JPH0650012U - Beam splitter device - Google Patents

Beam splitter device

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JPH0650012U
JPH0650012U JP8597592U JP8597592U JPH0650012U JP H0650012 U JPH0650012 U JP H0650012U JP 8597592 U JP8597592 U JP 8597592U JP 8597592 U JP8597592 U JP 8597592U JP H0650012 U JPH0650012 U JP H0650012U
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optical axis
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prisms
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本考案は、高い加工精度を必要とせずに、ビー
ムスプリッタを精度高く位置決めして固定する。 【構成】第1プリズム(11)及び第2プリズム(12)により
形成されたビームスプリット(10)を、プリズム固定台(2
0)に傾斜して形成された取付け面(23,24) に対して取り
付ける。この場合、第1プリズム(11)と第2プリズム(1
2)との幅は互いに異なるので、いずれか一方の例えばプ
リズム(11)には、面接触せずに光束反射面(13)とならな
い面部分(14,15) ができ、この面部分(14,15) がプリズ
ム固定台(20)の取付け面(23,24) と接触する。これによ
り、ビームスプリッタ(10)は、その光束反射面(13)が反
射光軸に対して入射光軸を直角とする方向に位置決めさ
れる。
(57) [Abstract] [Purpose] The present invention positions and fixes a beam splitter with high accuracy without requiring high processing accuracy. [Structure] The beam split (10) formed by the first prism (11) and the second prism (12) is attached to a prism fixing base (2
It is attached to the mounting surface (23, 24) that is formed so as to be inclined to 0). In this case, the first prism (11) and the second prism (1
Since the widths of (2) and (2) are different from each other, one of the prisms (11), for example, has a surface portion (14, 15) that does not become a light flux reflecting surface (13) without making surface contact, and this surface portion (14 , 15) contacts the mounting surface (23, 24) of the prism fixing base (20). As a result, the beam splitter (10) is positioned such that its light flux reflecting surface (13) is perpendicular to the reflected light axis with respect to the incident light axis.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、顕微鏡や計測機等の光学機器に適用されるもので、光束を2方向に 分岐するビームスプリッタ装置に関する。 The present invention is applied to optical instruments such as microscopes and measuring instruments, and relates to a beam splitter device that splits a light beam into two directions.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

顕微鏡や計測機等の光学機器に適用されるビームスプリッタのうち、その光学 機器内の平行光束領域に配設されているものがある。かかるビームスプリッタは 、例えば特願平3−284979号に記載されており、図7はその構成図である 。このビームスプリッタは、断面形状が二等辺三角形の各プリズム1、2の各底 面同士を面接触して形成したもので、この面接触部分が光束反射面3となってい る。従って、入射光軸4に沿ってビームスプリッタに入射した光は、その一部が 光束反射面3で反射して反射光軸5に沿って分岐されると共に他の光が光束反射 面3を透過して入射光軸4と同軸方向に分岐される。 Among beam splitters applied to optical instruments such as microscopes and measuring instruments, there are some beam splitters arranged in a parallel light flux region within the optical instrument. Such a beam splitter is described, for example, in Japanese Patent Application No. 3-284979, and FIG. 7 is a configuration diagram thereof. This beam splitter is formed by surface-contacting the bottom surfaces of prisms 1 and 2 each having an isosceles triangular cross-section, and this surface-contacting portion serves as a light beam reflecting surface 3. Therefore, a part of the light incident on the beam splitter along the incident optical axis 4 is reflected by the light flux reflecting surface 3 and is branched along the reflected light axis 5, while the other light is transmitted through the light flux reflecting surface 3. Then, the light is split in the direction coaxial with the incident optical axis 4.

【0003】 このようなビームスプリッタでは、反射光軸5が入射光軸4に対して垂直方向 となるように精度高く位置決めして固定する必要があり、これには、ビームスプ リッタの光束入射面6の法線と入射光軸4とのなす角度βを精度高く固定するこ とになる。In such a beam splitter, it is necessary to position and fix the reflected optical axis 5 with high accuracy so that the reflected optical axis 5 becomes a direction perpendicular to the incident optical axis 4, and this requires a light beam incident surface 6 of the beam splitter. The angle β formed by the normal line to the incident optical axis 4 is accurately fixed.

【0004】 具体的には、各プリズム1、2における二等辺三角形の各底角αを精度高く加 工することであり、これと共に図8に示すように各ビームスプリッタは、プリズ ム固定台7に固定されているので、光束入射面6と接触するプリズム固定台7の 取付け面8の傾斜角度β´を精度高く加工することである。Specifically, the base angle α of the isosceles triangle in each of the prisms 1 and 2 is to be processed with high precision. Along with this, as shown in FIG. Since the prism fixing base 7 is fixed to the light incident surface 6, the inclination angle β ′ of the mounting surface 8 of the prism fixing base 7 that comes into contact with the light flux incident surface 6 is processed with high precision.

【0005】[0005]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

以上のようにビームスプリッタの反射光軸5を入射光軸4に対して垂直方向に 精度高く位置決めして固定するには、各プリズム1、2の各底角αを精度高く加 工するとともに、プリズム固定台7の取付け面8の傾斜角度β´を精度高く加工 しなければならず、製造コストが高くなってしまう。 そこで本考案は、高い加工精度を必要とせずに、ビームスプリッタを精度高く 位置決めして固定できるビームスプリッタ装置を提供することを目的とする。 As described above, in order to accurately position and fix the reflected optical axis 5 of the beam splitter in the vertical direction with respect to the incident optical axis 4, the base angles α of the prisms 1 and 2 are precisely processed, and The inclination angle β ′ of the mounting surface 8 of the prism fixing base 7 must be machined with high precision, which increases the manufacturing cost. Therefore, an object of the present invention is to provide a beam splitter device capable of accurately positioning and fixing the beam splitter without requiring high processing accuracy.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案は、断面形状が二等辺三角形の第1プリズムと、断面形状が二等辺三角 形でかつ第1プリズムの幅と異なる幅に形成された第2プリズムと、これら第1 プリズム及び第2プリズムの所定面を面接触して光束反射面を形成したビームス プリッタを固定するもので、このビームスプリッタの反射光軸に対する入射光軸 を直角に位置決めする傾斜に形成され、かつ第1又は第2プリズムのうちいずれ か一方のプリズムにおける光束反射面と同一平面上の面と接触する取付け面が形 成されたプリズム固定台とを備えて上記目的を達成しようとするビームスプリッ タ装置である。 The present invention provides a first prism having an isosceles triangular cross section, a second prism having an isosceles triangular cross section and a width different from that of the first prism, and the first prism and the second prism. A beam splitter having a light beam reflecting surface formed by making surface contact with a predetermined surface of the beam splitter. The beam splitter is formed to have an inclination to position the incident optical axis at a right angle to the reflected optical axis of the beam splitter, and the first or second prism. A beam splitting device that achieves the above object by including a prism fixing base having a mounting surface that is in contact with a light flux reflecting surface of one of the prisms and a surface on the same plane.

【0007】[0007]

【作用】[Action]

このような手段を備えたことにより、傾斜して形成されたプリズム固定台の取 付け面に対して第1プリズム及び第2プリズムにより形成されたビームスプリッ タを取り付ける。この場合、第1プリズムと第2プリズムとの幅は互いに異なる ので、いずれか一方のプリズムには、面接触せずに光束反射面とならない面部分 ができ、この面部分がプリズム固定台の取付け面と接触する。これにより、ビー ムスプリッタは、その光束反射面が反射光軸に対して入射光軸を直角とする方向 に位置決めされる。 By providing such means, the beam splitter formed by the first prism and the second prism is attached to the mounting surface of the prism fixing base that is formed to be inclined. In this case, since the widths of the first prism and the second prism are different from each other, one of the prisms has a surface portion that does not come into surface contact and does not serve as a light beam reflecting surface. Contact a surface. As a result, the beam splitter is positioned such that its light flux reflecting surface is perpendicular to the reflected light axis.

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

以下、本考案の第1実施例について図面を参照して説明する。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0009】 図1はビームスプリッタ装置の外観構成図である。ビームスプリッタ10は、 図2の矢印(イ)方向の断面形状に示すように二等辺三角形の第1プリズム11 、及びこの第1プリズム11と同様に断面形状が二等辺三角形の第2プリズム1 2を、その各底面で面接触したものとなっている。FIG. 1 is an external configuration diagram of the beam splitter device. The beam splitter 10 includes a first prism 11 having an isosceles triangular shape as shown in a cross-sectional shape in the direction of arrow (a) in FIG. 2, and a second prism 1 2 having an isosceles triangular cross-sectional shape similar to the first prism 11. Are in surface contact with each bottom surface.

【0010】 又、第1プリズム11は、図3の矢印(ロ)方向から見た外観図に示すように 幅L1に形成され、他方の第2プリズム12は第1プリズム11の幅L1よりも 所定幅だけ狭い幅L2に形成されている。Further, the first prism 11 is formed to have a width L1 as shown in the external view seen from the arrow (b) direction in FIG. 3, and the other second prism 12 is wider than the width L1 of the first prism 11. The width L2 is narrower by a predetermined width.

【0011】 このように各プリズム11、12を面接触することにより光束反射面13が形 成される。なお、図1では斜線により光束反射面13を示している。この場合、 各プリズム11、12の各幅L1、L2が上記の如く異なるので、第1プリズム 11の底面には、光束反射面13の両側に各当付け面14、15が形成される。 なお、図1では斜線により各当付け面14、15を示している。In this manner, the light flux reflecting surface 13 is formed by bringing the prisms 11 and 12 into surface contact with each other. It should be noted that in FIG. 1, the light flux reflecting surface 13 is shown by diagonal lines. In this case, since the widths L1 and L2 of the prisms 11 and 12 are different as described above, the abutting surfaces 14 and 15 are formed on the bottom surface of the first prism 11 on both sides of the light flux reflecting surface 13. In addition, in FIG. 1, the contact surfaces 14 and 15 are indicated by diagonal lines.

【0012】 一方、U字形状又はコ型形状のプリズム固定台20が備えられ、これにビーム スプリッタ10が位置決めされて固定される。このプリズム固定台20は、各側 面21、22に各取付け面23、24が形成されている。これら取付け面23、 24は、ビームスプリッタ10の反射光軸に対する入射光軸を直角に位置決めす る傾斜角度θ1に形成されている。On the other hand, a U-shaped or U-shaped prism fixing base 20 is provided, on which the beam splitter 10 is positioned and fixed. The prism fixing base 20 has mounting surfaces 23 and 24 formed on the side surfaces 21 and 22, respectively. These mounting surfaces 23 and 24 are formed at an inclination angle θ1 that positions the incident optical axis with respect to the reflected optical axis of the beam splitter 10 at a right angle.

【0013】 又、一方の側面22には、ねじ孔25及び接着剤を流入するための各孔26、 27が形成されており、このうちねじ孔25には固定ビス28が螺合するものと なっている。A screw hole 25 and holes 26, 27 for inflowing an adhesive are formed on one side surface 22, and a fixing screw 28 is screwed into the screw hole 25. Has become.

【0014】 このプリズム固定台20には、ビームスプリッタ10が固定されるが、これは 、ビームスプリッタ10の各当付け面14、15をそれぞれ各取付け面23、2 4に対して接触して固定するものとなっている。The beam splitter 10 is fixed to the prism fixing base 20. This fixes the contact surfaces 14 and 15 of the beam splitter 10 to the mounting surfaces 23 and 24, respectively. It is supposed to do.

【0015】 具体的に説明すると、先ず、ビームスプリッタ10をプリズム固定台20に取 り付ける際、第1プリズム11の各当付け面14、15を、プリズム固定台20 の各取付け面23、24に接触して設ける。More specifically, first, when the beam splitter 10 is attached to the prism fixing base 20, the abutting surfaces 14 and 15 of the first prism 11 are attached to the attaching surfaces 23 and 24 of the prism fixing base 20. To be provided in contact with.

【0016】 次に、ねじ孔25に固定ビス28を螺合させる、つまり捩込むことにより第1 プリリズム11の側面11aをプリズム固定台20の側面21に押し付ける。な お、第2プリズム12は、第1プリズム11の押し込みに応動してプリズム固定 台20の側面29に接しない形状に各寸法が決められている。 次に、各孔26、27から接着剤が流し込まれ、プリズム固定台20に対して 各プリズム11、12が接着固定される。Next, the fixing screw 28 is screwed into the screw hole 25, that is, by screwing, the side surface 11 a of the first prerhythm 11 is pressed against the side surface 21 of the prism fixing base 20. The dimensions of the second prism 12 are determined so as not to come into contact with the side surface 29 of the prism fixing base 20 in response to the pushing of the first prism 11. Next, the adhesive is poured from the holes 26 and 27, and the prisms 11 and 12 are bonded and fixed to the prism fixing base 20.

【0017】 かかる構成であれば、ビームスプリッタ10の反射光軸に対して入射光軸を垂 直に配置する精度は、各取付け面23、24の傾斜角度θ1の加工精度に依存す るのみとなり、各プリズム11、12の底角の加工精度に依存しなくなる。従っ て、これらプリズム11、12の底角の加工精度に直接依存しないので、製造コ ストを安くできる。 又、各プリズム11、12の中心付近を接着剤により固定するので、この接着 力により各プリズム11、12にクラック発生等を少なくできる。With such a configuration, the accuracy of arranging the incident optical axis vertically with respect to the reflected optical axis of the beam splitter 10 depends only on the processing accuracy of the inclination angle θ1 of each mounting surface 23, 24. , The prisms 11 and 12 do not depend on the processing accuracy of the base angle. Therefore, the manufacturing cost can be reduced because it does not directly depend on the processing accuracy of the base angles of the prisms 11 and 12. Further, since the vicinity of the centers of the prisms 11 and 12 are fixed with an adhesive, the adhesive force can reduce the occurrence of cracks in the prisms 11 and 12.

【0018】 さらに、ビームスプリッタ10の位置決め固定は、各プリズム11、12を各 取付け面23、24に接触して取り付ければよいので、簡単な作業で高精度にビ ームスプリッタ10の反射光軸に対する入射光軸を直角に位置決めできる。 次に本考案の第2実施例について説明する。Further, since the positioning and fixing of the beam splitter 10 may be performed by attaching the prisms 11 and 12 in contact with the attachment surfaces 23 and 24, the beam splitter 10 can be incident on the reflected optical axis of the beam splitter 10 with high accuracy by a simple operation. The optical axis can be positioned at a right angle. Next, a second embodiment of the present invention will be described.

【0019】 図4はビームスプリッタ装置のプリズム固定台30の外観構成図であり、図5 及び図6はプリズム固定台30に取付け固定されるビームスプリッタ40の構成 図である。FIG. 4 is an external configuration diagram of the prism fixing base 30 of the beam splitter device, and FIGS. 5 and 6 are configuration diagrams of the beam splitter 40 attached and fixed to the prism fixing base 30.

【0020】 ビームスプリッタ40は、図5に示すように断面形状が二等辺三角形の第1プ リズム41、及びこの第1プリズム41と同様に断面形状が二等辺三角形に形成 された第2プリズム42を、その各底面で面接触したものとなっている。As shown in FIG. 5, the beam splitter 40 includes a first prism 41 having an isosceles triangular cross section, and a second prism 42 having an isosceles triangular cross section similar to the first prism 41. Are in surface contact with each bottom surface.

【0021】 又、第1プリズム41は、図6に示すように幅L3に形成され、他方の第2プ リズム42は第1プリズム41の幅L3よりも所定幅狭い幅L4に形成されてい る。As shown in FIG. 6, the first prism 41 has a width L3, and the other second prism 42 has a width L4 narrower than the width L3 of the first prism 41 by a predetermined width. .

【0022】 このように各プリズム41、42を面接触することにより光束反射面43が形 成される。この場合、図6に示すように各プリズム41、42は、それぞれ一方 の各側面を同一平面となるように揃えて配置している。 又、各プリズム41、42の各幅が上記の如く異なるので、第1プリズム41 の底面には、光束反射面43の一方側に当付け面44が形成される。In this way, the light flux reflecting surface 43 is formed by bringing the prisms 41 and 42 into surface contact with each other. In this case, as shown in FIG. 6, the prisms 41 and 42 are arranged so that their respective side surfaces are aligned so as to be flush with each other. Further, since the respective widths of the prisms 41 and 42 are different as described above, the abutting surface 44 is formed on one side of the light flux reflecting surface 43 on the bottom surface of the first prism 41.

【0023】 上記プリズム固定台30には、ビームスプリッタ40が位置決めされて固定さ れる。このプリズム固定台30は、一方の側面31に各取付け面32が形成され ている。この取付け面32は、ビームスプリッタ40の反射光軸に対する入射光 軸を直角に位置決めする傾斜角度θ2に形成されている。 又、他方の側面33には、ねじ孔34が形成され、これに固定ビス35が螺合 するものとなっている。A beam splitter 40 is positioned and fixed on the prism fixing base 30. In this prism fixing base 30, each mounting surface 32 is formed on one side surface 31. The mounting surface 32 is formed at an inclination angle θ2 that positions the incident optical axis of the beam splitter 40 at a right angle to the reflected optical axis. A screw hole 34 is formed in the other side surface 33, and a fixing screw 35 is screwed into the screw hole 34.

【0024】 なお、このプリズム固定台30には、ビームスプリッタ40が固定されるが、 これはビームスプリッタ40の当付け面44を取付け面32に対して接触して固 定するものとなっている。 具体的に説明すると、先ず、ビームスプリッタ40を形成する第1プリズム4 1の当付け面44を、プリズム固定台30の取付け面32に接触して設ける。 次に、ねじ孔34に固定ビス35を捩込むことにより第1プリリズム41の側 面41aをプリズム固定台30の側面31に押し付ける。The beam splitter 40 is fixed to the prism fixing base 30. This fixes the contact surface 44 of the beam splitter 40 to the mounting surface 32 by contacting it. . More specifically, first, the abutting surface 44 of the first prism 41 forming the beam splitter 40 is provided in contact with the mounting surface 32 of the prism fixing base 30. Next, the fixing screw 35 is screwed into the screw hole 34 to press the side surface 41 a of the first prerhythm 41 against the side surface 31 of the prism fixing base 30.

【0025】 かかる構成であれば、ビームスプリッタ40の反射光軸に対して入射光軸を垂 直に配置する精度は、取付け面32の傾斜角度θ2の加工精度に依存し、各プリ ズム41、42の底角の加工精度に直接依存しないので、製造コストを安くでき る。With such a configuration, the accuracy of arranging the incident optical axis vertically with respect to the reflected optical axis of the beam splitter 40 depends on the processing accuracy of the inclination angle θ2 of the mounting surface 32, and each prism 41, Since it does not directly depend on the machining accuracy of the bottom angle of 42, the manufacturing cost can be reduced.

【0026】 又、ビームスプリッタ10の位置決め固定は、各プリズム41を取付け面32 に接触して取り付ければよいので、簡単な作業で高精度にビームスプリッタ30 の反射光軸に対する入射光軸を直角に位置決めできる。 なお、本考案は、上記各実施例に限定されるものでなくその要旨を変更しない 範囲で変形してもよい。Further, since the positioning and fixing of the beam splitter 10 may be carried out by mounting each prism 41 in contact with the mounting surface 32, the incident optical axis with respect to the reflected optical axis of the beam splitter 30 can be accurately made at right angles by a simple work. Can be positioned. The present invention is not limited to the above embodiments, and may be modified without changing the gist thereof.

【0027】[0027]

【考案の効果】[Effect of device]

以上詳記したように本考案によれば、高い加工精度を必要とせずに、ビームス プリッタを精度高く位置決めして固定できるビームスプリッタ装置を提供できる 。 As described in detail above, according to the present invention, it is possible to provide a beam splitter device capable of accurately positioning and fixing a beam splitter without requiring high processing accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案に係わるビームスプリッタ装置の第1実
施例を示す構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a beam splitter device according to the present invention.

【図2】同装置におけるビームスプリッタを横方向から
見た構成図。
FIG. 2 is a configuration diagram of a beam splitter in the same apparatus as seen from a lateral direction.

【図3】同装置のビームスプリッタにおける各プリズム
幅を示す構成図。
FIG. 3 is a configuration diagram showing each prism width in a beam splitter of the same apparatus.

【図4】本考案に係わるビームスプリッタ装置の第2実
施例を示す構成図。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a second embodiment of a beam splitter device according to the present invention.

【図5】同装置におけるビームスプリッタを横方向から
見た構成図。
FIG. 5 is a configuration diagram of a beam splitter in the same apparatus as seen from a lateral direction.

【図6】同装置のビームスプリッタにおける各プリズム
幅を示す構成図。
FIG. 6 is a configuration diagram showing each prism width in a beam splitter of the same apparatus.

【図7】従来のビームスプリッタの構成図。FIG. 7 is a configuration diagram of a conventional beam splitter.

【図8】同ビームスプリッタの光軸位置決めを説明する
ための図。
FIG. 8 is a diagram for explaining optical axis positioning of the beam splitter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,40…ビームスプリッタ、11,41…第1プリ
ズム、12,42…第2プリズム、13,43…光束反
射面、14,15,44…当付け面、20,30…プリ
ズム固定台、21,22…側面、23,24,32…取
付け面、25,34…ねじ孔、26,27…孔、28,
35…固定ビス。
10, 40 ... Beam splitter, 11, 41 ... First prism, 12, 42 ... Second prism, 13, 43 ... Light flux reflecting surface, 14, 15, 44 ... Abutting surface, 20, 30 ... Prism fixing base, 21 , 22 ... Side surface, 23, 24, 32 ... Mounting surface, 25, 34 ... Screw hole, 26, 27 ... Hole, 28,
35 ... Fixed screw.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 断面形状が二等辺三角形の第1プリズム
と、断面形状が二等辺三角形でかつ前記第1プリズムの
幅と異なる幅に形成された第2プリズムと、これら第1
プリズム及び第2プリズムの所定面を面接触して光束反
射面を形成したビームスプリッタを固定するもので、こ
のビームスプリッタの反射光軸に対する入射光軸を直角
に位置決めする傾斜に形成され、かつ前記第1又は第2
プリズムのうちいずれか一方のプリズムにおける前記光
束反射面と同一平面上の面と接触する取付け面が形成さ
れたプリズム固定台とを具備したことを特徴とするビー
ムスプリッタ装置。
1. A first prism having a cross section of an isosceles triangle, a second prism having a cross section of an isosceles triangle and having a width different from that of the first prism, and the first prism.
A beam splitter, in which predetermined surfaces of the prism and the second prism are in surface contact with each other to form a light flux reflecting surface, is fixed, and the beam splitter is formed to have an inclination for positioning the incident optical axis at a right angle to the reflected optical axis of the beam splitter. First or second
A beam splitter device, comprising: a prism fixing base having a mounting surface that is in contact with a surface on the same plane as the light flux reflecting surface of one of the prisms.
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