JPH0648844Y2 - ウエハ−導入用仕切りバルブ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、ウエハー導入用仕切りバルブに関し、通常大
気圧状態にある室から、真空状態にある室へウエハーを
搬送する枚葉式ウエハー用真空装置の仕切り隔壁の通孔
等の仕切り作用に用いられる。

（従来の技術） 従来、大気圧状態にある室から真空室へウエハーを搬送
する真空装置においては、これら両室に設置された搬送
用ベルトが、両室を仕切る隔壁に設けられた仕切りバル
ブにより中断されるため、該仕切りバルブをできるだけ
小型化し単純化して省スペースにする必要があつた。

そのため、最近、第２図の要部断面図に示すように、大
気圧室Ａと真空室Ｂを仕切る隔壁Ｃの通孔１の大気圧室
Ａ側の開口２を、上向きに傾斜して設け、該開口２を開
閉する弁板３及び該弁板３をロツド４を介して昇降する
流体圧シリンダ５を、大気圧室Ａに設けたものが考案さ
れ利用されている。このものにおいては、大気圧室Ａ内
の搬送用ベルト６によつて送られて来たウエハー７は、
弁板３を３′の位置まで上昇させて開放された開口２を
経て、真空室Ｂへ移送され、搬送用ベルト８によつて搬
出されている。

また第３図は、最近考案され利用されている他の例を示
す要部断面図であつて、仕切り隔壁Ｃの通孔１の大気圧
室Ａ側に設けられた傾斜した開口２が、回転軸９によつ
て揺動可能に支持された弁板10によつて開閉されるよう
に構成されている点で、第２図の従来例と相違してい
る。このものにおいても、ウエハー７が大気圧室Ａより
真空室Ｂへ移送されるとき、弁板10は、仕切り隔壁Ｃに
取付けられた回転軸９を適宜の手段により回動して、開
口２を開閉している。

（考案が解決しようとする問題点） 上記した最近の考案されたウエハー導入用仕切りバルブ
においては、第２図及び第３図に示す何れのものも、バ
ルブによって中断された搬送ベルト同士の距離を小さく
して、そのコンパクト性を生かすためには、シリンダ５
又は回転軸９をウエハーの通過ラインより上方に配置し
なければならなかつた。

ところが、ウエハーの上方にシリンダや回転軸等の摺動
部が配置されていると、作業中、ウエハーの表面にゴミ
が落ちて付着するという問題点があつた。

本考案は、上記した従来技術の問題点を解決し、コンパ
クト性、つまりバルブによって中断された搬送用ベルト
同士の距離を小さくすることができ、これによって小さ
な直径のウエハーでも安定して搬送することができ、且
つウエハーに付着するダストが少ないウエハー導入用仕
切りバルブを提供することを目的としている。

（問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するために、本考案は枚葉式ウエハー
用真空装置において、真空隔壁に設けられた通孔の真空
室側の開口を、上向きに傾斜して設け、該開口を開閉す
る弁板を、真空隔壁を貫通して大気側に斜めに引き出さ
れたロッドを介して、大気側に設置された駆動源によっ
て、該駆動源のある方向とは逆方向の真空室側でウエハ
ーより上方へ逃がすように昇降させ、上記ロッドを、ウ
エハーの通過を妨げないように弁板の両側部に分けて取
付けたことを特徴としている。

（作用） 本考案は、上記のように構成したことにより、大気圧室
と真空室とは、常時は、両室を仕切る真空隔壁に設けら
れた通孔の真空室側の開口が、逆圧状態即ち、バルブを
開く方向に圧力がかかつた状態で弁板によつて密閉（シ
ール）されている。

そして、大気圧室内に設置された搬送用ベルトによつて
ウエハーが送られて来たとき、大気圧室に設置された駆
動源を駆動して上記弁板を上昇させ、真空室側の開口を
開放させる。これにより、上記ウエハーは、真空隔壁の
通孔を経て適宜の方法により真空室側の搬送用ベルト上
へ移行され、次の処理行程へ搬送される。

この際、弁板は、真空隔壁の通孔を避けるように、該通
孔を挿んでその両側に延長して設けられたロツドを介し
て、斜め方向に上昇されるので、ウエハーが上記通孔を
通過する時、ロツドによつて何等影響されることなく、
円滑に移送される。

ウエハーが上記真空室側の開口を通過して真空室側へ移
行し終つた段階で、駆動源が駆動され、上記開口は速や
かに閉鎖される。

（実施例） 次に、本考案の実施例を図面と共に説明する。

第１図は、枚葉式ウエハー用真空装置のウエハー導入部
に取付けられた本考案の一実施例を示す仕切りバルブの
作動状態を示す要部断面図であつて、大気圧室Ａと真空
室Ｂとを仕切る隔壁Ｃには、通孔11が穿設され、該通孔
11の真空室Ｂ側の開口12は上向きに傾斜して形成されて
いる。

上記開口12には、その周りに形成された弁座部を開閉す
る弁板13が対向して設けられており、該弁板13は、ウエ
ハー７の直径より大きく形成され、且つ上記通孔11を挿
んでその両側に隔壁Ｃを貫通して斜め下方に延びる２本
のロツド14a,14b（図にはその一方が示されている。）
を介して、大気圧室Ａの下方に設置された流体圧（油圧
又は空気圧）駆動シリンダ15に連結されている。上記２
本のロツド14a,14bは、第1a図に示すように、上端が弁
板13の両側部のＯリング13aより内側に取付けられ且
つ、ロツドと弁板は、結合部から漏れないように溶接13
b等でシールされている。また下端は、２本のロツドを
連結する接続部材14cを介してシリンダ15のピストンロ
ツド14に連結されている。なお、図中、15a,15bはシリ
ンダ15への圧力流体の供給又は排出導管、16,18は大気
圧室Ａ及び真空室Ｂにそれぞれ設置された搬送用ベル
ト、19は軸受ブツシユ、20はＯリングを示す。

上記のように構成されているので、通常時、即ちウエハ
ーを送り込まない時には、シリンダ15内で下方へ働く流
体圧によつて弁板13は、逆圧状態即ち通孔11を経て開弁
方向に圧力（大気圧）が働いている状態で、隔壁Ｏの通
孔11の真空室側開口12を密閉している。従つて、真空室
Ｂの真空は該通孔11を経て漏れることはない。

次に、搬送用ベルト16によつて大気圧室Ａより送られて
来たウエハー７を、真空室Ｂへ移送するときは、シリン
ダ15の流体通路を切換えて、ロツド14、14a,14bを介し
て弁板13を上昇させ、開口12を解放する。この際、通孔
11は、２本のロツド14aと14bの中間部に位置しているの
で、ウエハー７の通過には支障はなく、該ウエハーは真
空室Ｂへ円滑に移送される。

次いで、ウエハー７が真空室Ｂ内へ移行し終つた段階
で、再びシリンダ15の流路を切換えて弁板13を下降さ
せ、開口12を閉鎖する。なお、真空室Ｂ内へ移行された
ウエハー７は搬送用ベルト18によつて次の真空処理工程
へ搬送される。

この実施例によれば、弁板を作動する駆動源が大気側に
設けられており、また弁板作動のための摺動部がすべて
ウエハーより下方に位置されているので、該摺動部より
生じるゴミ等がウエハー上に落ちる恐れは全くない。真
空室も駆動源によつて汚染されない。また、弁板とロッ
ドが真空隔壁に対して傾斜して設けられており、且つ該
弁板を上方へ逃がすように昇降させているので、中断さ
れた両室のウエハー搬送用ベルト同士の距離を小さくし
て互いに接近させることができ、従って装置がコンパク
トになり、作業性もそれだけ向上すると共に、小さな直
径のウエハーでも安定して搬送することができる。

また、弁板を昇降するロッドを、ウエハーの通過を妨げ
ないように該弁板の両側部に分けて構成しているので、
上記のように弁板とロッドを真空隔壁に対して傾斜して
設け、且つ弁板を上方へ逃がすように構成しても、ウエ
ハーの通過に支障はない。

なお、弁板は、圧力差に抗して逆圧状態で開口をシール
することになるので、十分な剛性をもった弁板と、十分
な推力をもったシリンダ（駆動源）を選定する必要があ
る。

上記した実施例において、弁板の駆動源として流体圧駆
動シリンダを用いた構造について説明したが、これに限
らないことは勿論であり、機械的駆動機構に代えること
も可能である。

（考案の効果） 以上説明したように、本考案によれば次のような効果が
奏される。

（ｉ）真空隔壁に設けられた通孔の真空室側の開口を上
向きに傾斜して設け、該開口を開閉する弁板を、斜め下
方に引き出されたロツドを介して昇降させるように構成
しているので、弁板を動かす駆動源及び軸受などの摺動
部をすべてウエハー通過ラインの下方に配置することが
できる。従つて、弁板駆動により発生するゴミがウエハ
ー表面に落ちる恐れが全くない。

（ii）弁板を昇降させるロツドが大気側に引き出されて
いるので、駆動のための真空シールは必要なく、従つて
単純な構成となる。

（iii）上向きに傾斜した真空室側開口を傾斜した弁板
で開閉させ、弁板に取付けたロッドを真空隔壁に対して
傾斜して設け、且つ該弁板を上方へ逃がすように昇降さ
せているので、バルブによって中断された両室のウエハ
ー搬送用ベルト同士の距離を小さくして互いに接近させ
ることができ、従って装置がコンパクトになり、作業性
もそれだけ向上すると共に、小さな直径のウエハーでも
安定して搬送することができる。

（iv）弁板を昇降するロッドを、ウエハーの通過を妨げ
ないように両側部に分けて弁板に取付けたことにより、
弁板とロッドを真空隔壁に対して傾斜して設け、且つ弁
板を上方へ逃がすように構成しても、ウエハーの通過に
支障はない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示すウエハー導入用仕切り
バルブの作動状態を示す要部断面図、第1a図は要部斜視
図、第２図及び第３図は最近考案されたこの種の仕切バ
ルブの作動状態を示す要部断面図である。 Ａ……大気圧室、Ｂ……真空室、Ｃ……真空隔壁、７…
…ウエハー、11……通孔、12……開口、13……弁板、1
4,14a,14b……ロツド、15……シリンダ、16,18……搬送
用ベルト、

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】枚葉式ウエハー用真空装置において、真空
   隔壁に設けられた通孔の真空室側の開口を、上向きに傾
   斜して設け、該開口を開閉する弁板を、真空隔壁を貫通
   して大気側に斜めに引き出されたロッドを介して、大気
   側に設置された駆動源によって、該駆動源のある方向と
   は逆方向の真空室側でウエハーより上方へ逃がすように
   昇降させ、上記ロッドを、ウエハーの通過を妨げないよ
   うに弁板の両側部に分けて取付けたことを特徴とするウ
   エハー導入用仕切りバルブ。