JPH0643182A - 加速度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 温度特性及び零点不平衡を改善する。 【構成】 板状振子部４１の両側中央部を支持する、板
状振子部４１の側縁に沿った長さをもつ二つのヒンジ部
４７，４８において、ヒンジ部４７を板状振子部４１の
回動中心Ｃに対し、板状振子部４１の一半部側に連結
し、ヒンジ部４８をその他半部側に連結する。温度変化
によって両ヒンジ部４７，４８に発生する曲げモーメン
トは回動中心Ｃ回りに互いに逆方向となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は加速度の入力により回
動する振子部に形成された可動電極と、その可動電極と
対向する固定電極とを有し、それら電極間の静電容量の
変化を検出することによって入力加速度を測定する加速
度計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の加速度計を図４に示す。
振子部１１は図４（Ａ）に示すように、矩形の対向する
二辺の中央部に、その二辺と平行な矩形の中心線に対し
対称にそれぞれ矩形状に切欠１３，１４が形成されたＨ
字状の板状体とされ、この板状振子部１１の板面方向の
周囲を囲むように矩形状の枠体１２が配設される。枠体
１２の、板状振子部１１の切欠１３，１４と対向する部
分には、それぞれ切欠１３，１４内に突出した固定部１
５，１６が一体に形成されている。

【０００３】板状振子部１１の両切欠１３，１４の同一
平面上に位置する同一側の一側部１３ａ，１４ａが、両
切欠１３，１４の底部１３ｂ，１４ｂ、即ち板状振子部
１１の両側中央部の側縁に沿った同一長さをもつヒンジ
部１７，１８でそれぞれ固定部１５，１６に連結され
る。板状振子部１１及びヒンジ部１７，１８の形状寸法
は、ヒンジ部１７，１８の長さを２分する、ヒンジ部１
７，１８の板面と垂直な平面Ｓ内に板状振子部１１の重
心Ｇ₁ が位置するように選定されている。

【０００４】なお、この加速度計では小型、高性能化を
図るべく、これら板状振子部１１、ヒンジ部１７，１８
及び固定部１５，１６が突設された枠体１２はシリコン
基板のエッチングにより同一材料で一体形成されたもの
となっている。従って、板状振子部１１、枠体１２及び
固定部１５，１６は同一厚さとされ、それらに対しヒン
ジ部１７，１８は図５に示すように厚さが薄くされて弾
性変形可能とされている。

【０００５】板状振子部１１の一面１１ａに一対の可動
電極１９ａ，１９ｂが形成される。可動電極１９ａ，１
９ｂはＨ字状の板状振子部１１のＨ字の対向二辺をなす
矩形部２０ａ，２０ｂにそれぞれその矩形に近い大きさ
とされて形成され、これら可動電極１９ａ，１９ｂは板
状振子部１１上に形成された導線２１により短絡され
る。さらに、ヒンジ部１７，１８が連結されている側の
矩形部２０ａに形成された可動電極１９ａからヒンジ部
１７、固定部１５を通って枠体１２に至る導線２２がこ
れらの板面上に形成され、その導線２２の枠体１２上の
端部に端子２３が形成される。

【０００６】上述のように固定部１５，１６及びヒンジ
部１７，１８を介して板状振子部１１を支持する枠体１
２は、図４（Ｂ）に示すようにケース２４とカバー２５
との間に挟持される。カバー２５の内面には、可動電極
１９ａ，１９ｂとそれぞれ所定の間隙を有して平行対向
する固定電極２６ａ，２６ｂが設けられている。板状振
子部１１の、可動電極１９ａ，１９ｂが形成された面１
１ａと反対側の面１１ｂに直方体状のスペーサ２７が、
その重心Ｇ₂ が平面Ｓ内に位置されて取付けられる。さ
らに、このスペーサ２７の、板状振子部１１との取付面
と対向する端面にコイル２８が巻回されたボビン２９
が、その重心Ｇ₃ が平面Ｓ内に位置されて取付けられ
る。ボビン２９は軸心方向の一端が閉塞板３０により閉
塞された略矩形の筒とされ、その閉塞板３０の中心上に
おいてスペーサ２７に取付けられている。なお、これら
スペーサ２７と板状振子部１１及びボビン２９の閉塞板
３０との組立ては例えば接着により行われる。

【０００７】ボビン２９の閉塞板３０の中央部には一対
の穴３０ａ，３０ｂが形成されており、これら穴３０
ａ，３０ｂとそれぞれ対向し、板状振子部１１及び閉塞
板３０間でスペーサ２７を貫通する一対の穴２７ａ，２
７ｂがスペーサ２７に形成されている。ボビン２９の周
面に巻回されているコイル２８の両端は、ボビン２９の
開口端においてほぼ平面Ｓ内を通って周面から内面側に
導かれ、それぞれ閉塞板３０の穴３０ａ，３０ｂ、スペ
ーサ２７の穴２７ａ，２７ｂを順次通り、さらに板状振
子部１１にスペーサ２７の穴２７ａ，２７ｂとそれぞれ
対向して形成された一対の穴３１ａ，３１ｂをそれぞれ
通って板状振子部１１の一面１１ａ上に導出される。

【０００８】板状振子部１１の一面１１ａ上には、穴３
１ａ，３１ｂの近傍にそれぞれ一端を有し、矩形部２０
ａ、ヒンジ部１８、固定部１６を順次通って枠体１２に
いたる一対の導線３２ａ，３２ｂが形成されており、こ
れら導線３２ａ，３２ｂの一端部にそれぞれコイル２８
の両端が接続される。なお、枠体１２上に位置する導線
３２ａ，３２ｂの他端部にはそれぞれ端子３３ａ，３３
ｂが形成されている。

【０００９】板状振子部１１と一体とされたスペーサ２
７及びコイル２８が巻回されたボビン２９はケース２４
内に収容される。ケース２４内の底面２４ａ上に、一対
の直方体状の永久磁石３４，３５が平面Ｓと直交する方
向に配列されて配置される。永久磁石３４は平面Ｓに対
し、板状振子部１１の矩形部２０ａ側に位置するボビン
２９の一半部内にそのほぼ上半部が収容され、一方永久
磁石３５はボビン２９の他半部内に同様にそのほぼ上半
部が収容される。ボビン２９の内面と永久磁石３４，３
５とはそれぞれ所定量離間されている。なお、永久磁石
３４はその閉塞板３０との対向面３４ａ側がＳ極、ケー
ス２４設置面３４ｂ側がＮ極とされ、これと逆に永久磁
石３５はその閉塞板３０との対向面３５ａ側がＮ極、ケ
ース２４設置面３５ｂ側がＳ極とされる。

【００１０】図６は上述のように構成された加速度計の
板状振子部１１の動作を模式的に示すものであり、加速
度入力のない状態を図６（Ａ）に示し、平面Ｓと直交す
る方向、即ちＸ軸方向に加速度ａが入力された状態を図
６（Ｂ）に示す。図において、固定部１５，１６にヒン
ジ部１７，１８を介して支持される板状振子部１１、ス
ペーサ２７及びコイル２８が巻回されたボビン２９から
なる組立体の重心をＧで表わす。

【００１１】図６（Ａ）に示すように、ヒンジ部１７，
１８の固定部１５，１６への固定端Ｆに対し、重心Ｇは
板状振子部１１の厚さ方向（Ｙ軸方向）においてずれて
いるため、この重心Ｇに例えばＸ軸方向（可動電極１９
ａ，１９ｂの配列方向）の加速度ａが作用すると、ヒン
ジ部１７，１８がたわみ、板状振子部１１が回動して図
６（Ｂ）に示す状態となる。

【００１２】板状振子部１１の回動により、板状振子部
１１に形成されている可動電極１９ａ，１９ｂとカバー
２５に設けられている固定電極２６ａ，２６ｂとの各間
隙が変化し、加速度入力のない時に比し、電極１９ａ，
２６ａ間の間隙は広くなり、電極１９ｂ，２６ｂ間の間
隙は狭くなる。可動電極１９ａ，１９ｂの端子２３及び
固定電極２６ａ，２６ｂをそれぞれ測定回路（図示せ
ず）に接続することにより、これら各電極間の間隙の変
化は静電容量の変化として検出される。

【００１３】一方、端子３３ａ，３３ｂを測定回路に接
続し、ボビン２９のコイル２８に電流を流せばその発生
磁界と、互いに逆極性とされた永久磁石３４，３５の両
磁界との反発・吸引作用によってボビン２９は回動し、
閉塞板３０と永久磁石３４，３５とのそれぞれの間隙は
一方が広くなり、他方が狭くなる。そして、閉塞板３０
が回動することにより、これと一体結合されている板状
振子部１１も回動し、各電極間の間隙は一方が広くな
り、他方が狭くなる。従って、コイル２８に所要の方向
に所要量の電流を流すことによって、加速度ａの入力に
より回動した板状振子部１１を、加速度入力のない時の
状態に復帰させることができる。

【００１４】つまり、この加速度計はＸ軸方向の加速度
ａの入力による板状振子部１１の回動を電極１９ａ，２
６ａ間及び電極１９ｂ，２６ｂ間の各静電容量の相反す
る変化、即ち一方が増大し、他方が減少することによっ
て検出し、コイル２８に電流を流すことによってそれら
静電容量が加速度入力のない時の値になるように板状振
子部１１を回動復帰させ、その時コイル２８に流してい
る電流を測定することによって、入力加速度ａを検出す
る構造とされている。なお、板状振子部１１、スペーサ
２７及びコイル２８が巻回されたボビン２９の各重心Ｇ
₁ ，Ｇ₂ 及びＧ ₃ はいずれも平面Ｓ内に位置し、従って
これらの組立体の重心Ｇも平面Ｓ内に位置するため、Ｙ
軸方向の入力加速度に対しては板状振子部１１は回動せ
ず、即ち各静電容量は相反する変化をしないため、この
加速度計は動作しない。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の加速度計は加速度の入力による板状振子部１１の回
動を利用して加速度を検出するものであり、板状振子部
１１が良好に回動するように、適当な弾性を有するヒン
ジ部１７，１８を介して板状振子部１１を固定部１５，
１６に連結していた。

【００１６】しかしながら、ヒンジ部１７，１８上には
前述したように可動電極１９ａ，１９ｂ用の導線２２や
コイル２８用の導線３２ａ，３２ｂが形成されるため、
ヒンジ部１７，１８はその厚さ方向において異なる材料
が積層された構成となっている。図５はこの構成の一例
を示したものであり、板状振子部１１、ヒンジ部１７，
１８、固定部１５，１６を形成するシリコン３６の表面
に絶縁用のＳｉＯ₂ 膜３７が形成され、さらにその上に
密着用のＣｒ膜３８を介して導線用のＡｕ膜３９が形成
される。

【００１７】このようにヒンジ部１７，１８には絶縁や
配線などのためにヒンジ部１７，１８の材料と異なる材
料の膜が形成されているため、その膜の熱膨張係数とヒ
ンジ部１７，１８の熱膨張係数との差により、環境温度
が変化するとヒンジ部１７，１８にそれぞれ曲げモーメ
ントＭ１，Ｍ２が発生する。ヒンジ部１７，１８はそれ
ぞれ固定部１５，１６から同一方向に伸長され、かつ同
様の積層構成とされているため、これら曲げモーメント
Ｍ１，Ｍ２は例えば図５に矢印で示すように固定端回り
に同一方向となる。そして、ヒンジ部１７，１８は板状
振子部１１の回動中心に対し、一半部側の矩形部２０ａ
の同一平面上に連結されているため、何ら規制されるこ
となく曲げモーメントＭ１，Ｍ２によって同様に湾曲
し、この湾曲による板状振子部１１との連結部における
ヒンジ部１７，１８の同様の傾きによって板状振子部１
１は加速度とは無関係に回動してしまう。つまり、従来
の加速度計は環境温度の変化により電極１９ａ，２６ａ
間及び１９ｂ，２６ｂ間の静電容量が変化し、加速度計
の出力が環境温度に依存して変化するため、温度特性が
悪いものとなっていた。

【００１８】また、ＳｉＯ₂ 膜３７やＡｕ膜３９などの
成膜は例えばスパッタリングなどにより行われ、その成
膜温度は一般に室温より高いため、室温においては、ヒ
ンジ部１７，１８に曲げモーメントが発生し、それによ
り板状振子部１１が回動して加速度計に零点不平衡が発
生するという問題もあった。この発明の目的は従来の問
題点を解消すべく、出力の温度依存性を小さくして温度
特性を改善し、かつ零点不平衡出力を減少させた加速度
計を提供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】この発明は板状振子部の
両側中央部が、その側縁に沿った長さをもつヒンジ部で
それぞれ固定部に連結され、板状振子部の一面に可動電
極が形成され、その可動電極と対向して固定電極が設け
られた加速度計において、板状振子部の回動中心に対
し、二つのヒンジ部のうち、一方を板状振子部の一半部
側に、他方を板状振子部の他半部側に連結したものであ
る。

【００２０】

【作用】上記のように構成されたこの発明では、温度変
化に起因して二つのヒンジ部にそれぞれ発生する曲げモ
ーメントは、互いに板状振子部を逆方向に回動させるよ
うに作用する。

【００２１】

【実施例】この発明の一実施例を図１に示す。なお、図
４に示した従来の加速度計と対応する部分については同
一符号を付し、その説明を省略する。この実施例では、
板状振子部４１は図１（Ａ）に示すように矩形の対向す
る二辺にそれぞれその中央部を含み、その二辺に沿った
方向に互いにずらされた矩形状の切欠４２，４３を設け
た板状体とされ、これら切欠４２，４３は板状振子部４
１の板面の中心に対し、点対称形とされている。

【００２２】板状振子部４１の板面方向の周囲を囲む矩
形状の枠体４４に、板状振子部４１の切欠４２，４３内
における板状振子部４１の中央部から互いに反対にずれ
た部分にそれぞれ突出する固定部４５，４６が一体に形
成される。板状振子部４１の両側中央部の切欠４２，４
３内に、それぞれその両側中央部の側縁、つまり両切欠
４２，４３の底部４２ａ，４３ａに沿った同一長さを有
するヒンジ部４７，４８が配され、これらヒンジ部４
７，４８によって板状振子部４１と固定部４５，４６と
がそれぞれ連結される。

【００２３】板状振子部４１及びヒンジ部４７，４８の
形状寸法は、ヒンジ部４７，４８の長さを２分する、ヒ
ンジ部４７，４８の板面と垂直な平面Ｓ内に、板状振子
部４１の重心Ｇ₁ が位置するように選定されている。従
って、ヒンジ部４７は平面Ｓで２分された板状振子部４
１の一半部側に、ヒンジ部４８はその他半部側にそれぞ
れ連結された状態となっている。

【００２４】板状振子部４１、ヒンジ部４７，４８及び
固定部４５，４６が突設された枠体４４は、それらの間
隙部分を例えばエッチング除去することにより、矩形状
のシリコン基板から一体形成され、さらにヒンジ部４
７，４８は図２に示すようにその厚さ方向にエッチング
されて厚さが薄くされ、弾性変形可能とされる。固定部
４５，４６及びヒンジ部４７，４８を介して板状振子部
４１を支持する枠体４４は図１（Ｂ）に示すようにケー
ス２４とカバー２５との間に挟持される。板状振子部４
１の一面４１ａにおける平面Ｓで２分される各半部の互
いの端縁側に矩形状の可動電極４９ａ，４９ｂが、カバ
ー２５に設けられている固定電極２６ａ，２６ｂとそれ
ぞれ平行対向するように形成される。

【００２５】可動電極４９ａ，４９ｂは板状振子部４１
上に形成された導線５１により短絡され、さらに板状振
子部４１のヒンジ部４７が連結されている側の一半部に
形成された可動電極４９ａからヒンジ部４７、固定部４
５を通って枠体４４にいたる導線５２がこれらの板面上
に形成され、その導線５２の枠体４４上の端部に端子５
３が形成される。

【００２６】板状振子部４１の他面４１ｂにコイル２８
が巻回されたボビン２９がスペーサ２７を介して一体に
取付けられる。スペーサ２７の重心Ｇ₂ 及びコイル２８
が巻回されたボビン２９の重心Ｇ₃ はともに平面Ｓ内に
位置される。スペーサ２７に形成されているコイル２８
引出し用の一対の穴２７ａ、２７ｂとそれぞれ対向する
穴５４ａ，５４ｂが板状振子部４１に形成され、これら
穴５４ａ，５４ｂをそれぞれ通ってコイル２８の両端が
板状振子部４１の一面４１ａ上に導出される。

【００２７】板状振子部４１の一面４１ａ上には、穴５
４ａ，５４ｂの近傍にそれぞれ一端を有し、板状振子部
４１の可動電極４９ｂが形成されている側の半部、ヒン
ジ部４８、固定部４６を順次通って枠体４４にいたる一
対の導線５５ａ，５５ｂが形成されており、これら導線
５５ａ，５５ｂの一端部にそれぞれコイル２８の両端が
接続される。なお、枠体４４上に位置する導線５５ａ，
５５ｂの他端部にはそれぞれ端子５６ａ，５６ｂが形成
されている。

【００２８】図２はヒンジ部４７，４８の積層構成を示
したものであり、シリコン３６の表面に絶縁用のＳｉＯ
₂ 膜３７が形成され、その上に密着用のＣｒ膜３８を介
して導線５２，５５ａ，５５ｂ用のＡｕ膜３９が形成さ
れる。次に、上述したように、図４に示した従来の加速
度計とは異なる配置のヒンジ部４７，４８によって板状
振子部４１を支持する構成としたこの発明による加速度
計の板状振子部４１の動作を図３を参照して説明する。
なお、図３では板状振子部４１、スペーサ２７及びコイ
ル２８が巻回されたボビン２９からなる組立体の重心Ｇ
を模式的に示している。

【００２９】図３（Ａ）は加速度入力のない状態を示し
たものであり、ヒンジ部４７，４８の固定部４５，４６
への固定端Ｆ₁ ，Ｆ₂ に対し、Ｙ軸方向にずれた位置に
位置する重心ＧにＸ軸方向の加速度ａが作用することに
より、ヒンジ部４７，４８がたわみ、図３（Ａ）におけ
る平面Ｓ上に位置するヒンジ部４７，４８の厚さ方向の
中心線を回動中心Ｃとして板状振子部４１が図３（Ｂ）
に示すように回動する。この状態において、ヒンジ部４
７，４８はその板状振子部４１との連結部がＹ軸方向に
おいて互いに遠ざかる方向にたわむことによって板状振
子部４１を回動させている。

【００３０】端子５３，５６ａ，５６ｂ及び固定電極２
６ａ，２６ｂをそれぞれ測定回路（図示せず）に接続し
て、板状振子部４１の回動を電極４９ａ，２６ａ間及び
４９ｂ，２６ｂ間の各静電容量の変化として検出し、こ
れら静電容量が加速度入力のない時の値になるようにコ
イル２８に電流を流して板状振子部４１を回動復帰さ
せ、その時コイル２８に流している電流を測定すること
によってＸ軸方向の入力加速度ａが検出される。

【００３１】一方、ヒンジ部４７，４８には前述したよ
うにヒンジ部４７，４８の材料と異なる材料の膜がそれ
ぞれ形成されているため、環境温度が変化すると各材料
の熱膨張係数の差により、ヒンジ部４７，４８にそれぞ
れ曲げモーメントＭ３，Ｍ４が発生する。同様の積層構
成とされたヒンジ部４７，４８において、今、曲げモー
メントＭ３，Ｍ４が例えばＡｕ膜３９側が凸になるよう
にヒンジ部４７，４８を湾曲させるように発生したとす
れば、これら曲げモーメントＭ３，Ｍ４は図２に矢印で
示したように表わすことができる。即ち、曲げモーメン
トＭ３はヒンジ部４７の固定部４５との固定端回りに反
時計回り方向となり、曲げモーメントＭ４はヒンジ部４
８の固定部４６との固定端回りに時計回り方向となる。

【００３２】つまり、これら曲げモーメントＭ３，Ｍ４
は図３に示した板状振子部４１の回動中心Ｃ回りに互い
に逆方向となっており、板状振子部４１を互いに逆方向
に回動させるように作用するため、それらは相殺され、
結果として環境温度が変化してもヒンジ部４７，４８は
その湾曲が抑制され、板状振子部４１はほとんど回動し
ないことになる。

【００３３】さらに、ヒンジ部４７，４８及びそれらに
形成されるＳｉＯ₂ 膜３７を同一形状とし、かつ例えば
導線５２の幅と導線５５ａ，５５ｂの幅の和とを等しく
して実質的にヒンジ部４７，４８のＣｒ膜３８、Ａｕ膜
３９も同一形状とすれば、環境温度の変化により発生す
る曲げモーメントＭ３，Ｍ４は等しくなり、つまり板状
振子部４１は環境温度の変化によっては全く回動しない
ものとすることができる。

【００３４】このように環境温度が変化してもヒンジ部
４７，４８が湾曲せず、板状振子部４１が回動しないた
めの一般的条件は例えば下式のように表わすことができ
る。ヒンジ部４７，４８のヤング率をそれぞれＥ３，Ｅ
４、断面二次モーメントをそれぞれＩ３，Ｉ４とし、ヒ
ンジ部４７，４８上にはそれぞれ一つの膜が形成されて
いるとして、それら膜のヤング率をそれぞれＥ５，Ｅ
６、断面二次モーメントをＩ５，Ｉ６とすると、ヒンジ
部４７，４８が曲率半径ｒで曲がる時の曲げモーメント
Ｍ３，Ｍ４はそれぞれ Ｍ３＝Ｅ３Ｉ３／ｒ＋Ｅ５Ｉ５／ｒ Ｍ４＝Ｅ４Ｉ４／ｒ＋Ｅ６Ｉ６／ｒ で表わされるため、Ｍ３＝Ｍ４とするために Ｅ３Ｉ３／ｒ＋Ｅ５Ｉ５／ｒ＝Ｅ４Ｉ４／ｒ＋Ｅ６Ｉ６
／ｒ を満足するように各値を選定すればよいことになる。

【００３５】なお、この実施例による加速度計は、板状
振子部４１に一体にボビン２９を取付け、加速度入力に
より回動した板状振子部４１を加速度入力のない状態に
回動復帰させるべく、ボビン２９のコイル２８に流す電
流を測定することにより、その入力加速度を検出するも
のであるが、このような構成に限らず、例えば可動電極
４９ａ，４９ｂと固定電極２６ａ，２６ｂとの各電極間
の静電容量の変化から直接加速度を検知する構成として
もよい。この場合には、ヒンジ部４８へのコイル２８用
の導線５５ａ，５５ｂの形成は不要となるが、例えばヒ
ンジ部４７に形成される導線５２と等しいダミー導線を
ヒンジ部４８に形成しておけば、容易に両ヒンジ部４
７，４８の曲げモーメントＭ３，Ｍ４を同様の値に合わ
せることができる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明は板状振
子部の両側中央部を支持する、板状振子部の側縁に沿っ
た長さをもつ二つのヒンジ部のうち一方を板状振子部の
回動中心に対し、板状振子部の一半部側に連結し、他方
をその他半部側に連結することにより、環境温度の変化
によって両ヒンジ部に発生する曲げモーメントを板状振
子部の回動中心に対し、互いに逆方向として相殺させ、
加速度と無関係な板状振子部の回動を防止するものであ
り、従って加速度計の出力の温度依存性を小さくして温
度特性を改善することができる。

【００３７】さらに、例えばスパッタリングなどにより
高温下でヒンジ部に導線材料などを成膜した場合に、常
温において両ヒンジ部に発生する曲げモーメントも上記
と同様に相殺されるため、零点不平衡出力を減少させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による加速度計の一実施例を示す図、
（Ａ）はカバーを外した平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡＡ
線における全体断面図。

【図２】この発明による加速度計の一実施例におけるヒ
ンジ部の詳細断面図。

【図３】この発明による加速度計の一実施例における板
状振子部の動作を説明するための模式図。

【図４】従来の加速度計を示す図、（Ａ）はカバーを外
した平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡＡ線における全体断面
図。

【図５】従来の加速度計のヒンジ部の詳細断面図。

【図６】従来の加速度計における板状振子部の動作を説
明するための模式図。

【符号の説明】

２６ａ，２６ｂ 固定電極 ４１ 板状振子部 ４５，４６ 固定部 ４７，４８ ヒンジ部 ４９ａ，４９ｂ 可動電極

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状振子部の両側中央部が、その側縁に
   沿った長さをもつヒンジ部でそれぞれ固定部に連結さ
   れ、 上記板状振子部の一面に可動電極が形成され、 その可動電極と対向して固定電極が設けられた加速度計
   において、 上記二つのヒンジ部は上記板状振子部の回動中心に対
   し、一方が板状振子部の一半部側に、他方が板状振子部
   の他半部側に連結されていることを特徴とする加速度
   計。