JPH0634558A - 表面状態検査装置 - Google Patents
表面状態検査装置Info
- Publication number
- JPH0634558A JPH0634558A JP21478492A JP21478492A JPH0634558A JP H0634558 A JPH0634558 A JP H0634558A JP 21478492 A JP21478492 A JP 21478492A JP 21478492 A JP21478492 A JP 21478492A JP H0634558 A JPH0634558 A JP H0634558A
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- JP
- Japan
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- camera
- signal
- inspected
- defective part
- eni
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査面の表面粗さ、或いはカメラ等の検査
装置内の影響によるノイズを除去し、正確な欠陥検出を
行うことのできる表面状態検査装置を提供することであ
る。 【構成】 光度傾斜光源１とカメラ装置２の第１カメラ
21とは被検査面10に対する略垂直面Ａ内に配置されてお
り、第２カメラ22は該略垂直面Ａに対して所定のあおり
角θを有する傾斜面Ｂ内に配置されている。第１カメラ
21からの検出信号Ｅniにおける欠陥部分表示信号Ｅ
21と、第２カメラ22が検出する信号Ｅmiにおける欠陥部
分表示信号Ｅ22とを逆位相の信号形で検出し、画像処理
装置において、第１カメラ21からの検出信号Ｅniから第
２カメラ22からの検出信号Ｅmiを減算処理する（Ｅ＝Ｅ
ni−Ｅmi）ことにより、第１カメラ21からの欠陥部分表
示信号から逆位相である第２カメラ22からの欠陥部分表
示信号を減算するために、欠陥部分表示信号値の絶対値
が加算されて強調されるとともに、他の信号部分のノイ
ズは除去されて、欠陥表示のみが顕著になる。
装置内の影響によるノイズを除去し、正確な欠陥検出を
行うことのできる表面状態検査装置を提供することであ
る。 【構成】 光度傾斜光源１とカメラ装置２の第１カメラ
21とは被検査面10に対する略垂直面Ａ内に配置されてお
り、第２カメラ22は該略垂直面Ａに対して所定のあおり
角θを有する傾斜面Ｂ内に配置されている。第１カメラ
21からの検出信号Ｅniにおける欠陥部分表示信号Ｅ
21と、第２カメラ22が検出する信号Ｅmiにおける欠陥部
分表示信号Ｅ22とを逆位相の信号形で検出し、画像処理
装置において、第１カメラ21からの検出信号Ｅniから第
２カメラ22からの検出信号Ｅmiを減算処理する（Ｅ＝Ｅ
ni−Ｅmi）ことにより、第１カメラ21からの欠陥部分表
示信号から逆位相である第２カメラ22からの欠陥部分表
示信号を減算するために、欠陥部分表示信号値の絶対値
が加算されて強調されるとともに、他の信号部分のノイ
ズは除去されて、欠陥表示のみが顕著になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車の塗装表面等の
被検査面に光を照射し、その反射光から被検査面の欠陥
の有無を検査する表面状態検査装置に関する。
被検査面に光を照射し、その反射光から被検査面の欠陥
の有無を検査する表面状態検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、自動車等の製造ラインにおいて
は、塗装工程で塗装が施された後、塗装された表面の欠
陥を検査する必要があり、この表面状態の検査を人の目
視に頼らずに行う表面検査装置として、例えば、特開昭
62−233710号公報には、被検査面にレーザスリット光を
照射し、その反射光をスクリーン上に投影させて得られ
るスリット像から被検査面の欠陥を検出する検査手段
と、被検査面上の検査位置付近における鮮映性を測定す
る鮮映性測定手段とを備え、測定された鮮映性に応じて
画像処理し、検査手段で検出する最小欠陥寸法を変更す
るものが記載されている。
は、塗装工程で塗装が施された後、塗装された表面の欠
陥を検査する必要があり、この表面状態の検査を人の目
視に頼らずに行う表面検査装置として、例えば、特開昭
62−233710号公報には、被検査面にレーザスリット光を
照射し、その反射光をスクリーン上に投影させて得られ
るスリット像から被検査面の欠陥を検出する検査手段
と、被検査面上の検査位置付近における鮮映性を測定す
る鮮映性測定手段とを備え、測定された鮮映性に応じて
画像処理し、検査手段で検出する最小欠陥寸法を変更す
るものが記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の表面検査装置においては、スクリーン上のスリット
像が明るい細帯状に形成され、例えば、被検査面に欠陥
部として球面状の凹凸がある場合、球面状の欠陥部表面
に小さく明るいスリット像が形成されて検出されるもの
であるが、細いレーザスリット光の反射光であるスリッ
ト像で検出するために、狭い範囲の検査を続けていかな
くてはならず、作業能率を高めることが困難であるとい
う問題があった。そこで、照明の長手方向または幅方
向、或いはその両方向において、明暗または照射光の波
長のどちらか一方、或いはその両方を変化させて光度分
布に強弱をつけた照明（以下、光度傾斜光源という）を
用い、被検査面の広範囲に光度の異なる光を照射し、被
検査面からの反射光をカメラで撮影し、画像処理するこ
とにより、暗い（低い光度に対応する）領域においては
被検査面の欠陥が明るい像として、明るい（高い光度に
対応する）領域においては被検査面の欠陥が暗い像とし
て確認できるようにする、即ち正常な被検査面において
は走査方向の明度変化が光度傾斜光源の光度変化に応じ
た所定の勾配のコントラストラインとして表示でき、欠
陥が在ると勾配が急激に変動する（不連続領域を生じ
る）ことで検出されるものが提案されている。ところ
が、光度傾斜光源を用いた表面状態検査装置において
は、被検査面の表面粗さ、或いはカメラ等の検査装置内
の影響等によるノイズ信号と、欠陥部からの反射光によ
る欠陥部表示信号とが混在しており、欠陥部表示信号の
みを確認することが困難になる等して正確な欠陥検出を
行うことができないという問題があった。
来の表面検査装置においては、スクリーン上のスリット
像が明るい細帯状に形成され、例えば、被検査面に欠陥
部として球面状の凹凸がある場合、球面状の欠陥部表面
に小さく明るいスリット像が形成されて検出されるもの
であるが、細いレーザスリット光の反射光であるスリッ
ト像で検出するために、狭い範囲の検査を続けていかな
くてはならず、作業能率を高めることが困難であるとい
う問題があった。そこで、照明の長手方向または幅方
向、或いはその両方向において、明暗または照射光の波
長のどちらか一方、或いはその両方を変化させて光度分
布に強弱をつけた照明（以下、光度傾斜光源という）を
用い、被検査面の広範囲に光度の異なる光を照射し、被
検査面からの反射光をカメラで撮影し、画像処理するこ
とにより、暗い（低い光度に対応する）領域においては
被検査面の欠陥が明るい像として、明るい（高い光度に
対応する）領域においては被検査面の欠陥が暗い像とし
て確認できるようにする、即ち正常な被検査面において
は走査方向の明度変化が光度傾斜光源の光度変化に応じ
た所定の勾配のコントラストラインとして表示でき、欠
陥が在ると勾配が急激に変動する（不連続領域を生じ
る）ことで検出されるものが提案されている。ところ
が、光度傾斜光源を用いた表面状態検査装置において
は、被検査面の表面粗さ、或いはカメラ等の検査装置内
の影響等によるノイズ信号と、欠陥部からの反射光によ
る欠陥部表示信号とが混在しており、欠陥部表示信号の
みを確認することが困難になる等して正確な欠陥検出を
行うことができないという問題があった。
【０００４】本発明の目的は、被検査面の表面粗さ、或
いはカメラ等の検査装置内の影響によるノイズを除去
し、正確な欠陥検出を行うことのできる表面状態検査装
置を提供することである。
いはカメラ等の検査装置内の影響によるノイズを除去
し、正確な欠陥検出を行うことのできる表面状態検査装
置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の表面状態検査装置は、少なくとも明暗または
照射光の波長のどちらか一方を変化させて光度分布に強
弱をつけた照明である光度傾斜光源から光を被検査面に
照射し、被検査面からの反射光をカメラで撮影し、画像
処理を行って上記反射光の変化状態を検出することによ
り表面状態を検査する表面状態検査装置であって、光度
傾斜光源とその正反射光をとらえる第１のカメラとを被
検査面に対して略垂直面内に配置するとともに、該略垂
直面に対し、所定のあおり角をもった面内に第２のカメ
ラを配置し、第１のカメラの信号Ｅniから第２のカメラ
の信号Ｅmiを減算処理することにより、ノイズを除去し
ながら、欠陥部表示を強調処理する画像処理装置を備え
たものであり、ノイズの影響を受けることなく、正確な
欠陥検出を行うことができる。
に本発明の表面状態検査装置は、少なくとも明暗または
照射光の波長のどちらか一方を変化させて光度分布に強
弱をつけた照明である光度傾斜光源から光を被検査面に
照射し、被検査面からの反射光をカメラで撮影し、画像
処理を行って上記反射光の変化状態を検出することによ
り表面状態を検査する表面状態検査装置であって、光度
傾斜光源とその正反射光をとらえる第１のカメラとを被
検査面に対して略垂直面内に配置するとともに、該略垂
直面に対し、所定のあおり角をもった面内に第２のカメ
ラを配置し、第１のカメラの信号Ｅniから第２のカメラ
の信号Ｅmiを減算処理することにより、ノイズを除去し
ながら、欠陥部表示を強調処理する画像処理装置を備え
たものであり、ノイズの影響を受けることなく、正確な
欠陥検出を行うことができる。
【０００６】
【実施例】実施例を図に基づいて説明すると、図１にお
いて、光度傾斜光源１と、第１カメラ21と第２カメラ22
とを備えたカメラ装置２は、それぞれロボット装置３の
作業アーム４先端に取り付けられた略コ字形の支持金具
５に支持されており、ロボット装置３は基台６上に設置
され、光度傾斜光源１とカメラ装置２を適正位置に保持
するようにロボット装置３の動きを制御するロボットコ
ントローラ７と、カメラ装置２で撮影された画像を処理
して画像データを出力する画像処理プロセッサ８とがロ
ボット装置３に接続され、ロボットコントローラ７と画
像処理プロセッサ８はそれぞれホストコンピュータ９に
接続されており、光度傾斜光源１とカメラ装置２が自動
車の車体等の被検査面10に対して適切な位置関係を保つ
ように制御している。
いて、光度傾斜光源１と、第１カメラ21と第２カメラ22
とを備えたカメラ装置２は、それぞれロボット装置３の
作業アーム４先端に取り付けられた略コ字形の支持金具
５に支持されており、ロボット装置３は基台６上に設置
され、光度傾斜光源１とカメラ装置２を適正位置に保持
するようにロボット装置３の動きを制御するロボットコ
ントローラ７と、カメラ装置２で撮影された画像を処理
して画像データを出力する画像処理プロセッサ８とがロ
ボット装置３に接続され、ロボットコントローラ７と画
像処理プロセッサ８はそれぞれホストコンピュータ９に
接続されており、光度傾斜光源１とカメラ装置２が自動
車の車体等の被検査面10に対して適切な位置関係を保つ
ように制御している。
【０００７】図２において、光度傾斜光源１とカメラ装
置２の第１カメラ21とは被検査面10に対する略垂直面Ａ
内に配置されており、第２カメラ22は該略垂直面Ａに対
して所定のあおり角θを有する傾斜面Ｂ内に配置されて
いる。
置２の第１カメラ21とは被検査面10に対する略垂直面Ａ
内に配置されており、第２カメラ22は該略垂直面Ａに対
して所定のあおり角θを有する傾斜面Ｂ内に配置されて
いる。
【０００８】図３に示すように、第１カメラ21からの検
出信号Ｅniにおける欠陥部分表示信号Ｅ21と、第２カメ
ラ22が検出する信号Ｅmiにおける欠陥部分表示信号Ｅ22
とを逆位相の信号形で検出する。なお、欠陥の無いこと
を確認した被検査面を標準面として、標準面を第１カメ
ラ21のみで検査した標準信号Ｅriを予め求め、所定時間
Δｔ内の平均値Ｅrmを算出し、第１カメラ21からの検出
信号Ｅniから標準信号Ｅriの平均値Ｅrmを減算処理する
ことにより、第１カメラ21からの検出信号Ｅniにおける
ノイズを除去することができる。
出信号Ｅniにおける欠陥部分表示信号Ｅ21と、第２カメ
ラ22が検出する信号Ｅmiにおける欠陥部分表示信号Ｅ22
とを逆位相の信号形で検出する。なお、欠陥の無いこと
を確認した被検査面を標準面として、標準面を第１カメ
ラ21のみで検査した標準信号Ｅriを予め求め、所定時間
Δｔ内の平均値Ｅrmを算出し、第１カメラ21からの検出
信号Ｅniから標準信号Ｅriの平均値Ｅrmを減算処理する
ことにより、第１カメラ21からの検出信号Ｅniにおける
ノイズを除去することができる。
【０００９】本発明においては、画像処理装置即ち画像
処理プロセッサ８において、第１カメラ21からの検出信
号Ｅniから第２カメラ22からの検出信号Ｅmiを減算処理
する（Ｅ＝Ｅni−Ｅmi）ことにより、第１カメラ21から
の欠陥部分表示信号Ｅ21から逆位相である第２カメラ22
からの欠陥部分表示信号Ｅ22を減算するために、欠陥部
分表示の絶対値が加算されて強調されるとともに、他の
信号部分のノイズは減算処理で除去されて、欠陥表示が
顕著になる。
処理プロセッサ８において、第１カメラ21からの検出信
号Ｅniから第２カメラ22からの検出信号Ｅmiを減算処理
する（Ｅ＝Ｅni−Ｅmi）ことにより、第１カメラ21から
の欠陥部分表示信号Ｅ21から逆位相である第２カメラ22
からの欠陥部分表示信号Ｅ22を減算するために、欠陥部
分表示の絶対値が加算されて強調されるとともに、他の
信号部分のノイズは減算処理で除去されて、欠陥表示が
顕著になる。
【００１０】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているか
ら、以下に述べるとおりの効果を奏する。第１カメラか
らの検出信号Ｅniから第２カメラからの検出信号Ｅmiを
減算処理することにより、第１カメラからの欠陥部分表
示信号Ｅ21と第２カメラからの欠陥部分表示信号Ｅ22と
の絶対値が加算されて強調されるとともに、他の信号部
分のノイズは減算処理で除去されて、欠陥表示が顕著に
なり、正確な表面状態検査を行うことができる。
ら、以下に述べるとおりの効果を奏する。第１カメラか
らの検出信号Ｅniから第２カメラからの検出信号Ｅmiを
減算処理することにより、第１カメラからの欠陥部分表
示信号Ｅ21と第２カメラからの欠陥部分表示信号Ｅ22と
の絶対値が加算されて強調されるとともに、他の信号部
分のノイズは減算処理で除去されて、欠陥表示が顕著に
なり、正確な表面状態検査を行うことができる。
【図１】 本発明に係る表面検査装置の斜視図である。
【図２】 本発明に係る表面検査装置の光源とカメラと
の位置関係を示す説明図である。
の位置関係を示す説明図である。
【図３】 本発明に係る表面検査装置における信号処理
の説明図である。
の説明図である。
１ 光度傾斜光源、２ カメラ装置、３ ロボット装
置、４ 作業アーム ５ 支持金具、６ 基台、７ ロボットコントローラ ８ 画像処理プロセッサ、９ ホストコンピュータ、10
被検査面 21 第１カメラ、22 第２カメラ
置、４ 作業アーム ５ 支持金具、６ 基台、７ ロボットコントローラ ８ 画像処理プロセッサ、９ ホストコンピュータ、10
被検査面 21 第１カメラ、22 第２カメラ
Claims (1)
- 【請求項１】 光度傾斜光源から光を被検査面に照射
し、被検査面からの反射光をカメラで撮影し、画像処理
により表面状態を検査する表面状態検査装置であって、
被検査面に対して、光度傾斜光源と、その正反射光をと
らえる第１のカメラを略垂直面内に配置するとともに、
該略垂直面に対し、所定のあおり角をもった面内に第２
のカメラを配置し、第１のカメラの信号から第２のカメ
ラの信号を減算処理することにより、ノイズを除去しつ
つ、欠陥部表示を強調処理する画像処理装置を備えたこ
とを特徴とする表面状態検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21478492A JPH0634558A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 表面状態検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21478492A JPH0634558A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 表面状態検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634558A true JPH0634558A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16661485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21478492A Pending JPH0634558A (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 表面状態検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634558A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0925925A2 (en) | 1997-12-26 | 1999-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for correcting a recording head, correction apparatus therefor, recording head corrected by use of such apparatus, and recording apparatus using such recording head |
| US6094280A (en) * | 1996-11-08 | 2000-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for correcting print density by printhead, printhead corrected by this apparatus, and printing apparatus using this printhead |
| JP2013160531A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Seiko Epson Corp | 検査装置、ロボット装置、検査方法及び検査プログラム |
| JP2014240763A (ja) * | 2013-06-11 | 2014-12-25 | Nok株式会社 | ワーク表面欠陥検査装置 |
-
1992
- 1992-07-21 JP JP21478492A patent/JPH0634558A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6094280A (en) * | 1996-11-08 | 2000-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for correcting print density by printhead, printhead corrected by this apparatus, and printing apparatus using this printhead |
| EP0925925A2 (en) | 1997-12-26 | 1999-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for correcting a recording head, correction apparatus therefor, recording head corrected by use of such apparatus, and recording apparatus using such recording head |
| US6377358B1 (en) | 1997-12-26 | 2002-04-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for correcting a recording head, correction apparatus therefor, recording head corrected by use of such apparatus, and recording apparatus using such recording head |
| JP2013160531A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Seiko Epson Corp | 検査装置、ロボット装置、検査方法及び検査プログラム |
| JP2014240763A (ja) * | 2013-06-11 | 2014-12-25 | Nok株式会社 | ワーク表面欠陥検査装置 |
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