JPH063169A - 液晶パネルの表示検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶パネル組立前に表示検査が行える液晶パ
ネルの表示検査装置を得る。 【構成】 上部ステージ９と下部ステージ１１にバキュ
ームで固定された、対向電極基板１とＴＦＴアレイ基板
２の間に液晶１０をはさみ、ＴＦＴアレイ基板２と対向
電極基板１の距離をセンサー１４によって検知して、所
定のギャップに一時的に重ね合わせた後にバックライト
６を点灯させ表示検査を行う。 【効果】 不良のあるＴＦＴアレイ基板を後のパネル組
立の工程に送らずに済み、コストの低下や歩留りの向上
が期待できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶パネルの表示検
査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の液晶パネルの表示検査装置では、
特開昭６３−１４９５７６号公報の従来例に記載されて
いるように、液晶パネルの完成品を点灯させて、表示不
良を検出するというものである。図５に従来の液晶パネ
ルの表示検査装置を示す。図５において、１は液晶を配
向させるための配向処理した、液晶パネルの対向電極基
板、２は上部に画素毎に薄膜トランジスタ（以下、ＴＦ
Ｔと略称する。）が形成されているＴＦＴアレイ基板、
３はソースパッドとゲートパッド、コモン電極とを電気
的に接続するためのプローバー、４はＴＦＴを駆動する
ためのドライバーＩＣ、５はドライバーＩＣ４を制御す
るコンピュータ、６は液晶パネルに光を透過させるため
の光源であるバックライト、７は架台である。

【０００３】従来の液晶パネルの表示検査装置は上記の
ように構成され、ＴＦＴアレイ基板２と対向電極基板１
のパネル組み立てが完了した後の完成品を、プローバー
３で電気的に接続して、実際に液晶パネルを点灯表示さ
せ、その表示状態を目視検査を行うことによって、液晶
パネルの表示検査を行う。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ＴＦＴを数万〜数十万
個用いたアクティブ・マトリクス型の液晶ディスプレイ
では多くの表示不良要因の中で、成膜、パターニング工
程におけるパターン不良などＴＦＴアレイ基板２にその
原因があるものが多い。上記のような液晶パネルの表示
検査装置では、完成された液晶パネルの表示検査を行う
ために、表示不良原因がＴＦＴアレイ基板２にある場合
にその後の製造工程が無駄となりコストの面やスループ
ットの面でも問題点がある。

【０００５】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたものであり、液晶パネル組立工程前の
ＴＦＴアレイ基板の段階で表示検査を行え、不良のＴＦ
Ｔアレイ基板を後の工程に送らずに済み、液晶ディスプ
レイの歩留り向上させることのできる液晶パネルの表示
検査装置を得ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明の液晶パネルの
表示検査装置は、液晶パネルの組立てを行わずに、対向
電極基板とＴＦＴアレイ基板を液晶を介して一時的に重
ね合わせることによって表示検査を行うものである。

【０００７】

【作用】この発明における液晶パネルの表示検査装置
は、パネル組立を行わずに液晶パネルの表示検査が行え
るために、不良のあるＴＦＴアレイをパネル組立まえに
検出でき、液晶ディスプレイの歩留りを向上させること
ができる。

【０００８】

【実施例】

実施例１．図１と図２はこの発明の実施例の液晶パネル
の表示検査装置の正面断面図と側面断面図である。図１
及び図２において、９はカラーフィルター１９のついた
対向電極基板１を下面の外周辺部に吸着口を有するバキ
ューム通路８の真空吸着で固定する透明な上部ステー
ジ、１３は上部ステージ９と架台７とを固定するアーム
で、角度調整機構１７と駆動モーター１８等を介して、
上部ステージ９の上下動を可能にするアクチュレーター
２０に連結されている。プローバー３、バックライト６
は従来の装置と同じものである。１１は上部ステージ９
からある距離をおいたその真下で対向的に配置され、Ｔ
ＦＴアレイ基板２を上面の外周辺部に吸着口を有するバ
キューム通路８′の真空吸着で固定する透明な下部ステ
ージ、１４は対向電極基板１とＴＦＴアレイ基板２が平
行であること、また距離を検知するセンサーである。

【０００９】１２は上部ステージ９上に設けられた偏光
板、１２′は下部ステージ１１の下面側に設けられた偏
光板、１５はＴＦＴアレイ基板２と対向電極基板１との
重ね合わせ位置の調整を行うＸＹステージであり、下部
ステージ１１をＸＹ方向に移動可能に設けられている。
なお、バックライト６は偏光板１２′の下側に、プロー
バー３は下部ステージ１１の上面上にそれぞれ設けられ
ている。図３は液晶パネルの表示検査装置の構成図で、
図３において、ドライバーＩＣ４、表示出力の制御を行
うコンピューター５は従来と同じもので、Ａは図１と図
２に示した表示検査装置、１６はステージコントローラ
ー、２１はセンサー１４からの信号で、アクチュレータ
ー２０と駆動モーター１８を制御する駆動モータ制御用
コンピューターである。

【００１０】図４は液晶パネルの表示検査装置の角度調
整機構を示す断面図であり、図４において、１７は上部
ステージ９の角度をアーム１３を介して調整する角度調
整機構、１８はその駆動モーター、２２は駆動モーター
１８用のモーター台であり、アクチュレーター７に連結
されている。

【００１１】前記のように構成された表示検査装置にお
いては配向処理を終えたＴＦＴアレイ基板２を偏光板１
２′のついた透明な下部ステージ１１上に載せてバキュ
ーム通路８′を通して真空引きすることにより真空吸着
で固定し、ＴＦＴアレイ基板２のＴＦＴアレイ上に液晶
１０を滴下した後、プローバー３で電気的に接続する。
対向電極基板１は偏光板１２のついた透明な上部ステー
ジ９にバキューム通路８を通して真空引きすることによ
り真空吸着で固定し、アーム１３で連結されたアクチュ
レーター２０により上下に動かすことができる。

【００１２】液晶１０を挟む際には、気泡が発生しない
ように角度調整機構１７によって気泡を逃がすために、
上部ステージ９は下部ステージ１１に対して一定の角度
をもって近づき、液晶１０をそれぞれ基板１，２で挟み
ながら、センサー１４によって対向電極基板１とＴＦＴ
アレイ基板２が平行で、またギャップが５μｍになるよ
うに、角度調整機構１７、駆動モーター１８を駆動モー
ター制御用コンピューター２１で制御する。この際、角
度調整機構１７は駆動モーター１８とつながっており、
駆動モーター１８が回転すると、角度調整機構１７が動
き、連結されているアーム１３が傾き、上部ステージ９
が傾く。なお、対向電極基板１とＴＦＴアレイ基板２と
の重ね合わせ位置の調整はＸＹステージ１５の調整によ
り行われる。この後、従来と同様にしてバックライト６
を点灯して、液晶パネルを透過してくる光を目視して、
表示検査を行う。

【００１３】検査後は、バキューム通路８，８′に大気
圧を導入すれば、対向電極基板１とＴＦＴアレイ基板２
を上部ステージ９と下部ステージ１１からそれぞれ容易
に取外す事ができる。

【００１４】実施例２．上記の装置でＴＦＴアレイ基板
の配向処理をＬＢ法で生成された単分子膜を用いること
によって、ラビング処理を行わないで液晶を配向させる
ことによって、検査が簡単となる。

【００１５】実施例３．上記の装置で対向電極基板１に
カラーフィルター１９を用いず、透明フィルターを用い
ることによって、対向電極基板１とＴＦＴアレイ基板２
との重ね合わせ精度を厳しくしなくともよい。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
液晶パネルの組立てを行わずに、対向電極基板とＴＦＴ
アレイ基板を液晶を介して一時的に重ね合わせることに
よって表示検査するように構成されているので、以下に
記載されるような効果を奏する。

【００１７】液晶パネルの組立を行わずに、液晶パネル
の表示検査が行えるから、不良のあるＴＦＴアレイ基板
を後の工程に送らずに済み、コスト低下や歩留りの向上
に効果がある。

【００１８】また、配向処理にラビング処理を行わなく
ても液晶パネルの表示検査が行え、検査工程にかかる時
間やコストを少なくする効果がある。

【００１９】また、通常では対向電極基板につけられて
いるカラーフィルタではなく、透明フィルターを用いる
ことにより、コスト低下とＴＦＴアレイ基板と対向電極
基板との重ね合せ精度が必要でなくなる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例による液晶パネルの表示検
査装置の正面断面図である。

【図２】この発明の一実施例による液晶パネルの表示検
査装置の側面断面図である。

【図３】この発明の一実施例による液晶パネルの表示検
査装置の構成図である。

【図４】この発明の一実施例による液晶パネルの表示検
査装置の角度調整機構の断面図である。

【図５】従来の液晶パネルの表示検査装置の断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 対向電極基板 ２ ＴＦＴアレイ基板 ３ プローバー ４ ドライバーＩＣ ５ コンピューター ６ バックライト ７ 架台 ８，８′ バキューム通路 ９ 上部ステージ １０ 液晶 １１ 下部ステージ １２，１２′ 偏光板 １３ アーム １４ センサー １５ ＸＹステージ １６ ステージコントローラー １７ 角度調整機構 １８ 駆動用モーター １９ カラーフィルター ２０ アクチュレーター ２１ 駆動モーター制御用コンピューター ２２ モーター台

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 画素毎に薄膜トランジスタが形成されて
   いる薄膜トランジスタアレイ基板を着脱自在にする第１
   のステージと、この第１のステージに対向配置され、配
   向処理された対向電極基板を着脱自在にする第２のステ
   ージと、前記薄膜トランジスタアレイ基板と前記対向電
   極基板が平行であることとその間の距離を検出するセン
   サーと、このセンサーの出力を受けて、前記第１及び第
   ２のステージの内の一方のステージの他方のステージに
   対する角度を調節する角度調整手段と、前記センサーの
   出力を受けて、前記第１及び第２のステージの一方を上
   下動させる上下動手段と、前記薄膜トランジスタアレイ
   基板の薄膜トランジスタの端子に電気的に接触して接続
   するプローバーと、このプローバーに表示検査用に表示
   制御用の信号を送出する表示制御手段と、表示検査を行
   うための光源であるバックライトと、表示用の特定の偏
   光を透過させる偏光板とを備え、液晶を前記対向電極基
   板と前記薄膜トランジスタアレイ基板で挟むことによっ
   て、液晶パネルの組立を行わずに液晶ディスプレイの表
   示検査を行うことを特徴とする液晶パネルの表示検査装
   置。
2. 【請求項２】 対向電極基板にカラーフィルターを付
   け、前記対向電極基板と薄膜トランジスタアレイ基板の
   重ね合わせの位置決めを行うために、第１及び第２のス
   テージの一方を水平方向に２次元的に移動させるＸＹス
   テージを備えた事を特徴とする請求項１記載の液晶パネ
   ルの表示検査装置。