JPH06349407A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、高精細な孔のシャドーマスクを有
するパネルを露光する露光装置を提供することを目的と
する。 【構成】 本発明に係る露光装置は、カラーブラウン管
のパネル４裏面に塗布された蛍光体４１に照射する露光
光を発生させる点光源１２と、露光光を略平行光に変換
するコリメータレンズ１４と、コリメータレンズ１４と
パネル４裏面との間に設けられ、コリメータレンズ１４
による平行光の光軸と同軸の複数の中空細管を含むキャ
ピラリープレート１３とを有する露光光照射手段と、露
光光照射手段をパネル４裏面と平行な面内で移動させる
移動機構とを備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラーブラウン管の蛍
光体を露光する装置に関するものであり、とくに、高精
細なシャドーマスクを有するパネルを露光するためのも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来のカラーブラウン管の露光装置とし
ては、図４に示すような、露光光を発する露光光源１２
と補正レンズ１４ａとを備えたものがある。この露光装
置では、補正レンズによって、露光光の通過角を電子ビ
ームの通過角に近似するように補正し、色純度の向上を
はかっている。ここで通過角とは、パネルに設けられた
シャドーマスクに穿設された孔を光が通過するときの角
度のことである。このような装置においては、シャドー
マスクの中央部付近では露光光の通過角が電子ビームの
通過角と一致するが、周辺部に向かって一致させること
が困難となる。このためシャドーマスクの周辺部ではパ
ネルの色純度が低下するという欠点があった。そこで、
この欠点を解消すべく、露光光源を三次元的に移動させ
て、シャドーマスクの周辺部においても露光光の通過角
が電子ビームの通過角に近似するようにしたものが開示
されている（実開平４−４７２４５）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、露光光源を三
次元的に移動させる機構を有する装置であっても、露光
光源から放射される光には拡散光が含まれることに変わ
りはない。このため、非常に微細な孔を有するシャドー
マスクを露光した場合には、シャドーマスクの１つ１つ
の孔の周辺部においては露光光がぼやけてしまい、色純
度が低下してしまう。言い換えれば、１つ１つの孔に関
し、高精細な孔の場合は露光光の通過角と電子ビームの
通過角とを一致させることが困難になり、また、露光量
も中心部に比べ周辺部では少なくなるので、色純度が低
下してしまう。このことは、近年注目されているハイビ
ジョン等の高解像度モニターを製造する場合には特に問
題である。

【０００４】そこで、本発明は、上記問題点を解決する
露光装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明に係る露光装置は、カラーブラウン管のパ
ネル裏面に塗布された蛍光体に照射する露光光を発生さ
せる点光源と、露光光を略平行光に変換するコリメータ
レンズと、コリメータレンズとパネル裏面との間に設け
られ、コリメータレンズによる平行光の光軸と同軸の複
数の中空細管を含むキャピラリープレートとを有する露
光光照射手段と、露光光照射手段をパネル裏面と平行な
面内で移動させる移動機構とを備えたことを特徴とす
る。

【０００６】

【作用】上記の構成によれば、キャピラリープレートに
含まれる中空細管はすべてコリメータレンズによる平行
光の光軸と同軸になっているため、露光光のうち平行光
に変換されなかったものはキャピラリープレートによっ
てカットされるので、平行光のみからなる露光光が照射
される。このため、シャドーマスクの孔が微細でも孔の
周辺部がぼやけることがなく、明瞭に露光されるので色
純度の低下のない露光ができる。

【０００７】また、露光光源をパネル裏面と平行な面内
で移動させる移動機構を備えているので、パネルの周辺
部においても露光光が十分に照射されるので色純度の低
下はない。

【０００８】

【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例に
ついて説明する。図１に基づいて、本発明の実施例に係
る露光装置について説明する。図１に示すように、この
露光装置は、露光光照射装置１と、露光光照射装置１と
をＸ−Ｙ平面上の所定の範囲内で自由に移動させること
ができる移動機構とが備えられている。

【０００９】具体的には、この露光装置の移動機構は図
１に示すように次のような構造をしている。即ち、露光
光照射装置１を保持するのはスライドステージ２１であ
る。このスライドステージ２１には２つの貫通穴が平行
して穿設されている。このうち図面左側の第１の貫通穴
２１ａの内部には図示しないスライドベアリングが設け
られており、図面右側の第２の貫通穴２１ｂの内部には
図示しないネジ溝が螺刻されている。第１の貫通穴２１
ａにはガイドロッド２２が貫通しており、第２の貫通穴
２１ｂには送りネジ２３が螺合している。従って、スラ
イドステージ２１はガイドロッド２２及び送りネジ２３
によって支持されている。ガイドロッド２２及び送りネ
ジ２３はいずれも一端を動力部２４によって保持され、
他端をバランスウェイト２５によって保持されている。
動力部２４の内部には、図示しないモータが設けられて
おり、このモータの駆動軸から図示しない必要な歯車機
構を介して送りネジ２３に駆動力があたえられている。
また、動力部２４は第１保持部材２６に保持されてい
る。第１保持部材２６には図示しないラックが設けられ
ており、動力部２４内に設けられた図示しないピニオン
ギヤとあいまってラックピニオン構造を形成している。
このピニオンギヤを駆動させるために上述したものとは
別の図示しないモータが設けられている。バランスウェ
イト２５は第２保持部材２７に保持されている。第２保
持部材２７には図示しないガイドレールが設けられてお
り、バランスウェイト２５に設けられた図示しない車輪
はこのガイドレール上を移動する。第１保持部材２６及
び第２保持部材２７はいずれも支持柱２８によって工場
内部に固定されている。なお、移動機構は上記のもの以
外であっても用いることができる。例えば、局座標ロボ
ット、直角座標ロボット及び多関節ロボット等のマニプ
レータ（ｍａｎｉｐｕｌａｔｏｒ）を用いることもでき
る。

【００１０】露光光照射装置１の下方には、ベルトコン
ベア３を有する搬送機構が設けられている。この搬送機
構にベルトコンベア３を駆動するための図示しない動力
機構が設けられている。このベルトコンベア３によって
露光すべきカラーブラウン管のパネル４が搬送される。

【００１１】また、露光光照射装置１は、図２に示すよ
うに、筐体１１内部に点光源である露光光源１２と、露
光光源１２からの露光光を略平行光に変換させるコリメ
ータレンズ１４とを有している。また、筐体１１の底面
にはキャピラリープレート１３が固定されている。この
キャピラリープレート１３とは、透明のガラス板に複数
の中空細管が網目上に配列されて穿設されたものであ
る。この中空細管はすべてコリメータレンズによる平行
光の光軸と同軸になるように設けられている。

【００１２】次にこの露光装置の動作について説明す
る。まず、ベルトコンベア３によって露光すべきカラー
ブラウン管のパネル４を所定の位置に搬送する。このパ
ネル４にはすでにその裏面に蛍光体４１が塗布されてい
るとともに、シャドーマスク４２が設けられている。

【００１３】次に、パネル４が所定の位置に搬送される
と露光光照射装置１から露光光が発せられ、この露光光
によって蛍光体４１は露光される。図３に示すように、
露光光照射装置１は、移動しながら蛍光体４１全面を照
射する。露光光照射装置１からの露光光が蛍光体４１を
照射する範囲は狭いものである。このように狭い範囲で
順次露光するのは露光した蛍光体４１に斑を起こさせな
いためである。即ち、一度に広い範囲に露光しようとす
れば、周辺部においては露光光の通過角が電子ビームの
通過角に一致しなくなり、このためパネル４の周辺部で
は色純度が低下するという事態を招くことになるからで
ある。従って、本実施例のように照射すれば、パネル４
周辺部において露光光の通過角を電子ビームの通過角と
一致させることができ、色純度の向上をはかることがで
きる。

【００１４】また、このとき露光光照射装置１から照射
される露光光は平行光である。このように、露光光照射
装置１から照射される露光光が、平行光となって照射さ
れるのは、次のような作用に基づくものである。まず、
露光光源１２から発した光は、コリメータレンズ１４に
よって略平行光に変換される。しかし、このときすべて
の露光光が平行光に変換されているわけではなく、露光
光のなかには依然として拡散する光が含まれている。こ
のように拡散光を含んだ露光光がキャピラリープレート
１３の中空細管を通過するとき、この中空細管はそのす
べてがコリメータレンズによる平行光の光軸と同軸にな
っているので、拡散光は中空細管を通過する際にカット
される。このため、露光光はキャピラリープレート１３
を通過することによって平行光として蛍光体４１を照射
することになる。

【００１５】このため、シャドーマスク４２には複数の
微細孔が穿設されているが、その１つ１つの微細孔に関
しても、孔の周辺部がぼやけることがなく、明瞭に露光
されるので色純度の低下のない露光ができる。従って、
高解像度モニター等のような微細な孔を有するシャドー
マスク４２を露光した際も、色純度の低下がなく光精細
な露光が可能となる。

【００１６】以上、本実施例によれば、パネル４の周辺
部のみならず、シャドーマスク４２に穿設された微細孔
のそれぞれの周辺部においても明瞭に露光されるので、
色純度の低下のない露光が可能となる。このため、高品
質で高解像度のモニターを提供することができる。

【００１７】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、移動機構により露光光源を移動させながらパネ
ルに塗布された蛍光体を露光するので、パネルの周辺部
においても露光光が十分に照射され、色純度の低下はな
い。また、蛍光体に照射される露光光は平行光なので、
シャドーマスクの孔が微細でも孔の周辺部がぼやけるこ
とがなく、明瞭に露光されるので色純度の低下のない露
光ができる。従って、シャドーマスクの孔が非常に微細
である高解像度のモニターでも高精細な露光が可能とな
るので、色純度の低下のない高品質なモニターを製造す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例に係る露光装置の斜視図である。

【図２】本実施例に係る露光光照射装置の一部破砕斜視
断面図である。

【図３】本実施例に係る露光光照射装置の露光動作の説
明図である。

【図４】従来例に係る露光装置の説明図である。

【符号の説明】

１…露光光照射装置、１１…筐体、１２…露光光源、１
３…キャピラリープレート、１４…コリメータレンズ、
２１…スライドステージ、２２…ガイドロッド、２３…
送りネジ、２４…動力部、２５…バランスウェイト、２
６…第１保持部材、２７…第２保持部材、３…ベルトコ
ンベア、４…パネル、４１…蛍光体、４２…シャドーマ
スク

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カラーブラウン管のパネル裏面に塗布さ
   れた蛍光体に照射する露光光を発生させる点光源と、前
   記露光光を略平行光に変換するコリメータレンズと、前
   記コリメータレンズと前記パネル裏面との間に設けら
   れ、前記コリメータレンズによる平行光の光軸と同軸の
   複数の中空細管を含むキャピラリープレートとを有する
   露光光照射手段と、 前記露光光照射手段を前記パネル裏面と平行な面内で移
   動させる移動機構とを備えたことを特徴とする露光装
   置。