JPH06310087A - 中継コネクタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 大気圧イオン化質量分析計の二次電子増倍管
と電流導入端子を接続する中継コネクタにおいて、振動
等による接触不良を防止し、高感度な微小ピーク電流の
検出を可能とする。 【構成】 中継コネクタ４の端部から内部４ａにリード
線１ａを挿入させ、孔４ｂにねじ５を中継コネクタ４の
外周面から対面する内周面の方向に螺進させる。次に、
ねじ５を締め付けることによって、端部５ａに圧力が加
わり、リード線１ａを固着させる。電流導入端子２も同
様に、中継コネクタ４の他方の端部から接続部２ａを挿
入させ、孔４ｃにねじ６を螺進させ、締め付けることに
よって端部６ａに圧力が加わり、接続部２ａを固着させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主に半導体プロセスガ
ス中の極微量不純物を計測するための大気圧イオン化分
析計に関し、特に、大気圧イオン化分析計の電流導入端
子の接続構造に適用して有効な技術に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】大気圧イオン化質量分析計の電流導入端
子の接続は、一般に、質量分離されたイオンを電流とし
て増幅するための二次電子増幅管に接続されているリー
ド線と、その電流をさらに外部の増幅器に導入するため
の電流導入端子とを中継コネクタによって接続してい
る。

【０００３】図８に示すように、この中継コネクタ１０
と二次電子増幅管１１のリード線１１ａの固定は、中継
コネクタ１０に設けられているねじ孔１０ａにリード線
固定用ねじ１２を螺進させ、リード線１１ａを締着して
固定しており、一方、電流導入端子１３と中継コネクタ
１０の接続は、中空円柱形状の中継コネクタ１０に十字
の切り込みが形設されており、前記中空円柱の中空部１
０ｂに電流導入端子１３の円柱形状部分１３ａを挿入し
て、圧接することによって固定している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この電流導
入端子の接続構造であると、大気圧イオン化質量分析計
の分析部に接続された真空ポンプの動作による機械振動
がチャンバに伝わり、フランジに固定されている電流導
入端子も振動してしまう。

【０００５】このため、電流導入端子と中継コネクタの
接触不良が生じ、ノイズが発生してしまい、ノイズと同
等レベル程度の微小信号をピークとする質量分析が困難
となり、検出感度が低下してしまう。

【０００６】本発明の目的は、試料分析時の振動等に起
因する接触不良によるノイズの発生を防止し、高感度な
微小ピーク電流の検出を可能とする中継コネクタを提供
することにある。

【０００７】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかにな
るであろう。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【０００９】すなわち、本発明の中継コネクタは、チャ
ンバ内に配設されたイオン検出手段に接続されたリード
線を、ねじ作用によって固定するための第１の固着手段
と、チャンバのフランジ部に配設されたイオン検出手段
からの電流信号を外部の増幅器に出力するための電流導
入端子を、ねじ作用によって固定するための第２の固着
手段と、第１の固着手段と第２の固着手段がそれぞれ螺
合される孔とを備える構造としたものである。

【００１０】また、両端部が中間部より大径の円柱で形
成された前記第１の固着手段および前記第２の固着手段
と、中間部より大径の円柱で形成された両端部が螺合さ
れる孔とを備える構造としたものである。

【００１１】さらに、端部が大径の円柱で形成された前
記第２の固着手段と、第２の固着手段の大径の円柱の口
径よりも大きな孔と第２の固着手段の小径部が螺合され
る孔とを備える構造としたものである。

【００１２】また、電流導入端子それ自体に、イオン検
出手段に接続されたリード線をねじ作用によって固定す
るための第１の固着手段と、前記第１の固着手段が螺合
される孔とを備える構造としたものである。

【００１３】

【作用】上記した中継コネクタによれば、固着力が強く
なるので真空ポンプ等の振動に強くなり、接触不良をな
くすことができる。

【００１４】その結果、接触不良に起因するノイズを低
減することができる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。

【００１６】（実施例１）図１は、本発明の実施例１に
よる大気圧イオン化質量分析計の中継コネクタの接続前
の断面図、図２は、本発明の実施例１による大気圧イオ
ン化質量分析計の中継コネクタの接続後の断面図であ
る。

【００１７】本実施例１において、図１に示すように、
大気圧イオン化質量分析計の図示しない高真空の分析部
のチャンバ内の質量分離されたイオンを増幅するための
二次電子増倍管１（イオン検出手段）には、リード線１
ａが接続されている。

【００１８】また、二次電子増倍管１からの電流信号を
外部の増幅器（図示せず）に出力するための電流導入端
子２は、チャンバのフランジ３に固定されている。その
二次電子増倍管１のリード線１ａと、電流導入端子２の
接続箇所である接続部２ａは、二次電子増倍管１を脱着
自在にするために中継コネクタ４によって接続されてい
る。

【００１９】この中継コネクタ４の内部４ａは中空の円
柱状になっており、また、リード線１ａおよび電流導入
端子２の接続部２ａは、この内部４ａに挿入されるよう
になっている。そして、リード線１ａは、ねじ５（第１
の固着手段）に、電流導入端子２の接続部２ａは、ねじ
６（第２の固着手段）によってそれぞれ固着される。

【００２０】これらのねじ５の端部５ａとねじ６の端部
６ａの端面は、それぞれ平面となっており、また、この
中継コネクタ４の所定の位置には、ねじ５が螺合される
ねじ溝が切られた孔４ｂおよびねじ６が螺合されるねじ
溝が切られた孔４ｃがそれぞれ設けられている。

【００２１】次に、本実施例の作用について説明する。

【００２２】中継コネクタ４の端部から内部４ａにリー
ド線１ａを挿入させ、孔４ｂにねじ５を中継コネクタ４
の外周面から対面する内周面の方向に螺進させる。そし
て、図２に示すように、ねじ５を締め付けることによっ
て、端部５ａに圧力が加わり、リード線１ａを固着させ
る。

【００２３】次に、電流導入端子２も同様に、中継コネ
クタ４の他方の端部から接続部２ａを挿入させ、孔４ｃ
にねじ６を中継コネクタ４の外周面から螺進させ、締め
付けることによって端部６ａに圧力が加わり、接続部２
ａを固着させる。

【００２４】また、二次電子増倍管１の交換等による取
り外しは、ねじ５またはねじ６のどちらかの締め付けを
緩めることで容易に行える。

【００２５】それにより、本実施例１によれば、電流導
入端子と二次電子増倍管のリード線がねじによって確実
に固着されるので、真空ポンプ等の振動に起因する接触
不良によるノイズの発生が低減される。

【００２６】（実施例２）図３は、本発明の実施例２に
よる大気圧イオン化質量分析計の中継コネクタの接続前
の断面図、図４は、本発明の実施例２による大気圧イオ
ン化質量分析計の中継コネクタの接続後の断面図であ
る。

【００２７】本実施例２においては、図３に示すよう
に、ねじ５の端部５ａともう一方の端部５ｂが中間部５
ｃよりも大径の円柱で形成されている。また、前記端部
５ａと端部５ｂには、それぞれねじが切られており、中
間部５ｃには、ねじが切られていない。

【００２８】そして、ねじ６も同様に、端部６ａと端部
６ｂが中間部６ｃよりも大径の円柱で形成されており、
端部６ａと端部６ｂには、それぞれねじが切られてお
り、中間部６ｃにはねじが切られていない。

【００２９】次に、中継コネクタ４の所定の位置には、
ねじ５の端部５ａと端部５ｂが螺合されるねじ溝が切ら
れた孔４ｂと、ねじ６の端部６ａと端部６ｂが螺合され
るねじ溝が切られた孔４ｃとが設けられている。

【００３０】前記中継コネクタ４の中空の円柱状になっ
た内部４ａにリード線１ａを挿入し、孔４ｂにねじ５の
端部５ａを中継コネクタ４の外周面から対面する内周面
の方向に螺進させ、内部４ａに入れる。

【００３１】そして、図４に示すようにリード線１ａを
固着するときは、さらに、前記孔４ｂに端部５ｂを中継
コネクタ４の外周面から対面する内周面の方向に螺進さ
せ、端部５ａの端面に圧力が加わることによってリード
線１ａを固着させる。

【００３２】また、電流導入端子２も同様に、接続部２
ａを内部４ａに挿入させ、孔４ｃにねじ６の端部６ａを
中継コネクタ４の外周面から螺進させ、固着させる。

【００３３】これにより、ねじ５とねじ６の中間部５ｃ
および６ｃのねじが切られていないために、端部５ｂま
たは６ｂが孔４ｂまたは孔４ｃから外れても、端部５ａ
または６ａが孔４ｂまたは４ｃに引っかかるので、締め
付けを緩める時に中継コネクタ４からねじ５やねじ６が
外れてしまうことがなくなる。

【００３４】本実施例２においても、電流導入端子と二
次電子増倍管のリード線が確実に固着されるので、真空
ポンプ等の振動に起因する接触不良によるノイズの発生
が低減される。

【００３５】また、二次電子増倍管の取り外し作業中
に、誤ってねじを紛失することがなくなる。

【００３６】（実施例３）図５は、本発明の実施例３に
よる大気圧イオン化質量分析計である中継コネクタの接
続前の断面図、図６は、本発明の実施例３による大気圧
イオン化質量分析計である中継コネクタの接続後の断面
図である。

【００３７】本実施例３では、図５に示すように、ねじ
６の端部６ａが大径の円柱で形成されている。また、こ
の端部６ａは、ねじが切られておらず、その他の小径の
円柱部にはねじが切られている。

【００３８】次に、中継コネクタ４の所定の箇所には、
ねじ溝が切られている孔４ｂ，４ｃが形成されている。

【００３９】前記孔４ｃの対面には、ねじ６の端部６ａ
よりも大きな孔４ｄが形成されている。この孔４ｄから
ねじ６を端部６ａを後方にして挿入し、中継コネクタ４
の内周面から外周面の方向に孔４ｃにねじ６を螺進して
行く。

【００４０】そして、内部４ａとねじ６の端部６ａに十
分隙間が空くと、図６に示すように、電流導入端子２の
接続部２ａを中継コネクタ４の内部４ａに挿入し、ねじ
６を締めることによってねじ６の端部６ａの圧力が加わ
り、接続部２ａを固着させる。

【００４１】また、リード線１ａは、前記実施例１また
は２のねじによって固着する。

【００４２】本実施例３においても、電流導入端子と二
次電子増倍管のリード線が確実に固着されるので、真空
ポンプ等の振動に起因する接触不良によるノイズの発生
が低減される。

【００４３】また、二次電子増幅管の取り外し作業中に
ねじが外れることがないので、誤ってねじを紛失するこ
とがなくなる。

【００４４】（実施例４）図７は、本発明の実施例４に
よる大気圧イオン化質量分析計の中継コネクタ一体形の
電流導入端子の断面図である。

【００４５】本実施例４では、電流導入端子２の接続部
２ａに、二次電子増倍管１のリード線１ａを挿入するた
めの穴２ｂを形成する。また、この接続部２ａの所定の
位置には、ねじが切られている孔２ｃが形成されてい
る。

【００４６】前記接続部２ａの穴２ｂにリード線１ａを
挿入し、孔２ｃからねじ５を螺進させ、リード線１ａを
固着する。

【００４７】それにより、本実施例４によれば、電流導
入端子と二次電子増倍管のリード線がねじによって確実
に固着されるので、真空ポンプ等の振動に起因する接触
不良によるノイズの発生が低減される。

【００４８】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき説明したが、本発明は前記実施例に限定さ
れるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることはいうまでもない。

【００４９】たとえば、中継コネクタの形状は、前記実
施例１、２、３または４の円柱形以外でも良く、多角形
や異形等の形状でも良い。

【００５０】

【発明の効果】本発明によって開示される発明のうち、
代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれ
ば、以下のとおりである。

【００５１】（１）本発明によれば、接続部が確実に固
着されるので、真空ポンプ等の振動に起因するノイズの
発生を低減することができる。

【００５２】（２）また、上記（１）により、微小ピー
ク信号の検出が可能となり、大気圧イオン化質量分析計
の分析感度が向上する。

【００５３】（３）さらに、二次電子増幅管等の取り外
し作業中にねじが外れることがないので、ねじを紛失す
ることがなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１による大気圧イオン化質量分
析計の中継コネクタの接続前の断面図である。

【図２】本発明の実施例１による大気圧イオン化質量分
析計の中継コネクタの接続後の断面図である。

【図３】本発明の実施例２による大気圧イオン化質量分
析計の中継コネクタの接続前の断面図である。

【図４】本発明の実施例２による大気圧イオン化質量分
析計の中継コネクタの接続後の断面図である。

【図５】本発明の実施例３による大気圧イオン化質量分
析計の中継コネクタの接続前の断面図である。

【図６】本発明の実施例３による大気圧イオン化質量分
析計の中継コネクタの接続後の断面図である。

【図７】本発明の実施例４による大気圧イオン化質量分
析計の中継コネクタ一体形の電流導入端子の断面図であ
る。

【図８】従来の大気圧イオン化質量分析計の中継コネク
タの断面図である。

【符号の説明】

１ 二次電子増倍管（イオン検出手段） １ａ リード線 ２ 電流導入端子 ２ａ 接続部 ２ｂ 穴 ２ｃ 孔 ３ フランジ ４ 中継コネクタ ４ａ 内部４ ４ｂ 孔 ４ｃ 孔 ４ｄ 孔 ５ ねじ（第１の固着手段） ５ａ 端部 ５ｂ 端部 ５ｃ 中間部 ６ ねじ（第２の固着手段） ６ａ 端部 ６ｂ 端部 ６ｃ 中間部 １０ 中継コネクタ １０ａ ねじ孔 １０ｂ 中空部 １１ 二次電子増幅管 １１ａ リード線 １２ リード線固定用ねじ １３ 電流導入端子 １３ａ 円柱形状部分

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栗山 克己 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 渡瀬 進一郎 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 中野 和男 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 大気圧イオン化質量分析計において、チ
   ャンバ内に配設されたイオン検出手段に接続されたリー
   ド線を、ねじ作用によって固定するための第１の固着手
   段と、前記チャンバのフランジ部に配設された前記イオ
   ン検出手段からの電流信号を外部の増幅器に出力するた
   めの電流導入端子を、ねじ作用によって固定するための
   第２の固着手段と、前記第１の固着手段と前記第２の固
   着手段がそれぞれ螺合される孔とを備える構造としたこ
   とを特徴とする中継コネクタ。
2. 【請求項２】 両端部が中間部より大径の円柱で形成さ
   れた前記第１の固着手段および前記第２の固着手段と、
   前記両端部が螺合される孔とを備える構造としたことを
   特徴とする請求項１記載の中継コネクタ。
3. 【請求項３】 端部が大径の円柱で形成された前記第２
   の固着手段と、前記第２の固着手段の大径の円柱の口径
   よりも大きな孔と前記第２の固着手段が螺合される孔と
   を備える構造としたことを特徴とする請求項１記載の中
   継コネクタ。
4. 【請求項４】 大気圧イオン化質量分析計において、チ
   ャンバ内に配設されたイオン検出手段からの電流信号を
   外部の増幅器に出力するための電流導入端子自体に、前
   記イオン検出手段に接続されたリード線をねじ作用によ
   って固定するための第１の固着手段と、前記第１の固着
   手段が螺合される孔とを備える構造としたことを特徴と
   する中継コネクタ。