JPH0632794Y2 - Electrostrictive motor - Google Patents

Electrostrictive motor

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JPH0632794Y2
JPH0632794Y2 JP1987145838U JP14583887U JPH0632794Y2 JP H0632794 Y2 JPH0632794 Y2 JP H0632794Y2 JP 1987145838 U JP1987145838 U JP 1987145838U JP 14583887 U JP14583887 U JP 14583887U JP H0632794 Y2 JPH0632794 Y2 JP H0632794Y2
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electrostrictive
electrostrictive element
motor
frequency voltage
element group
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一正 大西
幹雄 梅田
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Alps Electric Co Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】 「技術分野」 本考案は、電歪モータに関し、特に単一位相の周波電圧
で振動波(定在波)を発生させて駆動することができる
電歪モータに関する。
[Technical Field] The present invention relates to an electrostrictive motor, and more particularly to an electrostrictive motor capable of generating and driving an oscillating wave (standing wave) with a single-phase frequency voltage.

「従来技術およびその問題点」 電歪素子を利用したモータは、従来各種提案されている
が、そのうち超音波振動子の界面に励振される横波と縦
波の合成された進行波によって、直線運動(リニアモー
タ)または回転運動を得るものは、特開昭58-148682号
で最初に提案された。この超音波振動を利用したモータ
は、横波と縦波の合成波による進行波を発生させるた
め、位相の異なる二つ以上の周波電圧を電歪素子に加え
なければならない。しかし位相の異なる周波電圧を得る
ためには、複雑な電源回路を必要とし、かつこれを特定
の方向に分極処理した電歪素子に印加するための複雑な
配線を必要とする。
“Prior art and its problems” Various types of motors using electrostrictive elements have been proposed in the past. Among them, linear motion is generated by a traveling wave composed of transverse and longitudinal waves excited at the interface of an ultrasonic transducer. A (linear motor) or a device which obtains a rotary motion was first proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 58-148682. Since a motor using this ultrasonic vibration generates a traveling wave by a composite wave of a transverse wave and a longitudinal wave, it is necessary to apply two or more frequency voltages having different phases to the electrostrictive element. However, in order to obtain frequency voltages having different phases, a complicated power supply circuit is required and a complicated wiring for applying this to the electrostrictive element polarized in a specific direction is required.

本出願人は、このような背景から既に、単一位相の周波
電圧で駆動することができる電歪モータを開発し、出願
した(特願昭61-233456号)。この電歪モータは、弾性
体に接合した電歪素子を有する振動子と、この振動子の
弾性体の界面に接触する移動子とを備えている。そして
この電歪素子は、移動子の移動方向に間隔を置いて、周
波電圧を印加する直接伸縮極と、この直接伸縮極の左右
に位置する付随伸縮極とを含むように分極処理されてお
り、かつこれらの伸縮極の分極処理方向は、直接伸縮極
とその左右のいずれか一方の付随伸縮極が同一の極性
で、他方の付随伸縮極が異なる極性とされている。
The applicant has already developed and applied for an electrostrictive motor that can be driven by a single-phase frequency voltage (Japanese Patent Application No. 61-233456). This electrostrictive motor includes a vibrator having an electrostrictive element bonded to an elastic body, and a mover that contacts the interface of the elastic body of the vibrator. The electrostrictive element is polarized so as to include a direct expansion / contraction pole for applying a frequency voltage and associated expansion / contraction poles located on the right and left sides of the direct expansion / contraction pole with a space in the moving direction of the mover. In addition, the direction of polarization of these expansion / contraction poles is such that the direct expansion / contraction pole and one of the associated expansion / contraction poles on the left and right thereof have the same polarity, and the other associated expansion / contraction pole has a different polarity.

このような分極処理を施した電歪素子によると、これに
接合された弾性体に、定在波でありながら、移動子に移
動力を付与する振動波が生じ、移動子を回転または直線
移動させることができる。
According to the electrostrictive element that has been subjected to such a polarization treatment, an oscillating wave that imparts a moving force to the moving element, which is a standing wave, is generated in the elastic body bonded to this, and the moving element rotates or moves linearly. Can be made.

ところがこの電歪モータは、周波電圧を印加すべき直接
伸縮極が間隔を置いて配置され、しかも回転方向を逆転
させる場合には、直接伸縮極の位置が異なってしまうた
め、その配線処理が、二つ以上の異なる周波電圧を加え
る従来モータよりは単純になるものの、必ずしも簡単で
はなく、改良の余地があった。
However, in this electrostrictive motor, the direct expansion and contraction poles to which the frequency voltage should be applied are arranged at intervals, and when the rotation direction is reversed, the positions of the direct expansion and contraction poles are different, so the wiring process is Although it is simpler than a conventional motor that applies two or more different frequency voltages, it is not always simple and there is room for improvement.

「考案の目的」 本考案は、単一位相の周波電圧で駆動することができ、
しかも配線処理が簡単な電歪モータを提案し、電源回路
を単純化するとともに、さらに配線処理を簡単にするこ
とを目的とする。
"Purpose of Invention" The present invention can be driven by a single-phase frequency voltage,
Moreover, it is an object of the present invention to propose an electrostrictive motor with a simple wiring process, simplify the power supply circuit, and further simplify the wiring process.

「考案の概要」 本考案の電歪モータは、弾性体に接合した電歪素子を有
する振動子と、この振動子の弾性体の界面に接触する移
動子とを備えている。そしてこの電歪素子は、二つのグ
ループからなる複数の積層した電歪素子からなってい
る。すなわち一つのグループは、移動子の移動方向に間
隔を置いて、交互に分極処理方向を異ならせた電歪素子
であり、他の一つのグループは、上記の第一の電歪素子
グループの分極処理に対して、位相を分極処理間隔の略
半分ずつずらせた電歪素子グループである。この二つの
グループは最小単位として、それぞれ一枚ずつで足りる
が、枚数を増やすと、大きい駆動力が得られるととも
に、全体として同一厚さであれば、電力の節約になる。
[Outline of the Invention] The electrostrictive motor of the present invention includes a vibrator having an electrostrictive element bonded to an elastic body, and a mover that contacts the interface of the elastic body of the vibrator. The electrostrictive element is composed of a plurality of laminated electrostrictive elements which are composed of two groups. That is, one group is an electrostrictive element in which the polarization processing direction is alternately changed at intervals in the moving direction of the mover, and the other group is the polarization of the first electrostrictive element group. It is an electrostrictive element group in which the phase is shifted by about half of the polarization processing interval with respect to the processing. One of each of the two groups is sufficient as the minimum unit, but if the number of the two groups is increased, a large driving force can be obtained, and if the thickness is the same as a whole, power consumption can be saved.

そして以上の構成によると、これらの第一の電歪素子グ
ループと、第二の電歪素子グループとのいずれか一方
に、単一位相の周波電圧印加手段により単一位相の周波
電圧を印加することによって、駆動することができる。
回転方向は、第一、第二の積層電歪素子グループのいず
れに単一位相の周波電圧を与えるかによって選択するこ
とができる。一方向の回転のみを要する場合には、一方
の電歪素子グループのみに単一位相の周波電圧を与えれ
ばよい。
According to the above configuration, a single-phase frequency voltage is applied to the one of the first electrostrictive element group and the second electrostrictive element group by the single-phase frequency voltage applying means. It can be driven.
The rotation direction can be selected depending on which of the first and second laminated electrostrictive element groups is applied with a single-phase frequency voltage. When rotation in only one direction is required, a single-phase frequency voltage may be applied to only one electrostrictive element group.

「考案の実施例」 以下図示実施例について本考案を説明する。第1図ない
し第3図は本考案による電歪モータを回転モータに適用
した場合の機械的構成例を示すもので、固定される振動
子10は、環状または円板状の電歪素子11と、この電歪素
子11上に接合した環状の弾性体12からなっている。弾性
体12は例えばAl合金、ステンレス等の金属材料から構成
され、その上面は、電歪素子11による振動波を拡大する
ため、鋸歯状に形成されている。
"Embodiment of the Invention" The present invention will be described below with reference to illustrated embodiments. 1 to 3 show an example of a mechanical structure when the electrostrictive motor according to the present invention is applied to a rotary motor. The vibrator 10 to be fixed is a ring-shaped or disc-shaped electrostrictive element 11. It comprises an annular elastic body 12 bonded onto the electrostrictive element 11. The elastic body 12 is made of, for example, a metal material such as an Al alloy or stainless steel, and its upper surface is formed in a sawtooth shape in order to expand a vibration wave generated by the electrostrictive element 11.

この振動子10上には、電歪素子11および弾性体12と同軸
の回転子20が位置している。この回転子20は、その軸21
を振動子10の軸受13に挿入し、その下端面を弾性体12の
界面(上端面)14に接触させている。電歪素子11に加え
る周波電圧によって界面14に生じる振動波(定在波)に
より、回転子20を回転させる構成である。
A rotor 20 coaxial with the electrostrictive element 11 and the elastic body 12 is located on the vibrator 10. This rotor 20 has its axis 21
Is inserted into the bearing 13 of the vibrator 10, and the lower end face thereof is brought into contact with the interface (upper end face) 14 of the elastic body 12. The rotor 20 is rotated by a vibration wave (standing wave) generated at the interface 14 by a frequency voltage applied to the electrostrictive element 11.

そこで次に、電歪素子11の構造およびこれに与える分極
処理について、第4図、第5図について説明する。本考
案では、この電歪素子11が、第一の電歪素子11aと、第
二の電歪素子11bとの積層構造となっていて、かつこの
電歪素子11aと11bは、その分極処理の位相が異なってい
る。すなわち電歪素子11aと11bはともに、等間隔(この
実施例では45°)で、図に示す+と−の極性で分極処理
されており、これを重ねる際、その位相を分極処理間隔
の半分(同22.5°)だけ異ならせている。+は周波電圧
の+が印加されたとき縮小し、−が印加されたとき伸張
する性質、逆に−は+が印加されたとき伸張し、−が印
加されたとき縮小する極性である。
Therefore, next, the structure of the electrostrictive element 11 and the polarization treatment applied thereto will be described with reference to FIGS. In the present invention, the electrostrictive element 11 has a laminated structure of the first electrostrictive element 11a and the second electrostrictive element 11b, and the electrostrictive elements 11a and 11b are The phases are different. That is, both the electrostrictive elements 11a and 11b are polarized at equal intervals (45 ° in this embodiment) with the positive and negative polarities shown in the figure. (22.5 °). + Is a property of contracting when + of the frequency voltage is applied, and expanding when − is applied, and conversely − is a polarity of expanding when + is applied and contracting when − is applied.

電歪素子11aと11bの間には、第5図に示すように、例え
ば銀電極からなる共通電極15が挟着され、電歪素子11a
の表面と電歪素子11bの裏面には、それぞれ表面電極1
6、17が付されている。これらの電極15、16、17は、環
状の一様電極である。電歪素子11aと11bの分極処理の際
には、その表裏の一方に45°間隔の電極を付し、これら
の電極を利用して、上記分極処理を行なうことは勿論で
ある。
As shown in FIG. 5, a common electrode 15 made of, for example, a silver electrode is sandwiched between the electrostrictive elements 11a and 11b, and
On the front surface of the electrostrictive element 11b and on the back surface of the electrostrictive element 11b.
6 and 17 are attached. These electrodes 15, 16 and 17 are annular uniform electrodes. In the polarization treatment of the electrostrictive elements 11a and 11b, it goes without saying that electrodes on the front and back sides of the electrodes are provided at intervals of 45 ° and the polarization treatment is performed using these electrodes.

共通電極15と表面電極16の間、および共通電極15と表面
電極17の間には、それぞれスイッチ手段18を介して、周
波電源19からの単一位相の周波電圧が印加される。すな
わち、電歪素子11aと11bは、いずれか一方に択一して単
一位相の周波電圧が印加されるものである。
A single-phase frequency voltage from a frequency power supply 19 is applied between the common electrode 15 and the surface electrode 16 and between the common electrode 15 and the surface electrode 17 via the switch means 18, respectively. That is, the electrostrictive elements 11a and 11b are selected to be either one and a single-phase frequency voltage is applied.

上記構成の電歪モータは、電歪素子11aに周波電源19か
らの単一位相の周波電圧を印加すると、回転子20が時計
方向に回転し、電歪素子11bに同電圧を印加すると、回
転子20が反時計方向に回転する。
The electrostrictive motor configured as described above, when a single-phase frequency voltage from the frequency power supply 19 is applied to the electrostrictive element 11a, the rotor 20 rotates clockwise, and when the same voltage is applied to the electrostrictive element 11b, the rotor rotates. The child 20 rotates counterclockwise.

以下はその理由の推論である。電歪素子11aに周波電圧
を印加すると、+の分極処理極は、+の電圧で伸張し、
−の電圧で縮小する。−の分極処理極は、+の電圧で縮
小し、−の電圧で伸張する。したがって、仮に電歪素子
11bが存在しないとすれば、電歪素子11aは部分的な上下
の振動(定在波)を繰り返すだけで、弾性体12の界面14
には、回転子20を回転駆動する何等の力も発生しないと
考えられる。
The following is an inference of the reason. When a frequency voltage is applied to the electrostrictive element 11a, the + polarized electrode expands at the + voltage,
Reduce with a voltage of-. The-polarization treatment electrode contracts at a voltage of + and expands at a voltage of-. Therefore, if the electrostrictive element
Assuming that 11b does not exist, the electrostrictive element 11a simply repeats partial up and down vibrations (standing waves), and
It is considered that no force is generated to drive the rotor 20 to rotate.

ところが、電歪素子11aの下には、電歪素子11bが重ねら
れており、しかもその位相が分極処理間隔の半分ずれて
いる。このため、電歪素子11aに加えられた周波電圧の
漏れ電圧により、電歪素子11bの+の分極処理極と−の
分極処理極が、電歪素子11aよりは小さいものの、同様
に伸縮する。すると、電歪素子11aによって生じる定在
波に、電歪素子11bによって生じる小さい定在波が重ね
合わせる形となり、しかもその位相が異なっているため
に、弾性体12の界面14には、一方向への倒れ成分を含む
定在波が生じる。その結果、回転子20が回転するのであ
る。
However, the electrostrictive element 11b is superposed below the electrostrictive element 11a, and the phase thereof is shifted by half the polarization processing interval. Therefore, due to the leakage voltage of the frequency voltage applied to the electrostrictive element 11a, the + polarization processing pole and the − polarization processing pole of the electrostrictive element 11b are smaller than the electrostrictive element 11a, but similarly expand and contract. Then, the standing wave generated by the electrostrictive element 11a is overlapped with the small standing wave generated by the electrostrictive element 11b, and since the phases thereof are different, the interface 14 of the elastic body 12 has one direction. A standing wave including a falling component is generated. As a result, the rotor 20 rotates.

電歪素子11bに周波電圧を加える場合は、定在波の倒れ
方向が以上と逆になる。したがって、回転子20は逆転す
ることとなる。
When a frequency voltage is applied to the electrostrictive element 11b, the standing wave falls in the opposite direction. Therefore, the rotor 20 will be reversed.

以上は本考案の電歪モータの回転原理についての一つの
推論であるが、本考案の電歪モータの作動は、実際に確
認されている。したがって以上と異なる原理によって作
動していたとしても、本考案の権利は狭められない。
The above is one reasoning about the rotation principle of the electrostrictive motor of the present invention, but the operation of the electrostrictive motor of the present invention has been actually confirmed. Therefore, even if it operates on a principle different from the above, the right of the present invention cannot be narrowed.

なお電歪素子11を直線状に展開すれば、リニアモータが
得られる。この場合回転子は、直線移動子となる。この
リニアモータの場合には、さらに利点がある。すなわち
従来の進行波による電歪モータは、原理的にはリニアモ
ータにも適用可能であるが、実際に適用すると、進行波
の反射の問題が生じる。振動子の終点が必ず存在するた
め、この終点において、進行波が反射するのである。こ
の反射波は、明らかにリニアモータの駆動力である進行
波と合成され、最適な駆動力が得られなくなるから、な
んらかの進行波の吸収装置が必要となる。これに対し、
本考案は定在波によって駆動力を得ているため、このよ
うな反射波の問題は基本的に生じない。よってより単純
な構成のリニアモータが得られる。
A linear motor can be obtained by linearly expanding the electrostrictive element 11. In this case, the rotor is a linear mover. In the case of this linear motor, there are further advantages. That is, the conventional traveling wave electrostrictive motor can be applied to a linear motor in principle, but if it is actually applied, a problem of traveling wave reflection occurs. Since the end point of the oscillator always exists, the traveling wave is reflected at this end point. This reflected wave is obviously combined with the traveling wave that is the driving force of the linear motor, and the optimum driving force cannot be obtained. Therefore, some sort of traveling wave absorbing device is required. In contrast,
Since the present invention obtains the driving force by the standing wave, the problem of such reflected wave basically does not occur. Therefore, a linear motor having a simpler structure can be obtained.

上記実施例では、電歪素子11aと11bがそれぞれ一層であ
るが、これらはそれぞれ複数層にすることができる。複
数層にすると、より大きい駆動力が得られる。また電歪
素子11aと11bの全体の厚さを同一とすると、複数層に形
成した方が消費電力が少ない。さらに電歪素子11aと11b
は、両者の積層枚数を異ならせることにより、回転方向
によって、回転トルクを異ならせることが可能である。
In the above embodiment, each of the electrostrictive elements 11a and 11b has one layer, but each of them can have a plurality of layers. A larger driving force can be obtained by using a plurality of layers. Further, if the electrostrictive elements 11a and 11b have the same overall thickness, the power consumption is smaller when they are formed in a plurality of layers. Furthermore, electrostrictive elements 11a and 11b
It is possible to make the rotational torque different depending on the rotation direction by making the number of laminated layers different from each other.

「考案の効果」 以上のように本考案の電歪モータによると、単一位相の
周波電圧によって移動子を移動させることができる。よ
って電歪素子の分極方向を環状とすれば回転モータが、
直線状とすればリニアモータが得られる。また電歪素子
は、積層された二つのグループの電歪素子からなってい
て、積層素子間の分極処理の位相が異なっており、これ
ら積層歪素子に択一して、単一位相の周波電圧を与える
だけで、移動方向の反転ができる。よって、駆動電源回
路および電歪素子に対する結線を単純化し、全体として
より安価な電歪モータを提供することができる。
“Effect of Device” As described above, according to the electrostrictive motor of the present invention, the mover can be moved by the single-phase frequency voltage. Therefore, if the polarization direction of the electrostrictive element is annular, the rotary motor
A linear motor can be obtained by making it linear. The electrostrictive element is composed of two groups of laminated electrostrictive elements, and the phase of polarization processing between the laminated elements is different. The direction of movement can be reversed simply by giving. Therefore, it is possible to simplify the connection to the drive power supply circuit and the electrostrictive element, and to provide a cheaper electrostrictive motor as a whole.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本考案の電歪モータの実施例を示す断面図、第
2図は第1図のII−II線に沿う断面図、第3図は第2図
のIII−III線に沿う断面図、第4図は電歪素子の分極処
理と、位相のずれ状態を示す模式的分解斜視図、第5図
は同縦断面図である。 10……振動子、11……電歪素子、11a、11b……電歪素
子、12……弾性体、14……界面、15……共通電極、16、
17……表面電極、18……スイッチ手段、19……周波電
源、20……回転子(移動子)、21……軸。
1 is a sectional view showing an embodiment of the electrostrictive motor of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III in FIG. 4 and 5 are schematic exploded perspective views showing polarization treatment of an electrostrictive element and a phase shift state, and FIG. 5 is a vertical sectional view of the same. 10 ... Oscillator, 11 ... Electrostrictive element, 11a, 11b ... Electrostrictive element, 12 ... Elastic body, 14 ... Interface, 15 ... Common electrode, 16,
17 …… Surface electrode, 18 …… Switch means, 19 …… Frequency power supply, 20 …… Rotor (mover), 21 …… Axis.

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−210172(JP,A) 特開 昭60−207469(JP,A) 特開 昭60−91877(JP,A) 特開 昭62−225181(JP,A) 特開 昭62−244284(JP,A) 特開 昭63−190569(JP,A)Continuation of front page (56) Reference JP-A-60-210172 (JP, A) JP-A-60-207469 (JP, A) JP-A-60-91877 (JP, A) JP-A-62-225181 (JP , A) JP-A-62-244284 (JP, A) JP-A-63-190569 (JP, A)

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】弾性体に接合した電歪素子を有する振動子
と、この振動子の弾性体の界面に接触する移動子とを備
えた電歪モータであって、 上記電歪素子は、移動子の移動方向に間隔を置いて交互
に分極処理方向を異ならせた第一の電歪素子グループ
と;この第一の電歪素子グループと分極処理は同一で、
その位相を該グループに対し分極処理間隔の半分だけ異
ならせて該第一の電歪素子グループに積層した第二の電
歪素子グループと;から構成されており、 かつこの第一の電歪素子グループと、第二の電歪素子グ
ループとのいずれか一方に、単一位相の周波電圧を印加
する周波電圧印加手段を設けたことを特徴とする電歪モ
ータ。
1. An electrostrictive motor comprising: a vibrator having an electrostrictive element bonded to an elastic body; and a mover in contact with an interface of the elastic body of the vibrator, wherein the electrostrictive element is a movable body. A first electrostrictive element group in which the polarization processing directions are alternately changed at intervals with respect to the moving direction of the child; the first electrostrictive element group and the polarization processing are the same,
A second electrostrictive element group, the phase of which is different from that of the first electrostrictive element group by a half of the polarization processing interval; and the first electrostrictive element An electrostrictive motor characterized in that a frequency voltage applying means for applying a frequency voltage of a single phase is provided in either one of the group and the second electrostrictive element group.
【請求項2】実用新案登録請求の範囲第1項において、
電歪素子の分極処理は環状になされており、移動子は回
転子である電歪モータ。
2. In the claim 1 of the utility model registration claim,
The electrostrictive element has an annular polarization process, and the rotor is a rotor.
【請求項3】実用新案登録請求の範囲第1項において、
電歪素子の分極処理は直線状になされており、移動子は
直線移動子である電歪モータ。
3. A utility model registration claim as set forth in claim 1.
The electrostrictive element has a linear polarization process, and the moving element is a linear moving element.
【請求項4】実用新案登録請求の範囲第1項ないし第3
項のいずれか1項において、周波電圧印加手段は、第一
の電歪素子グループと、第二の電歪素子グループとに択
一して単一位相の周波電圧を印加するスイッチ手段を有
している電歪モータ。
4. Claims 1 to 3 of the utility model registration claim.
In any one of the paragraphs, the frequency voltage applying means has a switch means for applying a single-phase frequency voltage by selecting one of the first electrostrictive element group and the second electrostrictive element group. Electrostrictive motor.
JP1987145838U 1987-09-24 1987-09-24 Electrostrictive motor Expired - Lifetime JPH0632794Y2 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6091877A (en) * 1983-10-21 1985-05-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd Piezoelectric linear motor
JPS60207469A (en) * 1984-03-30 1985-10-19 Showa Electric Wire & Cable Co Ltd Supersonic motor
JPS60210172A (en) * 1984-04-02 1985-10-22 Canon Inc Vibration wave motor
JPS62225181A (en) * 1986-03-25 1987-10-03 Canon Inc Oscillatory wave motor

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JPS6450691U (en) 1989-03-29

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