JPH0634440B2 - Method for manufacturing printed wiring board - Google Patents

Method for manufacturing printed wiring board

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JPH0634440B2
JPH0634440B2 JP63111499A JP11149988A JPH0634440B2 JP H0634440 B2 JPH0634440 B2 JP H0634440B2 JP 63111499 A JP63111499 A JP 63111499A JP 11149988 A JP11149988 A JP 11149988A JP H0634440 B2 JPH0634440 B2 JP H0634440B2
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resist ink
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、紫外線硬化型エツチングレジストを用いた、
アルミニウム配線及び銅配線の共存したプリント配線板
の製造方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention uses an ultraviolet-curable etching resist,
The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board in which aluminum wiring and copper wiring coexist.

(従来の技術) プリント配線板としては従来、銅配線を絶縁基板上に形
成したものが主流である。しかし最近は、電子部品の高
密度実装化に伴い、アルミニウム配線と銅配線が同一基
板上に形成されたプリント配線板が、半導体ベアーチッ
プのワイヤーボンデイングによる接続と他の電子部品の
はんだ付が可能なため、注目されて製造されるようにな
つた。
(Prior Art) Conventionally, as a printed wiring board, a copper wiring formed on an insulating substrate has been the mainstream. However, recently, with the high density mounting of electronic components, printed wiring boards with aluminum wiring and copper wiring formed on the same substrate can be connected by wire bonding of semiconductor bare chips and soldering of other electronic components. Therefore, it came to be noticed and manufactured.

しかし従来の銅配線を有するプリント配線板の製造方法
としは、銅張積層板上に熱乾燥型エツチングレジストを
スクリーン印刷により形成し、銅のエツチングを行つた
後、該エツチングレジストを除去する方法が従来取られ
ていた。しかしながら最近では、このエツチングレジス
トに紫外線で硬化するエツチングレジストインクがプリ
ント配線板の生産性を高いため導入されるケースが多く
なつて来ている。
However, as a conventional method for manufacturing a printed wiring board having copper wiring, a method of forming a heat-drying type etching resist on a copper clad laminate by screen printing, performing etching of copper, and then removing the etching resist is performed. It was previously taken. However, recently, there are many cases where an etching resist ink which is cured by ultraviolet rays is introduced into this etching resist because of high productivity of a printed wiring board.

また、これらの熱乾燥型及び紫外線硬化型エツチングレ
ジストは、従来溶剤除去タイプが主流であつたが、近年
アルカリ除去タイプのインクがランニングコストが安い
ことや公害防止の観点から多く採用される様になつてい
る。一方、アルミニウム配線と銅配線を有するプリント
配線板の製造工程としては、レジスト形成、アルミ
ニウムのエツチング、銅のエツチング、レジスト除
去、レジスト形成、アルミニウムのエツチング、
レジスト除去がある。
Further, these heat-drying type and ultraviolet ray-curing type etching resists have conventionally been mainly solvent-removing type, but recently alkali-removing type ink is often adopted from the viewpoint of low running cost and pollution prevention. I'm running. On the other hand, as a manufacturing process of a printed wiring board having aluminum wiring and copper wiring, resist formation, aluminum etching, copper etching, resist removal, resist formation, aluminum etching,
There is resist removal.

ここでのアルミニウムのエツチングには強アルカリを
用いるため、前述のアルカリ除去タイプのインクは用い
ることが出来ない。従つて通常、溶剤除去タイプの加熱
乾燥型エツチングレジストインクが用いられていた。
Since a strong alkali is used for etching aluminum here, the above-mentioned alkali-removable ink cannot be used. Therefore, a solvent-removable heat-drying type etching resist ink has been usually used.

しかしながら、従来この工程と工程のエツチングレ
ジストとして用いられてきた溶剤除去タイプの加熱乾燥
型エツチングレジストインク中には、溶剤が含まれてお
り、印刷中にこのインク中の溶剤が蒸発し、スクリーン
版上のインク粘度が上昇して印刷配線幅が変化し、更に
著るしい場合には該インクが印刷中に乾燥してしまうた
め、スクリーンの目詰りによる転写不良やスクリーンの
異状な伸び等が発生し、印刷不良を生じる原因となつて
いた。
However, the solvent-removable, heat-drying type etching resist ink that has been conventionally used as an etching resist for this step and steps contains a solvent, and the solvent in this ink evaporates during printing, which causes the screen plate The ink viscosity above rises and the width of the printed wiring changes, and in the more significant case, the ink dries during printing, so transfer defects due to clogging of the screen and abnormal stretching of the screen occur. However, this has been a cause of defective printing.

このインク中の溶剤の蒸発を抑える必要から、インク中
の溶剤を高沸点溶剤で置換することが行なわれている
が、乾燥温度を高くし、乾燥時間も長くする必要があ
り、生産性が低下する欠点があつた。
Since it is necessary to suppress the evaporation of the solvent in the ink, the solvent in the ink is replaced with a high boiling point solvent, but it is necessary to raise the drying temperature and lengthen the drying time, which lowers the productivity. There was a drawback.

これらの諸欠点を解決する目的で紫外線硬化型エツチン
グレジストインクが開発されているが、いずれも銅エツ
チング用レジストインクであるため、アルカリ除去タイ
プが主流であり、前述の工程の耐アルカリ性を必要と
されるアルミニウムのエツチングレジストには使用でき
なかつた。
Ultraviolet curing type etching resist inks have been developed for the purpose of solving these various drawbacks, but since all of them are copper etching resist inks, the alkali removal type is the mainstream and requires alkali resistance in the above process. It cannot be used as an etching resist for aluminum.

この他にメツキ用の紫外線硬化型レジストインクも開発
されているが、耐薬品性を重視するため、硬化したイン
クは高度に架橋しており、塩化メチレンで除去すること
が出来ても、最も一般的に用いられている1,1,1−
トリクロロエタンでは除去することができない欠点を有
している。
In addition to this, UV curable resist inks for plating have been developed, but since the chemical resistance is emphasized, the cured inks are highly crosslinked, and even if they can be removed with methylene chloride, they are the most common. 1,1,1-
It has the drawback that it cannot be removed with trichloroethane.

(発明が解決しようとする課題) 本発明はかかる加熱乾燥型エツチングレジストインクと
従来の紫外線硬化型インクの使用では成し得なかつた、
アルミニウム配線及び銅配線を有するプリント配線板の
製造方法を提供するものである。
(Problems to be Solved by the Invention) The present invention could not be achieved by using such a heat-drying type etching resist ink and a conventional ultraviolet-curable ink.
Provided is a method for manufacturing a printed wiring board having aluminum wiring and copper wiring.

本発明者らは前記の欠点に鑑み鋭意検討した結果、硬化
したレジストインキが耐酸性及び耐アルカリ性に優れか
つ、1,1,1−トリクロロエタンで除去し得る紫外線
硬化エツチングレジストインクを用いることにより、生
産性に優れ、不良発生も少ないアルミニウム配線及び銅
配線を有するプリント配線板の製造方法を発明するに至
つた。
As a result of intensive investigations by the present inventors in view of the above drawbacks, the cured resist ink has excellent acid resistance and alkali resistance, and by using an ultraviolet curable etching resist ink that can be removed with 1,1,1-trichloroethane, The inventors have invented a method for manufacturing a printed wiring board having aluminum wiring and copper wiring, which has excellent productivity and few defects.

(課題を解決するための手段) 1. アルミニウム/銅複合箔を積層したプリント配線用
基板のアルミニウム箔面上に 1) 耐酸性でかつ耐アルカリ性の紫外線硬化型エツチン
グレジストインクをスクリーン印刷する工程 2) 次いで該レジストインクを紫外線で硬化物とした
後、アルミニウム/銅複合箔をエツチングする工程 3) 主成分として炭素原子2個を有する含塩素系有機溶
剤で前記エツチングレジストインク硬化物を除去し配線
パターンを形成する工程 4) 前記工程1)〜3)で形成した配線パターン上の任意の
部分に耐アルカリ性の紫外線硬化型エッチングレジスト
インクをスクリーン印刷する工程 5) 次いで該レジストインクを紫外線で硬化物とした
後、強アルカリ性のエツチング液で前記配線パターン上
のアルミニウム箔を選択エツチングする工程 6) 更に主成分として炭素原子2個を有する含塩素有機
溶剤で前記エツチングレジストインク硬化物を除去する
工程 の少なくとも6工程を有することを特徴とするプリント
配線板の製造方法である。
(Means for Solving the Problems) 1. On a surface of an aluminum foil of a printed wiring board on which an aluminum / copper composite foil is laminated 1) A step of screen-printing an acid-resistant and alkali-resistant ultraviolet-curable etching resist ink 2 Next, after the resist ink is cured with ultraviolet rays, the aluminum / copper composite foil is etched. 3) The etching resist ink cured product is removed with a chlorine-containing organic solvent having two carbon atoms as a main component to remove wiring. Step of forming pattern 4) Step of screen-printing an alkali-resistant ultraviolet curable etching resist ink on an arbitrary portion on the wiring pattern formed in steps 1) to 3) 5) Then, curing the resist ink with ultraviolet rays After that, a process of selectively etching the aluminum foil on the wiring pattern with a strong alkaline etching liquid (6) A method for producing a printed wiring board, which further comprises at least 6 steps of removing the cured product of the etching resist ink with a chlorine-containing organic solvent having two carbon atoms as a main component.

次に本発明のプリント配線板の製造方法について更に詳
しく説明する。
Next, the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention will be described in more detail.

本発明に言う、アルミニウム配線を形成させるにはアル
ミニウム/銅複合箔を積層したプリント配線用基板を用
いる。このアルミニウム/銅複合箔の例としてはアルミ
ニウム箔と銅箔のクラツド箔もしくはアルミニウム箔に
銅をメツキした箔、更にはアルミニウム箔と銅メツキ箔
の間に異種金属のメツキが施された箔がある。
In order to form the aluminum wiring according to the present invention, a printed wiring board on which aluminum / copper composite foil is laminated is used. Examples of this aluminum / copper composite foil are a cladding foil of aluminum foil and copper foil, a foil in which copper is plated on the aluminum foil, and a foil in which dissimilar metal plating is applied between the aluminum foil and the copper plating foil. .

これらの複合箔を接合する基板材料としては、フエノー
ル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル
樹脂等の有機材料もしくは、これらの有機材料にガラス
繊維やフイラーを充てんした複合材料があり、必要に応
じて該複合箔に接着剤を用いて接合する。
As a substrate material for bonding these composite foils, there are organic materials such as phenol resin, epoxy resin, polyimide resin, polyester resin, or composite materials in which glass fibers or fillers are filled in these organic materials, and as necessary. The composite foil is bonded with an adhesive.

更に基板材料としては、アルミニウム、鉄、ステンレス
等の金属材料があり、前述の複合箔をエポキシ系樹脂等
の接着剤を用いて絶縁を保つて接合することにより、複
合箔を積層したプリント配線用基板を作ることができ
る。
Further, as the substrate material, there are metal materials such as aluminum, iron, and stainless steel, and for the printed wiring in which the composite foil is laminated by joining the above-mentioned composite foil with an adhesive such as an epoxy resin while maintaining insulation. The substrate can be made.

次に本発明で言う第1の工程は、耐酸性でかつ耐アルカ
リ性の紫外線硬化型エツチングレジストを先に記したプ
リント配線用基板のアルミニウム箔面上にスクリーン印
刷するものである。またアルミニウム箔面上は、スクリ
ーン印刷に先立つて脱脂やバフ研摩等により表面処理し
た方がエツチングレジストとの密着信頼性を確保する上
で好ましい。脱脂方法は通常アルミニウム面上を脱脂す
る時に用いられる、アルカリ脱脂、酸脱脂、溶剤脱脂で
良い。
Next, the first step referred to in the present invention is to screen print an acid- and alkali-resistant ultraviolet-curable etching resist on the aluminum foil surface of the printed wiring board described above. Further, it is preferable that the surface of the aluminum foil surface is subjected to a surface treatment by degreasing, buffing or the like prior to the screen printing in order to secure the adhesion reliability with the etching resist. The degreasing method may be alkali degreasing, acid degreasing, or solvent degreasing, which is usually used when degreasing an aluminum surface.

この工程で用いられる耐酸性でかつ耐アルカリ性の紫外
線硬化型エツチングレジストインクは、硬化したレジ
ストがアルミニウム箔のエツチングで用いられる強アル
カリ性のエツチング液に耐えること及び該アルミニウ
ムエツチング後の強酸性の銅エツチング液に硬化したレ
ジストが耐えること、更にはこのアルミニウムのエツ
チング液と銅のエツチング液に晒された後のレジスト
が、工業的にもよく用いられており、毒性も少ない1,
1,1−トリクロロエタンにて除去できることが必要と
なる。
The acid-resistant and alkali-resistant UV-curable etching resist ink used in this step is such that the cured resist resists the strong alkaline etching liquid used in the etching of aluminum foil, and the strong acid copper etching after the aluminum etching. The resist hardened by the liquid resists, and the resist after being exposed to the aluminum etching liquid and the copper etching liquid is often used industrially and has low toxicity.
It needs to be removable with 1,1-trichloroethane.

この用途に用いることのできる紫外線硬化型エツチング
レジストインクの例としては、単官能のオリゴエステ
ルアクリレート(例えば 等がある。ここでnは、通常1〜3であるが特に限定す
るものではない。またベンゼン核にアルキル置換基を有
するものも使用できる。)及び1,1,1−トリクロ
ロエタンに可溶でかつ、耐酸性及び耐アルカリ性のオリ
ゴマーもしくはポリマー、(例えばメチルメタクリレー
トオリゴマー、アルキツド樹脂、スチレンとアクリル酸
エステルとの共重合体等)及びタルク等の無機フイラ
ー、更には光増感剤の4成分を少なくとも主成分とす
るものがある。
Examples of UV-curable etching resist inks that can be used for this purpose include monofunctional oligoester acrylates (for example, Etc. Here, n is usually 1 to 3, but is not particularly limited. Also, those having an alkyl substituent in the benzene nucleus can be used. ) And 1,1,1-trichloroethane-soluble and acid- and alkali-resistant oligomers or polymers (for example, methyl methacrylate oligomers, alkyd resins, copolymers of styrene and acrylic acid esters, etc.) and talc, etc. There are inorganic fillers, and further, those containing at least four components of a photosensitizer as main components.

次に本発明で言う第2の工程は、該レジストインクを紫
外線で硬化し、その後、強アルカリ性のエツチング液で
該アルミニウム箔を配線パターン状にエツチングし、さ
らに該レジストを除去することなく、更に銅のみをエツ
チングする選択エツチング剤で該アルミニウム配線以外
の銅箔をエツチングする工程である。
Next, in the second step referred to in the present invention, the resist ink is cured with ultraviolet rays, and then the aluminum foil is etched into a wiring pattern with a strongly alkaline etching liquid, and the resist is further removed without removing the resist. This is a step of etching a copper foil other than the aluminum wiring with a selective etching agent that etches only copper.

本工程の紫外線硬化は、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メ
タルハライドランプ等の紫外線ランプを装備した市販の
紫外線照射炉で行なえる。またランプの選定は、紫外線
硬化型エツチングインクに含まれる光増感剤の吸収波長
によつて行なう。
The ultraviolet curing in this step can be performed in a commercially available ultraviolet irradiation furnace equipped with an ultraviolet lamp such as a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, and a metal halide lamp. The lamp is selected according to the absorption wavelength of the photosensitizer contained in the ultraviolet curable etching ink.

また本工程のアルミニウム箔のエツチングは、苛性ソー
ダ、苛性カリ等の無機の強アルカリ性化合物の水溶液に
各種添加剤を入れたものが用いられ、その特徴はアルミ
ニウム箔をエツチングし、銅はエツチングしない選択エ
ツチング剤にある。
In addition, the etching of the aluminum foil in this step is carried out by adding various additives to an aqueous solution of an inorganic strong alkaline compound such as caustic soda and caustic potash. It is in.

この強アルカリ性の無機化合物の濃度は、5〜30重量
%が用いられる。またこのエツチング液は、液の粘度を
低下させエツチング時スプレーをし易くする意味とエツ
チングスピードを上げる意味から、通常40゜〜70℃
に加熱して用いられる。この強アルカリ性の無機化合物
の濃度が5重量%未満であると加熱してもエツチングス
ピードが遅く、また30重量%を超えると加熱しても液
が高粘度になり均一なスプレーがし難くなる。
The concentration of this strongly alkaline inorganic compound is 5 to 30% by weight. The etching liquid is usually 40 ° to 70 ° C. in order to reduce the viscosity of the liquid to facilitate spraying during etching and to increase the etching speed.
Used by heating to. If the concentration of the strongly alkaline inorganic compound is less than 5% by weight, the etching speed is slow even when heated, and if it exceeds 30% by weight, the liquid becomes highly viscous even if heated and uniform spraying becomes difficult.

次に本工程に用いるアルミニウム箔をエツチングせず、
銅箔のみを選択的にエツチングする選択エツチング剤に
は、硫酸−過酸化水素系エツチング剤、もしくは過硫酸
アンモニウムや過硫酸ソーダの過硫酸塩の水溶液が用い
られる。
Next, without etching the aluminum foil used in this step,
As a selective etching agent for selectively etching only the copper foil, a sulfuric acid-hydrogen peroxide type etching agent or an aqueous solution of persulfate of ammonium persulfate or sodium persulfate is used.

さらに本発明に言う第3の工程は、第2の工程を終えた
エツチングレジスト付の基板を、主成分が炭素原子2個
を有する含塩素系有機溶剤で洗浄し、該レジストインク
を除去することにある。ここで炭素原子2個を有する含
塩素系有機溶剤とは、1,1,1−トリクロロエタン、
トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン等であり、
毒性の点から1,1,1−トリクロロエタンが好まし
い。
The third step of the present invention is to remove the resist ink by cleaning the etching resist-attached substrate after the second step with a chlorine-containing organic solvent whose main component is 2 carbon atoms. It is in. Here, the chlorine-containing organic solvent having two carbon atoms means 1,1,1-trichloroethane,
Such as trichlorethylene and tetrachloroethylene,
From the point of toxicity, 1,1,1-trichloroethane is preferable.

本発明における第4の工程は、工程1〜3で形成した配
線パターン上に少なくとも耐アルカリ性を有する紫外線
硬化型エツチングレジストインクをスクリーン印刷する
工程である。ここで使用する紫外線硬化型エツチングレ
ジストインクは、工程を用いた耐酸性・耐アルカリ性
の紫外線硬化型エツチングレジストインクをそのまま用
いることができるし、また耐アルカリ性タイプの紫外線
硬化型エツチングレジストインクであつてもよい。
The fourth step of the present invention is a step of screen-printing an ultraviolet-curable etching resist ink having at least alkali resistance on the wiring pattern formed in steps 1-3. The UV-curable etching resist ink used here can be the acid-resistant / alkali-resistant UV-curable etching resist ink used in the process as it is, or the alkali-resistant type UV-curable etching resist ink. Good.

本発明における第5の工程は、該レジストインクを紫外
線硬化後、第2の工程で用いた強アルカリ性のアルミニ
ウムエツチング液で該配線パターンのアルミニウム箔を
必要に応じてパターン状に選択エツチングすることであ
る。この工程を経ることにより銅箔がパターン状に形成
され、半田付部分に用いることができる銅配線部が形成
される。
In the fifth step of the present invention, after the resist ink is cured by ultraviolet rays, the aluminum foil of the wiring pattern is selectively etched in a pattern form as necessary with the strongly alkaline aluminum etching liquid used in the second step. is there. Through this step, the copper foil is formed in a pattern, and the copper wiring portion that can be used for the soldering portion is formed.

更に本発明における第6の工程は、主成分として炭素原
子2個を有する含塩素系有機溶剤で該エツチングレジス
トインクを除去するものであり、本発明の第3の工程と
同じレジスト除去工程である。
Further, the sixth step of the present invention is to remove the etching resist ink with a chlorine-containing organic solvent having two carbon atoms as a main component, which is the same resist removal step as the third step of the present invention. .

本発明におけるプリント配線板は、後加工としてはんだ
レジスタ形成、プレス打抜等の機械加工が通常行なわれ
る。
The printed wiring board in the present invention is usually subjected to mechanical processing such as solder register formation and press punching as post processing.

(実施例) 次に本発明の実施例を説明する。(Example) Next, the Example of this invention is described.

実施例1 第1図に示す大きさが200×200mm、厚さ1.0mm
のアルミニウム板1上に80μmの厚みを有するエポキ
シ系樹脂絶縁層2を介して、40μmのアルミニウム箔
4と10μmの銅箔3の複合箔をアルミニウム箔4の面
を上にして接合したプリント配線用基板200枚を使用
した。
Example 1 The size shown in FIG. 1 is 200 × 200 mm and the thickness is 1.0 mm.
For a printed wiring in which a composite foil of 40 μm aluminum foil 4 and 10 μm copper foil 3 is bonded on the aluminum plate 1 through an epoxy resin insulating layer 2 having a thickness of 80 μm with the surface of the aluminum foil 4 facing up. 200 substrates were used.

まず基板の裏面のアルミニウムがエツチング液に侵かさ
れない様に粘着剤付フイルム5で保護した(第1図)。
アルカリ脱脂剤でアルミニウム箔4面を脱脂後、耐酸性
かつ耐アルカリ性のアクリル系紫外線硬化型エツチング
レジストインク6を用いて自動印刷機で200枚の連続
印刷を行つた(第2図)。尚この印刷に用いたスクリー
ン版は、300メツシユのポリエステル製スクリーンで
あり、使用パターンは、最小線幅50μmで50μmず
つ太くなつた、線幅・線間隔が同じ4本のL字状配線を
200×200mmのサイズに10行10列配置したもの
(最大線幅は300μm)である。インクの粘度上昇は
200枚印刷後で約10%であつた。(以下、プリント
配線用基板に回路を形成し、最終的にプリント配線板と
するまでの途中の工程にあるものを基板という) 印刷した基板は即4.0m/mmのコンベアスピードを有
し、80W3燈の高圧水銀灯を装備した紫外線照射装置
へ投入し、硬化した。印刷からレジスト硬化までに要し
た時間は40分であつた。
First, the aluminum on the back surface of the substrate was protected by a film 5 with an adhesive so as not to be attacked by the etching liquid (Fig. 1).
After degreasing the aluminum foil 4 surface with an alkaline degreasing agent, 200 sheets were continuously printed by an automatic printing machine using acid- and alkali-resistant acrylic UV-curable etching resist ink 6 (FIG. 2). The screen plate used for this printing was a polyester screen of 300 mesh, and the pattern used was four L-shaped wirings with the same line width and line spacing of 50 μm each thickened by 50 μm. It is arranged in 10 rows and 10 columns in a size of × 200 mm (the maximum line width is 300 μm). The increase in ink viscosity was about 10% after printing 200 sheets. (Hereinafter, what is in the process of forming a circuit on a printed wiring board and finally forming a printed wiring board is called a board.) The printed board has a conveyor speed of 4.0 m / mm immediately, It was put into an ultraviolet irradiation device equipped with a high pressure mercury lamp of 80 W3 and cured. The time required from printing to resist curing was 40 minutes.

レジストを硬化した基板を顕微鏡で検査した結果、パタ
ーンの解像性は大変良く、150μmの線が解像できて
いた。またスクリーンの目詰り等の不良は皆無であつ
た。設計幅250μmの線幅を50枚目ごとに測定し
た、ところ270μm±15μmの範囲内に入つてお
り、安定した印刷が出来ていた。
As a result of inspecting the substrate on which the resist was cured with a microscope, the resolution of the pattern was very good, and 150 μm lines could be resolved. Moreover, there were no defects such as clogging of the screen. A line width with a design width of 250 μm was measured for every 50th sheet, and it was within a range of 270 μm ± 15 μm, and stable printing was achieved.

次に紫外線硬化したエツチングレジスト付6基板に、苛
性ソーダ20重量%他を含む強アルカリ性の水溶液を6
0℃で2分間スプレーし、複合箔のアルミニウム箔4を
パターン状にエツチングしアルミニウム配線8を得た
(第3図)。その後、基板を水洗乾燥し、次に銅の選択
エツチング剤である硫酸を20容量%及びパーマエツチ
(荏原電産(株)商品名、過酸化水素を5重量%含有す
る)を10容量%混合したエツチング液で54℃1分間
スプレーエツチングし銅配線7を得、その後水洗乾燥し
た(第4図)。
Next, a strong alkaline aqueous solution containing 20% by weight of caustic soda and the like was added to 6 UV-cured etching resist-coated 6 substrates.
After spraying for 2 minutes at 0 ° C., the aluminum foil 4 of the composite foil was etched in a pattern to obtain an aluminum wiring 8 (FIG. 3). Then, the substrate was washed with water and dried, and then 20% by volume of sulfuric acid, which is a selective etching agent for copper, and 10% by volume of PermaEtchi (trade name of Ebara Densan Co., Ltd., containing 5% by weight of hydrogen peroxide) were mixed. The copper wiring 7 was obtained by spray etching with an etching liquid at 54 ° C. for 1 minute, followed by washing with water and drying (FIG. 4).

その後、本発明の第3の工程である、1,1,1−トリ
クロロエタンを室温でスプレーして、該エツチングレジ
スト6を剥離した(第5図)。得られたアルミニウム配
線8の配線幅250μmの配線の顕微鏡検査では、エツ
チング中の有害なレジスト剥れの跡はなく、また配線上
のレジストの残存もなかつた。
Then, the etching resist 6 was peeled off by spraying 1,1,1-trichloroethane at room temperature, which is the third step of the present invention (FIG. 5). Microscopic inspection of the obtained wiring having a wiring width of 250 μm of the aluminum wiring 8 showed no harmful traces of resist peeling during etching, and no resist remained on the wiring.

次に第4の工程として、出来上つたアルミニウム配線8
上に同じスクリーン版、同じ配線パターン、同じ紫外線
硬化型エツチングレジストインク6を用いた該配線パタ
ーンが部分的に直交する様にエツチングレジストインク
6を200枚の基板に連続印刷した(第6図)。
Next, as a fourth step, the finished aluminum wiring 8 is formed.
Using the same screen plate, the same wiring pattern, and the same UV-curable etching resist ink 6 as above, the etching resist ink 6 was continuously printed on 200 substrates so that the wiring patterns were partially orthogonal (FIG. 6). .

印刷した基板は、即、紫外線硬化装置を通し、レジスト
インク6を硬化させた。硬化したレジストインク6は、
顕微鏡で検査した結果、40μmの厚みを有するアルミ
ニウム配線8に直交した部分のレジストイン6には有害
な断線やにじみがなかつた。
The printed substrate was immediately passed through an ultraviolet curing device to cure the resist ink 6. The cured resist ink 6 is
As a result of inspection with a microscope, no harmful disconnection or bleeding was found in the resist-in 6 in the portion orthogonal to the aluminum wiring 8 having a thickness of 40 μm.

次に紫外線硬化したエツチングレジスト6付基板を苛性
ソーダ20重量%他を含む強アルカリ性の水溶液を60
℃で2分間スプレーし、複合箔のアルミニウム配線8を
パターン状にエツチングした(第7図)。その後基板は
水洗乾燥し、1,1,1−トリクロロエタンを室温でス
プレーして、該エツチングレジスト6を剥離した(第8
図)。
Next, the UV-cured substrate with the etching resist 6 is treated with a strong alkaline aqueous solution containing 20% by weight of caustic soda and the like.
The aluminum wiring 8 of the composite foil was etched in a pattern by spraying at 2 ° C. for 2 minutes (FIG. 7). After that, the substrate was washed with water and dried, and 1,1,1-trichloroethane was sprayed at room temperature to remove the etching resist 6 (eighth embodiment).
Figure).

最終的に得られたアルミニウム配線8と銅配線7からな
る混合配線の配線幅250μmの配線の顕微鏡検査で
は、エツチング中の有害なレジスト剥れはなく、また配
線上のレジストの残存もなかつた。
Microscopic examination of the finally obtained mixed wiring consisting of the aluminum wiring 8 and the copper wiring 7 with a wiring width of 250 μm showed no harmful resist peeling during etching, and no resist remained on the wiring.

比較例1 実施例1と同じプリント配線用基板を用い、第1の工程
として熱乾燥型レジストインクで強アルカリ耐性のある
MR−500(アサヒ化研社製)を使用して、スクリー
ン印刷を実施例1と同様200枚連続して行つたとこ
ろ、10枚目までの印刷においてはインクの出が悪かつ
た。更に50〜100枚目では良好な印刷が出来たもの
の、100枚目以降ではインクのかすれが出始めた。印
刷後のインクの粘度上昇は約200%であつた。
Comparative Example 1 Using the same printed wiring board as in Example 1, MR-500 (manufactured by Asahi Kaken Co., Ltd.) having strong alkali resistance with a heat-drying type resist ink was used as the first step for screen printing. When 200 sheets were continuously printed in the same manner as in Example 1, ink was poorly discharged in printing up to the 10th sheet. Further, although good printing was achieved on the 50th to 100th sheets, ink fading started to appear on the 100th and subsequent sheets. The increase in the viscosity of the ink after printing was about 200%.

次に110℃で10分間、送風乾燥機で乾燥の後、印刷
した配線を顕微鏡で検査したところ、良好に印刷できた
基板でも解像できた配線幅は最小200μmであり、そ
の他の基板ではインクのかすれが多く、悪い基板では断
線した配線も見られた。
Next, after drying with a blast dryer for 10 minutes at 110 ° C., the printed wiring was inspected with a microscope. As a result, the wiring width that could be resolved even with a well printed board was 200 μm minimum, and with other boards, ink There was a lot of fading, and some wirings were broken on bad boards.

印刷から乾燥までに要した時間は60分であつたが、実
際のプリント配線板の製造においてはインクのかすれが
生じると製品にならないため、一担印刷をストツプし、
版を溶剤で拭くため、作業時間は大幅に増え、生産性が
低下することになる。
The time required from printing to drying was 60 minutes, but in the actual manufacture of printed wiring boards, if ink fading occurs, it will not be a product, so stop printing
Since the plate is wiped with a solvent, the working time is significantly increased and the productivity is reduced.

尚、実施例1と同条件でアルミニウムエツチングと銅の
エツチングをし1,1,1−トリクロロエタンでレジス
トを除去した後の検査ではエツチング時の異常なレジス
トの剥れは見出せなかつた。
In the inspection after etching aluminum and copper under the same conditions as in Example 1 and removing the resist with 1,1,1-trichloroethane, no abnormal resist peeling during etching was found.

次に実施例1の第4の工程と同じことを紫外線硬化型エ
ツチングレジストインクを加熱乾燥型レジストインクM
R−500(アサヒ化研社製)に変えて行つた。その結
果、第1の工程と同様インクの粘度上昇がみられ、印刷
したレジストインクによる配線パターンにも部分的なか
すれが見られた。その後第5の工程として実施例1と同
様にアルミニウム箔をエツチングし、更に1,1,1−
トリクロロエタンでレジストを除去した。レジストがか
すれた部分はアルミニウム箔がエツチングされ、不良プ
リント配線板となつた。
Next, the same process as in the fourth step of Example 1 was carried out by using an ultraviolet curing type etching resist ink as a heat drying type resist ink M.
R-500 (manufactured by Asahi Kaken Co., Ltd.) was used. As a result, an increase in the viscosity of the ink was observed as in the first step, and partial blurring was observed in the printed wiring pattern of the resist ink. Then, as a fifth step, the aluminum foil is etched in the same manner as in Example 1, and 1,1,1-
The resist was removed with trichloroethane. The part where the resist was faint was etched with an aluminum foil, resulting in a defective printed wiring board.

(発明の効果) 以上のとおり本発明は、硬化膜が耐酸性及び耐アルカリ
性と特殊な溶剤への溶解性を有する紫外線硬化型エツチ
ングレジストインクを用いた、アルミニウム配線及び銅
配線を有するプリント配線板の製造方法であり、生産性
及び信頼性の両方が高い特徴を有するものである。
(Effects of the Invention) As described above, the present invention is a printed wiring board having an aluminum wiring and a copper wiring, which uses an ultraviolet curing type etching resist ink whose cured film has acid resistance and alkali resistance and solubility in a special solvent. And has high productivity and reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図〜第8図は、実施例1におけるプリント配線板の
製造工程を説明するための模式図であり、第1〜第5図
は部分拡大した断面図、第6〜第8図は部分拡大した平
面図である。 符号1……アルミニウム板 2……絶縁層 3……銅箔 4……アルミニウム箔 5……保護フイルム 6……エツチングレジストインク 7……銅配線 8……アルミニウム配線
1 to 8 are schematic views for explaining the manufacturing process of the printed wiring board in Example 1, FIGS. 1 to 5 are partially enlarged cross-sectional views, and FIGS. 6 to 8 are partial views. It is an enlarged plan view. Reference numeral 1 ... Aluminum plate 2 ... Insulating layer 3 ... Copper foil 4 ... Aluminum foil 5 ... Protective film 6 ... Etching resist ink 7 ... Copper wiring 8 ... Aluminum wiring

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−284991(JP,A) 特開 昭55−30840(JP,A) 特開 昭61−276394(JP,A) 特開 昭54−122878(JP,A) 特公 昭47−33642(JP,B1) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP 61-284991 (JP, A) JP 55-30840 (JP, A) JP 61-276394 (JP, A) JP 54- 122878 (JP, A) Japanese Patent Sho 47-33642 (JP, B1)

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】アルミニウム/銅複合箔を積層したプリン
ト配線用基板のアルミニウム箔面上に 1) 耐酸性でかつ耐アルカリ性の紫外線硬化型エッチン
グレジストインクをスクリーン印刷する工程 2) 次いで該レジストインクを紫外線で硬化物とした
後、アルミニウム/銅複合箔をエッチングする工程 3) 主成分として炭素原子2個を有する含塩素系有機溶
剤で前記エッチングレジストインク硬化物を除去し配線
パターンを形成する工程 4) 前記工程1)〜3)で形成した配線パターン上の任意の
部分に耐アルカリ性の紫外線硬化型エッチングレジスト
インクをスクリーン印刷する工程 5) 次いで該レジストインクを紫外線で硬化物とした
後、強アルカリ性のエッチング液で前記配線パターン上
のアルミニウム箔を選択エッチングする工程 6) 更に主成分として炭素原子2個を有する含塩素有機
溶剤で前記エッチングレジストインク硬化物を除去する
工程 の少なくとも6工程を有することを特徴とするプリント
配線板の製造方法。
1. A step of screen-printing an acid-resistant and alkali-resistant ultraviolet-curable etching resist ink on an aluminum foil surface of a printed wiring board on which an aluminum / copper composite foil is laminated. Step of etching aluminum / copper composite foil after being cured with ultraviolet rays 3) Step of removing the etching resist ink cured material with a chlorine-containing organic solvent having two carbon atoms as a main component to form a wiring pattern 4 ) Screen-printing an alkali-resistant UV-curable etching resist ink on an arbitrary portion on the wiring pattern formed in steps 1) to 3) 5) Next, after the resist ink is cured with ultraviolet rays, it is strongly alkaline. Selective etching of aluminum foil on the wiring pattern with the etching solution of 6) And at least 6 steps of removing the etching resist ink cured product with a chlorine-containing organic solvent having 2 carbon atoms.
【請求項2】プリント配線用基板が金属板上の少なくと
も一主面上に絶縁層を介して積層されていることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載のプリント配線板の製
造方法。
2. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the printed wiring board is laminated on at least one main surface of the metal plate with an insulating layer interposed therebetween.
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