JPH06332976A - モデルパラメータ抽出装置 - Google Patents
モデルパラメータ抽出装置Info
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- JPH06332976A JPH06332976A JP5122678A JP12267893A JPH06332976A JP H06332976 A JPH06332976 A JP H06332976A JP 5122678 A JP5122678 A JP 5122678A JP 12267893 A JP12267893 A JP 12267893A JP H06332976 A JPH06332976 A JP H06332976A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 インラインばらつきを考慮してモデルパラメ
ータを抽出することができるモデルパラメータ抽出装置
を提供する。 【構成】 インラインデータ記憶部２はモデルパラメー
タを抽出したウエハをインラインで測定したインライン
データを記憶しており、対応付け記憶部３はモデルパラ
メータ記憶部１のデータとインラインデータ記憶部２の
データとを対応付けて記憶している。この対応付け記憶
部３のデータに基づいて相関計算部４は相関関係を計算
して相関関係式を求め、これによる相関関係式を相関関
係記憶部５が記憶する。モデルパラメータ算出部６は、
相関関係記憶部５が記憶している関係式に従って主パラ
メータから従属パラメータを計算してモデルパラメータ
を抽出する。
ータを抽出することができるモデルパラメータ抽出装置
を提供する。 【構成】 インラインデータ記憶部２はモデルパラメー
タを抽出したウエハをインラインで測定したインライン
データを記憶しており、対応付け記憶部３はモデルパラ
メータ記憶部１のデータとインラインデータ記憶部２の
データとを対応付けて記憶している。この対応付け記憶
部３のデータに基づいて相関計算部４は相関関係を計算
して相関関係式を求め、これによる相関関係式を相関関
係記憶部５が記憶する。モデルパラメータ算出部６は、
相関関係記憶部５が記憶している関係式に従って主パラ
メータから従属パラメータを計算してモデルパラメータ
を抽出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回路シミュレーション
を行う際に使用する、デバイスの特性に関するモデルパ
ラメータを抽出するモデルパラメータ抽出装置に関す
る。
を行う際に使用する、デバイスの特性に関するモデルパ
ラメータを抽出するモデルパラメータ抽出装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来のモデルパラメータ抽出装
置を示すブロック図である。この装置は、モデルパラメ
ータ記憶部１と、相関計算部４と、相関関係記憶部５
と、モデルパラメータ算出部６とを備える。モデルパラ
メータは、実際にデバイスの電気的特性を測定したデー
タから、 SILVACO社製UTMOST, HP社製IC-CAP等の機器に
て１組のモデルパラメータを抽出したものである。モデ
ルパラメータ記憶部１は、このようなモデルパラメータ
を複数組記憶しており、相関計算部４は、このモデルパ
ラメータ記憶部１が記憶するモデルパラメータ群を構成
する各パラメータ間の相関関係を計算して相関関係式を
求める。そしてこの相関計算部４にて計算された、例え
ば（１）式のような相関関係式を相関関係記憶部５が記
憶している。 ｙ＝ａｘ＋ｂ …（１） 但し、ｙ：従属パラメータ ｘ：主パラメータ ａ，ｂ：定数
置を示すブロック図である。この装置は、モデルパラメ
ータ記憶部１と、相関計算部４と、相関関係記憶部５
と、モデルパラメータ算出部６とを備える。モデルパラ
メータは、実際にデバイスの電気的特性を測定したデー
タから、 SILVACO社製UTMOST, HP社製IC-CAP等の機器に
て１組のモデルパラメータを抽出したものである。モデ
ルパラメータ記憶部１は、このようなモデルパラメータ
を複数組記憶しており、相関計算部４は、このモデルパ
ラメータ記憶部１が記憶するモデルパラメータ群を構成
する各パラメータ間の相関関係を計算して相関関係式を
求める。そしてこの相関計算部４にて計算された、例え
ば（１）式のような相関関係式を相関関係記憶部５が記
憶している。 ｙ＝ａｘ＋ｂ …（１） 但し、ｙ：従属パラメータ ｘ：主パラメータ ａ，ｂ：定数
【０００３】モデルパラメータ算出部６は、図示しない
手段により主パラメータが設定されると、相関関係記憶
部５が記憶している関係式に従って従属パラメータを算
出する。相関関係記憶部５が（１）式を記憶している場
合には、ｘが設定されるとａｘ＋ｂを計算してｙを算出
する。このようにして任意のパラメータを設定すると、
モデルパラメータ記憶部１が記憶しているモデルパラメ
ータ群の変動幅に対応したモデルパラメータが抽出され
るのである。
手段により主パラメータが設定されると、相関関係記憶
部５が記憶している関係式に従って従属パラメータを算
出する。相関関係記憶部５が（１）式を記憶している場
合には、ｘが設定されるとａｘ＋ｂを計算してｙを算出
する。このようにして任意のパラメータを設定すると、
モデルパラメータ記憶部１が記憶しているモデルパラメ
ータ群の変動幅に対応したモデルパラメータが抽出され
るのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上の如き構成の従来
装置においては、モデルパラメータ記憶部１に記憶され
ている、抽出したサンプルの変動幅の範囲でしかモデル
パラメータを抽出することができず、複数のプロセスを
含む製造ライン（インライン）に存在する母集団の変動
幅（ばらつき）を再現することができなかった。そこで
実際のインラインの変動に則したモデルパラメータを得
るには、母集団の変動幅を再現する程のデータが必要で
ある。さらにこのように実際のデバイスからモデルパラ
メータを抽出すると、サンプルであるデバイス特性と母
集団であるインライン特性との間にズレが生じるため、
インライン特性を表すモデルパラメータを抽出すること
ができないという問題があった。
装置においては、モデルパラメータ記憶部１に記憶され
ている、抽出したサンプルの変動幅の範囲でしかモデル
パラメータを抽出することができず、複数のプロセスを
含む製造ライン（インライン）に存在する母集団の変動
幅（ばらつき）を再現することができなかった。そこで
実際のインラインの変動に則したモデルパラメータを得
るには、母集団の変動幅を再現する程のデータが必要で
ある。さらにこのように実際のデバイスからモデルパラ
メータを抽出すると、サンプルであるデバイス特性と母
集団であるインライン特性との間にズレが生じるため、
インライン特性を表すモデルパラメータを抽出すること
ができないという問題があった。
【０００５】本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたも
のであり、インラインデータを記憶し、インラインデー
タとモデルパラメータとの対応付けを行ったデータを記
憶する構成とすることにより、インラインデータに則し
たモデルパラメータを抽出することができるモデルパラ
メータ抽出装置を提供することを目的とする。
のであり、インラインデータを記憶し、インラインデー
タとモデルパラメータとの対応付けを行ったデータを記
憶する構成とすることにより、インラインデータに則し
たモデルパラメータを抽出することができるモデルパラ
メータ抽出装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１発明に係るモデルパ
ラメータ抽出装置は、ウエハを製造するための、複数の
プロセスを含む製造ラインでのデバイス特性をモニタリ
ングにより表したインラインデータを記憶するインライ
ンデータ記憶部と、該インラインデータ記憶部のデータ
と前記モデルパラメータ記憶部が記憶しているモデルパ
ラメータとを対応付けて記憶する対応付け記憶部とを備
え、該対応付け記憶部の記憶内容に基づいて、前記相関
計算部がパラメータ間の相関関係を計算する構成となし
てあることを特徴とする。
ラメータ抽出装置は、ウエハを製造するための、複数の
プロセスを含む製造ラインでのデバイス特性をモニタリ
ングにより表したインラインデータを記憶するインライ
ンデータ記憶部と、該インラインデータ記憶部のデータ
と前記モデルパラメータ記憶部が記憶しているモデルパ
ラメータとを対応付けて記憶する対応付け記憶部とを備
え、該対応付け記憶部の記憶内容に基づいて、前記相関
計算部がパラメータ間の相関関係を計算する構成となし
てあることを特徴とする。
【０００７】第２発明に係るモデルパラメータ抽出装置
は、第１発明において、インラインデータ記憶部のデー
タに基づいて、デバイス特性を示すモデルパラメータの
変動値を計算，記憶する変動値計算記憶部を備え、該変
動値計算記憶部のデータと前記相関関係記憶部のデータ
とからモデルパラメータを算出する構成となしてあるこ
とを特徴とする。
は、第１発明において、インラインデータ記憶部のデー
タに基づいて、デバイス特性を示すモデルパラメータの
変動値を計算，記憶する変動値計算記憶部を備え、該変
動値計算記憶部のデータと前記相関関係記憶部のデータ
とからモデルパラメータを算出する構成となしてあるこ
とを特徴とする。
【０００８】第３発明に係るモデルパラメータ抽出装置
は、第２発明において、後続のプロセスにて変動が予測
されるモデルパラメータの変動幅を記憶する変動幅記憶
部を備え、該変動幅記憶部のデータを前記変動値計算記
憶部へ与える構成となしてあることを特徴とする。
は、第２発明において、後続のプロセスにて変動が予測
されるモデルパラメータの変動幅を記憶する変動幅記憶
部を備え、該変動幅記憶部のデータを前記変動値計算記
憶部へ与える構成となしてあることを特徴とする。
【０００９】第４発明に係るモデルパラメータ抽出装置
は、第２発明において、各プロセスにおいてデバイスシ
ミュレーションを行った結果得られるデータを記憶する
シミュレーション結果記憶部を備え、該シミュレーショ
ン結果記憶部のデータを前記対応付け記憶部及び前記変
動値計算記憶部へ与える構成となしてあることを特徴と
する。
は、第２発明において、各プロセスにおいてデバイスシ
ミュレーションを行った結果得られるデータを記憶する
シミュレーション結果記憶部を備え、該シミュレーショ
ン結果記憶部のデータを前記対応付け記憶部及び前記変
動値計算記憶部へ与える構成となしてあることを特徴と
する。
【００１０】第５発明に係るモデルパラメータ抽出装置
は、第２発明において、各プロセスを実施する条件値を
記憶するプロセスフロー値記憶部を備え、該プロセスフ
ロー値記憶部のデータを前記対応付け記憶部及び前記変
動値計算記憶部へ与える構成となしてあることを特徴と
する。
は、第２発明において、各プロセスを実施する条件値を
記憶するプロセスフロー値記憶部を備え、該プロセスフ
ロー値記憶部のデータを前記対応付け記憶部及び前記変
動値計算記憶部へ与える構成となしてあることを特徴と
する。
【００１１】
【作用】第１発明にあっては、モデルパラメータを抽出
したウエハのインラインデータを記憶するインラインデ
ータ記憶部を備えるため、モデルパラメータを抽出した
ウエハのインラインデータの変動幅を設定することがで
き、インラインデータを考慮したモデルパラメータを抽
出することが可能となる。
したウエハのインラインデータを記憶するインラインデ
ータ記憶部を備えるため、モデルパラメータを抽出した
ウエハのインラインデータの変動幅を設定することがで
き、インラインデータを考慮したモデルパラメータを抽
出することが可能となる。
【００１２】第２発明にあっては、第１発明の効果に加
えて、前記インラインデータ記憶部が記憶するデータに
基づいてインラインの変動値を計算する変動値計算記憶
部を備えるので、インラインデータを考慮したモデルパ
ラメータを容易に抽出することが可能となる。
えて、前記インラインデータ記憶部が記憶するデータに
基づいてインラインの変動値を計算する変動値計算記憶
部を備えるので、インラインデータを考慮したモデルパ
ラメータを容易に抽出することが可能となる。
【００１３】第３発明にあっては、第２発明の効果に加
えて、後続するプロセスにて変動すると予測されるモデ
ルパラメータの変動幅を記憶する変動幅記憶部を備える
ので、インラインデータのその後の変動にも対応可能で
ある。
えて、後続するプロセスにて変動すると予測されるモデ
ルパラメータの変動幅を記憶する変動幅記憶部を備える
ので、インラインデータのその後の変動にも対応可能で
ある。
【００１４】第４発明にあっては、第２発明の効果に加
えて、各プロセスにおいてデバイスシミュレーションを
行った結果得られるデータを記憶するシミュレーション
結果記憶部を備えるので、後続のプロセスにおける変動
値をこの結果に基づいてインラインデータの変動幅を設
定することができる。
えて、各プロセスにおいてデバイスシミュレーションを
行った結果得られるデータを記憶するシミュレーション
結果記憶部を備えるので、後続のプロセスにおける変動
値をこの結果に基づいてインラインデータの変動幅を設
定することができる。
【００１５】第５発明にあっては、第２発明の効果に加
えて、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセス
フロー値記憶部を備えるので、この条件値に基づいてイ
ンラインデータの変動幅を設定することができる。
えて、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセス
フロー値記憶部を備えるので、この条件値に基づいてイ
ンラインデータの変動幅を設定することができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明をその実施例を示す図面に基づ
き具体的に説明する。図１は、第１発明に係るモデルパ
ラメータ抽出装置を示すブロック図である。この装置
は、モデルパラメータ記憶部１と、インラインデータ記
憶部２と、対応付け記憶部３と、相関計算部４と、相関
関係記憶部５と、モデルパラメータ算出部６とを備え
る。
き具体的に説明する。図１は、第１発明に係るモデルパ
ラメータ抽出装置を示すブロック図である。この装置
は、モデルパラメータ記憶部１と、インラインデータ記
憶部２と、対応付け記憶部３と、相関計算部４と、相関
関係記憶部５と、モデルパラメータ算出部６とを備え
る。
【００１７】モデルパラメータは、実際にデバイスの電
気的特性を測定したデータから、 SILVACO社製UTMOST,
HP社製IC-CAP等の機器にて１組のモデルパラメータを抽
出したものである。そしてこのモデルパラメータは一般
に用いられているLEVEL1,LEVEL2,LEVEL3,BSIM,BSIM2 等
の汎用モデルパラメータであっても、各利用者が個別に
作成した専用のものであってもよい。モデルパラメータ
記憶部１は、このようなモデルパラメータを複数組記憶
している。
気的特性を測定したデータから、 SILVACO社製UTMOST,
HP社製IC-CAP等の機器にて１組のモデルパラメータを抽
出したものである。そしてこのモデルパラメータは一般
に用いられているLEVEL1,LEVEL2,LEVEL3,BSIM,BSIM2 等
の汎用モデルパラメータであっても、各利用者が個別に
作成した専用のものであってもよい。モデルパラメータ
記憶部１は、このようなモデルパラメータを複数組記憶
している。
【００１８】インラインデータ記憶部２は、モデルパラ
メータを抽出したウエハをインラインで測定した夫々の
値、インラインデータ群及び各プロセスの全インライン
データ群を記憶している。また抽出に使用したウエハに
対するロット番号，ウエハ番号等、そのモデルパラメー
タ抽出に使用したウエハを特定する識別値も合わせて記
憶する。
メータを抽出したウエハをインラインで測定した夫々の
値、インラインデータ群及び各プロセスの全インライン
データ群を記憶している。また抽出に使用したウエハに
対するロット番号，ウエハ番号等、そのモデルパラメー
タ抽出に使用したウエハを特定する識別値も合わせて記
憶する。
【００１９】対応付け記憶部３は、モデルパラメータ記
憶部１に記憶しているデータと、インラインデータ記憶
部２に記憶しているデータとを対応付けて記憶してい
る。相関計算部４は、この対応付け記憶部３が記憶する
モデルパラメータを構成する各パラメータ間の相関関係
を計算して相関関係式を求める。そしてこの相関計算部
４にて計算された、例えば（１）式のような相関関係式
を相関関係記憶部５が記憶している。 ｙi ＝ｆi （ｘ） …（２） 但し、ｙi ：従属パラメータ ｘ ：主パラメータ ｆi ：相関関係関数
憶部１に記憶しているデータと、インラインデータ記憶
部２に記憶しているデータとを対応付けて記憶してい
る。相関計算部４は、この対応付け記憶部３が記憶する
モデルパラメータを構成する各パラメータ間の相関関係
を計算して相関関係式を求める。そしてこの相関計算部
４にて計算された、例えば（１）式のような相関関係式
を相関関係記憶部５が記憶している。 ｙi ＝ｆi （ｘ） …（２） 但し、ｙi ：従属パラメータ ｘ ：主パラメータ ｆi ：相関関係関数
【００２０】モデルパラメータ算出部６は、相関関係記
憶部５が記憶している関係式に従って主パラメータから
従属パラメータを算出する。相関関係記憶部５が（１）
式を記憶している場合には、ｘを設定するとｙi を算出
する。このときの主パラメータｘは対応付け記憶部３が
記憶しているインラインデータの変動幅の範囲内である
ので、インラインデータが配慮されたモデルパラメータ
を抽出することができる。また相関計算部４で計算され
た相関関係式に対する主パラメータは複数個から成り立
ってもよい。
憶部５が記憶している関係式に従って主パラメータから
従属パラメータを算出する。相関関係記憶部５が（１）
式を記憶している場合には、ｘを設定するとｙi を算出
する。このときの主パラメータｘは対応付け記憶部３が
記憶しているインラインデータの変動幅の範囲内である
ので、インラインデータが配慮されたモデルパラメータ
を抽出することができる。また相関計算部４で計算され
た相関関係式に対する主パラメータは複数個から成り立
ってもよい。
【００２１】図２は、第２発明に係るモデルパラメータ
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、インラインデータ記憶部２が記憶しているデータ群
を使用して各パラメータの変動幅を計算記憶する変動値
計算記憶部７を備え、この変動値計算記憶部７にて算出
された変動幅はモデルパラメータ算出部６へ与えられ、
モデルパラメータ算出部６にて変動値計算記憶部７と相
関関係記憶部５とのデータに基づいてモデルパラメータ
を算出するようになしてある。他の構成は図２に示すも
のと同様である。本実施例では、前記インラインデータ
記憶部が記憶するデータに基づいてインラインの変動値
を計算する変動値計算記憶部を備えるので、インライン
データを考慮したモデルパラメータを容易に抽出するこ
とが可能となる。
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、インラインデータ記憶部２が記憶しているデータ群
を使用して各パラメータの変動幅を計算記憶する変動値
計算記憶部７を備え、この変動値計算記憶部７にて算出
された変動幅はモデルパラメータ算出部６へ与えられ、
モデルパラメータ算出部６にて変動値計算記憶部７と相
関関係記憶部５とのデータに基づいてモデルパラメータ
を算出するようになしてある。他の構成は図２に示すも
のと同様である。本実施例では、前記インラインデータ
記憶部が記憶するデータに基づいてインラインの変動値
を計算する変動値計算記憶部を備えるので、インライン
データを考慮したモデルパラメータを容易に抽出するこ
とが可能となる。
【００２２】図３は、第３発明に係るモデルパラメータ
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、後続のプロセスにて変動幅が変動すると予測される
場合に、その変動幅を記憶する変動幅記憶部８を備え、
変動幅記憶部８は、あるパラメータの変動幅が、例えば
上限＋５％，下限−３％拡大されることを予測してこの
ような変動幅を記憶している。そして前述の変動値計算
記憶部７は、インラインデータ記憶部２のデータと変動
幅記憶部８のデータとを用いて変動幅を計算し、この算
出された変動幅はモデルパラメータ算出部６へ与えら
れ、モデルパラメータ算出部６にて変動値計算記憶部７
と相関関係記憶部５とのデータに基づいてモデルパラメ
ータを算出するようになしてある。他の構成は図２に示
すものと同様である。本実施例では、後続のプロセスに
て変動すると予測される変動幅を記憶する変動幅記憶部
を備えるので、インラインデータのその後の変動にも対
応可能である。
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、後続のプロセスにて変動幅が変動すると予測される
場合に、その変動幅を記憶する変動幅記憶部８を備え、
変動幅記憶部８は、あるパラメータの変動幅が、例えば
上限＋５％，下限−３％拡大されることを予測してこの
ような変動幅を記憶している。そして前述の変動値計算
記憶部７は、インラインデータ記憶部２のデータと変動
幅記憶部８のデータとを用いて変動幅を計算し、この算
出された変動幅はモデルパラメータ算出部６へ与えら
れ、モデルパラメータ算出部６にて変動値計算記憶部７
と相関関係記憶部５とのデータに基づいてモデルパラメ
ータを算出するようになしてある。他の構成は図２に示
すものと同様である。本実施例では、後続のプロセスに
て変動すると予測される変動幅を記憶する変動幅記憶部
を備えるので、インラインデータのその後の変動にも対
応可能である。
【００２３】図４は、第４発明に係るモデルパラメータ
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、各プロセスにおけるデバイスシミュレーション結果
等のデータを記憶するシミュレーション結果記憶部９を
備え、このシミュレーション結果記憶部９が記憶するデ
ータは、対応付け記憶部３及び変動値計算記憶部７へ与
えられ、対応付け記憶部３ではモデルパラメータ記憶部
１，インラインデータ記憶部２及びこのシミュレーショ
ン結果記憶部９のデータを対応付けて記憶している。ま
た変動値計算記憶部７では、インラインデータ記憶部２
のデータとシミュレーション結果記憶部９のデータから
変動幅を計算し、算出された変動幅はモデルパラメータ
算出部６へ与えられ、モデルパラメータ算出部６にて変
動値計算記憶部７と相関関係記憶部５とのデータに基づ
いてモデルパラメータを算出するようになしてある。他
の構成は図２に示すものと同様である。本実施例では、
プロセスデバイスシミュレーション結果のデータを記憶
するシミュレーション結果記憶部を備えるので、プロセ
スデバイスシミュレーション結果に基づいてインライン
データの変動幅を設定することができる。
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、各プロセスにおけるデバイスシミュレーション結果
等のデータを記憶するシミュレーション結果記憶部９を
備え、このシミュレーション結果記憶部９が記憶するデ
ータは、対応付け記憶部３及び変動値計算記憶部７へ与
えられ、対応付け記憶部３ではモデルパラメータ記憶部
１，インラインデータ記憶部２及びこのシミュレーショ
ン結果記憶部９のデータを対応付けて記憶している。ま
た変動値計算記憶部７では、インラインデータ記憶部２
のデータとシミュレーション結果記憶部９のデータから
変動幅を計算し、算出された変動幅はモデルパラメータ
算出部６へ与えられ、モデルパラメータ算出部６にて変
動値計算記憶部７と相関関係記憶部５とのデータに基づ
いてモデルパラメータを算出するようになしてある。他
の構成は図２に示すものと同様である。本実施例では、
プロセスデバイスシミュレーション結果のデータを記憶
するシミュレーション結果記憶部を備えるので、プロセ
スデバイスシミュレーション結果に基づいてインライン
データの変動幅を設定することができる。
【００２４】図５は、第５発明に係るモデルパラメータ
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセスフ
ロー値記憶部10を備え、このプロセスフロー値記憶部10
が記憶するデータは、対応付け記憶部３及び変動値計算
記憶部７へ与えられ、対応付け記憶部３ではモデルパラ
メータ記憶部１，インラインデータ記憶部２及びこのプ
ロセスフロー値記憶部10のデータを対応付けて記憶して
いる。また変動値計算記憶部７では、インラインデータ
記憶部２のデータとプロセスフロー値記憶部10のデータ
から変動幅を計算し、算出された変動幅はモデルパラメ
ータ算出部６へ与えられ、モデルパラメータ算出部６に
て変動値計算記憶部７と相関関係記憶部５とのデータに
基づいてモデルパラメータを算出するようになしてあ
る。他の構成は図２に示すものと同様である。本実施例
では、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセス
フロー値記憶部を備えるので、この設定値に基づいてイ
ンラインデータの変動幅を設定することができる。
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセスフ
ロー値記憶部10を備え、このプロセスフロー値記憶部10
が記憶するデータは、対応付け記憶部３及び変動値計算
記憶部７へ与えられ、対応付け記憶部３ではモデルパラ
メータ記憶部１，インラインデータ記憶部２及びこのプ
ロセスフロー値記憶部10のデータを対応付けて記憶して
いる。また変動値計算記憶部７では、インラインデータ
記憶部２のデータとプロセスフロー値記憶部10のデータ
から変動幅を計算し、算出された変動幅はモデルパラメ
ータ算出部６へ与えられ、モデルパラメータ算出部６に
て変動値計算記憶部７と相関関係記憶部５とのデータに
基づいてモデルパラメータを算出するようになしてあ
る。他の構成は図２に示すものと同様である。本実施例
では、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセス
フロー値記憶部を備えるので、この設定値に基づいてイ
ンラインデータの変動幅を設定することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上のように本発明に係るモデルパラメ
ータ抽出装置は、モデルパラメータ群とインラインデー
タ群との対応付けを行えるように構成してあるので、プ
ロセス設計者が容易にインラインデータの変動幅を考慮
に入れたモデルパラメータを抽出することができる。ま
た変動値計算記憶部を備える構成とすることにより、全
インラインデータ群に対応するモデルパラメータ群を設
計者が別に準備する必要がなく、インラインの変動幅を
考慮したモデルパラメータを容易に抽出することができ
る。さらにインラインデータの変動値を計算するための
データを記憶する各記憶部を備えることにより、インラ
インデータの変動値を容易に設定することが可能となる
等、本発明は優れた効果を奏する。
ータ抽出装置は、モデルパラメータ群とインラインデー
タ群との対応付けを行えるように構成してあるので、プ
ロセス設計者が容易にインラインデータの変動幅を考慮
に入れたモデルパラメータを抽出することができる。ま
た変動値計算記憶部を備える構成とすることにより、全
インラインデータ群に対応するモデルパラメータ群を設
計者が別に準備する必要がなく、インラインの変動幅を
考慮したモデルパラメータを容易に抽出することができ
る。さらにインラインデータの変動値を計算するための
データを記憶する各記憶部を備えることにより、インラ
インデータの変動値を容易に設定することが可能となる
等、本発明は優れた効果を奏する。
【図１】第１発明に係るモデルパラメータ抽出装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図２】第２発明に係るモデルパラメータ抽出装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図３】第３発明に係るモデルパラメータ抽出装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図４】第４発明に係るモデルパラメータ抽出装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図５】第５発明に係るモデルパラメータ抽出装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図６】従来のモデルパラメータ抽出装置の構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
１ モデルパラメータ記憶部 ２ インラインデータ記憶部 ３ 対応付け記憶部 ４ 相関計算部 ５ 相関関係記憶部 ６ モデルパラメータ算出部 ７ 変動値計算記憶部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】モデルパラメータ算出部６は、図示しない
手段により主パラメータが設定されると、相関関係記憶
部５が記憶している関係式に従って従属パラメータを算
出する。相関関係記憶部５が（１）式を記憶している場
合には、ｘが設定されるとａｘ＋ｂを計算してｙを算出
する。このようにして任意のパラメータが設定される
と、モデルパラメータ算出部６は、モデルパラメータ記
憶部１が記憶しているモデルパラメータ群の変動幅に対
応したモデルパラメータを抽出する。
手段により主パラメータが設定されると、相関関係記憶
部５が記憶している関係式に従って従属パラメータを算
出する。相関関係記憶部５が（１）式を記憶している場
合には、ｘが設定されるとａｘ＋ｂを計算してｙを算出
する。このようにして任意のパラメータが設定される
と、モデルパラメータ算出部６は、モデルパラメータ記
憶部１が記憶しているモデルパラメータ群の変動幅に対
応したモデルパラメータを抽出する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上の如き構成の従来
装置においては、モデルパラメータ記憶部１に記憶され
ている、抽出したサンプルの変動幅の範囲でしかモデル
パラメータを抽出することができず、複数のプロセスを
含む製造ライン（インライン）に存在する母集団の変動
幅（ばらつき）を再現することができなかった。そこで
実際のインラインの変動に則したモデルパラメータを得
るには、母集団の変動幅を再現する程度のデータが必要
である。さらにこのように実際のデバイスからモデルパ
ラメータを抽出すると、サンプルであるデバイス特性と
母集団であるインライン特性との間にズレが生じるた
め、インライン特性を表すモデルパラメータを抽出する
ことができないという問題があった。
装置においては、モデルパラメータ記憶部１に記憶され
ている、抽出したサンプルの変動幅の範囲でしかモデル
パラメータを抽出することができず、複数のプロセスを
含む製造ライン（インライン）に存在する母集団の変動
幅（ばらつき）を再現することができなかった。そこで
実際のインラインの変動に則したモデルパラメータを得
るには、母集団の変動幅を再現する程度のデータが必要
である。さらにこのように実際のデバイスからモデルパ
ラメータを抽出すると、サンプルであるデバイス特性と
母集団であるインライン特性との間にズレが生じるた
め、インライン特性を表すモデルパラメータを抽出する
ことができないという問題があった。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】第３発明に係るモデルパラメータ抽出装置
は、第２発明において、後続の製造ラインにて変動が予
測されるモデルパラメータの変動幅を記憶する変動幅記
憶部を備え、該変動幅記憶部のデータを前記変動値計算
記憶部へ与える構成となしてあることを特徴とする。
は、第２発明において、後続の製造ラインにて変動が予
測されるモデルパラメータの変動幅を記憶する変動幅記
憶部を備え、該変動幅記憶部のデータを前記変動値計算
記憶部へ与える構成となしてあることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】第５発明に係るモデルパラメータ抽出装置
は、第２発明において、各プロセスを実施する条件値を
記憶するプロセスパラメータ値記憶部を備え、該プロセ
スパラメータ値記憶部のデータを前記対応付け記憶部及
び前記変動値計算記憶部へ与える構成となしてあること
を特徴とする。
は、第２発明において、各プロセスを実施する条件値を
記憶するプロセスパラメータ値記憶部を備え、該プロセ
スパラメータ値記憶部のデータを前記対応付け記憶部及
び前記変動値計算記憶部へ与える構成となしてあること
を特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】第２発明にあっては、第１発明の効果に加
えて、前記インラインデータ記憶部が記憶するデータに
基づいてインラインの変動値を計算する変動値計算記憶
部を備えるので、インラインのばらつきを考慮したモデ
ルパラメータを容易に抽出することが可能となる。
えて、前記インラインデータ記憶部が記憶するデータに
基づいてインラインの変動値を計算する変動値計算記憶
部を備えるので、インラインのばらつきを考慮したモデ
ルパラメータを容易に抽出することが可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】第３発明にあっては、第２発明の効果に加
えて、後続の製造ラインにて変動すると予測されるモデ
ルパラメータの変動幅を記憶する変動幅記憶部を備える
ので、インラインデータのその後の変動にも対応可能で
ある。
えて、後続の製造ラインにて変動すると予測されるモデ
ルパラメータの変動幅を記憶する変動幅記憶部を備える
ので、インラインデータのその後の変動にも対応可能で
ある。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】第４発明にあっては、第２発明の効果に加
えて、各プロセスにおいてデバイスシミュレーションを
行った結果得られるデータを記憶するシミュレーション
結果記憶部を備えるので、後続のプロセスにおける変動
値を予測し、仮想的に変動値を設定することができる。
えて、各プロセスにおいてデバイスシミュレーションを
行った結果得られるデータを記憶するシミュレーション
結果記憶部を備えるので、後続のプロセスにおける変動
値を予測し、仮想的に変動値を設定することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】第５発明にあっては、第２発明の効果に加
えて、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセス
パラメータ値記憶部を備えるので、この条件値に基づい
てインラインデータの変動幅を設定することができる。
えて、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセス
パラメータ値記憶部を備えるので、この条件値に基づい
てインラインデータの変動幅を設定することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】モデルパラメータ算出部６は、相関関係記
憶部５が記憶している関係式に従って主パラメータから
従属パラメータを算出する。相関関係記憶部５が（１）
式を記憶している場合には、ｘを設定するとｙi を算出
する。このときの主パラメータｘは対応付け記憶部３が
記憶しているインラインデータの変動幅の範囲内である
ので、インラインばらつきを考慮したモデルパラメータ
を抽出することができる。また相関計算部４で計算され
た相関関係式に対する主パラメータは複数個から成り立
ってもよい。
憶部５が記憶している関係式に従って主パラメータから
従属パラメータを算出する。相関関係記憶部５が（１）
式を記憶している場合には、ｘを設定するとｙi を算出
する。このときの主パラメータｘは対応付け記憶部３が
記憶しているインラインデータの変動幅の範囲内である
ので、インラインばらつきを考慮したモデルパラメータ
を抽出することができる。また相関計算部４で計算され
た相関関係式に対する主パラメータは複数個から成り立
ってもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】図２は、第２発明に係るモデルパラメータ
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、インラインデータ記憶部２が記憶しているデータ群
を使用して各パラメータの変動幅を計算記憶する変動値
計算記憶部７を備え、この変動値計算記憶部７にて算出
された変動幅はモデルパラメータ算出部６へ与えられ、
モデルパラメータ算出部６にて変動値計算記憶部７と相
関関係記憶部５とのデータに基づいてモデルパラメータ
を算出するようになしてある。他の構成は図２に示すも
のと同様である。本実施例では、前記インラインデータ
記憶部が記憶するデータに基づいてインラインの変動値
を計算する変動値計算記憶部を備えるので、インライン
ばらつきを考慮したモデルパラメータを容易に抽出する
ことが可能となる。
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、インラインデータ記憶部２が記憶しているデータ群
を使用して各パラメータの変動幅を計算記憶する変動値
計算記憶部７を備え、この変動値計算記憶部７にて算出
された変動幅はモデルパラメータ算出部６へ与えられ、
モデルパラメータ算出部６にて変動値計算記憶部７と相
関関係記憶部５とのデータに基づいてモデルパラメータ
を算出するようになしてある。他の構成は図２に示すも
のと同様である。本実施例では、前記インラインデータ
記憶部が記憶するデータに基づいてインラインの変動値
を計算する変動値計算記憶部を備えるので、インライン
ばらつきを考慮したモデルパラメータを容易に抽出する
ことが可能となる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】図４は、第４発明に係るモデルパラメータ
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、各プロセスにおけるデバイスシミュレーション結果
等のデータを記憶するシミュレーション結果記憶部９を
備え、このシミュレーション結果記憶部９が記憶するデ
ータは、対応付け記憶部３及び変動値計算記憶部７へ与
えられ、対応付け記憶部３ではモデルパラメータ記憶部
１，インラインデータ記憶部２及びこのシミュレーショ
ン結果記憶部９のデータを対応付けて記憶している。ま
た変動値計算記憶部７では、インラインデータ記憶部２
のデータとシミュレーション結果記憶部９のデータから
変動幅を計算し、算出された変動幅はモデルパラメータ
算出部６へ与えられ、モデルパラメータ算出部６にて変
動値計算記憶部７と相関関係記憶部５とのデータに基づ
いてモデルパラメータを算出するようになしてある。他
の構成は図２に示すものと同様である。本実施例では、
プロセス・デバイスシミュレーション結果のデータを記
憶するシミュレーション結果記憶部を備えるので、プロ
セス・デバイスシミュレーション結果に基づいてインラ
インデータの変動幅を設定することができる。
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、各プロセスにおけるデバイスシミュレーション結果
等のデータを記憶するシミュレーション結果記憶部９を
備え、このシミュレーション結果記憶部９が記憶するデ
ータは、対応付け記憶部３及び変動値計算記憶部７へ与
えられ、対応付け記憶部３ではモデルパラメータ記憶部
１，インラインデータ記憶部２及びこのシミュレーショ
ン結果記憶部９のデータを対応付けて記憶している。ま
た変動値計算記憶部７では、インラインデータ記憶部２
のデータとシミュレーション結果記憶部９のデータから
変動幅を計算し、算出された変動幅はモデルパラメータ
算出部６へ与えられ、モデルパラメータ算出部６にて変
動値計算記憶部７と相関関係記憶部５とのデータに基づ
いてモデルパラメータを算出するようになしてある。他
の構成は図２に示すものと同様である。本実施例では、
プロセス・デバイスシミュレーション結果のデータを記
憶するシミュレーション結果記憶部を備えるので、プロ
セス・デバイスシミュレーション結果に基づいてインラ
インデータの変動幅を設定することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２４】図５は、第５発明に係るモデルパラメータ
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセスパ
ラメータ値記憶部10を備え、このプロセスパラメータ値
記憶部10が記憶するデータは、対応付け記憶部３及び変
動値計算記憶部７へ与えられ、対応付け記憶部３ではモ
デルパラメータ記憶部１，インラインデータ記憶部２及
びこのプロセスパラメータ値記憶部10のデータを対応付
けて記憶している。また変動値計算記憶部７では、イン
ラインデータ記憶部２のデータとプロセスパラメータ値
記憶部10のデータから変動幅を計算し、算出された変動
幅はモデルパラメータ算出部６へ与えられ、モデルパラ
メータ算出部６にて変動値計算記憶部７と相関関係記憶
部５とのデータに基づいてモデルパラメータを算出する
ようになしてある。他の構成は図２に示すものと同様で
ある。本実施例では、各プロセスを実施する条件値を記
憶するプロセスパラメータ値記憶部を備えるので、この
設定値に基づいてインラインデータの変動幅を設定する
ことができる。
抽出装置の構成を示すブロック図である。本実施例で
は、各プロセスを実施する条件値を記憶するプロセスパ
ラメータ値記憶部10を備え、このプロセスパラメータ値
記憶部10が記憶するデータは、対応付け記憶部３及び変
動値計算記憶部７へ与えられ、対応付け記憶部３ではモ
デルパラメータ記憶部１，インラインデータ記憶部２及
びこのプロセスパラメータ値記憶部10のデータを対応付
けて記憶している。また変動値計算記憶部７では、イン
ラインデータ記憶部２のデータとプロセスパラメータ値
記憶部10のデータから変動幅を計算し、算出された変動
幅はモデルパラメータ算出部６へ与えられ、モデルパラ
メータ算出部６にて変動値計算記憶部７と相関関係記憶
部５とのデータに基づいてモデルパラメータを算出する
ようになしてある。他の構成は図２に示すものと同様で
ある。本実施例では、各プロセスを実施する条件値を記
憶するプロセスパラメータ値記憶部を備えるので、この
設定値に基づいてインラインデータの変動幅を設定する
ことができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
Claims (5)
- 【請求項１】 ウエハのデバイス特性を示す複数のモデ
ルパラメータを記憶するモデルパラメータ記憶部と、該
モデルパラメータ記憶部が記憶するモデルパラメータ間
の相関関係を計算して相関関係式を求める相関計算部
と、該相関計算部で求められた相関関係式を記憶する相
関関係記憶部と、該相関関係記憶部が記憶する相関関係
式に基づいて、任意の主パラメータから従属パラメータ
を算出してモデルパラメータとして抽出するモデルパラ
メータ算出部とを備えるモデルパラメータ抽出装置にお
いて、前記ウエハを製造するための、複数のプロセスを
含む製造ラインでのデバイス特性をモニタリングにより
表したインラインデータを記憶するインラインデータ記
憶部と、該インラインデータ記憶部のデータと前記モデ
ルパラメータ記憶部が記憶しているモデルパラメータと
を対応付けて記憶する対応付け記憶部とを備え、該対応
付け記憶部の記憶内容に基づいて、前記相関計算部がパ
ラメータ間の相関関係を計算する構成となしてあること
を特徴とするモデルパラメータ抽出装置。 - 【請求項２】 インラインデータ記憶部のデータに基づ
いて、デバイス特性を示すモデルパラメータの変動値を
計算，記憶する変動値計算記憶部を備え、該変動値計算
記憶部のデータと前記相関関係記憶部のデータとからモ
デルパラメータを算出する構成となしてあることを特徴
とする請求項１記載のモデルパラメータ抽出装置。 - 【請求項３】 後続のプロセスにて変動が予測されるモ
デルパラメータの変動幅を記憶する変動幅記憶部を備
え、該変動幅記憶部のデータを前記変動値計算記憶部へ
与える構成となしてあることを特徴とする請求項２記載
のモデルパラメータ抽出装置。 - 【請求項４】 各プロセスにおいてデバイスシミュレー
ションを行った結果得られるデータを記憶するシミュレ
ーション結果記憶部を備え、該シミュレーション結果記
憶部のデータを前記対応付け記憶部及び前記変動値計算
記憶部へ与える構成となしてあることを特徴とする請求
項２記載のモデルパラメータ抽出装置。 - 【請求項５】 各プロセスを実施する条件値を記憶する
プロセスフロー値記憶部を備え、該プロセスフロー値記
憶部のデータを前記対応付け記憶部及び前記変動値計算
記憶部へ与える構成となしてあることを特徴とする請求
項２記載のモデルパラメータ抽出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5122678A JPH06332976A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | モデルパラメータ抽出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5122678A JPH06332976A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | モデルパラメータ抽出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06332976A true JPH06332976A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14841929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5122678A Pending JPH06332976A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | モデルパラメータ抽出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06332976A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100455559B1 (ko) * | 2001-07-18 | 2004-11-06 | 프로모스 테크놀로지즈 인코포레이티드 | 측정 가능한 장비 신호들을 이용한 공정수행 인-라인모니터링을 위한 방법 및 시스템 |
| US6991324B2 (en) | 2002-03-19 | 2006-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Solution injector head, functional layer forming apparatus and liquid crystal display |
| KR100590603B1 (ko) * | 2004-09-24 | 2006-06-19 | 에임시스템 주식회사 | 반도체 제조 설비의 비정형 데이터 수집 시스템 및 방법과그 방법을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로읽을 수 있는 기록매체 |
| WO2015089231A1 (en) * | 2013-12-11 | 2015-06-18 | Kla-Tencor Corporation | Target and process sensitivity analysis to requirements |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06188405A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-08 | Sharp Corp | Ｖｌｓｉプロセスのデータ解析支援システム |
-
1993
- 1993-05-25 JP JP5122678A patent/JPH06332976A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06188405A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-08 | Sharp Corp | Ｖｌｓｉプロセスのデータ解析支援システム |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100455559B1 (ko) * | 2001-07-18 | 2004-11-06 | 프로모스 테크놀로지즈 인코포레이티드 | 측정 가능한 장비 신호들을 이용한 공정수행 인-라인모니터링을 위한 방법 및 시스템 |
| US6991324B2 (en) | 2002-03-19 | 2006-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Solution injector head, functional layer forming apparatus and liquid crystal display |
| KR100590603B1 (ko) * | 2004-09-24 | 2006-06-19 | 에임시스템 주식회사 | 반도체 제조 설비의 비정형 데이터 수집 시스템 및 방법과그 방법을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로읽을 수 있는 기록매체 |
| WO2015089231A1 (en) * | 2013-12-11 | 2015-06-18 | Kla-Tencor Corporation | Target and process sensitivity analysis to requirements |
| JP2017508273A (ja) * | 2013-12-11 | 2017-03-23 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 要件に対するターゲット及びプロセス感度の分析 |
| US10726169B2 (en) | 2013-12-11 | 2020-07-28 | Kla-Tencor Corporation | Target and process sensitivity analysis to requirements |
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