JPH0644093Y2 - ステ−ジ駆動装置 - Google Patents
ステ−ジ駆動装置Info
- Publication number
- JPH0644093Y2 JPH0644093Y2 JP164786U JP164786U JPH0644093Y2 JP H0644093 Y2 JPH0644093 Y2 JP H0644093Y2 JP 164786 U JP164786 U JP 164786U JP 164786 U JP164786 U JP 164786U JP H0644093 Y2 JPH0644093 Y2 JP H0644093Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- vacuum chamber
- ball screw
- magnetic
- connecting plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Electron Beam Exposure (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、電子ビーム描画装置等におけるステージ駆動
装置に関する。
装置に関する。
電子ビーム描画装置のステージの駆動系としては多くの
装置が考えられており、例えばステージ上に試料となる
基板が載置される真空チャンバ内にボールネジを配置
し、外部の駆動モータから真空回転シールを介して駆動
力をボールネジに伝達してステージをＸ方向及びＹ方向
の平面２次元方向に移動させる機構や、真空チャンバ外
にもう一つの駆動テーブル機構を設け、伸縮するベロー
ズを介して真空チャンバ内のステージと外部のテーブル
を駆動棒で連結して駆動させる機構等がある。
装置が考えられており、例えばステージ上に試料となる
基板が載置される真空チャンバ内にボールネジを配置
し、外部の駆動モータから真空回転シールを介して駆動
力をボールネジに伝達してステージをＸ方向及びＹ方向
の平面２次元方向に移動させる機構や、真空チャンバ外
にもう一つの駆動テーブル機構を設け、伸縮するベロー
ズを介して真空チャンバ内のステージと外部のテーブル
を駆動棒で連結して駆動させる機構等がある。
ところが、このような従来装置にあっては、前者のよう
な駆動機構の場合、ボールネジが通常非磁性でないた
め、ステージの移動と共に磁場が変動するという欠点が
あり、この欠点を補うために、ボールネジを非磁性体で
製作すると、負荷容量が小さくなるばかりか、高価にな
るという欠点がある。また、後者のような駆動機構の場
合、外部に別のテーブル機構を有し、しかもベローズで
真空シールを行なうために、それらの設置スペースを広
く必要とするという欠点があった。
な駆動機構の場合、ボールネジが通常非磁性でないた
め、ステージの移動と共に磁場が変動するという欠点が
あり、この欠点を補うために、ボールネジを非磁性体で
製作すると、負荷容量が小さくなるばかりか、高価にな
るという欠点がある。また、後者のような駆動機構の場
合、外部に別のテーブル機構を有し、しかもベローズで
真空シールを行なうために、それらの設置スペースを広
く必要とするという欠点があった。
さらに、従来、特開昭56-36132号公報に開示されている
ように、ボールネジなどの駆動部を含めたステージ全体
を磁気シールしてなる構成を有するものが提案されてい
るが、この種構造では、磁気シール部分が広い範囲に亘
り、しかも互いに相対移動する部材間に亘って閉磁性回
路を形成する必要があることから、磁束の漏洩を完全に
防止することが非常に困難であるという問題があった。
ように、ボールネジなどの駆動部を含めたステージ全体
を磁気シールしてなる構成を有するものが提案されてい
るが、この種構造では、磁気シール部分が広い範囲に亘
り、しかも互いに相対移動する部材間に亘って閉磁性回
路を形成する必要があることから、磁束の漏洩を完全に
防止することが非常に困難であるという問題があった。
本考案は、上記の事情のもとになされたもので、ステー
ジの移動と共に磁場の変動を起さず、設置スペースを広
く必要としないステージ駆動装置を提供することを目的
としたものである。
ジの移動と共に磁場の変動を起さず、設置スペースを広
く必要としないステージ駆動装置を提供することを目的
としたものである。
上記した目的を達成させるために、本考案は、試料が載
置されるステージを真空チャンバ内で２次元方向に駆動
させるステージ駆動装置において、前記２次元方向のう
ちの少なくとも一方向に移動すべくステージに添って真
空チャンバ内に配置された移動体と、この移動体によっ
てステージを前記一方向へ駆動すべく移動体とステージ
とを連結する連結板と、この連結板を通すスリットを有
し前記移動体のみをその移動範囲全周に亘って囲繞する
磁気シールドカバーとを具備する構成としたものであ
る。
置されるステージを真空チャンバ内で２次元方向に駆動
させるステージ駆動装置において、前記２次元方向のう
ちの少なくとも一方向に移動すべくステージに添って真
空チャンバ内に配置された移動体と、この移動体によっ
てステージを前記一方向へ駆動すべく移動体とステージ
とを連結する連結板と、この連結板を通すスリットを有
し前記移動体のみをその移動範囲全周に亘って囲繞する
磁気シールドカバーとを具備する構成としたものであ
る。
以下、本考案を図示の一実施例を参照しながら説明す
る。
る。
第１図及び第２図に示すように、図中１は真空チャンバ
である。この真空チャンバ１内には、上テーブル２、中
テーブル３及び下テーブル４からなるステージが設置さ
れ、これら各々のテーブル2,3,4は非磁性体で形成され
ているとともに、前記上テーブル２上には、ホルダー５
を介して試料となる基板Ｐが載置されるようになってい
る。前記上テーブル２は、ガイドレール６を介して中テ
ーブル３に対しＹ方向に移動自在に支持されている一
方、前記中テーブル３はガイドレール７を介して下テー
ブル４に対しＸ方向に移動自在に支持されているととも
に、Ｙ方向の駆動機構は、真空チャンバ１の外部に設け
た他のステージ（図示せず）の駆動棒８を前記上テーブ
ル２に接続させてなる構成を有し、かつ前記駆動棒８は
ベローズ９によって真空シールされている。そして、Ｘ
方向の駆動機構は、真空チャン１内のステージの側面部
に軸受10,11を介して両端が軸支されたボールネジ12を
Ｘ方向に沿って配置し、このボールネジ12に螺合させた
磁性体の雌ネジ部材からなる移動体13に薄い連結板14を
介して中テーブル３を連結するとともに、前記ボールネ
ジ12の正逆回転に伴う移動体13のＸ方向の往復直線運動
によりステージをＸ方向に移動させてなるもので、前記
ボールネジ12の回転駆動は、第１のカップリング15及び
磁気シールユニット16を介して真空チャンバ１の外部に
臨ませたボールネジ12の一方の軸端に第２のカップリン
グ17を介して連結した駆動モータ18によって行なわれる
ようになっている。また、図中19は前記ボールネジ12に
沿って移動する移動体13の移動範囲全周を囲繞するよう
に配置した磁気シールドカバーで、前記連結板14の摺動
範囲にはスリット20が設けられている。
である。この真空チャンバ１内には、上テーブル２、中
テーブル３及び下テーブル４からなるステージが設置さ
れ、これら各々のテーブル2,3,4は非磁性体で形成され
ているとともに、前記上テーブル２上には、ホルダー５
を介して試料となる基板Ｐが載置されるようになってい
る。前記上テーブル２は、ガイドレール６を介して中テ
ーブル３に対しＹ方向に移動自在に支持されている一
方、前記中テーブル３はガイドレール７を介して下テー
ブル４に対しＸ方向に移動自在に支持されているととも
に、Ｙ方向の駆動機構は、真空チャンバ１の外部に設け
た他のステージ（図示せず）の駆動棒８を前記上テーブ
ル２に接続させてなる構成を有し、かつ前記駆動棒８は
ベローズ９によって真空シールされている。そして、Ｘ
方向の駆動機構は、真空チャン１内のステージの側面部
に軸受10,11を介して両端が軸支されたボールネジ12を
Ｘ方向に沿って配置し、このボールネジ12に螺合させた
磁性体の雌ネジ部材からなる移動体13に薄い連結板14を
介して中テーブル３を連結するとともに、前記ボールネ
ジ12の正逆回転に伴う移動体13のＸ方向の往復直線運動
によりステージをＸ方向に移動させてなるもので、前記
ボールネジ12の回転駆動は、第１のカップリング15及び
磁気シールユニット16を介して真空チャンバ１の外部に
臨ませたボールネジ12の一方の軸端に第２のカップリン
グ17を介して連結した駆動モータ18によって行なわれる
ようになっている。また、図中19は前記ボールネジ12に
沿って移動する移動体13の移動範囲全周を囲繞するよう
に配置した磁気シールドカバーで、前記連結板14の摺動
範囲にはスリット20が設けられている。
すなわち、上記した構成によれば、磁性体で形成された
移動体13の移動により磁場が変動するが、移動体13の移
動範囲が磁気シールドカバー19でシールドされているた
め、磁場の変動は外部に影響されず、また、磁気シール
ドカバー19に設けたスリット20は、連続に形成されてい
るものの、そのスリット間隙は薄い連結板14を通過可能
にするだけで狭いために、スリット20からの磁束の漏洩
を非常に少なくすることができるものである。
移動体13の移動により磁場が変動するが、移動体13の移
動範囲が磁気シールドカバー19でシールドされているた
め、磁場の変動は外部に影響されず、また、磁気シール
ドカバー19に設けたスリット20は、連続に形成されてい
るものの、そのスリット間隙は薄い連結板14を通過可能
にするだけで狭いために、スリット20からの磁束の漏洩
を非常に少なくすることができるものである。
なお、上記実施例においては、ステージとボールネジと
の連結を薄板で行なうことにより、ステージのガイド方
向とボールネジの非平行部分で無理な力が掛からないよ
うにしているが、ステージとボールネジの平行度を高く
すれば、連結板の厚さを大きくして堅固に連結すること
ができ、この場合でも磁気シールドカバーのスリットか
らの磁束の漏洩は少ない。また、磁気シールドカバーで
囲まれた部分の真空排気性能を高めるために、磁気シー
ルドカバーに小さな穴を明けても良い。
の連結を薄板で行なうことにより、ステージのガイド方
向とボールネジの非平行部分で無理な力が掛からないよ
うにしているが、ステージとボールネジの平行度を高く
すれば、連結板の厚さを大きくして堅固に連結すること
ができ、この場合でも磁気シールドカバーのスリットか
らの磁束の漏洩は少ない。また、磁気シールドカバーで
囲まれた部分の真空排気性能を高めるために、磁気シー
ルドカバーに小さな穴を明けても良い。
さらに、上記実施例では、真空チャンバ内での回転運動
を直線運動に変換する機構としてボールネジを使用した
が、台形ネジやスキューローラ機構等の種々の変換機
構、あるいにリニヤモータ機構等も使用することが可能
である。
を直線運動に変換する機構としてボールネジを使用した
が、台形ネジやスキューローラ機構等の種々の変換機
構、あるいにリニヤモータ機構等も使用することが可能
である。
その他、本考案は、本考案の要旨を変えない範囲で種々
変形実施可能なことは勿論である。
変形実施可能なことは勿論である。
以上の説明から明らかなように、本考案によれば、移動
体の移動による磁場の変動をより小形の磁気シールドで
効果的に押さえることができると同時に、ステージ駆動
装置の全体構成をコンパクトにできて設置スペースを狭
くすることができるという効果が得られる。
体の移動による磁場の変動をより小形の磁気シールドで
効果的に押さえることができると同時に、ステージ駆動
装置の全体構成をコンパクトにできて設置スペースを狭
くすることができるという効果が得られる。
第１図は本考案に係るステージ駆動装置の一実施例を示
す概略的縦断面図、第２図は同じく概略的横断面図であ
る。 １……真空チャンバ、２……上テーブルステージ、３…
…中テーブルステージ、４……下テーブルステージ、12
……ボールネジ、13……移動体、14……連結板、18……
駆動モータ、19……磁気シールドカバー、Ｐ……試料
（基板）。
す概略的縦断面図、第２図は同じく概略的横断面図であ
る。 １……真空チャンバ、２……上テーブルステージ、３…
…中テーブルステージ、４……下テーブルステージ、12
……ボールネジ、13……移動体、14……連結板、18……
駆動モータ、19……磁気シールドカバー、Ｐ……試料
（基板）。
Claims (1)
- 【請求項１】試料が載置されるステージを真空チャンバ
内で２次元方向に駆動させるステージ駆動装置におい
て、 前記２次元方向のうちの少なくとも一方向に移動すべく
ステージに添って真空チャンバ内に配置された移動体
と、 この移動体によってステージを前記一方向へ駆動すべく
移動体とステージとを連結する連結板と、 この連結板を通すスリットを有し前記移動体のみをその
移動範囲全周に亘って囲繞する磁気シールドカバーと を具備することを特徴とするステージ駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP164786U JPH0644093Y2 (ja) | 1986-01-10 | 1986-01-10 | ステ−ジ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP164786U JPH0644093Y2 (ja) | 1986-01-10 | 1986-01-10 | ステ−ジ駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62114438U JPS62114438U (ja) | 1987-07-21 |
| JPH0644093Y2 true JPH0644093Y2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=30779753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP164786U Expired - Lifetime JPH0644093Y2 (ja) | 1986-01-10 | 1986-01-10 | ステ−ジ駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644093Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004032313A1 (ja) * | 2002-10-04 | 2004-04-15 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | 表面形状測定装置及び該装置に使用される１軸駆動装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2792647B2 (ja) * | 1987-03-10 | 1998-09-03 | 株式会社 アスカル | 高真空型輻射線集中加熱装置 |
| KR101690338B1 (ko) * | 2008-08-18 | 2016-12-27 | 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이. | 하전 입자 빔 리소그래피 시스템 및 타겟 위치 결정 장치 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5394176A (en) * | 1977-01-28 | 1978-08-17 | Fujitsu Ltd | Magnetic shielding device |
| JPS54137978A (en) * | 1978-04-19 | 1979-10-26 | Hitachi Ltd | Electron-beam irradiation unit |
| JPS5636132A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-09 | Jeol Ltd | Sample shifter for electron ray exposing device, etc. |
-
1986
- 1986-01-10 JP JP164786U patent/JPH0644093Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004032313A1 (ja) * | 2002-10-04 | 2004-04-15 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | 表面形状測定装置及び該装置に使用される１軸駆動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62114438U (ja) | 1987-07-21 |
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