JPH06323944A - 気密検査方法及びその装置 - Google Patents
気密検査方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH06323944A JPH06323944A JP10914393A JP10914393A JPH06323944A JP H06323944 A JPH06323944 A JP H06323944A JP 10914393 A JP10914393 A JP 10914393A JP 10914393 A JP10914393 A JP 10914393A JP H06323944 A JPH06323944 A JP H06323944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- detector
- infrared absorption
- infrared
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 長期間高い測定精度を維持し得る気密検査方
法及びその装置を提供する。 【構成】 被検査体から漏出したトレーサガスが、赤外
線吸収式検出器１１へ給送される。赤外線吸収式検出器
１１は、赤外線放射光源３０と、ビーム分割器３１と、
分割されたビーム３０ａ，３０ｂが入射される比較セル
３３及び測定セル３４と、比較室３８及び測定室３９か
ら成る検知室３７と、赤外線収光量の差をトレーサガス
の濃度に比例した電気信号に変換するダイアフラムコン
デン４２とを備えている。赤外線吸収式検出器１１にお
いて赤外線吸収波長の相違によってガス分子の種類を判
別し、その吸収量に基づきその濃度を測定する。
法及びその装置を提供する。 【構成】 被検査体から漏出したトレーサガスが、赤外
線吸収式検出器１１へ給送される。赤外線吸収式検出器
１１は、赤外線放射光源３０と、ビーム分割器３１と、
分割されたビーム３０ａ，３０ｂが入射される比較セル
３３及び測定セル３４と、比較室３８及び測定室３９か
ら成る検知室３７と、赤外線収光量の差をトレーサガス
の濃度に比例した電気信号に変換するダイアフラムコン
デン４２とを備えている。赤外線吸収式検出器１１にお
いて赤外線吸収波長の相違によってガス分子の種類を判
別し、その吸収量に基づきその濃度を測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、漏れ検査媒体として
使用するガスの固有光吸収波長特性を利用して、各種被
検体の気密検査を行うための方法及び装置に関する。
使用するガスの固有光吸収波長特性を利用して、各種被
検体の気密検査を行うための方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】種々の工業製品等に対して、所定の気密
検査装置により気密検査が行われ、ガス検出方法による
気密装置では、漏れ検査媒体であるトレーサガスとして
フロンガス又はヘリウムガス等が使用される。この気密
検査装置は漏れ判定用の検出器を備えており、気密検査
プロセスにおいて、被検体内にトレーサガスを封入し
て、該トレーサガスを含む試料ガスのサンプリング後、
検出器によって漏れ判定が行われる。そして、上記の気
密検査装置において使用される検出器として、従来より
熱イオン化方式の検出器が知られている。
検査装置により気密検査が行われ、ガス検出方法による
気密装置では、漏れ検査媒体であるトレーサガスとして
フロンガス又はヘリウムガス等が使用される。この気密
検査装置は漏れ判定用の検出器を備えており、気密検査
プロセスにおいて、被検体内にトレーサガスを封入し
て、該トレーサガスを含む試料ガスのサンプリング後、
検出器によって漏れ判定が行われる。そして、上記の気
密検査装置において使用される検出器として、従来より
熱イオン化方式の検出器が知られている。
【０００３】ここで、図３は従来の気密検査方法による
漏れ検査のフローチャートを示している。被検体（ワー
ク）は、密閉チャンバー（容器）内に定置され、差圧漏
れ検査後に、被検体にフロンガス（又はヘリウムガス）
等のトレーサガスが封入される。そして、上記チャンバ
ー内で得られた試料ガスがサンプリングされ、上記検出
器において、サンプリングした試料ガスに対する漏れ判
定を行う。
漏れ検査のフローチャートを示している。被検体（ワー
ク）は、密閉チャンバー（容器）内に定置され、差圧漏
れ検査後に、被検体にフロンガス（又はヘリウムガス）
等のトレーサガスが封入される。そして、上記チャンバ
ー内で得られた試料ガスがサンプリングされ、上記検出
器において、サンプリングした試料ガスに対する漏れ判
定を行う。
【０００４】また図４は、従来のフロンガス用気密検査
装置に使用される熱イオン化方式の検出器の概略構成を
示している。図において、１はセラミック棒で成る特殊
カタライザ（アルカリ金属）、２はカタライザ１のまわ
りに巻回された白金コイル、３はフィラメント電源、４
はイオンコレクタ、５は抵抗器、６はＤＣ電源（３００
Ｖ）である。
装置に使用される熱イオン化方式の検出器の概略構成を
示している。図において、１はセラミック棒で成る特殊
カタライザ（アルカリ金属）、２はカタライザ１のまわ
りに巻回された白金コイル、３はフィラメント電源、４
はイオンコレクタ、５は抵抗器、６はＤＣ電源（３００
Ｖ）である。
【０００５】図４の作用を説明すると、白金コイル２及
びイオンコレクタ４間に直流電圧を印加すると、サンプ
リングされた試料ガス７は、図示のようにそれらの間に
流される。この試料ガス７にフロンガスが含まれている
場合、高温になっている上記特殊カタライザ１のアルカ
リ分との間で電子の授受が行われ、陽イオンが発生す
る。この陽イオンはイオンコレクタ４へ流れ込み、そし
てイオン電流Ｉを増幅することにより、フロンガスを検
知することができる。
びイオンコレクタ４間に直流電圧を印加すると、サンプ
リングされた試料ガス７は、図示のようにそれらの間に
流される。この試料ガス７にフロンガスが含まれている
場合、高温になっている上記特殊カタライザ１のアルカ
リ分との間で電子の授受が行われ、陽イオンが発生す
る。この陽イオンはイオンコレクタ４へ流れ込み、そし
てイオン電流Ｉを増幅することにより、フロンガスを検
知することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の熱イオン化方式の検出器を備えた気密検査装置にお
いては、特に下記の点について問題があった。 １）測定精度 装置において漏れ量が分かっていても、チャンバー内に
おけるガスの拡散状態やサンプリング時のガス吸引状態
が不明確であるため、濃度が不明確となる。
来の熱イオン化方式の検出器を備えた気密検査装置にお
いては、特に下記の点について問題があった。 １）測定精度 装置において漏れ量が分かっていても、チャンバー内に
おけるガスの拡散状態やサンプリング時のガス吸引状態
が不明確であるため、濃度が不明確となる。
【０００７】２）長期安定性 その感度が日毎に低下する。即ち、例えば１０００時間
を越すと、感度が極端に低下してしまい、検知器として
の寿命をきたす。
を越すと、感度が極端に低下してしまい、検知器として
の寿命をきたす。
【０００８】３）共存ガス 熱イオン化方式という原理上、イオン化する気体に反応
するため、例えば工場内の雰囲気中に含まれていたり或
いは被検体に付着しているトレーサガス以外の気体に反
応し、これが測定精度に著しく影響する。
するため、例えば工場内の雰囲気中に含まれていたり或
いは被検体に付着しているトレーサガス以外の気体に反
応し、これが測定精度に著しく影響する。
【０００９】４）測定値の表示 相対値測定方式の気密検査装置で漏れサンプル（ＧＥ製
のマスター）との比較方式で行うため、漏れサンプル
（例えば１×１０-4cc/sec・atm ）の検査値が３，００
０の場合、被検査値が４，０００ならば１×１０-4cc/s
ec・atm 以上、また被検査値が２，０００ならば１×１
０-4cc/sec・atm 以下というように実際の漏れ量を換算
表により推定する。
のマスター）との比較方式で行うため、漏れサンプル
（例えば１×１０-4cc/sec・atm ）の検査値が３，００
０の場合、被検査値が４，０００ならば１×１０-4cc/s
ec・atm 以上、また被検査値が２，０００ならば１×１
０-4cc/sec・atm 以下というように実際の漏れ量を換算
表により推定する。
【００１０】本発明は上記の点に鑑み、特に、長期間高
い測定精度を維持し得る気密検査方法及びその装置を提
供することを目的とする。
い測定精度を維持し得る気密検査方法及びその装置を提
供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明方法は、被検体を
容器内の所定位置にセットして、この容器内をクリーニ
ングした後、上記被検体内に気体を所定圧力で封入して
差圧漏れ検査を行い、この封入気体を排気し、次いで、
上記被検体内にトレーサガスを所定圧力で封入・混合
し、上記容器内の試料ガスを一定時間、拡散・攪拌し、
その後上記試料ガスをサンプリングして、検出器により
漏れ判定を行うようになっているが、特に赤外線吸収波
長の相違によってガス分子の種類を判別し、その吸収量
に基づきその濃度を測定するようにしたものである。
容器内の所定位置にセットして、この容器内をクリーニ
ングした後、上記被検体内に気体を所定圧力で封入して
差圧漏れ検査を行い、この封入気体を排気し、次いで、
上記被検体内にトレーサガスを所定圧力で封入・混合
し、上記容器内の試料ガスを一定時間、拡散・攪拌し、
その後上記試料ガスをサンプリングして、検出器により
漏れ判定を行うようになっているが、特に赤外線吸収波
長の相違によってガス分子の種類を判別し、その吸収量
に基づきその濃度を測定するようにしたものである。
【００１２】また本発明装置は、前記検出器が、赤外線
放射光源と、ビーム分割器と、分割されたビームが入射
される比較セル及び測定セルと、比較室及び測定室から
成る検知室と、赤外線収光量の差をトレーサガスの濃度
に比例した電気信号に変換するダイアフラムコンデンサ
と、を備えている。
放射光源と、ビーム分割器と、分割されたビームが入射
される比較セル及び測定セルと、比較室及び測定室から
成る検知室と、赤外線収光量の差をトレーサガスの濃度
に比例した電気信号に変換するダイアフラムコンデンサ
と、を備えている。
【００１３】更に本発明装置は、自動監視・警報装置を
備えている。
備えている。
【００１４】
【作用】本発明によれば、所定のサンプリング回路によ
り試料ガスを採取し、検出器において漏れ判定が行われ
る。そして特に、検出器として赤外線吸収式検出器を使
用するが、この赤外線吸収式検出器において、先ず、赤
外線を吸収しないガスが封入された比較セルと、測定さ
れるべき試料ガスが封入された測定セルとに対して、赤
外線ビームが照射される。次に検知部において、比較セ
ル及び測定セル間の赤外線吸収量の差が現れる。そして
この赤外線吸収量の差は、ダイアフラムコンデンサを介
して、試料ガス中の測定対象ガスの濃度に比例した電気
信号に変換される。
り試料ガスを採取し、検出器において漏れ判定が行われ
る。そして特に、検出器として赤外線吸収式検出器を使
用するが、この赤外線吸収式検出器において、先ず、赤
外線を吸収しないガスが封入された比較セルと、測定さ
れるべき試料ガスが封入された測定セルとに対して、赤
外線ビームが照射される。次に検知部において、比較セ
ル及び測定セル間の赤外線吸収量の差が現れる。そして
この赤外線吸収量の差は、ダイアフラムコンデンサを介
して、試料ガス中の測定対象ガスの濃度に比例した電気
信号に変換される。
【００１５】また本発明装置は、自動監視・警報装置を
備えているが、サンプリング回路等に、検知器と反応す
る残留ガスや汚染物質がある場合、該検知器はそれらの
濃度に応じて反応する。そしてこの反応値が漏れ測定値
に影響を及ぼす程度まで上昇すると、一定の汚染警報等
が自動的に発せられる。
備えているが、サンプリング回路等に、検知器と反応す
る残留ガスや汚染物質がある場合、該検知器はそれらの
濃度に応じて反応する。そしてこの反応値が漏れ測定値
に影響を及ぼす程度まで上昇すると、一定の汚染警報等
が自動的に発せられる。
【００１６】
【実施例】以下、図１及び図２に基づき、本発明の気密
検査方法及びその装置の好適な実施例を説明する。図１
は本発明の気密検査装置１０における試料ガスを検出器
に供給するためのサンプリング回路の概略構成を示して
いる。図において、１１は赤外線吸収式検出器、１２は
標準ガス、１３は圧力計、１４は濾過器、１５は開閉バ
ルブ、１６は繊維又は金属製の濾過器、１７は吸収ポン
プ、１８は流量計、１９は切換バルブ、２０は容器、２
１は開閉バルブ、２２は空気又は窒素（Ｎ2 ）源、２３
は装置本体、２４はチャージタンク、２５は被検体、２
６は切換バルブである。
検査方法及びその装置の好適な実施例を説明する。図１
は本発明の気密検査装置１０における試料ガスを検出器
に供給するためのサンプリング回路の概略構成を示して
いる。図において、１１は赤外線吸収式検出器、１２は
標準ガス、１３は圧力計、１４は濾過器、１５は開閉バ
ルブ、１６は繊維又は金属製の濾過器、１７は吸収ポン
プ、１８は流量計、１９は切換バルブ、２０は容器、２
１は開閉バルブ、２２は空気又は窒素（Ｎ2 ）源、２３
は装置本体、２４はチャージタンク、２５は被検体、２
６は切換バルブである。
【００１７】図２は上記赤外線吸収式検出器１１の構成
例を示している。図において、３０は赤外線放射光源、
３１はビーム３０ａ，３０ｂを形成するためのビーム分
割器、３２はチョッパー、３３は比較セル、３４は試料
ガスの入出口３４ａ，３４ｂを有する測定セル、３５，
３６はそれぞれバンドパスフィルターである。
例を示している。図において、３０は赤外線放射光源、
３１はビーム３０ａ，３０ｂを形成するためのビーム分
割器、３２はチョッパー、３３は比較セル、３４は試料
ガスの入出口３４ａ，３４ｂを有する測定セル、３５，
３６はそれぞれバンドパスフィルターである。
【００１８】さらに、３７は検知室であり、この検知室
３７は、前部比較室３８ａ及び後部比較室３８ｂから成
る比較室３８と、前部測定室３９ａ及び後部測定室３９
ｂから成る測定室３９とにより４室に分割構成されてい
る。４０，４１はそれぞれ比較室３８，測定室３９を上
記のように区分する半透明・半反射窓、４２はダイアフ
ラムコンデンサ、４３は対電極である。
３７は、前部比較室３８ａ及び後部比較室３８ｂから成
る比較室３８と、前部測定室３９ａ及び後部測定室３９
ｂから成る測定室３９とにより４室に分割構成されてい
る。４０，４１はそれぞれ比較室３８，測定室３９を上
記のように区分する半透明・半反射窓、４２はダイアフ
ラムコンデンサ、４３は対電極である。
【００１９】上記サンプリング回路にあっては、赤外線
吸収式検知器１１と反応する残留ガスや汚染物質が所定
濃度以上になると、一定の汚染警報等を自動的に発する
ようにした自動監視・警報装置を備えている。また上記
の場合、標準ガス１２は、トレーサガスと同一ガスをＮ
2 等の反応しないガスによって、高純度（９９．９９９
％以上）且つ低濃度（５０ｐｐｍ）に希釈してボンベ１
２ａに圧縮して詰め込んだものである。
吸収式検知器１１と反応する残留ガスや汚染物質が所定
濃度以上になると、一定の汚染警報等を自動的に発する
ようにした自動監視・警報装置を備えている。また上記
の場合、標準ガス１２は、トレーサガスと同一ガスをＮ
2 等の反応しないガスによって、高純度（９９．９９９
％以上）且つ低濃度（５０ｐｐｍ）に希釈してボンベ１
２ａに圧縮して詰め込んだものである。
【００２０】本発明の気密検査装置１０のサンプリング
回路において、容器２０内で被検体２５にトレーサガス
を封入し又は予め封入しておき、該容器２０内の所定位
置に定置する。次に開閉バルブ２１を一定時間だけ開弁
し、空気又は窒素を容器２０内へ流入させる。これによ
り該容器２０内の気体を置換するが、この場合、切換バ
ルブ２６，チャージタンク２４，濾過器１６，吸収ポン
プ１７，流量計１８及び切換バルブ１９等に残っている
検査残留ガスは、切換バルブ１９によりサンプリング回
路の外部へ放出される。容器２０内の気体の置換完了
後、開閉バルブ２１を閉弁する。
回路において、容器２０内で被検体２５にトレーサガス
を封入し又は予め封入しておき、該容器２０内の所定位
置に定置する。次に開閉バルブ２１を一定時間だけ開弁
し、空気又は窒素を容器２０内へ流入させる。これによ
り該容器２０内の気体を置換するが、この場合、切換バ
ルブ２６，チャージタンク２４，濾過器１６，吸収ポン
プ１７，流量計１８及び切換バルブ１９等に残っている
検査残留ガスは、切換バルブ１９によりサンプリング回
路の外部へ放出される。容器２０内の気体の置換完了
後、開閉バルブ２１を閉弁する。
【００２１】測定すべき試料ガスを拡散させるために必
要な一定時間、被検体２５を容器２０内に定置し、この
間に該被検体２５からのトレーサガスの漏洩を容器２０
に溜める。次に切換バルブ２６を開弁し、切換バルブ１
９を切り換え、そして吸収ポンプ１７により、容器２０
内に拡散された漏洩ガス（試料ガス）は、チャージタン
ク２４，濾過器１６，吸収ポンプ１７，流量計１８を介
して、定圧・定流で赤外線吸収式検出器１１へ給送され
る。
要な一定時間、被検体２５を容器２０内に定置し、この
間に該被検体２５からのトレーサガスの漏洩を容器２０
に溜める。次に切換バルブ２６を開弁し、切換バルブ１
９を切り換え、そして吸収ポンプ１７により、容器２０
内に拡散された漏洩ガス（試料ガス）は、チャージタン
ク２４，濾過器１６，吸収ポンプ１７，流量計１８を介
して、定圧・定流で赤外線吸収式検出器１１へ給送され
る。
【００２２】上記の場合、濾過器１６を介して試料ガス
を赤外線吸収式検出器１１へ給送することにより、被検
体２５に付着したゴミ，金属類及び油分等の異物を除去
し、サンプリング回路における各種機器の性能を十分に
発揮させると共に、寿命を長くして測定精度を維持する
ことができる。
を赤外線吸収式検出器１１へ給送することにより、被検
体２５に付着したゴミ，金属類及び油分等の異物を除去
し、サンプリング回路における各種機器の性能を十分に
発揮させると共に、寿命を長くして測定精度を維持する
ことができる。
【００２３】また標準ガス１２は、赤外線吸収式検出器
１１の感度確認及び感度校正時に、開閉バルブ１５を数
秒間だけ開弁し、該赤外線吸収式検出器１１へ給送され
る。例えば１日の作業開始時、感度確認の際にスイッチ
操作により自動的に行われ、常に検出精度を確認するこ
とができる。
１１の感度確認及び感度校正時に、開閉バルブ１５を数
秒間だけ開弁し、該赤外線吸収式検出器１１へ給送され
る。例えば１日の作業開始時、感度確認の際にスイッチ
操作により自動的に行われ、常に検出精度を確認するこ
とができる。
【００２４】試料ガスが給送された赤外線吸収式検出器
１１において、赤外線放射光源３０から放射された赤外
光は、ビーム分割器３１によって２本の並列ビーム３０
ａ，３０ｂに分割される。各ビーム３０ａ，３０ｂは、
それぞれ比較セル３３及び測定セル３４に入射するが、
比較セル３３内には赤外線を吸収しないガスが封入さ
れ、また測定セル３４内にはトレーサガスを含む試料ガ
スが供給される。
１１において、赤外線放射光源３０から放射された赤外
光は、ビーム分割器３１によって２本の並列ビーム３０
ａ，３０ｂに分割される。各ビーム３０ａ，３０ｂは、
それぞれ比較セル３３及び測定セル３４に入射するが、
比較セル３３内には赤外線を吸収しないガスが封入さ
れ、また測定セル３４内にはトレーサガスを含む試料ガ
スが供給される。
【００２５】ビーム３０ａ，３０ｂは、更に検知室３７
に入射する。この検知室３７には、トレーサガスと同一
の測定対象ガスが封入されている。試料ガス中にトレー
サガスが存在する場合、その濃度に応じて測定セル３４
において赤外線光が吸収されると共に、比較セル３３を
通過した無吸収光量との比較の差に従って、前部比較室
３８ａ及び前部測定室３９ａ間で赤外線収光量の差が現
れる。更にこの差は、ダイアフラムコンデンサ４２によ
ってトレーサガスの濃度に比例した電気信号に変換され
る。
に入射する。この検知室３７には、トレーサガスと同一
の測定対象ガスが封入されている。試料ガス中にトレー
サガスが存在する場合、その濃度に応じて測定セル３４
において赤外線光が吸収されると共に、比較セル３３を
通過した無吸収光量との比較の差に従って、前部比較室
３８ａ及び前部測定室３９ａ間で赤外線収光量の差が現
れる。更にこの差は、ダイアフラムコンデンサ４２によ
ってトレーサガスの濃度に比例した電気信号に変換され
る。
【００２６】上記のように赤外線吸収式検出器１１で
は、トレーサガスの赤外線吸収波長の特性によりそのガ
スの種類を識別し、その吸収量の強弱から濃度が測定さ
れる。トレーサガスとして、特に波長範囲２．５〜１２
μｍで赤外線収光を起こす２原子異分子ガス類から必要
に応じて適宜選択することができる。例えば被検体２５
内にガスが充填されていたり、又はフロンガスもしくは
ヘリウムガス等をトレーサガスとして使用すると、製品
である被検体２５に悪影響を及ぼす場合等においては、
上記２原子異分子ガス類のうちから最適なものを使用す
ることにより、トレーサガスを使用する際の制約をなく
することができる。因みに、従来技術においては前述の
ように、トレーサガスとしてフロンガス又はヘリウムガ
スに限定され、製品への悪影響又は経済性等の点で問題
があった。
は、トレーサガスの赤外線吸収波長の特性によりそのガ
スの種類を識別し、その吸収量の強弱から濃度が測定さ
れる。トレーサガスとして、特に波長範囲２．５〜１２
μｍで赤外線収光を起こす２原子異分子ガス類から必要
に応じて適宜選択することができる。例えば被検体２５
内にガスが充填されていたり、又はフロンガスもしくは
ヘリウムガス等をトレーサガスとして使用すると、製品
である被検体２５に悪影響を及ぼす場合等においては、
上記２原子異分子ガス類のうちから最適なものを使用す
ることにより、トレーサガスを使用する際の制約をなく
することができる。因みに、従来技術においては前述の
ように、トレーサガスとしてフロンガス又はヘリウムガ
スに限定され、製品への悪影響又は経済性等の点で問題
があった。
【００２７】ところで、上記サンプリング回路において
は、既に述べたように自動監視・警報装置を備えてい
る。非検査時には、切換バルブ２６を切り換えてチャー
ジタンク２４，濾過器１６，吸収ポンプ１７，流量計１
８及び切換バルブ１９を介して空気又は窒素を赤外線吸
収式検出器１１へ給送する。この空気又は窒素は、検知
を目的とする気体ではないため、赤外線吸収式検出器１
１において反応がなく、その測定値はゼロである。これ
に対して、サンプリング回路の配管等に残留ガス又は汚
染物質等が存在する場合には、赤外線吸収式検出器１１
はこの汚染物質等に反応する。そしてこの反応値が、適
正な漏れ検出に影響を与える程度である場合には、接点
付きメータ等の信号に基づき汚染警報が自動的に発せら
れる。これにより常に高精度で且つ適正な測定を行うこ
とができる。
は、既に述べたように自動監視・警報装置を備えてい
る。非検査時には、切換バルブ２６を切り換えてチャー
ジタンク２４，濾過器１６，吸収ポンプ１７，流量計１
８及び切換バルブ１９を介して空気又は窒素を赤外線吸
収式検出器１１へ給送する。この空気又は窒素は、検知
を目的とする気体ではないため、赤外線吸収式検出器１
１において反応がなく、その測定値はゼロである。これ
に対して、サンプリング回路の配管等に残留ガス又は汚
染物質等が存在する場合には、赤外線吸収式検出器１１
はこの汚染物質等に反応する。そしてこの反応値が、適
正な漏れ検出に影響を与える程度である場合には、接点
付きメータ等の信号に基づき汚染警報が自動的に発せら
れる。これにより常に高精度で且つ適正な測定を行うこ
とができる。
【００２８】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、赤外線吸
収式検出器において非分散型のものを使用することによ
り、光学的にガス濃度を測定し、装置に劣化部分がない
ので、長期間安定し且つ優れた測定精度を維持すること
ができる。また共存ガス又は水蒸気等による影響が少な
い。さらに本発明によれば、半導体，熱伝導式，抵抗値
式あるいは熱イオン化式等の検出器に比較して、ガス吸
着が生じないため復帰作動が迅速である。また装置にお
いて火源がないため可燃性ガスについても測定可能であ
り、また、検出ガスの濃度を絶対値濃度で表示すること
ができる等の利点を有している。
収式検出器において非分散型のものを使用することによ
り、光学的にガス濃度を測定し、装置に劣化部分がない
ので、長期間安定し且つ優れた測定精度を維持すること
ができる。また共存ガス又は水蒸気等による影響が少な
い。さらに本発明によれば、半導体，熱伝導式，抵抗値
式あるいは熱イオン化式等の検出器に比較して、ガス吸
着が生じないため復帰作動が迅速である。また装置にお
いて火源がないため可燃性ガスについても測定可能であ
り、また、検出ガスの濃度を絶対値濃度で表示すること
ができる等の利点を有している。
【図１】本発明の気密検査装置における試料ガスサンプ
リング回路の概略構成を示す図である。
リング回路の概略構成を示す図である。
【図２】本発明に係る赤外線吸収式検出器の概略構成例
を示す図である。
を示す図である。
【図３】従来の気密検査方法による漏れ検査のフローチ
ャートを示す図である。
ャートを示す図である。
【図４】従来のフロンガス用気密検査装置に使用される
熱イオン化方式検出器の概略構成を示す図である。
熱イオン化方式検出器の概略構成を示す図である。
１０ 気密検査装置 １１ 赤外線吸収式検出器 １２ 標準ガス １３ 圧力計 １４，１６ 濾過器 １５，２１ 開閉バルブ １７ 吸収ポンプ １８ 流量計 １９，２６ 切換バルブ ２０ 容器 ２２ 空気又は窒素源 ２３ 装置本体 ２４ チャージタンク ２５ 被検体 ３０ 赤外線放射光源 ３１ ビーム分割器 ３３ 比較セル ３４ 測定セル ３５，３６ バンドパスフィルター ３７ 検知室 ３８ 比較室 ３９ 測定室 ４２ ダイアフラムコンデンサ ４３ 対電極
Claims (3)
- 【請求項１】 被検体を容器内の所定位置にセットし
て、該容器内をクリーニングした後、上記被検体内に気
体を所定圧力で封入して差圧漏れ検査を行い、この封入
気体を排気し、次いで、上記被検体内にトレーサガスを
所定圧力で封入・混合し、上記容器内の試料ガスを一定
時間、拡散・攪拌し、その後上記試料ガスをサンプリン
グして、検出器により漏れ判定を行うようにした気密検
査方法において、 上記検出器において赤外線吸収波長の相違によってガス
分子の種類を判別し、その吸収量に基づきその濃度を測
定することを特徴とする気密検査方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の方法を実施するための
装置において、 前記検出器は、赤外線放射光源と、ビーム分割器と、分
割されたビームが入射される比較セル及び測定セルと、
比較室及び測定室から成る検知室と、赤外線収光量の差
をトレーサガスの濃度に比例した電気信号に変換するダ
イアフラムコンデンサと、を備えていることを特徴とす
る気密検査装置。 - 【請求項３】 自動監視・警報装置を更に備えているこ
とを特徴とする請求項２に記載の気密検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10914393A JPH06323944A (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | 気密検査方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10914393A JPH06323944A (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | 気密検査方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06323944A true JPH06323944A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=14502698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10914393A Pending JPH06323944A (ja) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | 気密検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06323944A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001063250A1 (fr) * | 2000-02-24 | 2001-08-30 | Tokyo Electron Limited | Procede et appareil de detection de fuite, et appareil de fabrication de semi-conducteurs |
| WO2010049569A1 (es) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | Eads Construcciones Aeronauticas, S.A | Métodos y sistemas para realizar análisis de estanqueidad en depósitos de fluidos |
-
1993
- 1993-05-11 JP JP10914393A patent/JPH06323944A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001063250A1 (fr) * | 2000-02-24 | 2001-08-30 | Tokyo Electron Limited | Procede et appareil de detection de fuite, et appareil de fabrication de semi-conducteurs |
| US6900439B2 (en) | 2000-02-24 | 2005-05-31 | Tokyo Electron Limited | Gas leakage detection system, gas leakage detection method and semiconductor manufacturing apparatus |
| KR100807441B1 (ko) * | 2000-02-24 | 2008-02-25 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 가스 누설 검지 시스템, 가스 누설 검지 방법 및 반도체제조 장치 |
| JP4804692B2 (ja) * | 2000-02-24 | 2011-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス漏洩検知システム、ガス漏洩検知方法及び半導体製造装置 |
| WO2010049569A1 (es) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | Eads Construcciones Aeronauticas, S.A | Métodos y sistemas para realizar análisis de estanqueidad en depósitos de fluidos |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100410649C (zh) | 一种在线大气汞分析仪 | |
| CN101634628A (zh) | 主动红外sf6检测、监控仪 | |
| Gelbwachs et al. | Fluorescence determination of atmospheric NO 2 | |
| US4042333A (en) | Apparatus and method for gas analysis | |
| KR101030405B1 (ko) | 촉매적 변형에 의한 분석 민감도 증진법 | |
| GB2054843A (en) | Absorption cell gas monitor | |
| US2898800A (en) | Gas analyzing system of the radiant energy absorption type | |
| US4445359A (en) | System and process for calibrating a combustion gas analyzer | |
| JPH06323944A (ja) | 気密検査方法及びその装置 | |
| US4272249A (en) | Method of monitoring oxygen concentrations in gas streams | |
| JPH0425738A (ja) | 電池気密検査装置 | |
| US3194110A (en) | Method of detecting oxygen contaminant in sealed envelopes | |
| US3906226A (en) | Nitric oxide pollution monitor | |
| NL8000450A (nl) | Werkwijze en inrichting voor het meten van vluchtige metaalhydriden. | |
| GB2163553A (en) | Method and apparatus for chemiluminescence analysis | |
| JP3889817B2 (ja) | ガス中の水分の定量方法及び試料容器 | |
| EP1356274A2 (en) | Method and apparatus for measurement of the sulfate concentration in air samples | |
| Li et al. | A 20-liter test stand with gas purification for liquid argon research | |
| JPH0933429A (ja) | オゾン濃度計 | |
| JPS60259933A (ja) | ガスリ−ク検出器 | |
| JPS63218842A (ja) | オゾン濃度計測方法および装置 | |
| CN117367694B (zh) | 汽车空调制冷剂泄漏量预测方法和系统 | |
| JPH046896B2 (ja) | ||
| SU972255A1 (ru) | Атомно-абсорбционный анализатор | |
| Niemeyer | Leak testing encapsulated radioactive sources |