JPH06310650A - Lead frame and manufacture of the same - Google Patents

Lead frame and manufacture of the same

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JPH06310650A
JPH06310650A JP9430193A JP9430193A JPH06310650A JP H06310650 A JPH06310650 A JP H06310650A JP 9430193 A JP9430193 A JP 9430193A JP 9430193 A JP9430193 A JP 9430193A JP H06310650 A JPH06310650 A JP H06310650A
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JP
Japan
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lead
lead frame
resist
electrodeposition resist
wire
Prior art date
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Pending
Application number
JP9430193A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsuhiro Miyazawa
三宏 宮沢
Masakazu Kobayashi
正和 小林
Toshihiko Shimada
寿彦 島田
Fumio Kuraishi
文夫 倉石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Industries Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Industries Co Ltd
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Publication date
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Priority to JP9430193A priority Critical patent/JPH06310650A/en
Publication of JPH06310650A publication Critical patent/JPH06310650A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/4826Connecting between the body and an opposite side of the item with respect to the body

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  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To prevent electric short circuit between bonding wires and bus bars by direct mounting of a semiconductor chip on a lead frame and deposition of resists on the bus bars through the patterning. CONSTITUTION:In a lead frame where wire bondings are carried out bridging over bus bars 10, resist 14 is deposited through the patterning at the surface of the wire bonding bridging over the bus bar 10. After the resist 14 is deposited on the external surface of lead by the deposition panting method, the resist is exposed and developed for the patterning of the deposition resist 14. After the patterning, the plating 16 is carried out on the wire bonding area.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はリードフレーム及びその
製造方法に関し、特に電着塗装法を利用して製造するリ
ードフレームとその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame and a method for manufacturing the same, and more particularly to a lead frame manufactured by using an electrodeposition coating method and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】図1はLOC(Lead On Chip) タイプの
リードフレームの製品例であるが、LOCタイプのリー
ドフレームでは共通の電源リードまたは接地用リードと
して共通に使用する共通リード10を有するものがあ
り、図のように共通リード10を各インナーリード12
の先端側を横切るように配置したものがある。このよう
な製品でインナーリード12と半導体チップとをワイヤ
ボンディングする場合は共通リード10の上を跨ぐよう
にワイヤボンディングして接続される。
2. Description of the Related Art FIG. 1 shows an example of a LOC (Lead On Chip) type lead frame, but the LOC type lead frame has a common lead 10 commonly used as a common power supply lead or ground lead. Common lead 10 to each inner lead 12 as shown.
There is one that is arranged so as to cross the tip side of. When wire-bonding the inner lead 12 and the semiconductor chip with such a product, the inner lead 12 is connected by wire-bonding so as to straddle over the common lead 10.

【0003】このように共通リード10を跨いでワイヤ
ボンディングする場合は、ワイヤが垂れ下がりやすく、
垂れ下がったワイヤが共通リード10に接触して電気的
短絡を起こすことがある。したがって、このような製品
では変形しにくいワイヤを使ってワイヤを垂れ下がりに
くくしたり、共通リード10上でワイヤが接触しやすい
部位を電気的な絶縁体で被覆してワイヤが垂れ下がって
も電気的な短絡が生じないようにすることが検討されて
いる。
In the case of wire-bonding over the common lead 10 as described above, the wire is apt to hang down,
The hanging wire may come into contact with the common lead 10 and cause an electrical short circuit. Therefore, in such a product, it is difficult to hang down the wire by using a wire that is not easily deformed, or a portion on the common lead 10 where the wire is easily contacted is covered with an electrical insulator to prevent the wire from hanging down. It is being considered to prevent a short circuit.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、共通リード
と半導体チップとは複数か所でワイヤボンディングする
から、共通リードのワイヤボンディングエリアについて
は絶縁体で被覆せず表面を露出させておく必要があり、
共通リードを電気的な絶縁体で被覆する場合は絶縁体で
被覆する部分と共通リードを露出する部分を所定パター
ンで形成する必要がある。共通リードに電気的な絶縁体
を被着させる方法としては、ポリイミド等の絶縁体を共
通リードに塗布する方法が考えられるが、微細なパター
ンで共通リードに絶縁体を被着させることは技術的に困
難であり現実的でない。
By the way, since the common lead and the semiconductor chip are wire-bonded at a plurality of locations, it is necessary to expose the surface of the common lead wire bonding area without covering it with an insulator. ,
When the common lead is covered with an electrical insulator, it is necessary to form the portion covered with the insulator and the portion exposing the common lead in a predetermined pattern. As a method of applying an electrical insulator to the common lead, a method of applying an insulator such as polyimide to the common lead can be considered, but it is a technical technique to apply the insulator to the common lead with a fine pattern. Difficult and unrealistic.

【0005】また、リードフレームのインナーリードと
共通リードのワイヤボンディングエリアについては好適
なワイヤボンディング性が得られるように部分めっきを
施すのがふつうであるが、上記のように共通リードに所
定パターンで電気的な絶縁体を被着する場合も、このよ
うな部分めっきが好適になされるようにする必要があ
る。本発明はこれら問題点を解消すべくなされたもので
あり、その目的とするところは、共通リードに電気的絶
縁体を所定パターンで容易に形成できボンディングワイ
ヤと共通リードとの電気的短絡を効果的に防止できると
ともに、ワイヤボンディングエリアに対しても好適にめ
っきを施すことができるリードフレーム及びその製造方
法を提供しようとするものである。
Further, it is usual to partially plate the wire bonding areas of the inner lead of the lead frame and the common lead so as to obtain a suitable wire bonding property. Even when an electrical insulator is applied, it is necessary to make such partial plating suitable. The present invention has been made to solve these problems, and an object thereof is to easily form an electrical insulator on a common lead in a predetermined pattern to effectively prevent an electrical short between a bonding wire and the common lead. The present invention aims to provide a lead frame and a method for manufacturing the same, which can be effectively prevented and also can be suitably plated on the wire bonding area.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、LOCおよびC
OLタイプのリードフレームにおいて、半導体チップが
接合される領域のリード表面に電着レジストが被着され
たことを特徴とする。また、インナーリードの先端と所
定間隔をおいてインナーリードの先端側を横切るように
共通リードが配置され、該共通リードを跨いでワイヤボ
ンディングされるLOCタイプのリードフレームにおい
て、前記共通リード上でボンディングワイヤが跨ぐ部位
の表面に電着レジストが被着されたことを特徴とする。
また、前記共通リードおよびインナーリード上のワイヤ
ボンディングエリアにめっきが施されたことを特徴とす
る。また、リードの側面と半導体チップが接合される面
とに電着レジストが被着されたことを特徴とする。ま
た、リードフレームの製造方法において、リードフレー
ム材を加工して所定のリードを形成した後、電着塗装法
を使用してリード外面に電着レジストを被着し、該電着
レジストを露光・現像してワイヤボンディングエリア等
の所要部位の電着レジストを除去した後、前記所要部位
にめっきを施すことを特徴とする。
The present invention has the following constitution in order to achieve the above object. Ie LOC and C
The OL type lead frame is characterized in that an electrodeposition resist is deposited on the lead surface in the region where the semiconductor chip is bonded. Further, in a LOC type lead frame in which a common lead is arranged so as to cross the tip side of the inner lead at a predetermined distance from the tip of the inner lead, and wire bonding is performed across the common lead, bonding is performed on the common lead. It is characterized in that an electrodeposition resist is adhered to the surface of the portion straddled by the wire.
Further, the wire bonding areas on the common lead and the inner lead are plated. Further, the invention is characterized in that the side surface of the lead and the surface to which the semiconductor chip is bonded are coated with an electrodeposition resist. Further, in the lead frame manufacturing method, after processing a lead frame material to form a predetermined lead, an electrodeposition resist is applied to the outer surface of the lead using an electrodeposition coating method, and the electrodeposition resist is exposed. It is characterized in that after developing to remove the electrodeposition resist on a required portion such as a wire bonding area, the required portion is plated.

【0007】[0007]

【作用】電着レジストを用いてリード表面を被覆したこ
とによって、高密度にリードが形成されたリードフレー
ムであっても確実にリード表面が被覆され、リードフレ
ームの電気的絶縁性が好適に維持できる。また、電着レ
ジストを露光・現像することによって微細なパターンで
あっても容易に電着レジストを被着することができる。
リード表面に被着した電着レジストのうちワイヤボンデ
ィングエリアのみから電着レジストを除去してめっきを
施すことによってリード下面側へのめっきの漏れ出し等
を防止して好適なめっきを施すことができる。
[Function] By covering the lead surface with the electrodeposition resist, the lead surface is surely covered even if the lead frame is formed with high density of leads, and the electrical insulation of the lead frame is appropriately maintained. it can. Further, by exposing and developing the electrodeposition resist, the electrodeposition resist can be easily applied even with a fine pattern.
By removing the electrodeposition resist from only the wire bonding area of the electrodeposition resist deposited on the lead surface and performing the plating, it is possible to prevent leakage of the plating to the lower surface side of the lead and perform suitable plating. .

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図1は本発明に係るリードフレ
ームの一実施例を示す。本実施例のLOCタイプのリー
ドフレームは中心線を挟んだ左右にそれぞれインナーリ
ード群を配置し、各々のインナーリード12の先端側を
横切るように共通リード10を設けたものである。半導
体チップを搭載する場合は共通リード10およびインナ
ーリード12の下面側に半導体チップが接合され、半導
体チップの電極とインナーリード12とをワイヤボンデ
ィングする場合には共通リード10を跨ぐようにしてボ
ンディングされる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a lead frame according to the present invention. In the LOC type lead frame of this embodiment, inner lead groups are arranged on the left and right sides of the center line, and a common lead 10 is provided so as to cross the tip side of each inner lead 12. When mounting a semiconductor chip, the semiconductor chip is bonded to the lower surface side of the common lead 10 and the inner lead 12, and when wire-bonding the electrode of the semiconductor chip and the inner lead 12, the semiconductor chip is bonded so as to straddle the common lead 10. It

【0009】実施例のリードフレームは共通リード10
の上面、すなわちボンディングワイヤが通過する側の面
に所定パターンで電着レジスト14を被着したことを特
徴とする。電着レジスト14は電気的絶縁体であり、電
着レジスト14を被着したことによってボンディングワ
イヤが垂れ下がっても共通リード10とボンディングワ
イヤとが電気的に短絡することを防止することができ
る。なお、共通リード10上で半導体チップとワイヤボ
ンディングして接続する部位については銀めっき16を
施すから、共通リード10上では電着レジスト14が被
着される部分と銀めっき16が被着される部分が混在す
る。
The lead frame of the embodiment is a common lead 10
Is characterized in that the electrodeposition resist 14 is applied in a predetermined pattern on the upper surface, that is, the surface through which the bonding wire passes. The electrodeposition resist 14 is an electrical insulator, and it is possible to prevent the common lead 10 and the bonding wire from being electrically short-circuited even if the bonding wire hangs down by applying the electrodeposition resist 14. Since silver plating 16 is applied to a portion of the common lead 10 that is connected to the semiconductor chip by wire bonding, the portion of the common lead 10 to which the electrodeposition resist 14 and the silver plating 16 are attached. The parts are mixed.

【0010】上記実施例のリードフレームはボンディン
グワイヤと共通リード10との電気的短絡を防止するた
め電気的絶縁体として電着レジスト14を利用したこと
を特徴とするが、リードフレームを製造する場合は次の
ようにして行う。まず、リードフレーム材をプレス加工
あるいはエッチング加工して所定のリードパターンを形
成する。次いで、電着塗装法を利用してリード表面に電
着レジスト14を被着させる。電着塗装法によれば導体
の露出部分に電着レジストが被着されるから、きわめて
微細なパターンを有するリードフレームであっても確実
にリード表面に電着レジスト14が被着される。
The lead frame of the above embodiment is characterized in that the electrodeposition resist 14 is used as an electrical insulator in order to prevent an electrical short circuit between the bonding wire and the common lead 10. Is performed as follows. First, a lead frame material is pressed or etched to form a predetermined lead pattern. Next, the electrodeposition resist 14 is applied to the surface of the lead by using the electrodeposition coating method. According to the electrodeposition coating method, the electrodeposition resist is applied to the exposed portion of the conductor, so that the electrodeposition resist 14 is surely applied to the lead surface even in a lead frame having an extremely fine pattern.

【0011】電着レジスト14は導体の露出面に被着さ
れるから、遮蔽操作等をしなければリードの表面全体が
電着レジスト14によってくるむように被覆される。電
着レジスト14としてフォトレジストと同様に露光・現
像操作によって所定のパターニングができるレジストを
使用し、電着レジスト14を除去する部位にのみ露光し
て現像することによってリード表面の所要部位の電着レ
ジスト14のみ除去することができる。電着レジスト1
4を除去する部位としてはインナーリード12および共
通リード10のワイヤボンディングエリア、アウターリ
ード部分がある。
Since the electrodeposition resist 14 is applied to the exposed surface of the conductor, the entire surface of the lead is covered by the electrodeposition resist 14 unless a shielding operation or the like is performed. Like the photoresist, a resist that can be patterned in a predetermined manner by exposure / development operation is used as the electrodeposition resist 14, and only the portion where the electrodeposition resist 14 is removed is exposed to light and developed, whereby the electrodeposition of the required portion of the lead surface Only the resist 14 can be removed. Electrodeposition resist 1
The parts for removing 4 include the wire bonding areas of the inner lead 12 and the common lead 10 and the outer lead part.

【0012】インナーリード12および共通リード10
にワイヤボンディングエリアを形成するため電着レジス
ト14を除去する場合は、ボンディング面となるリード
上面の電着レジスト14のみを除去すればよい。したが
って、インナーリード12および共通リード10で電着
レジスト14を除去する場合は、ワイヤボンディング部
分のリード上面にのみ光をあてるようにし、リードの側
面および下面の電着レジスト14はそのまま残るように
する。図2はリードの表面に電着レジスト14を被着さ
せた後、露光・現像してワイヤボンディングエリア及び
アウターリードから電着レジスト14を除去した状態を
示す。同図はインナーリード12の先端部と共通リード
10のみを説明的に示している。
Inner lead 12 and common lead 10
When the electrodeposition resist 14 is removed in order to form the wire bonding area, it is only necessary to remove the electrodeposition resist 14 on the upper surface of the lead which becomes the bonding surface. Therefore, when the electrodeposition resist 14 is removed by the inner lead 12 and the common lead 10, only the upper surface of the lead of the wire bonding portion is irradiated with light, and the electrodeposition resist 14 on the side surface and the lower surface of the lead is left as it is. . FIG. 2 shows a state in which the electrodeposition resist 14 is deposited on the surface of the leads, and then exposed and developed to remove the electrodeposition resist 14 from the wire bonding area and the outer leads. The figure illustrates only the tips of the inner leads 12 and the common lead 10.

【0013】次いで、リードフレームのインナーリード
12および共通リード10に電解めっきにより銀めっき
16を施す。銀めっきはワイヤボンディング性を良好に
するためのものである。図3に銀めっき16を施した後
の状態を示す。インナーリード12および共通リード1
0で電着レジスト14によって被着された部分には銀め
っきは付着せず、リード表面が露出する部分、すなわち
ワイヤボンディングエリアのみに銀めっき16をつける
ことができる。こうして、図1に示すように共通リード
10に電着レジスト14を所定パターンで被着させ、か
つワイヤボンディングエリアについて部分銀めっきを施
したリードフレームを得ることができる。
Next, the inner lead 12 and the common lead 10 of the lead frame are plated with silver 16 by electrolytic plating. Silver plating is for improving the wire bondability. FIG. 3 shows a state after the silver plating 16 is applied. Inner lead 12 and common lead 1
The silver plating does not adhere to the portion where the electrodeposition resist 14 is 0, and the silver plating 16 can be applied only to the portion where the lead surface is exposed, that is, the wire bonding area. Thus, as shown in FIG. 1, the lead frame can be obtained in which the common lead 10 is coated with the electrodeposition resist 14 in a predetermined pattern and the wire bonding area is partially silver-plated.

【0014】上記のようにリード表面を電着レジスト1
4で被覆した後、電着レジスト14を露光・現像してパ
ターニングする方法によれば、微細パターンで電着レジ
スト14をパターニングすることも容易に可能であり、
リードが微細に形成されるリードフレームに対しても好
適に適用することができる。また、電着レジスト14に
対するパターニングも任意のパターンで自由に行うこと
ができるという利点がある。
As described above, the surface of the lead is electrodeposited resist 1
According to the method of patterning by exposing and developing the electrodeposition resist 14 after coating with 4, it is also possible to easily pattern the electrodeposition resist 14 with a fine pattern,
It can be suitably applied to a lead frame in which leads are finely formed. Further, there is an advantage that the electrodeposition resist 14 can be freely patterned with any pattern.

【0015】また、インナーリード12および共通リー
ド10のワイヤボンディングエリアに銀めっきを施す場
合、上記実施例のようにリード表面のボンディング面の
み電着レジスト14を除去しリードの側面や下面には電
着レジスト14を残してめっきすることで、銀めっきが
リード側面に入り込んだり、余分に銀めっきされること
を確実に防止することができる。通常の部分銀めっき方
法による場合はマスク板を用いて所定パターンで銀めっ
きを施すが、この場合はリードの側面にめっき液が回り
込み、これによって銀マイグレーションといった電気的
特性上で問題が生じる。この点、本実施例の場合は従来
の部分銀めっき方法による問題点を解消できるという利
点がある。なお、上記実施例はワイヤボンディングエリ
アに銀めっきを施したが、銀めっき以外の金めっき等を
施す場合も同様である。
When silver plating is applied to the wire bonding areas of the inner lead 12 and the common lead 10, the electrodeposition resist 14 is removed only on the bonding surface of the lead surface and the side surface and the lower surface of the lead are electrically plated as in the above embodiment. By plating with the deposition resist 14 left, it is possible to reliably prevent the silver plating from entering the side surface of the lead and from being excessively silver-plated. In the case of the usual partial silver plating method, a mask plate is used to perform silver plating in a predetermined pattern, but in this case, the plating solution wraps around the side surface of the lead, which causes a problem in electrical characteristics such as silver migration. In this respect, the present embodiment has an advantage that the problems of the conventional partial silver plating method can be solved. In addition, although the wire bonding area is silver-plated in the above-described embodiment, the same is true when gold plating other than silver plating is applied.

【0016】なお、本実施例と同様に共通リード10に
電気的絶縁体を所定パターンで被着させる方法として、
従来用いられているフォトレジストを使用することも考
えられるが、微細なパターンでリードを形成した後のリ
ードフレームに対し、個々のリードの表面をくるむよう
に被着することはほとんど不可能である。この点、上記
実施例の電着塗装法による場合はリードパターンに関わ
りなく、またリードが高密度に形成されていても確実に
リード表面を絶縁体で被覆できるという利点がある。
As a method of depositing an electrical insulator in a predetermined pattern on the common lead 10 as in this embodiment,
Although it is conceivable to use a conventionally used photoresist, it is almost impossible to adhere the lead frame after forming the leads with a fine pattern so as to wrap the surface of each lead. In this respect, according to the electrodeposition coating method of the above-mentioned embodiment, there is an advantage that the lead surface can be surely covered with the insulating material regardless of the lead pattern and even if the leads are formed at a high density.

【0017】また、上記実施例ではリードの半導体チッ
プ接合領域に電着レジスト14を被着したままとしたか
ら、このリードフレームに半導体チップを搭載する場合
はリードフレームと半導体チップとの間に絶縁フィルム
を介在させるといった電気的絶縁のための操作を行う必
要がなく、リードフレームにじかに半導体チップを接合
できるという利点がある。
Further, in the above embodiment, the electrodeposition resist 14 is left on the semiconductor chip bonding area of the lead. Therefore, when the semiconductor chip is mounted on this lead frame, insulation is provided between the lead frame and the semiconductor chip. There is an advantage that the semiconductor chip can be directly bonded to the lead frame without the need for an operation for electrical insulation such as interposing a film.

【0018】なお、上記実施例は共通リード10を跨い
でワイヤボンディングするLOCタイプのリードフレー
ムについてのものであるが、電着塗装法はCOL(Chip
OnLead) タイプのリードフレームに対しても有効に利用
できる。図4はCOLタイプのリードフレームに対して
電着塗装法を適用することにより、インナーリードの表
面全体を電着レジスト14で被覆した後、ワイヤボンデ
ィングエリアから電着レジストを除去し、ワイヤボンデ
ィングエリアに銀めっき16を施したものである。この
製品の場合はインナーリード12の表面が電着レジスト
14によって被覆されているから半導体チップをインナ
ーリード12上にじかに搭載することが可能になる。
Although the above embodiment is directed to a LOC type lead frame in which wire bonding is performed across the common lead 10, the electrodeposition coating method is COL (Chip).
It can also be effectively used for OnLead) type leadframes. FIG. 4 shows that by applying the electrodeposition coating method to a COL type lead frame, the entire surface of the inner lead is covered with the electrodeposition resist 14 and then the electrodeposition resist is removed from the wire bonding area. Is plated with silver 16. In the case of this product, since the surface of the inner lead 12 is covered with the electrodeposition resist 14, the semiconductor chip can be directly mounted on the inner lead 12.

【0019】もちろん、前記LOCタイプのリードフレ
ームの場合でもCOLタイプのリードフレームの場合
も、リード表面上にある不要な電着レジストは最終的に
除去して製品とすることができるが、モールドレジンと
の密着性が良い電着レジスト材料を選択すれば、電着レ
ジストを被着させたままにすることでモールド後のパッ
ケージクラックの発生を防止することができ、電着レジ
ストを被着させた有用な製品として提供することが可能
になる。
Of course, in both the case of the LOC type lead frame and the case of the COL type lead frame, the unnecessary electrodeposition resist on the lead surface can be finally removed to obtain a product. If an electrodeposition resist material that has good adhesion with is selected, it is possible to prevent the generation of package cracks after molding by leaving the electrodeposition resist applied, and the electrodeposition resist was applied. It becomes possible to provide it as a useful product.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明に係るリードフレーム及びその製
造方法によれば、上述したように、リード表面に電着レ
ジストを被着したことによってリードフレームにじかに
半導体チップを搭載することが可能になる。また、共通
リード上に電着レジストをパターニングして被着させる
とができるからボンディングワイヤと共通リードとの電
気的短絡を効果的に防止することができる。また、電着
塗装法を利用することによって電着レジストによってリ
ード表面を被覆したリードフレームを容易に得ることが
できる等の著効を奏する。
As described above, according to the lead frame and the method of manufacturing the same of the present invention, the semiconductor chip can be directly mounted on the lead frame by depositing the electrodeposition resist on the lead surface. . Further, since the electrodeposition resist can be patterned and deposited on the common lead, an electrical short circuit between the bonding wire and the common lead can be effectively prevented. Further, by utilizing the electrodeposition coating method, it is possible to easily obtain a lead frame in which the lead surface is covered with the electrodeposition resist.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】LOCタイプのリードフレームの一実施例を示
す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing an example of a LOC type lead frame.

【図2】リードフレームに電着レジストを被着した状態
の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which an electrodeposition resist is attached to a lead frame.

【図3】リードフレームに銀めっきを施した状態の説明
図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a state in which a lead frame is plated with silver.

【図4】COLタイプのリードフレームの一実施例を示
す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of a COL type lead frame.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 共通リード 12 インナーリード 14 電着レジスト 16 銀めっき 10 Common lead 12 Inner lead 14 Electrodeposition resist 16 Silver plating

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 倉石 文夫 長野県長野市大字栗田字舎利田711番地 新光電気工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Fumio Kuraishi 711, Rita, Kurita, Nagano City, Nagano Prefecture Shinko Electric Industry Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 LOCおよびCOLタイプのリードフレ
ームにおいて、 半導体チップが接合される領域のリード表面に電着レジ
ストが被着されたことを特徴とするリードフレーム。
1. A lead frame of LOC type and COL type, characterized in that an electrodeposition resist is deposited on a lead surface of a region to which a semiconductor chip is bonded.
【請求項2】 インナーリードの先端と所定間隔をおい
てインナーリードの先端側を横切るように共通リードが
配置され、該共通リードを跨いでワイヤボンディングさ
れるLOCタイプのリードフレームにおいて、 前記共通リード上でボンディングワイヤが跨ぐ部位の表
面に電着レジストが被着されたことを特徴とするリード
フレーム。
2. A LOC type lead frame in which a common lead is arranged so as to cross the tip side of the inner lead at a predetermined distance from the tip of the inner lead, and wire bonding is performed across the common lead. A lead frame, characterized in that an electrodeposition resist is applied to the surface of the portion over which the bonding wire is straddled above.
【請求項3】 共通リードおよびインナーリード上のワ
イヤボンディングエリアにめっきが施されたことを特徴
とする請求項2記載のリードフレーム。
3. The lead frame according to claim 2, wherein the wire bonding areas on the common lead and the inner lead are plated.
【請求項4】 リードの側面と半導体チップが接合され
る面とに電着レジストが被着されたことを特徴とする請
求項2または3記載のリードフレーム。
4. The lead frame according to claim 2, wherein an electrodeposition resist is applied to the side surface of the lead and the surface to which the semiconductor chip is bonded.
【請求項5】 リードフレーム材を加工して所定のリー
ドを形成した後、 電着塗装法を使用してリード表面に電着レジストを被着
し、 該電着レジストを露光・現像してワイヤボンディングエ
リア等の所要部位の電着レジストを除去した後、 前記所要部位にめっきを施すことを特徴とするリードフ
レームの製造方法。
5. A wire is prepared by processing a lead frame material to form a predetermined lead, applying an electrodeposition resist to the surface of the lead using an electrodeposition coating method, exposing and developing the electrodeposition resist. A method for manufacturing a lead frame, which comprises removing the electrodeposition resist on a required portion such as a bonding area and then plating the required portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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