有しか つファイバ５ｏのコア５２の屈折率に近い屈折率を存する光透過光学材料により 充填されるカタジオブタである。それはまた前記ファイバのスリーブ５１を見る ことができる。集光器４０の充填材料は参照符号４１を有する。

光学アレイはまたフレネル反射を減少しかつ集光器の出力面の合計反射を回避す るために整合された光学係数を有する光学接触材料を有する。材料７０は受信器 のマトリクスと集光器のマトリクスとの間の接触を保証するように位置決めされ る。見られ得るように、前記材料７０は受信器６０と集光器４０の円錐の最小直 径面により構成される面との間に配置される。

本発明によれば、第４図に示される光学アレイはまた適合された光学係数を有し かつ符号７０を有しかつ同一の機能を実行する材料と同一の性質の光学接触材料 ８０を有する。この材料８０は円錐の最大直径面とファイバ５０の端部との間の 接触を引き起こす。

第５図は本発明による光放出アレイを示す。これは第４図に示されるものと同様 の簡略化学された図である。したがって、見ることができるもののすべては放出 器９０、集光器４０および光ファイバ５０である。明らかなように、放出器９０ は放出マトリクスに属し、−万葉光器４０は第１図に示されるような集光器に属 しそしてファイバ５０が光ファイバのマトリクスに属する。

この図はまた、集光器のマトリクスが、第４図に示されるような受信においてま たは光学アレイにおける第５図により示されるような放出において、全体的に対 称的な方法において使用され得ることを示す。

何　４２ １イ　１２ 補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の８の規定による補正書）平成５年ＩＯ月２８日

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. １．集光器（１）のアレイを有する、光ファイバへ接続され得る直線マトリクス 二次元マトリクスにおいて、前記集光器がファイバのコアの屈折率に近い屈折率 ｎを有する光を透過する材料（２）で充填される回転対称を有する光学的に独立 のカタジオプタであることを特徴とする集光器の直線または二次元マトリクス。
2. ２．前記光学材料が屈折率ｎが１．５６を越えるような方法において選ばれるこ とを特徴とする請求の範囲第１項に記載の集光器の直線または二次元マトリクス 。
3. ３．前記集光器（１）が保持材料によって前記マトリクスを形成するためにとも に接合されることを特徴とする請求の範囲第１項または第２項に記載の集光器の 直線または二次元マトリクス。
4. ４．前記保持材料（３）がマトリクスであることを特徴とする請求の範囲第３項 に記載の集光器の直線または二次元マトリクス。
5. ５．前記集光器がまた該集光器の内壁を被覆する反射材料（４）を有しかつ前記 保持材料と光透過材料との間の光学的隔離を形成することを特徴とする請求の範 囲第１項ないし第４項のいずれか１項に記載の集光器の直線または二次元マトリ クス。
6. ６．前記反射材料（４）が金属層により構成されることを特徴とする請求の範囲 前項いずれか１項に記載の集光器の直線または二次元マトリクス。
7. ７．前記集光器が直線または屈曲母線により引き起こされる回転対称を備えた円 錐形状を有することを特徴とする請求の範囲前項いずれか１項に記載の集光器の 直線または二次元マトリクス。
8. ８．光ファイバのマトリクス、放出マトリクスまたは受信マトリクスを有する光 放出または受信アレイにおいて、それが前記光ファイバのマトリクスと前記放出 または受信マトリクスとの間に光結合手段を有しそして前記結合手段が請求項の 範囲第１項ないし第７項のいずれか１項に記載の集光器のマトリクスを組み込ん でいることを特徴とする光放出マトリクス受信アレイ。
9. ９．光学アレイがまたフレネル反射を低減しかつ集光器の出力面上のすべての反 射を防止するために整合された光学係数を有する光学接触材料（７０，８０）を 有し、該材料が前記放出または受信マトリクスと前記集光器のマトリクスとの間 のかつ前記集光器（１）のマトリクスと光ファイバのマトリクスとの間の接触を 保証するような方法において位置決めされることを特徴とする請求の範囲第８項 に記載の光放出または受信アレイ。
10. １０．光ファイバのマトリクスに結合されるべくなされた集光器の直線または二 次元マトリクスの製造方法において、以下の工程、すなわち、 −回転対称を備えた雄要素のマトリクス配置を有する基本型を製造し、 −雄型の形状に補完的な形状を有する雌要素のマトリクス配置を得るために基本 型の対向型を製造し、−雄要素により構成される新たな型を得るために対向型に 材料を注入し、 −結果として得られるような種々の光学要素間の機械的な密着を保証するように 雄要素の上方に保持材料を注入し、続いて、硬化後、得られたマトリクスを型か ら取り出し、−型から取り出した後得られた中空形状内に薄層材料を任意に堆積 しかつこれが種々の要素間の光学的隔離を保証するのに使用され、 −型から取り出し後マトリクスの中空形状を充填しかつ剰余の厚さを得るように 、薄い隔離層の上方にファイバのコアの屈折率に近い屈折率ｎを有する光透過材 料を注入し、−屈折率ｎの光学材料の剰余の厚さを取り除くように前記マトリク スの上方および下方面を機械加工することからなることを特徴とする集光器の直 線または二次元マトリクスの製造方法。
11. １１．光ファイバのマトリクスに結合されるべくなされた集光器の直線または二 次元マトリクスの製造方法において、以下の工程、すなわち、 −回転対称を備えた雄要素のマトリクス配置を有する基本型を製造し、 −雄要素の形状と補完的な形状を備えた雌要素のマトリクス配置を得るために基 本型の対向型を製造し、−対向型内へフアイバのコアの屈折率に近い屈折率ｎを 備えた光透過材料を注入する−方、光学要素のマトリクスを得るために剰余の厚 さを残し、 −光学材料を硬化しかつ型から取り出した後、種々の要素間の光学的隔離を保証 するために薄い層材料を任意に堆積し、−種々の光学要素間の機械的な密着を保 証するために得られたマトリクス上に保持材料を注入し、−集光器のマトリクス を得るために屈折率ｎの光学材料の剰余の厚さを除去するように前記マトリクス の上方および下方面を機械加工することからなることを特徴とする集光器の直線 または二次元マトリクスの製造方法。
12. １２．屈折率ｎを有する材料が１．５６を越える屈折率ｎを有する重合された光 学樹脂であることを特徴とする請求の範囲第１０項および第１１項に記載の集光 器の直線または二次元マトリクスの製造方法。
13. １３．前記保持材料が重合された樹脂であることを特徴とする請求の範囲第１０ 項、第１１項および第１２項に記載の集光器の直線または二次元マトリクスの製 造方法。
14. １４．前記薄い層の堆積が金属化を引き起こすことからなることを特徴とする請 求の範囲第１０項ないし第１３項のいずれか１項に記載の集光器の直線または二 次元マトリクスの製造方法。