JPH06341804A

JPH06341804A - 平面度測定用治具

Info

Publication number: JPH06341804A
Application number: JP12964393A
Authority: JP
Inventors: Seishi Shiga; 清史志賀; Masatoshi Nakamura; 政俊中村
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1993-05-31
Filing date: 1993-05-31
Publication date: 1994-12-13
Anticipated expiration: 2015-02-28
Also published as: JP3013349B2

Abstract

(57)【要約】【目的】平面度を簡易的に測る。【構成】基台１上に、円盤状の回転台６を水平に回転
自在に支持する。この回転台６の上面側に３つのジャッ
キ台17を設ける。これらジャッキ台17は、それぞれ回転
台６の 120°ずつ離れた半径に沿って移動できる。各ジ
ャッキ台17には、ジャッキ21を昇降可能に設けてある。
測定時、３つのジャッキ21上にワークＷを載せる。この
とき、ワークＷの中心を回転台６の回転軸に一致させ
る。ワークＷの上面に測定装置の測定子26を接触させ、
まず３点で０点調節する。ついで、相対的にワークＷの
上面に沿って測定子26を移動させ、ワークＷの上面の高
さを測る。このとき、測定子26は水平に動かさず、回転
台６を回す。【効果】ワークＷの中心を回転台６の回転軸に一致さ
せるのは容易である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、平面度測定に際してワ
ークを支持する平面度測定用治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば工場において、加工したワ
ークの平面度を測定する場合、定盤上に３個の豆ジャッ
キを取り付け、これら豆ジャッキ上にワークを載せ、測
定すべきこのワークの上面に沿って測定装置の針状測定
子を移動させる方法が採られていた。より詳しく説明す
ると、まず豆ジャッキ上にワークを載せてから、各豆ジ
ャッキの上方位置でワーク上に測定子を接触させ、豆ジ
ャッキを上下させて、０点調節する。すなわち、各豆ジ
ャッキを上下させて、それに対応する３点で、測定装置
が示す測定子の高さを所定高さにし、ワークの上面の理
想平面を決める。ついで、測定子をワークに沿って水平
に移動させる。このとき、測定子は、ワークの上面の高
低に応じて上下し、これにより、ワーク上面の各点の高
さが測定される。それに基づいて、ワークの上面の平面
度が求められる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の測
定方法では、位置が固定しているジャッキ上にワークを
載せ、このワークに対して測定装置の測定子を移動させ
ていたため、ワークの正確な芯出しが必要で、ワークの
位置決めが面倒である問題があった。ワークの位置を正
確に設定しないと、予め設定されている測定子の水平方
向の移動軌跡がワークの上面の所定位置にこないととも
に、各ワークで測定条件が同一にならない。また、場合
によっては、測定子がワークから外れるおそれがあっ
た。そして、位置決めの面倒のために、平面度の測定に
２人の作業者を要していた。

【０００４】本発明は、このような問題点を解決しよう
とするもので、特にワークの位置決めが容易で、ワーク
の平面度を簡易的に測定できる平面度測定用治具を提供
することを目的とする。さらに、この平面度測定装置に
おいて、ワークの位置決めをよりいっそう簡単かつ確実
なものとすることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明の平面度
測定用治具は、前記前者の目的を達成するために、基台
と、この基台上に水平に回転自在に支持された回転台
と、この回転台上に放射状に設けられ回転台の径方向へ
移動可能な３つのジャッキ台と、これらジャッキ台上に
それぞれ昇降可能に設けられたジャッキとを備えたもの
である。

【０００６】さらに、請求項２の発明の平面度測定用治
具は、前記後者の目的を達成するために、各ジャッキ台
間に位置して回転台上に設けられた複数の鉛直な位置決
め部材を備え、これら位置決め部材は、ジャッキよりも
回転台の径方向外側に位置しているとともに高く位置し
ており、共通する駆動機構により回転台の回転軸からの
距離を等しく保ちながら回転台の径方向へ移動可能なも
のである。

【０００７】

【作用】請求項１の発明の平面度測定用治具では、平面
度を測定するとき、３つのジャッキ上にワークを載せ
る。このとき、ワークの中心が回転台の回転軸にほぼ一
致するようにするが、この位置決めがなされているかど
うかは、回転台を回してみると、おおよそ確かめられ
る。そして、各ジャッキの上方位置で、ワーク上に測定
装置の測定子を接触させ、ジャッキを上下させて、０点
調節する。このとき、測定子の水平方向の位置は固定の
まま、基台上の回転台を回転させることにより、各ジャ
ッキを測定子の下方位置にもってくる。ついで、やはり
回転台を回転させることにより、測定子をワークに沿っ
て水平に移動させる。このとき、測定子は、ワークの上
面に対して、相対的に回転台の回転軸を中心とする一円
周に沿って移動することになる。こうして、ワーク上面
の各点の高さを測定し、それに基づいて、ワークの上面
の平面度を求める。なお、ジャッキ台を回転台に対して
その径方向に位置調節することにより、ワークの大きさ
の違いにも対応できる。

【０００８】さらに、請求項２の発明の平面度測定用治
具では、外形が円形のワークを３つのジャッキ上に載せ
た後、駆動機構により、各ジャッキ間の位置決め部材を
回転台の回転軸の方へ移動させ、ワークの外周に接触さ
せる。このとき、複数ある位置決め部材は、回転台の回
転軸からの距離を等しく保ちながら移動し、したがっ
て、全位置決め部材がワークの外周に接触した状態で
は、このワークは、その中心が回転台の回転軸に一致す
るように位置決めされている。この状態で、前述のよう
にして平面度を測定する。そして、次に測定するワーク
が前のワークと同種のものならば、前のままの状態の位
置決め部材間にワークを入れて、ジャッキ上に載せれ
ば、それでワークが位置決めされることになる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の平面度測定用治具の第１実施
例について、図１から図３を参照しながら説明する。１
は水平な円盤状の基台で、この基台１の上面周辺部に
は、短い円筒状部２が鉛直に突出形成されている。さら
に、この円筒状部２の内周側に同心的に位置して基台１
上には、内周受け筒３が固定されている。この内周受け
筒３は、鉛直な円筒状で、円筒状部２よりも高く位置し
ているが、外周面上部はテーパー面４になっている。６
は水平な円盤状の回転台で、この回転台６は、前記基台
１上に水平に回転自在に支持されたものである。そのた
めに、回転台６の下面周辺部には、短い円筒状部７が鉛
直に突出形成されている。さらに、この円筒状部７の内
周側に同心的に位置して回転台６の下面には、外周受け
筒８が固定されている。この外周受け筒８は、鉛直な円
筒状で、円筒状部７よりも低く位置しており、前記基台
１の円筒状部２の外周側に位置するものである。そし
て、円筒状部２，７間に軸方向に、また、受け筒３，８
間に径方向に多数のボール11，12を介在させて、基台１
上に回転台６が水平に回転自在に支持されている。ボー
ル11，12は、径が５mmのものと４mmのものとがあり、一
円周に沿ってほぼ密に並んでいる。大きいボール11は、
スラストベアリングをなすもので、基台１および回転台
６の軸方向すなわち鉛直方向においては両者の円筒状部
２，７の端面に密着しているが、基台１および回転台６
の径方向においては受け筒３，８との間に15μm 程度の
隙間がある。なお、受け筒３，８へのボール11の密着を
よくするために、円筒状部２，７の端面をテーパー面に
してもよい。また、ボール11は、精度的には数が少ない
方がよいが、ボール11あるいは基台１や回転台６自体の
寸法誤差のために、例えば３個のみでは回転台６の回転
むらを招く。したがって、ボール11は、ある程度の個数
が必要ではあるが、密に並べることは好ましくない。そ
こで、疎らにある大きいボール11間の距離を保つため
に、遊び球として、より小さいボール12を大きいボール
11間に配している。

【００１０】また、回転台６の上面側には、３条のＴ溝
16が形成されている。これらＴ溝16は、回転台６の回転
軸に対して放射状に位置しており、互いに 120°ずつ離
れている。そして、各Ｔ溝16には、ジャッキ台17がそれ
ぞれ摺動自在に組み付けられている。すなわち、これら
３つのジャッキ台17は、それぞれＴ溝16に沿って回転台
６の径方向に移動可能になっている。なお、各ジャッキ
台17は、それぞれボルト18により回転台６に対して任意
の位置で固定可能である。また、各ジャッキ台17には、
ボルト19がそれぞれ上方へ鉛直に突出させて螺合されて
いる。そして、これらボルト19の上端にジャッキ21がそ
れぞれ一体的に設けられている。したがって、これらジ
ャッキ21は、それぞれ回転させることにより昇降させら
れるものである。なお、ジャッキ21の上側先端は、テー
パー状に尖っている。さらに、回転台６の上面には、そ
の回転軸を中心とする複数の円周からなる目盛22が形成
されている。

【００１１】つぎに、前記の構成について、その作用を
説明する。平面度を測定するワークＷは、円環状のもの
とする。もちろん、それ以外のワークも測定できる。測
定時には、まず３つのジャッキ21上にワークＷを載せ
る。このとき、ワークＷの径の違いに対しては、ジャッ
キ台17を回転台６に対してその径方向に位置調節するこ
とにより対応できる。なお、図１と図２とに示すよう
に、ジャッキ台17の向きを反転させることにより、より
広い範囲の径に対応できる。また、ワークＷの中心が回
転台６の回転軸にほぼ一致するようにする。この位置決
めすなわち芯出しは、ワークＷが円環状のものであるの
で、回転台６の上面の円周からなる目盛22をたよりに容
易にできる。また、目盛22がなかったとしても、回転台
６が円盤状のものであるために、これとワークＷとをほ
ぼ同軸に位置させることは容易であり、さらに、ワーク
Ｗの載った回転台６を回してみることにより、芯出しが
なされているかどうかをおおよそ確かめることもでき
る。

【００１２】その上で、各ジャッキ21の上方位置におい
て、ワークＷ上に測定装置の測定子26を接触させ、ジャ
ッキ21を上下させて、０点調節する。すなわち、各ジャ
ッキ21を上下させて、それに対応する３点で、測定装置
が示す測定子26の高さを所定高さにし、ワークＷの上面
の理想平面を決める。なお、この０点調節時、測定子26
の水平方向の位置は固定のまま、基台１上の回転台６を
回転させることにより、各ジャッキ21を測定子26の下方
位置にもってくる。ついで、やはり測定子26の水平方向
の位置は固定のまま、回転台６を回転させることによ
り、相対的に測定子26をワークＷの上面に沿って水平に
移動させる。このとき、測定子26は、ワークＷの上面に
対して、相対的に回転台６の回転軸を中心とする一円周
に沿って移動することになる。そして、測定子26は、ワ
ークＷの上面の高低に応じて上下し、これにより、ワー
クＷの上面の各点の高さが測定される。それに基づい
て、ワークＷの上面の平面度が求められる。

【００１３】以上のように、前記第１実施例の平面度測
定治具を用いれば、特に測定の前段のワークＷの位置決
めを容易にでき、ワークＷの平面度を簡易的に測定でき
る。これにより、平面度検査の作業能率が向上する。

【００１４】なお、前記平面度測定治具は、ジャッキ台
17を外すことにより、回転定盤として使用できる。回転
定盤としては、全体の上下面すなわち基台１の下面と回
転台６の上面との平面度および平行度を十分に高める必
要がある。

【００１５】つぎに、本発明の平面度測定用治具の第２
実施例について、図４を参照しながら説明する。なお、
前記第１実施例と対応する部分には、同一符号を付して
その説明を省略する。回転台６の上面側には、ジャッキ
台17を組み込んだ３つのＴ溝16の中間にそれぞれ位置し
て、別のＴ溝31が形成されている。これらＴ溝31は、回
転台６の回転軸に対して放射状に位置しており、互いに
120°ずつ離れている。そして、各Ｔ溝31には、ピン台
32がそれぞれ摺動自在に組み付けられている。すなわ
ち、これら３つのピン台32は、それぞれＴ溝31に沿って
回転台６の径方向に移動可能になっている。各ピン台32
には、それぞれ位置決め部材としてのピン33が鉛直に立
設されている。これらピン33は、ジャッキ21よりも、高
く位置しているとともに、回転台６の径方向外側に位置
している。また、各ピン台32は、旋盤におけるスクロー
ルチャックと同様の共通する機構により、回転台６の中
心軸からの距離を等しく保ちながら、回転台６の径方向
に移動するものである。なお、ピン台32の移動のための
ボルト34が回転台６の上面に露出している。すなわち、
このボルト34を工具を用いて回すことにより、ピン台32
を移動できるようになっている。こうして、各ピン33
は、常に回転台６の中心軸から等しい距離に位置する。
なお、基台１および回転台６の外周面には、それぞれ取
手36，37が設けられている。特に回転台６の外周面に等
間隔で設けられた取手37は、回転台６を容易に手で回せ
るようにするものである。

【００１６】つぎに、前記の構成について、その作用を
説明する。平面度を測定するワークＷは、外形が円形の
ものである。このワークＷを３つのジャッキ21上に載せ
た後、３つのピン台32を回転台６の回転軸の方へ移動さ
せ、ピン33をワークＷの外周に接触させる。このとき、
120°ずつ離れた３つのピン33が前記回転軸からの距離
を等しく保ちながら移動するので、３つのピン33がワー
クＷの外周に接触した状態では、このワークＷは、その
中心が回転台６の回転軸に一致するように位置決めすな
わち芯出しされている。この状態で、前記第１実施例と
同様にして平面度を測定する。そして、次に測定するワ
ークＷが前のワークＷと同種のものならば、前のままの
状態の位置決め部材間にワークＷを入れて、ジャッキ21
上に載せれば、それでワークＷが位置決めされることに
なる。

【００１７】以上のように、前記第２実施例の構成によ
れば、ピン33によりワークＷを回転台６に対して容易か
つ正確に位置決めできる。したがって、測定精度もいっ
そう向上する。また、同種のワークＷに対しては、いっ
たんピン33の位置を調節すれば、その後は、何回測定を
繰り返そうと、ピン33間にワークＷを入れるのみで、こ
のワークＷを確実に位置決めできる。したがって、測定
作業の能率がいっそう向上する。

【００１８】なお、本発明は、前記実施例に限定される
ものではなく、種々の変形実施が可能である。特に、測
定されるワークＷは、前記実施例で示したような円環状
のものに限らない。また、ジャッキや位置決め用部材の
構成も、前記実施例のものに限らない。

【００１９】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、基台上に回転
台を水平に回転自在に支持し、この回転台上に３つのジ
ャッキ台を放射状にかつ回転台の径方向へ移動可能に設
け、これらジャッキ台上にそれぞれジャッキを昇降可能
に設けた平面度測定用治具を用いて、３つのジャッキ上
に測定すべきワークを載せ、このワークの上面に接する
測定装置の測定子は水平に動かさずに、回転台を回し
て、０点調節するとともに、ワークの上面の高さを測定
することにより、ワークの位置決めを容易できるととも
に、ワークの平面度を簡易的に測定でき、測定の作業能
率が向上する。

【００２０】さらに、請求項２の発明によれば、各ジャ
ッキ台間に位置して回転台上に、ワークの外周に接する
複数の鉛直な位置決め部材を設け、これら位置決め部材
は、共通する駆動機構により回転台の回転軸からの距離
を等しく保ちながら回転台の径方向へ移動するものとし
たので、外形が円形のワークの中心を回転台の回転軸に
容易かつ正確に一致させられ、したがって、測定精度も
いっそう向上させられ、また、同種のワークに対して
は、いったん位置決め部材の位置を調節すれば、その後
は、位置決め部材間にワークを入れるのみで、このワー
クを確実に位置決めでき、したがって、測定作業の能率
がいっそう向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の平面度測定用治具の第１実施例を示す
斜視図である。

【図２】同上平面図である。

【図３】同上断面図である。

【図４】本発明の平面度測定用治具の第２実施例を示す
斜視図である。

【符号の説明】

１基台６回転台 17 ジャッキ台 21 ジャッキ 33 ピン（位置決め部材）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基台と、この基台上に水平に回転自在に
支持された回転台と、この回転台上に放射状に設けられ
回転台の径方向へ移動可能な３つのジャッキ台と、これ
らジャッキ台上にそれぞれ昇降可能に設けられたジャッ
キとを備えたことを特徴とする平面度測定用治具。
【請求項２】各ジャッキ台間に位置して回転台上に設
けられた複数の鉛直な位置決め部材を備え、これら位置
決め部材は、ジャッキよりも回転台の径方向外側に位置
しているとともに高く位置しており、共通する駆動機構
により回転台の回転軸からの距離を等しく保ちながら回
転台の径方向へ移動可能であることを特徴とする請求項
１記載の平面度測定用治具。