JPH0634620A - 有害物質の検知剤製造装置 - Google Patents

有害物質の検知剤製造装置

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JPH0634620A
JPH0634620A JP20857592A JP20857592A JPH0634620A JP H0634620 A JPH0634620 A JP H0634620A JP 20857592 A JP20857592 A JP 20857592A JP 20857592 A JP20857592 A JP 20857592A JP H0634620 A JPH0634620 A JP H0634620A
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rotated
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理 竹森
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は半導体の製造工程等で使用さ
れる特殊ガス中の有害物質を検知する検知剤を機械的に
製造できる装置を得るにある。 【構成】 活性アルミナやシリカゲルの原料母剤を入れ
る筒体を回転自在とし、この筒体内に溶液状試薬を噴霧
できるようにすると共に、その乾燥用気体を上記筒体内
に吹き込み自在ならしめた有害物質の検知剤製造装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は有害物質の検知剤製造装
置、特に半導体の製造工程等で使用される特殊ガス中の
有害物質を検知する検知剤の製造装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体の製造工程等で使用され
る特殊ガスは、その使用後特殊ガス中に含まれている有
害物質を除去して無害化する必要があり、そのため、上
記有害物質を吸着する吸着剤を充填した吸着筒を有する
除害装置が使用されている。
【０００３】然しながらこの吸着剤はその使用によって
能力が次第に小さくなるものであり、このためこの除害
装置に用いる吸着筒の吸着剤の効能が継続しているか終
了したか判別するための検知剤が使用されている。
【０００４】この検知剤は原料としての活性アルミナや
シリカゲルを大きな金属製の皿状の容器に入れ、重クロ
ム酸ナトリウム、燐モリブデン酸、臭化第二水銀、硫酸
等の試薬を攪拌しながら注入し、更に水又はエチルアル
コールを散布し、試薬が原料に均一に添加されるように
ゴム手袋をした人手で混合し、その後、天日で乾燥させ
て完成させていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来技術
では人手による混合と天日による乾燥で有害物質の検知
剤を製造しており、上記試薬に使う薬剤や、エチルアル
コールの蒸気によって人体に悪影響を及ぼすおそれがあ
った。
【０００６】本発明は上記の欠点を除くようにしたもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の有害物質の検知
剤製造装置は活性アルミナやシリカゲルの原料母材を入
れる回転容器と、この回転容器を回転する手段と、上記
回転容器に形成した排気口と、上記回転容器内に溶液状
試薬を噴霧する手段と、上記回転容器内に乾燥用気体を
吹き込む手段とより成ることを特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明す
る。
【０００９】本発明においては図１及び図２に示すよう
に、原料母材となる活性アルミナやシリカゲルの粉状材
を回転自在ならしめた例えば八角形状の筒体１内にこの
筒体１の側面の一部を開いて入れ、この筒体１を形成す
る側壁内面には図３に示すように互いに異なる面の中央
端部に例えば３角形状の固定翼または邪魔板２を突設
し、上記筒体１の一端面３には排気筒（図示せず）に連
通する排気口４を設け、他端面５の中心部には中空回転
軸６の一端を固定せしめる。
【００１０】上記中空回転軸６は支持台７上に設けた２
個の支持部８によって回転自在に支持し、上記回転軸６
の中間部に鎖車９を固定し、この鎖車９は上記支持台７
内に設けた回転機構（図示せず）により鎖１０を介し
て、例えば毎分１回転程度の速度で回転せしめるように
する。
【００１１】また、上記中空回転軸６の他端からその中
心孔を貫通して延び上記筒体１内に開口する例えば外管
１１と内管１２とより成る２重管を設け、上記外管１１
の上記筒体１内の開口端には空気吹出し口１３を形成
し、中空回転軸６外の他端には上記支持台７内に設置し
た送風機（図示せず）からの例えば水柱１ｍゲージ以下
の送風空気を電熱器等（図示せず）で加熱せしめて得た
所定圧の乾燥用送風空気を導入できるようにし、上記内
管１２の上記筒体１内の開口端には噴霧器１４を取り付
け、中空回転軸６外の他端には上記試薬をエチルアルコ
ール等の溶剤に溶かして得た溶液状試薬の所定量を導入
できるようにする。
【００１２】上記所定量の溶液状試薬を導入するために
は、例えば上記溶液状試薬を貯留する貯留槽（図示せ
ず）から支持台７に取り付けた計量シリンダー１５内に
溶液状試薬を導き、上記支持台７内に設定した圧縮機
（図示せず）からの例えば１．５ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ（水柱
１５ｍ）の圧縮空気によってこれを押圧し、計量シリン
ダー１５から上記内管１２内に上記溶液状試薬に溶けて
いる固体の分離沈澱をさけるため短時間に押し出すよう
にする。
【００１３】更に、上記噴霧器１４からの溶液状試薬の
噴霧は上記筒体１を回転しながら行い、同時に上記送風
機からの送風空気を電熱器に通して得た乾燥用送風空気
を上記外管１１の空気吹出し口１３から吹き出すように
し、これらの操作は上記支持台７に設けたコントロール
ボックス１６によって制御できるようにする。
【００１４】なお、上記計量シリンダー１５は支持台７
から取り外して洗浄し別の試薬のために使用できるよう
にし、また必要に応じて筒体１及び外管１１、内管１
２、噴霧器１４等を洗浄可能ならしめるのが好ましい。
【００１５】本発明の有害物質の検知剤製造装置は上記
のような構成であるから、粒状の原料母材を筒体１内に
入れ、この筒体１を例えば毎分１回転せしめれば、原料
母材が邪魔板２によって左右に切り返されて混合され
る。従ってこの筒体１の回転中に一定量の溶液状試薬を
計量シリンダー１５、内管１２及び噴霧器１４を介して
原料母材上に噴霧せしめれば試薬が原料母材に均一に添
加されるようになるからこの一定量の噴霧と同時に、乾
燥用送風空気を外管１１及び空気吹出し口１３から原料
母材に吹き付け試薬を溶解するために用いた溶剤を蒸発
せしめれば、試薬が添加され乾燥されて得られた検知材
を製品として得ることができ、この製品は筒体１の側面
の一部を開いて取り出すことができる。なお、上記筒体
１内に吹き込まれた空気及び発生した有害蒸気は排気口
４を介して排気筒より排気される。
【００１６】
【発明の効果】上記のように本発明の有害物質の検知剤
製造装置によれば検知材の製造を機械化でき人手を省く
ことができ、衛生的であり、その製造は天候に左右され
ず均一な製品を大量に簡単に製造できる。なお、筒体の
回転速度を遅くし、少ない回転数で製品を作るようにす
れば原料母材が粉体化せず原料母材の粒径とほぼ同じも
のを製品とすることができる。又溶液状試薬の噴霧に液
体ポンプを使用せず圧縮空気で噴霧させるので、液体ポ
ンプのメンテナンスや洗浄を必要としない利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の有害物質の検知剤製造装置の側面図で
ある。
【図２】本発明の有害物質の検知剤製造装置の正面図で
ある。
【図３】本発明の有害物質の検知剤製造装置の筒体側壁
の一部の展開説明図である。
【符号の説明】
１ 筒体 ２ 邪魔板 ３ 一端面 ４ 排気口 ５ 他端面 ６ 中空回転軸 ７ 支持台 ８ 支持部 ９ 鎖車 １０ 鎖 １１ 外管 １２ 内管 １３ 空気吹出し口 １４ 噴霧器 １５ 計量シリンダー １６ コントロールボックス

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 活性アルミナやシリカゲルの原料母材を
    入れる回転容器と、この回転容器を回転する手段と、上
    記回転容器に形成した排気口と、上記回転容器内に溶液
    状試薬を噴霧する手段と、上記回転容器内に乾燥用気体
    を吹き込む手段とより成ることを特徴とする有害物質の
    検知剤製造装置。
JP4208575A 1992-07-14 1992-07-14 有害物質の検知剤製造装置 Expired - Lifetime JP2847599B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6497342B2 (en) 2000-11-30 2002-12-24 Mckesson Automated Healthcare, Inc. Medicine feeder

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6387905A (ja) * 1986-09-02 1988-04-19 エタブリスマン・セレス 種子材料の塗膜方法
JPS63267236A (ja) * 1987-04-23 1988-11-04 Fuji Oil Co Ltd 複合チヨコレ−ト及びその製造法
JPH03254829A (ja) * 1990-03-05 1991-11-13 Freunt Ind Co Ltd 造粒コーティング装置およびそれを用いた造粒コーティング方法

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