JPH06453Y2 - めっき装置 - Google Patents

めっき装置

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JPH06453Y2
JPH06453Y2 JP10557789U JP10557789U JPH06453Y2 JP H06453 Y2 JPH06453 Y2 JP H06453Y2 JP 10557789 U JP10557789 U JP 10557789U JP 10557789 U JP10557789 U JP 10557789U JP H06453 Y2 JPH06453 Y2 JP H06453Y2
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JP
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plating
plated
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chamber
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JP10557789U
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紘明 高山
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Eagle Industry Co Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、めっき装置に関し、特に、被めっき体の表
面に効果的にめっき皮膜を形成することのできるめっき
装置に関するものである。
〔従来の技術およびその解決しようとする課題〕
従来、被めっき体に金属めっき等を施す際の一般的なめ
っき装置として、めっき液と、このめっき液を収容する
めっき槽と、前記めっき液に浸漬する陽極および被めっ
き体に接続する陰極とを具えたものが知られている。
このようなめっき装置によって被めっき体にめっき皮膜
を形成するには、まずめっき槽にめっき液を収容し、陽
極をめっき液に浸漬し、陰極に接続した被めっき体をめ
っき液に浸漬する。
そして、電流を流すと、前記陽極が陽イオンとなってめ
っき液中に溶解し、被めっき体に付着して析出し、被め
っき体にめっき皮膜が形成されることとなる。
そして、被めっき体に形成するめっき皮膜を、均一な厚
みで、かつ高速度で形成するために、いままでに、被め
っき体をめっき液中において回転させたり、揺動させた
りするめっき装置が考案されている。
しかしながら、従来のこのような装置にあっても、被め
っき体に形成するめっき皮膜を、均一な厚みで、かつ高
速度で形成することは困難であり、特に、被めっき体の
形状が複雑である場合、例えば、ベローズのように表面
が蛇腹状となっている被めっき体に対しては、突出した
部分と窪んだ部分とに形成するめっき皮膜の厚さを均一
にすることは困難であった。
さらに、めっき皮膜には、ピンホールが多く形成され易
いという問題点を、有していた。
本考案は上記の問題点を解決し、被めっき体に形成する
めっき皮膜を、均一の厚みで、かつ高速度で形成するこ
とができ、さらに、めっき皮膜にピンホールが形成され
にくいめっき装置を提供することを目的とするものであ
る。
〔課題を解決するための手段〕
本考案は上記の問題点を解決するため、被めっき体に、
めっき皮膜を形成するめっき装置であって、このめっき
装置は、流入口を有する下部本体と、流出口を有する上
部本体と、前記上下部本体間に設けられて、筒状をなす
とともに、内周面に下部から上部に至るスパイラル状の
溝が形成され、かつ、作動部材によって上下部本体間を
往復動可能であり、さらに導電性を有して陽極となる往
復筒とを有し、前記上下部本体および往復筒の内部でめ
っき室を形成し、このめっき室に、前記往復筒と離間し
た状態に設けられて陰極となる被めっき体を配設し、前
記流入口および前記流出口を介して前記めっき室内にめ
っき液を供給するめっき液供給装置を設け、このめっき
液供給装置からのめっき液が前記めっき室内をスパイラ
ル状に流れたのちにめっき液供給装置に還流する手段を
有している。
〔作用〕
本考案は上記の手段を採用したことにより、被めっき体
にめっき皮膜を形成する際、めっき供給装置からのめっ
き液は、被めっき体の周囲を、往復筒の内周面に形成さ
れたスパイラル状の溝に沿って渦巻状に流れるので、被
めっき体の表面にまんべんなくめっき液が接触し、均一
な厚みのめっき皮膜が形成されることとなる。
〔実施例〕
以下、本考案によるめっき装置の実施例を、図面を参照
しつつ説明する。
第1図には、本考案によるめっき装置の実施例が示され
ている。
このめっき装置は、基台(図示せず)に固定される上下
部本体1、2と、この上下部本体1、2の間に設けら
れ、円筒形をなすとともに、白金やチタン等の材質から
形成される往復筒3とを有しており、前記上下部本体
1、2と往復筒の内部はめっき室4となっている。
さらに、下部本体2には流入口5が設けられ、上部本体
1には流出口6が設けられるとともにこの流入口5およ
び流出口6を介して前記めっき室4にめっき液7を供給
するめっき液供給装置8が配設されている。
また、前記上下部本体1、2の内側には、切頭円錐形を
なす渦誘導部材9がそれぞれ、互いに対向するよう取り
付けられている。
前記往復筒3は、適宜の作動部材、例えば図示のような
プランジャ10によって上下部本体1、2の間で上下方
向に往復可能であるとともに、第2図に一部拡大図を示
すが、めっき室4を形成している内周面に、その下部か
ら上部にかけてスパイラル状の溝11が形成されている
ものである。
また、前記上部本体1には、陰極棒12が挿通されてお
り、この陰極棒12は、外周面が非導電材でコーティン
グされているとともに、回転可能であり、第2図に示す
ように、先端部に、被めっき体13が非導電性のシート
14を介してねじ15で連結されている。
そして、前記陰極棒12の内部は、ねじ15を介して被
めっき体13と導通している。
前記被めっき体13は、この場合、円柱形をなすととも
に、上端から下端にかけて、大径の縁部が間隔をおいて
順次形成されており、往復筒3の内面と離間してめっき
室4内に位置するとともに、前記陰極棒12の回転時に
は、陰極棒12と一体に回転するものである。
また、前記めっき液供給装置8は、めっき液7と、この
めっき液7を収容するめっき槽16と、前記めっき液7
に浸漬する陽極17と、めっき液7をめっき槽16から
汲み上げて下部本体2の流入口5に流入させ、めっき室
4を介して上部本体1の流出口6から流出させてめっき
槽16に戻す働きをするポンプ18とを具えており、さ
らに、流入口5に流入するめっき液7の流量を計測する
流量計19が前記ポンプ18に近接して設けられてい
る。
次に、上記のような構成のめっき装置によって、被めっ
き体13にめっき皮膜を形成する過程について説明す
る。
まず、上下部本体1、2の間に往復筒3を往復動可能に
配設し、この往復筒3の内部のめっき室4内に、上部本
体1に挿通した陰極棒12に連結した被めっき体13を
位置させ、上下部本体1、2を図示しない基台に固定す
る。
そして、めっき槽16にめっき液7を満たし、このめっ
き液7に陽極17を浸漬する。
また、前記めっき液7が下部本体2の流入口5に流入し
て上部本体1の流出口6から流出してめっき槽16に戻
る流路をパイプ等(図示せず)で構成し、その途中にポ
ンプ18と流量計19とを設ける。
そして、陰極棒12と、往復筒3および陽極17とを、
外部電源(図示せず)の陰極と陽極にそれぞれ接続し、
電流を流すとともにポンプ18を作動させる。
また、陰極棒12を回転させるとともに、往復筒3を上
下部本体1、2の間でプランジャ10によって往復動さ
せる。
すると、まずめっき槽16のめっき液7に浸漬した陽極
17が、陽イオンとなってめっき液7中に溶解し、次い
でこのめっき液7は、ポンプ18により下部本体2の流
入口5を介してめっき室4内に流入する。
流入しためっき液7は、渦誘導部材9と、往復筒3内周
面の溝11により、第1図に示すような、渦巻状の流れ
となり、めっき室4内を下部本体2から上部本体1へと
流れ、上部本体1の流出口6から流出してめっき槽16
に還流することとなる。
そして、陰極棒12と一体に回転している被めっき体1
3の近傍において、往復筒3と被めっき体13との間で
電流が流れるため、めっき液7中の陽イオンは、被めっ
き体13の表面に付着して析出し、被めっき体13の表
面にめっき皮膜を形成することとなる。
ここで、往復筒3の内周面には、第2図に示すような溝
11が形成されているので、めっき液7は往復筒3内部
では溝11に沿う渦巻状の流れとなり、また、往復筒3
は被めっき体13に対して相対的に往復運動を行ってい
るので被めっき体13の表面には、渦巻状の流れのめっ
き液7が多く接触することとなる。
したがって、被めっき体13が複雑な形状をなしてお
り、例えば、この場合のように、表面に窪んだ部分があ
ったとしても、渦巻状の流れとなっためっき液7がまん
べんなく接触するので、均一な厚みのめっき皮膜を形成
することができ、さらに、往復筒3の往復動により、被
めっき体13にめっき液7が多く接触してめっき皮膜を
形成する速度も向上することとなる。
また、被めっき体13の表面に気泡が付着して、ピンホ
ールが発生する恐れがあっても、渦巻状の流れのめっき
液7が気泡を除去するので、形成するめっき皮膜には、
ピンホールが発生しにくくなる。
なお、本考案においては、めっき皮膜を形成する被めっ
き体を1個としたが、これに限定することはなく、多数
の被めっき体を陰極棒に連結することで多数の被めっき
体に同時にめっき皮膜を形成することが可能である。
〔考案の効果〕
本考案は上記のように、被めっき体に、めっき皮膜を形
成するめっき装置であって、このめっき装置は、流入口
を有する下部本体と、流出口を有する上部本体と、前記
上下部本体間に設けられて、筒状をなすとともに、内周
面に下部から上部に至るスパイラル状の溝が形成され、
かつ、作動部材によって上下部本体間を往復動可能であ
り、さらに導電性を有して陽極となる往復筒とを有し、
前記上下部本体および往復筒の内部でめっき室を形成
し、このめっき室に、前記往復筒と離間した状態に設け
られて陰極となる被めっき体を配設し、前記流入口およ
び前記流出口を介して前記めっき室内にめっき液を供給
するめっき液供給装置を設け、このめっき液供給装置か
らのめっき液が前記めっき室内をスパイラル状に流れた
のちにめっき液供給装置に還流することにより、被めっ
き体に形成するめっき皮膜を、均一な厚みで、かつ、高
速度で形成することができるようになり、めっき皮膜の
質が向上するとともにめっき皮膜を形成する作業の効率
が向上するなどのすぐれた効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案によるめっき装置の概略図、第2図は第
1図における被めっき体近傍の拡大図である。 1……上部本体 2……下部本体 3……往復筒 4……めっき室 5……流入口 6……流出口 7……めっき液 8……めっき液供給装置 9……渦誘導部材 10……プランジャ(作動部材) 11……溝 12……陰極棒 13……被めっき体 14……シート 15……ねじ 16……めっき槽 17……陽極 18……ポンプ 19……流量計

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】被めっき体に、めっき皮膜を形成するめっ
    き装置であって、該めっき装置は、流入口を有する下部
    本体と、流出口を有する上部本体と、前記上下部本体間
    に設けられて、筒状をなすとともに、内周面に下部から
    上部に至るスパイラル状の溝が形成され、かつ、作動部
    材によって上下部本体間を往復動可能であり、さらに導
    電性を有して陽極となる往復筒とを有し、前記上下部本
    体および往復筒の内部でめっき室を形成し、該めっき室
    に、前記往復筒と離間した状態に設けられて陰極となる
    被めっき体を配設し、前記流入口および前記流出口を介
    して前記めっき室内にめっき液を供給するめっき液供給
    装置を設け、該めっき液供給装置からのめっき液が前記
    めっき室内をスパイラル状に流れたのちにめっき液供給
    装置に還流することを特徴とするめっき装置。
JP10557789U 1989-09-08 1989-09-08 めっき装置 Expired - Lifetime JPH06453Y2 (ja)

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JP6937669B2 (ja) * 2017-11-21 2021-09-22 富士通インターコネクトテクノロジーズ株式会社 基板処理装置

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