JPS63224679A - Ultrasonic motor - Google Patents
Ultrasonic motorInfo
- Publication number
- JPS63224679A JPS63224679A JP62055667A JP5566787A JPS63224679A JP S63224679 A JPS63224679 A JP S63224679A JP 62055667 A JP62055667 A JP 62055667A JP 5566787 A JP5566787 A JP 5566787A JP S63224679 A JPS63224679 A JP S63224679A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric vibrator
- rotor
- stator
- ultrasonic motor
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明は、屈曲振動を利用した超音波モータに関する
。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an ultrasonic motor that utilizes bending vibration.
(従来の技術)
圧電振動子を用いた超音波モータの研究、開発が行われ
ているが、その原理、構造もさまざまである。たとえば
、弾性進行波を利用し回転運動を行う超音波モータは、
第13図および第74図に示すように複数個の圧電振動
子61を弾性体リングに取付け、該圧電振動子61を位
相の異なる信号で順次駆動すると弾性体リング62には
楕円運動を行う弾性進行波63が発生する。この楕円運
動を利用して弾性体リング62に加圧接触させたロータ
64を回転させていたが、この構成からなる超音波モー
タでは多数個の圧電振動子61を要し、かつこれらの圧
電振動子61をそれぞれ位相の異なる信号で駆動しなけ
ればならず、このため駆動回路が複雑となり大形化せざ
るをmなかった。また弾性体リング62に発生する弾性
進行波63の楕円運動を利用して回転運動を得ているた
め、入力する電気エネルギーに対し出力される機械的エ
ネルギーが小さく効率が低い問題点があった。(Prior Art) Ultrasonic motors using piezoelectric vibrators are being researched and developed, but their principles and structures vary. For example, an ultrasonic motor that uses elastic traveling waves to perform rotational motion,
As shown in FIGS. 13 and 74, when a plurality of piezoelectric vibrators 61 are attached to an elastic ring and the piezoelectric vibrators 61 are sequentially driven using signals with different phases, the elastic ring 62 has elasticity that performs elliptical motion. A traveling wave 63 is generated. This elliptical motion was used to rotate the rotor 64, which was brought into pressure contact with the elastic ring 62, but an ultrasonic motor with this configuration requires a large number of piezoelectric vibrators 61, and these piezoelectric vibrations The elements 61 must be driven with signals having different phases, which makes the drive circuit complicated and has to be increased in size. Further, since rotational motion is obtained using the elliptical motion of the elastic traveling wave 63 generated in the elastic ring 62, there is a problem in that the mechanical energy output is small relative to the input electrical energy and the efficiency is low.
(発明が解決しようとする問題点)
この発明では、厚み方向または縦方向振動を行う圧電振
動子を使用して駆動回路構成が簡易であり、出力効率の
高い、かつ小形化できる超音波モータを提供するもので
ある。(Problems to be Solved by the Invention) The present invention provides an ultrasonic motor that uses a piezoelectric vibrator that vibrates in the thickness direction or longitudinal direction, has a simple drive circuit configuration, has high output efficiency, and can be made compact. This is what we provide.
[発明の構成J
(問題点を解決するための手段)
この発明になる超音波モータは、厚み方向または縦方向
振動を行う圧電振動子と、該圧電振動子の一面または両
面に直接またはステータを介して接触するロータを具備
したものであり、必要があれば圧電振動子またはステー
タのロータと接触する面および/またはロータの圧電振
動子またはステータに接触する面にスリット。[Structure J of the Invention (Means for Solving Problems) The ultrasonic motor of the present invention includes a piezoelectric vibrator that vibrates in the thickness direction or the longitudinal direction, and a stator directly or on one or both surfaces of the piezoelectric vibrator. If necessary, a slit is provided on the surface of the piezoelectric vibrator or stator that contacts the rotor and/or the surface of the rotor that contacts the piezoelectric vibrator or stator.
突出部、凸部、凹部2段差あるいはこれらの組合せから
なるものを設けたり、さらに圧電振動子とステータとの
当接面にスリット、突出部。Protrusions, protrusions, two-step recesses, or a combination of these may be provided, and slits and protrusions may be provided on the contact surface between the piezoelectric vibrator and the stator.
凸部、凹部1段差またはこれらの組合せからなるものを
設けたりしたもので、圧電振動子を駆動させることによ
りロータを回転させるものである。The rotor is provided with a convex portion, a one-step concave portion, or a combination thereof, and the rotor is rotated by driving a piezoelectric vibrator.
(作用)
この発明になる超音波モータは、厚み方向または縦方向
振動を行う圧電振動子を駆動させることにより、ステー
タにまたはロータの圧電振動子またはステータと接触す
る部分に屈曲振動を生じさせ、該屈曲振動を直接ロータ
に伝達するものであるから、ロータへの伝達効率が高く
なるものである。(Function) The ultrasonic motor of the present invention generates bending vibration in the stator or in the piezoelectric vibrator or the portion of the rotor that contacts the stator by driving a piezoelectric vibrator that vibrates in the thickness direction or in the longitudinal direction. Since the bending vibration is directly transmitted to the rotor, the efficiency of transmission to the rotor is increased.
(実施例)
実施例1
第1図に分解斜視図、第2図に組立図で示すように、厚
み方向または縦方向振動を行う圧電振動子1はステータ
2に接触する面に31!]以上の凸部3が設けられてお
り、また前記圧電振動子1は側面に削り落し部4が設け
られており、該ステータ2のロータ5と接触する而には
多数の凸部6が設けられており、該ステータ2の該凸部
6を形成した面には該ロータ5がベアリング7、ワッシ
ャ8.スプリング9などを介してビス10によりステー
タ2に加圧状態のまま取着される。(Example) Example 1 As shown in an exploded perspective view in Fig. 1 and an assembled view in Fig. 2, a piezoelectric vibrator 1 that vibrates in the thickness direction or longitudinal direction has 31! The piezoelectric vibrator 1 is provided with a cut-off portion 4 on its side surface, and a large number of protrusions 6 are provided on the part of the stator 2 that contacts the rotor 5. The rotor 5 is provided with a bearing 7, a washer 8 . It is attached to the stator 2 in a pressurized state with screws 10 via a spring 9 or the like.
このような構成からなる超音波モータにおいて、圧電振
動子1に電圧を印加して駆動させると、ステータ2は該
圧電振動子1の3個の凸部が設けられているために屈曲
振動を行うので、前記ステータ2に設けられた凸部には
ベクトルが動き、これによってロータ5は回転する。こ
のステータ2の他の例を第3図〜第5図に示すが、それ
ぞれ6a、6b、6cが凸部でロータに接する部分であ
り、第4図、第5図のように凸部は径方向1円周状また
はこれらの組合ばあるいは任意の形状に細分化されてい
てもよい。In the ultrasonic motor having such a configuration, when a voltage is applied to the piezoelectric vibrator 1 to drive it, the stator 2 performs bending vibration because the three convex portions of the piezoelectric vibrator 1 are provided. Therefore, a vector moves on the convex portion provided on the stator 2, and the rotor 5 rotates thereby. Other examples of this stator 2 are shown in FIGS. 3 to 5, where 6a, 6b, and 6c are convex portions that contact the rotor, and as shown in FIGS. 4 and 5, the convex portions have a diameter It may be subdivided into a circumferential shape in one direction, a combination thereof, or an arbitrary shape.
また第6図〜第8図にステータに設けた凸部のロータと
の接触部分の拡大図を示すが、第6図に示すように接触
部分11aの如く直線状の勾配を有した構造でもよく、
この場合ステータが屈曲したとき、ロータに接する面積
を大きくとれるため、より大きなトルクを有し、伝達効
率がすぐれていることが確認された。なお、第7図に示
すように曲線状の勾配の接触部分11b。Further, although FIGS. 6 to 8 show enlarged views of the contact portion of the convex portion provided on the stator with the rotor, a structure having a linear slope as shown in FIG. 6 as the contact portion 11a may also be used. ,
In this case, it was confirmed that when the stator is bent, the area in contact with the rotor can be increased, resulting in larger torque and superior transmission efficiency. In addition, as shown in FIG. 7, the contact portion 11b has a curved slope.
第8因に示すように細分化し勾配を有する段差からなる
接触部分11Gでもよい。このように勾配を有するステ
ータを用いて超音波の回転方向を任意に定めることも可
能である。また第2図においてステータ2は凸部6にて
ロータ5に接触している旨述べたが、圧電振動子1とス
テータ2との当接面に凹凸が形成されている場合はステ
ータ2とロータ5との接触部分は平面でもよく、また圧
電振動子1またはステータ2の凸部6が屈曲振動を行っ
たときのみロータ5が凸部6に接触するようにしてもよ
い。As shown in the eighth factor, the contact portion 11G may be made up of steps that are subdivided and have a slope. It is also possible to arbitrarily determine the rotational direction of the ultrasonic waves using a stator having such a slope. Furthermore, although it has been stated in FIG. 2 that the stator 2 is in contact with the rotor 5 at the convex portion 6, if the contact surface between the piezoelectric vibrator 1 and the stator 2 is uneven, the stator 2 and the rotor The contact portion with the rotor 5 may be a flat surface, or the rotor 5 may contact the protrusion 6 only when the piezoelectric vibrator 1 or the protrusion 6 of the stator 2 performs bending vibration.
なお、上記の実施例では圧電振動子1およびステータ2
に凸部3,6を設け、圧電振動子1はステータ2に当接
し、該ステータ2はロータ5に接触する旨述べたが、逆
に凹部や段差を有してそれぞれ当接、接触するようにし
てもよい。Note that in the above embodiment, the piezoelectric vibrator 1 and the stator 2
Although it has been described that the piezoelectric vibrator 1 comes into contact with the stator 2 and the stator 2 contacts the rotor 5 by providing the convex portions 3 and 6 in the piezoelectric vibrator 1, the piezoelectric vibrator 1 comes into contact with the stator 2, and the stator 2 contacts the rotor 5. You may also do so.
また圧電振動子7には削り落し部4を設けたが、これに
よって圧電振動子1に生ずる縮退モードを分離した状態
で使用できる作用効果がある。Further, the piezoelectric vibrator 7 is provided with the cut-off portion 4, which has the effect of allowing the piezoelectric vibrator 1 to be used in a state where the degenerate mode occurring in the degenerate mode is separated.
さらに、圧電振動子1の両面に凸部3を設け、上下部に
ステータ2.ロータ5.ベアリング7゜ワッシャ8.ス
プリング9.ビス10を使用し、上下部に回転機構を有
するものとしてもよい。Further, convex portions 3 are provided on both sides of the piezoelectric vibrator 1, and stators 2. Rotor 5. Bearing 7° Washer 8. Spring 9. The screw 10 may be used and a rotation mechanism may be provided at the upper and lower portions.
実施例2
第9図に超音波モータの分解斜視図、第10図にロータ
の平面図を示す。すなわち第9図のように厚み方向およ
び縦方向振動を行う圧電振動子20には削り落し部23
を設はロータ21をベアリング24.ワッシャ25.ス
プリング26を介し、ビス27にて前記圧電振動子に加
圧状態のまま取着される。第10図に示すように、前記
ロータ21の圧電振動子20に接触する部分には段差2
8を有する突出部22が等間隔に4箇所設けられている
。第11図に他の圧電振動子の実施例を示すが、−面に
円周状の凹部29を形成し、他は第9図に示した部品を
用いて超音波モータを構成している。さらに、第12図
に示すように積層型の厚み方向または縦方向振動を行う
圧電振動子30にスリット31を設けたものでもよい。Embodiment 2 FIG. 9 shows an exploded perspective view of an ultrasonic motor, and FIG. 10 shows a plan view of a rotor. In other words, as shown in FIG.
Set the rotor 21 to the bearing 24. Washer 25. It is attached to the piezoelectric vibrator with a screw 27 via a spring 26 in a pressurized state. As shown in FIG. 10, the portion of the rotor 21 that contacts the piezoelectric vibrator 20 has a step 2
Four protrusions 22 having a diameter of 8 are provided at equal intervals. FIG. 11 shows another embodiment of a piezoelectric vibrator, in which a circumferential recess 29 is formed on the negative side, and the other components shown in FIG. 9 are used to construct an ultrasonic motor. Furthermore, as shown in FIG. 12, a slit 31 may be provided in a laminated piezoelectric vibrator 30 that vibrates in the thickness direction or in the longitudinal direction.
このように圧電振動子の形は円形に限らず、4角形な
ど多角形のものを用いてもよい。In this way, the shape of the piezoelectric vibrator is not limited to a circular shape, but a polygonal shape such as a quadrangular shape may be used.
なお、以上述べた実施例などのほか、圧電振動子または
ステータのロータと接触する面および/またはロータの
圧電振動子またはステータに接触する面にスリット、突
出部、凸部、四部。In addition to the embodiments described above, slits, protrusions, convex parts, and four parts may be provided on the surface of the piezoelectric vibrator or stator that contacts the rotor and/or the surface of the rotor that contacts the piezoelectric vibrator or stator.
段差またはこらの組合せからなるものを用いてもよいし
、さらにこれら接触部分が細分化されたもの、または接
触部分が勾配を有するもの、あるいは接触面を細分化し
勾配を有する段差としたものでもよい。なお、スリット
、突出部。It may be possible to use a step consisting of a step or a combination thereof, or a contact portion may be further subdivided, a contact portion may have a slope, or a contact surface may be subdivided to have a step with a slope. . In addition, slits and protrusions.
凸部、凹部1段差またほこらの組合せからなるものの構
造および形状については、上記で個々に述べたちのそれ
ぞれに限定されることなく、必要に応じそれぞれの組合
せから構成するか、あるいは設計変更の範晴で適宜に考
えられる構成としても屈曲振動を得ることができ、実施
例と同じ効果を得ることができる。The structure and shape of a structure consisting of a combination of a convex part, a one-step difference in a concave part, or a dot is not limited to each of the above individually described, but may be constructed from a combination of each as necessary, or may be subject to design changes. It is possible to obtain bending vibration even with a configuration that can be devised as appropriate, and the same effect as in the embodiment can be obtained.
さらに、圧電振動子とステータとの当接面にスリット、
突出部、凸部、凹部2段差またはこれらの組合せからな
るものを設けたものでもよく、また圧電振動子の側面を
一部または数箇所削り落したものを用いて超音波モータ
を構成してもよい。なお、厚み方向J5よび縦方向振動
を行う圧電振動子は、積層型のものを用いてもよく、こ
の場合低電圧化、小形化が可能となる。Furthermore, slits are provided on the contact surface between the piezoelectric vibrator and the stator.
The ultrasonic motor may be provided with a protrusion, a convex portion, a two-step recess, or a combination thereof, or may be configured using a piezoelectric vibrator with a portion or several portions of the side surface shaved off. good. Note that the piezoelectric vibrator that vibrates in the thickness direction J5 and in the longitudinal direction may be of a laminated type, and in this case, it is possible to lower the voltage and make the piezoelectric vibrator smaller.
圧電振動子の駆動信号は交流信号はもとより、パルス信
号の如きものでもよい。また圧電振動子のロータとの接
触部分、および/またはロータあるいはステータのロー
タとの接触部分、および/またはロータにゴム、ll雑
、バルブ、高分子材料、またはこれらを含む複合材料な
どからなる摩擦材を取着させて超音波モータを構成して
もよい。The drive signal for the piezoelectric vibrator may be not only an alternating current signal but also a pulse signal. In addition, the contact portion of the piezoelectric vibrator with the rotor, and/or the contact portion of the rotor or stator with the rotor, and/or the rotor may be made of rubber, other materials, valves, polymeric materials, or composite materials containing these. An ultrasonic motor may be constructed by attaching materials.
[発明の効果]
この発明になる超音波モータによれば、従来のように複
数の圧電振動子を必要とぜず、厚み方向または縦方向振
動を行う圧電振動子に単相の駆動信号を印加するだけで
構造的にも回路的にもシンプルになり、また直接屈曲振
動を利用するため圧電振動子からロータ、あるいはステ
ータからロータへの伝達効率が非常にすぐれている効果
を有する。[Effects of the Invention] According to the ultrasonic motor of the present invention, a single-phase drive signal can be applied to a piezoelectric vibrator that vibrates in the thickness direction or longitudinal direction, without requiring a plurality of piezoelectric vibrators as in the past. This makes the structure simple and the circuit simple, and since direct bending vibration is used, the transmission efficiency from the piezoelectric vibrator to the rotor, or from the stator to the rotor, is very high.
第1図〜第12図は本発明の実施例を示し、第1図は超
音波モータの分解斜視図、第2図は超音波モータの正面
図、第3図〜第5図はステータの他の実施例に係るステ
ータそれぞれを示す平面図、第6図〜第8図はステータ
とロータとの接触部分の実施例それぞれを示す一部拡大
正面図、第9図は他の実施例になる超音波モータの分解
斜視図、第10図は他の実施例になるロータの正面図、
第11図および第12図は他の実施例になる圧電振動子
それぞれを示す斜視図、第13図は従来の超音波モータ
を示す分解斜視図、第14図は従来の超音波モータの構
成を示す斜視図である。
1・・・圧電振動子、2・・・ステータ、3・・・凸部
。
4・・・削り落し部、5・・・ロータ、 6・・・凸部
時 許 出 願 人
マルコン電子株式会社
」7.べ′7ソ>2゛。
第 と 図1 to 12 show embodiments of the present invention, FIG. 1 is an exploded perspective view of an ultrasonic motor, FIG. 2 is a front view of the ultrasonic motor, and FIGS. 3 to 5 show the stator and other components. 6 to 8 are partially enlarged front views showing each embodiment of the contact portion between the stator and the rotor, and FIG. 9 is a plan view showing each of the stators according to another embodiment. An exploded perspective view of a sonic motor, and FIG. 10 is a front view of a rotor according to another embodiment.
11 and 12 are perspective views showing piezoelectric vibrators according to other embodiments, FIG. 13 is an exploded perspective view showing a conventional ultrasonic motor, and FIG. 14 shows the configuration of a conventional ultrasonic motor. FIG. 1... Piezoelectric vibrator, 2... Stator, 3... Convex portion. 4...Shaving off part, 5...Rotor, 6...Convex part Applicant: Marukon Electronics Co., Ltd.7. Be'7so>2゛. No. and fig.
Claims (6)
と、該圧電振動子の一面または両面に直接またはステー
タを介して接触したロータとを具備したことを特徴とす
る超音波モータ。(1) An ultrasonic motor comprising: a piezoelectric vibrator that vibrates in the thickness direction or in the longitudinal direction; and a rotor that contacts one or both surfaces of the piezoelectric vibrator directly or via a stator.
、および/またはロータの圧電振動子またはステータに
接触する面にスリット,突出部,凸部,凹部,段差また
はこれらの組合せからなるものを設けたことを特徴とす
る特許請求の範囲第(1)項記載の超音波モータ。(2) Provide slits, protrusions, protrusions, recesses, steps, or a combination thereof on the surface of the piezoelectric vibrator or stator that contacts the rotor, and/or the surface of the rotor that contacts the piezoelectric vibrator or stator. An ultrasonic motor according to claim (1), characterized in that:
当接面にスリット,突出部,凸部,凹部,段差またはこ
れらの組合せからなるものを設けたことを特徴とする特
許請求の範囲第(1)項または第(2)項記載の超音波
モータ。(3) Claim No. 1 characterized in that a contact surface of either or both of the piezoelectric vibrator and the stator is provided with a slit, a protrusion, a projection, a recess, a step, or a combination thereof. The ultrasonic motor according to item (1) or item (2).
ことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項〜第(3)
項のいずれかに記載の超音波モータ。(4) Claims (1) to (3) characterized in that the side surface of the piezoelectric vibrator is partially or severally shaved off.
The ultrasonic motor described in any of the paragraphs.
またはロータの圧電振動子またはステータに接触する面
が勾配を有していることを特徴とする特許請求の範囲第
(1)項〜第(4)項のいずれかに記載の超音波モータ
。(5) The surface of the piezoelectric vibrator or stator that contacts the rotor, or the surface of the rotor that contacts the piezoelectric vibrator or stator has a slope. The ultrasonic motor according to any of item 4).
請求の範囲第(1)項〜第(5)項のいずれかに記載の
超音波モータ。(6) The ultrasonic motor according to any one of claims (1) to (5), wherein the piezoelectric vibrator is of a laminated type.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62055667A JPS63224679A (en) | 1987-03-10 | 1987-03-10 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62055667A JPS63224679A (en) | 1987-03-10 | 1987-03-10 | Ultrasonic motor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63224679A true JPS63224679A (en) | 1988-09-19 |
Family
ID=13005209
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62055667A Pending JPS63224679A (en) | 1987-03-10 | 1987-03-10 | Ultrasonic motor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63224679A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5917270A (en) * | 1992-12-17 | 1999-06-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven motor or actuator |
US6198202B1 (en) * | 1994-08-04 | 2001-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration actuator |
US7019437B2 (en) * | 2003-09-04 | 2006-03-28 | Swe-Kai Chen | High-efficiency piezoelectric single-phase uni-polar ultrasonic actuators with a notched PZT back disc |
-
1987
- 1987-03-10 JP JP62055667A patent/JPS63224679A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5917270A (en) * | 1992-12-17 | 1999-06-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven motor or actuator |
US6198202B1 (en) * | 1994-08-04 | 2001-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration actuator |
EP0696073B1 (en) * | 1994-08-04 | 2005-09-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration actuator |
US7019437B2 (en) * | 2003-09-04 | 2006-03-28 | Swe-Kai Chen | High-efficiency piezoelectric single-phase uni-polar ultrasonic actuators with a notched PZT back disc |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0117353B2 (en) | ||
JPH0117354B2 (en) | ||
JPH04112686A (en) | Ultrasonic motor | |
US4888515A (en) | Rotary power unit | |
JPS63224679A (en) | Ultrasonic motor | |
JPH01107678A (en) | Ultrasonic motor | |
JPH11346487A (en) | Oscillation wave unit and oscillation wave driver | |
JP2586045B2 (en) | Vibration motor | |
JPS63224678A (en) | Ultrasonic motor | |
JPH0251379A (en) | Ultrasonic motor | |
JPS63220779A (en) | Ultrasonic motor | |
JPS63220777A (en) | Ultrasonic motor | |
JPH0681523B2 (en) | Vibration wave motor | |
JPS63110973A (en) | Piezoelectric driver | |
JPS63220778A (en) | Ultrasonic motor | |
JPH05111268A (en) | Piezoelectric actuator | |
JPS63220776A (en) | Ultrasonic motor | |
JPS62107688A (en) | Small-sized actuator | |
JPH04133676A (en) | Driving method for actuator and ultrasonic actuator realizing this driving method | |
JPH0632794Y2 (en) | Electrostrictive motor | |
JP2003169486A (en) | Ultrasonic motor | |
JP2003134857A (en) | Drive unit for vibration wave motor | |
JPS6315678A (en) | Ultrasonic motor | |
JPH0567194U (en) | Piezoelectric motor | |
JPH04197088A (en) | Piezoelectric motor |