JPH06338560A - 認識記号付石英ガラス治具 - Google Patents
認識記号付石英ガラス治具Info
- Publication number
- JPH06338560A JPH06338560A JP14833993A JP14833993A JPH06338560A JP H06338560 A JPH06338560 A JP H06338560A JP 14833993 A JP14833993 A JP 14833993A JP 14833993 A JP14833993 A JP 14833993A JP H06338560 A JPH06338560 A JP H06338560A
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- JP
- Japan
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- quartz glass
- jig
- recognition mark
- glass jig
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 使用履歴、運用等の管理をきめ細かく、し
かも容易に行い得る石英ガラス治具を提供すること。 【構成】 濃色セラミックスで形成した認識記号付石英
ガラス治具。
かも容易に行い得る石英ガラス治具を提供すること。 【構成】 濃色セラミックスで形成した認識記号付石英
ガラス治具。
Description
【０００１】本発明は、半導体製造に使用される管理が
容易なセラミック、特に炭素または金属酸化物の固溶体
を微量含有する炭化珪素系物質で形成した認識記号付石
英ガラス治具に関する。
容易なセラミック、特に炭素または金属酸化物の固溶体
を微量含有する炭化珪素系物質で形成した認識記号付石
英ガラス治具に関する。
【０００２】
【０００３】
【従来の技術】近年、半導体産業が隆盛を極め、そこで
使用される治具も多くなってきた。半導体製品は極端に
汚染を嫌うところから、前記使用治具は汚染物質を発生
するものであってはならなず、また、ウエハの製造にみ
られるよういに高温で処理することも多いところから高
温に耐える素材でなければならない。こうした素材とし
て石英ガラスがあり、半導体用治具は専ら石英ガラスで
形成されてきた。
使用される治具も多くなってきた。半導体製品は極端に
汚染を嫌うところから、前記使用治具は汚染物質を発生
するものであってはならなず、また、ウエハの製造にみ
られるよういに高温で処理することも多いところから高
温に耐える素材でなければならない。こうした素材とし
て石英ガラスがあり、半導体用治具は専ら石英ガラスで
形成されてきた。
【０００４】ところが、石英ガラスは高価な材料である
ためその再使用が図られ、半導体を製造した後、そのま
ま再使用されることが多く、使用治具には、新しいもの
から数回使用したものまでその履歴等の様々なものが混
在する。そのため、使用治具が、どのような履歴のもの
であるか、また何回目の使用か、あるいはどのロッドで
使用したものか等を正確に管理・運用することが重要で
ある。
ためその再使用が図られ、半導体を製造した後、そのま
ま再使用されることが多く、使用治具には、新しいもの
から数回使用したものまでその履歴等の様々なものが混
在する。そのため、使用治具が、どのような履歴のもの
であるか、また何回目の使用か、あるいはどのロッドで
使用したものか等を正確に管理・運用することが重要で
ある。
【０００５】従来、製品の管理・運用のため、認識記号
を付けることが行われ、その例を実開昭６０−８０４５
０号公報、実開昭６２−４１１４５号公報等にみること
ができる。しかしながら、前記公報に記載されている認
識記号は、レザー加工などで凹凸が形成されているため
レザ−ビ−ムが凹部と凸部で乱反射を起こしたり、ある
いはその光強度差が小さいため読み取りが正確でなかっ
た。
を付けることが行われ、その例を実開昭６０−８０４５
０号公報、実開昭６２−４１１４５号公報等にみること
ができる。しかしながら、前記公報に記載されている認
識記号は、レザー加工などで凹凸が形成されているため
レザ−ビ−ムが凹部と凸部で乱反射を起こしたり、ある
いはその光強度差が小さいため読み取りが正確でなかっ
た。
【０００６】また、半導体治具自体の管理のため認識記
号を付けることも行われていた。その例として石英ガラ
スの溶接棒で肉盛り溶接で記号を形成したり、あるいは
グラインダ−等により記号を削り込むこと等がある。前
記肉盛り溶接では、溶接に火炎を用いるため溶接個所に
熱歪みが生じる。その熱歪除去のため再熱処理を必要と
するが、この熱処理時に製品が変形し、指定寸法が狂う
という欠点があった。さらに、前記削り込みではその後
の弗酸洗浄処理により削り込み部が広がり、治具自体の
強度が低下し破損し易くなるという欠点がある。また、
いずれの場合もより細かい管理を行うため記号等が増加
すると作業に時間を要し失敗の確立も高くなるという欠
点を有していた。
号を付けることも行われていた。その例として石英ガラ
スの溶接棒で肉盛り溶接で記号を形成したり、あるいは
グラインダ−等により記号を削り込むこと等がある。前
記肉盛り溶接では、溶接に火炎を用いるため溶接個所に
熱歪みが生じる。その熱歪除去のため再熱処理を必要と
するが、この熱処理時に製品が変形し、指定寸法が狂う
という欠点があった。さらに、前記削り込みではその後
の弗酸洗浄処理により削り込み部が広がり、治具自体の
強度が低下し破損し易くなるという欠点がある。また、
いずれの場合もより細かい管理を行うため記号等が増加
すると作業に時間を要し失敗の確立も高くなるという欠
点を有していた。
【０００７】このように従来の認識記号では、半導体治
具の使用履歴、ロッド番号、使用回数等の識別を容易に
行なうことができず、また、治具の管理・運用が迅速、
かつ的確に行なうことが困難であった。
具の使用履歴、ロッド番号、使用回数等の識別を容易に
行なうことができず、また、治具の管理・運用が迅速、
かつ的確に行なうことが困難であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、上記問題
点を解決するため鋭意研究した結果、石英ガラス治具の
表面に濃色のセラミックでバ−コ−ド状の認識記号を付
与することにより、前記欠点を解消することができるこ
とを見出し、本発明を完成したものである。
点を解決するため鋭意研究した結果、石英ガラス治具の
表面に濃色のセラミックでバ−コ−ド状の認識記号を付
与することにより、前記欠点を解消することができるこ
とを見出し、本発明を完成したものである。
【０００９】本発明は、耐熱性が高く、汚染源となら
ず、しかも読み取りが容易な認識記号付石英ガラス治具
を提供することを目的とする。
ず、しかも読み取りが容易な認識記号付石英ガラス治具
を提供することを目的とする。
【００１０】また、本発明は、治具の管理、運用が正確
に、かつ的確に行いえる認識記号付石英ガラス治具を提
供することを目的とする。
に、かつ的確に行いえる認識記号付石英ガラス治具を提
供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、濃色セラミックスで形成した認識記号付石英ガラ
ス治具に係る。
明は、濃色セラミックスで形成した認識記号付石英ガラ
ス治具に係る。
【００１２】上記濃色セラミックスとは、熱安定性が高
く、ウエ−ハの熱処理時に不純物を放出しないセラミッ
クスであって、緑色乃至黒色のセラミックスをいう。か
かる濃色セラミックスとしては例えば、炭化珪素系物
質、黒鉛、炭化ホウ素等がある。特に、炭素や金属酸化
物が固溶体として微量存在する炭化珪素または炭化珪素
質グレ−ンは色が黒色で明確な認識記号が作成でき最適
である。前記微量成分の混入はその量が多いと半導体の
汚染源となるのできるだけ少量がよい。また、鉄分や遊
離炭素の量は必要最小限度にとどめるべきである。
く、ウエ−ハの熱処理時に不純物を放出しないセラミッ
クスであって、緑色乃至黒色のセラミックスをいう。か
かる濃色セラミックスとしては例えば、炭化珪素系物
質、黒鉛、炭化ホウ素等がある。特に、炭素や金属酸化
物が固溶体として微量存在する炭化珪素または炭化珪素
質グレ−ンは色が黒色で明確な認識記号が作成でき最適
である。前記微量成分の混入はその量が多いと半導体の
汚染源となるのできるだけ少量がよい。また、鉄分や遊
離炭素の量は必要最小限度にとどめるべきである。
【００１３】次に石英ガラス治具への認識記号付与法を
示す。すなわち、鏡面化された石英ガラス治具の表面の
信号付与箇所にサンドブラストでバ−状の粗面を形成
し、この粗面にセラミックス塗料でバ−コ−ドを描き、
次いで該バ−コ−ド付石英ガラス治具を加熱し焼き付け
ることからなる。
示す。すなわち、鏡面化された石英ガラス治具の表面の
信号付与箇所にサンドブラストでバ−状の粗面を形成
し、この粗面にセラミックス塗料でバ−コ−ドを描き、
次いで該バ−コ−ド付石英ガラス治具を加熱し焼き付け
ることからなる。
【００１４】上記製造法で製造された認識記号付石英ガ
ラス治具は、その表面をサンドブラストで粗にした後バ
−コ−ドを描くところから、多数のバ−コ−ドを正確に
描くことができ複雑なバ−コ−ドも容易に形成すること
ができる。そのため石英ガラス治具の細かい管理も容易
に行うことができる。
ラス治具は、その表面をサンドブラストで粗にした後バ
−コ−ドを描くところから、多数のバ−コ−ドを正確に
描くことができ複雑なバ−コ−ドも容易に形成すること
ができる。そのため石英ガラス治具の細かい管理も容易
に行うことができる。
【００１５】
【実施例】一辺が１００ｍｍ、厚さが５ｍｍの正方形状
の透明な石英ガラスにバ−コ−ドの黒色信号部に該当す
る箇所をサンドブラストで粗にし、該粗面に炭化珪素
（ＳｉＣ）系セラミックス塗料（日本カ−ボン（株）
製、ニカロコ−トＳ１０８）でバ−コ−ドを描き、次い
で空気中２５０℃で１時間熱処理して焼き付けた。得ら
れたバ−ド−ド付石英ガラスをバ−コ−ド・リーダに掛
けそのバ−コ−ドを読んだところ、正確な読み取ができ
た。
の透明な石英ガラスにバ−コ−ドの黒色信号部に該当す
る箇所をサンドブラストで粗にし、該粗面に炭化珪素
（ＳｉＣ）系セラミックス塗料（日本カ−ボン（株）
製、ニカロコ−トＳ１０８）でバ−コ−ドを描き、次い
で空気中２５０℃で１時間熱処理して焼き付けた。得ら
れたバ−ド−ド付石英ガラスをバ−コ−ド・リーダに掛
けそのバ−コ−ドを読んだところ、正確な読み取ができ
た。
【００１６】
【発明の効果】本発明の石英ガラス治具は、その上に形
成されたバ−コ−ドを読むことにより正確、的確にその
履歴等が把握でき、きめの細かい管理が、しかも的確に
行なえる。さらに、本発明は削り込み、レ−ザ−による
凹凸の形成等を施す必要もないところから治具自体の損
傷も少なく、強度の低下が起らない。
成されたバ−コ−ドを読むことにより正確、的確にその
履歴等が把握でき、きめの細かい管理が、しかも的確に
行なえる。さらに、本発明は削り込み、レ−ザ−による
凹凸の形成等を施す必要もないところから治具自体の損
傷も少なく、強度の低下が起らない。
Claims (2)
- 【請求項１】 濃色セラミックスで形成した認識記号付
石英ガラス治具。 - 【請求項２】 濃色セラミックスが炭素または金属酸化
物の固溶体を微量含有する炭化珪素系物質であることを
特徴とする請求項１に記載の認識記号付石英ガラス治
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14833993A JP3176481B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 認識記号付石英ガラス治具および認識記号の付与方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14833993A JP3176481B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 認識記号付石英ガラス治具および認識記号の付与方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06338560A true JPH06338560A (ja) | 1994-12-06 |
| JP3176481B2 JP3176481B2 (ja) | 2001-06-18 |
Family
ID=15450563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14833993A Expired - Fee Related JP3176481B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 認識記号付石英ガラス治具および認識記号の付与方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3176481B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08102447A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体熱処理用の石英ガラス治具とその製造方法 |
| US7237606B2 (en) | 2001-06-14 | 2007-07-03 | Tokyo Electron Limited | Wafer supporter |
| CN107092946A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-08-25 | 深圳市亚派光电器件有限公司 | 一种用于金属产品的二维码打标工艺及装置 |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP14833993A patent/JP3176481B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08102447A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体熱処理用の石英ガラス治具とその製造方法 |
| US7237606B2 (en) | 2001-06-14 | 2007-07-03 | Tokyo Electron Limited | Wafer supporter |
| CN107092946A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-08-25 | 深圳市亚派光电器件有限公司 | 一种用于金属产品的二维码打标工艺及装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3176481B2 (ja) | 2001-06-18 |
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