JPH06308356A - Parallel transmission optical module - Google Patents
Parallel transmission optical moduleInfo
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- JPH06308356A JPH06308356A JP9752793A JP9752793A JPH06308356A JP H06308356 A JPH06308356 A JP H06308356A JP 9752793 A JP9752793 A JP 9752793A JP 9752793 A JP9752793 A JP 9752793A JP H06308356 A JPH06308356 A JP H06308356A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は並列伝送光モジュールに
関し、更に詳しくは、受光/発光素子と光ファイバアレ
イの光軸を調整することを要しない並列伝送光モジュー
ルに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a parallel transmission optical module, and more particularly to a parallel transmission optical module that does not require adjustment of the optical axes of the light receiving / light emitting element and the optical fiber array.
【0002】[0002]
【従来の技術】光通信分野で使用される並列伝送光モジ
ュールには、従来から、図1で示したような構造のもの
が知られている。すなわち、図1で示したモジュールに
おいては、まず、ヒートシンク14に、レーザダイオー
トアレイ(LDアレイ)や発光ダイオードアレイ(LE
Dアレイ)に代表される受光/発光素子15が固定され
ている。そして、この受光/発光素子の受光/発光面に
対向して、光ファイバアレイ16が配置されている。こ
のとき、光ファイバアレイの各光ファイバの光軸と受光
/発光素子の光軸の調心は、図示しない微動調整装置を
用いることにより行われる。そして、両者の光軸調整が
なされたのち、ヒートシンク14と光ファイバアレイ1
6の間に連結部材17を介装し、それらの間を接着,は
んだ付け,溶接などの方法で接合し、受光/発光素子1
5と光ファイバアレイ16の相互の位置関係が固定され
ている。2. Description of the Related Art Conventionally, a parallel transmission optical module used in the field of optical communication has a structure as shown in FIG. That is, in the module shown in FIG. 1, first, the heat sink 14 is provided with a laser die auto array (LD array) and a light emitting diode array (LE).
A light receiving / light emitting element 15 represented by a D array) is fixed. The optical fiber array 16 is arranged so as to face the light receiving / light emitting surface of the light receiving / light emitting element. At this time, the optical axes of the optical fibers of the optical fiber array and the optical axes of the light receiving / light emitting elements are aligned by using a fine movement adjusting device (not shown). Then, after the optical axes of both are adjusted, the heat sink 14 and the optical fiber array 1
A light receiving / light emitting element 1 is provided by interposing a connecting member 17 between 6 and joining them by a method such as adhesion, soldering or welding.
The positional relationship between the optical fiber array 5 and the optical fiber array 16 is fixed.
【0003】この構造のモジュールのほかに、例えば、
特開平1−291204号公報に示されているように、
光ファイバアレイと導波路型光部品とを両者に共通する
連結ピンで結合した構造のモジュールも提案されてい
る。この構造のものは、光ファイバアレイと導波路光部
品とに、両者を突き合わせたときにそれぞれの光軸が一
致するように、予め位置決めされたピンガイド溝を刻設
しておき、この両者のピンガイド溝に共通して連結ピン
を挿入するだけで、両者の光軸は一致するので、前述し
たような光軸の調整作業を行うことなくモジュールを組
立てることができるという利点を有している。Besides the module of this structure, for example,
As disclosed in JP-A-1-291204,
There is also proposed a module having a structure in which an optical fiber array and a waveguide type optical component are connected by a connecting pin common to both. With this structure, the optical fiber array and the waveguide optical component are pre-positioned with pin guide grooves so that their optical axes coincide with each other when they are butted against each other. Since the optical axes of both of them coincide with each other only by inserting the connecting pin in common in the pin guide groove, there is an advantage that the module can be assembled without performing the optical axis adjustment work as described above. .
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、前者のモジ
ュールの場合、受光/発光素子と光ファイバアレイとの
光軸調整には、各素子を微動調整装置にセットする時間
も含めると、1回に数分から10数分という作業時間が
必要である。とくに、受光/発光素子がLDアレイであ
る場合には、光軸調整時における許容誤差はサブミクロ
ンオーダであるため、更に長い調整時間が必要になると
いう問題がある。By the way, in the former module, the adjustment of the optical axes of the light-receiving / light-emitting elements and the optical fiber array includes only one time when each element is set in the fine adjustment device. A working time of several minutes to ten and several minutes is required. In particular, when the light receiving / light emitting element is an LD array, there is a problem that a longer adjustment time is required because the allowable error when adjusting the optical axis is on the order of submicron.
【0005】また、後者の連結方法は光軸を無調整で結
合する方法である。しかし、この方法を並列伝送光モジ
ュールの組立てに適用する場合には、ヒートシンク上に
固定する受光/発光素子の位置精度を高水準にして実装
することが必要になる。この位置精度が悪い場合は、現
実問題として、両者の光軸一致を得ることができない。The latter coupling method is a method of coupling the optical axes without adjustment. However, when this method is applied to the assembly of a parallel transmission optical module, it is necessary to mount the light receiving / light emitting element fixed on the heat sink with a high level of positional accuracy. If this positional accuracy is poor, the optical axes of the two cannot be coincident with each other as a practical problem.
【0006】本発明は、並列伝送光モジュールの組立て
における上記した問題を解決し、受光/発光素子の実装
位置の精度を向上させることにより受光/発光素子と光
ファイバアレイとの光軸調整作業を行うことなく組立て
ることができ、もって低コスト,高生産性の下で製造す
ることができる並列伝送モジュール、とくに受光/発光
素子がLDアレイである場合の並列伝送光モジュールの
提供を目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems in assembling a parallel transmission optical module and improves the accuracy of the mounting position of the light receiving / light emitting element to perform the optical axis adjustment work of the light receiving / light emitting element and the optical fiber array. It is an object of the present invention to provide a parallel transmission module that can be assembled without performing the above, and can be manufactured at low cost and with high productivity, in particular, a parallel transmission optical module when the light receiving / light emitting elements are LD arrays.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、複数本の配線回路がパター
ニングされている表面の両側部分にそれぞれピンガイド
部(I)が形成されているベース基板と、前記ベース基
板の表面の所定位置にフリップチップ方式で実装され、
前記ベース基板との対向面には前記配線回路に接続する
電極がパターニングされている受光/発光素子と、複数
本の光ファイバが配列され、その両側部分にはピンガイ
ド部(II)が形成され、前記ピンガイド部(I)と前記
ピンガイド部(II)に共通した連結ピンを配置すること
により、前記光ファイバの光軸を前記受光/発光素子の
光軸と一致させた光ファイバアレイとから成る並列伝送
光モジュールにおいて、前記ベース基板と前記受光/発
光素子におけるそれぞれの対向面に互いに対をなす微小
凹部を刻設し、前記微小凹部に位置決め部材を介装して
前記受光/発光素子が前記ベース基板に実装されている
ことを特徴とする並列伝送光モジュールが提供される。To achieve the above object, in the present invention, pin guide portions (I) are formed on both side portions of the surface on which a plurality of wiring circuits are patterned. A base substrate and a predetermined position on the surface of the base substrate are mounted by a flip chip method,
A light-receiving / light-emitting element in which electrodes connected to the wiring circuit are patterned, and a plurality of optical fibers are arranged on a surface facing the base substrate, and pin guide portions (II) are formed on both side portions thereof. An optical fiber array in which the optical axis of the optical fiber is aligned with the optical axis of the light receiving / light emitting element by disposing a connecting pin common to the pin guide portion (I) and the pin guide portion (II). In the parallel transmission optical module, the light-receiving / light-emitting element is formed by engraving minute recesses that form a pair on opposing surfaces of the base substrate and the light-receiving / light-emitting element, and interposing a positioning member in the minute recesses. Is provided on the base substrate, and a parallel transmission optical module is provided.
【0008】[0008]
【作用】ベース基板と受光/発光素子を重ね合わせる
と、それぞれの対向面が刻設されている微小凹部は対を
なして重なりあう。そして、この微小凹部は例えばエッ
チングによって高精度に刻設される。したがって、この
微小凹部に共通する例えば球体のような位置決め部材を
介装して両者を重ね合わせるとベース基板と受光/発光
素子はこの球体を介して決められた位置関係で重なり合
う。すなわち、受光/発光素子はベース基板の所定位置
に実装される。When the base substrate and the light-receiving / light-emitting element are superposed on each other, the minute concave portions having the facing surfaces thereof are paired and overlap each other. Then, the minute recesses are formed with high precision by etching, for example. Therefore, when a positioning member, such as a sphere, which is common to the minute recesses is interposed and the two are superposed, the base substrate and the light-receiving / light-emitting element overlap with each other through the sphere. That is, the light receiving / light emitting element is mounted at a predetermined position on the base substrate.
【0009】また、ベース基板のピンガイド部(I)と
光ファイバアレイのピンガイド部(II)とは、設計基準
に基づいて計算された所定の位置関係で予め形成されて
いるので、これらピンガイド部(I)とピンガイド部
(II)に共通して連結ピンを配置した状態で光ファイバ
アレイとベース基板を結合すれば、光ファイバアレイ内
の光ファイバは、設計基準とおりに所定の位置に配置さ
れる。Further, since the pin guide portion (I) of the base substrate and the pin guide portion (II) of the optical fiber array are formed in advance in a predetermined positional relationship calculated based on the design standard, these pins are formed. If the optical fiber array and the base substrate are coupled with the connecting pin common to the guide part (I) and the pin guide part (II), the optical fiber in the optical fiber array will have a predetermined position according to the design standard. Is located in.
【0010】したがって、所定の位置にある受光/発光
素子と同じく所定の位置にある光ファイバとの光軸は一
致する。すなわち、光軸調整作業をすることなく上記し
たベース基板,受光/発光素子,光ファイバアレイを機
械的に組立てるだけで光軸調整された並列伝送光モジュ
ールを得ることができるようになる。Therefore, the optical axes of the light receiving / light emitting element at the predetermined position and the optical fiber at the predetermined position coincide with each other. That is, the optical axis-adjusted parallel transmission optical module can be obtained only by mechanically assembling the above-mentioned base substrate, light-receiving / light-emitting element, and optical fiber array without performing the optical-axis adjustment work.
【0011】[0011]
【実施例】以下に、図面に基づいて本発明の光モジュー
ルを説明する。図2は、受光/発光素子がLDアレイで
ある場合の実施例を示す分解斜視図である。図におい
て、ベース基板Aは通常Si単結晶で構成されている。
このベース基板Aの一方の面1aには、駆動回路(図示
しない)から後述するLDアレイを駆動させるための電
気信号を供給するために、例えばアルミなどで複数本
(図では4本)の配線回路2が所望のパターンでパター
ニングされている。そして、これら配線回路2の両側部
分の面1aには、断面がV字型の溝3a,3bがそれぞ
れピンガイド部(I)として刻設されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An optical module of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is an exploded perspective view showing an embodiment in which the light receiving / light emitting elements are LD arrays. In the figure, the base substrate A is usually composed of Si single crystal.
In order to supply an electric signal for driving an LD array described later from a drive circuit (not shown) to one surface 1a of the base substrate A, a plurality of wires (four wires in the figure) made of, for example, aluminum. The circuit 2 is patterned in a desired pattern. Grooves 3a and 3b each having a V-shaped cross section are formed as pin guide portions (I) on the surfaces 1a on both sides of the wiring circuit 2.
【0012】このベース基板Aの面1aにおける所定の
位置A1 には、LDアレイBがフリップチップ方式で実
装される。このLDアレイBにおいて、ベース基板Aの
面1aと対向する側の面4a、すなわち、エピタキシャ
ル結晶成長面には、図3で示したように、例えばAuな
どをメタライズして成る複数個(図では4個)の電極5
が装荷され、また、後述する光ファイバと光結合する側
の面4bには、例えば250μmの間隔で4個の発光部
6が形成されている。At a predetermined position A 1 on the surface 1a of the base substrate A, the LD array B is mounted by the flip chip method. In this LD array B, the surface 4a on the side opposite to the surface 1a of the base substrate A, that is, the epitaxial crystal growth surface, is formed by metallizing, for example, Au as shown in FIG. 4) electrode 5
, And four light emitting portions 6 are formed at intervals of, for example, 250 μm on the surface 4b on the side optically coupled with the optical fiber described later.
【0013】このLDアレイBをフリップチップ方式で
ベース基板Aの所定位置A1 に実装すると、ベース基板
Aの面1bとLDアレイBの面4bとは同一面を形成
し、同時に配線回路2と電極5が接続し、駆動回路(図
示しない)からの電気信号によって発光部6が発光でき
るようになっている。一方、光ファイバアレイCでは、
一方の面7aに所定の深さ,所定の幅,所定の間隔で4
本の溝8が刻設され、ここにそれぞれ光ファイバ9が配
列されている。そして、これら光ファイバ9の両側部分
の面7aには、断面がV字型の溝10a,10bがそれ
ぞれピンガイド部(II)として刻設されている。このV
字溝10a,10bには、後述する連結ピン11a,1
1bが面7bから一部突出した状態で配置され、全体に
押えカバーC’を載置・固定することにより、光ファイ
バ9,連結ピン11a,11bは光ファイバアレイCの
面7aにおける所定の位置に固定されている。When this LD array B is mounted on a predetermined position A 1 of the base substrate A by the flip chip method, the surface 1b of the base substrate A and the surface 4b of the LD array B are formed on the same surface, and at the same time as the wiring circuit 2. The electrode 5 is connected, and the light emitting section 6 can emit light by an electric signal from a drive circuit (not shown). On the other hand, in the optical fiber array C,
4 on one surface 7a with a predetermined depth, a predetermined width, and a predetermined interval.
A groove 8 of a book is engraved, and an optical fiber 9 is arranged in each groove. Grooves 10a and 10b having V-shaped cross sections are formed as pin guide portions (II) on the surfaces 7a of both sides of the optical fibers 9, respectively. This V
Connection pins 11a, 1 described later are provided in the character grooves 10a, 10b.
The optical fiber 9 and the connecting pins 11a and 11b are arranged at predetermined positions on the surface 7a of the optical fiber array C by placing the optical fiber 9 and the connecting pins 11a and 11b on the entire surface of the optical fiber array C by disposing the pressing cover C'on the entire surface. It is fixed to.
【0014】本発明においては、ベース基板Aの所定位
置A1 内に、複数個(図では4個)の微小凹部12aが
刻設され、また、この所定位置A1 に実装されるLDア
レイBの面4a内にも同じく4個の微小凹部12bが刻
設されている。ベース基板A側の微小凹部12aとLD
アレイB側の12bは対をなす形状をしていて、同時
に、これらそれぞれの微小凹部を対向して重ね合わせる
と、LDアレイBは前記した所定位置A1 に実装され
る、すなわち、発光部6は設計基準に基づく所定の位置
に配置されるように刻設されている。In the present invention, a plurality of (four in the figure) minute recesses 12a are formed in a predetermined position A 1 of the base substrate A, and the LD array B mounted at the predetermined position A 1 is formed. Similarly, four minute recesses 12b are formed in the surface 4a. Micro recess 12a and LD on the base substrate A side
The arrays 12b on the side of the array B have a pair of shapes, and at the same time, when these minute recesses are overlapped facing each other, the LD array B is mounted at the above-mentioned predetermined position A 1 , that is, the light emitting section 6 is formed. Are engraved so as to be arranged at a predetermined position based on the design standard.
【0015】これらの微小凹部12a,12bは、通
常、ホトリソグラフィー技術とエッチングを組み合わせ
ることにより刻設される。したがって、用いるマスク材
の寸法精度に対応して、微小凹部12a,12bそれ自
体の寸法形状は非常に高い精度をもち、また、刻設する
位置に関しても設計基準の位置との誤差を非常に小さく
することができる。These minute recesses 12a and 12b are usually formed by combining photolithography technology and etching. Accordingly, the size and shape of the minute recesses 12a and 12b themselves have a very high accuracy in accordance with the dimensional accuracy of the mask material used, and the error in the engraving position from the design reference position is very small. can do.
【0016】これらの微小凹部12a,12bには、位
置決め部材13が介装され、ベース基板Aの所定位置A
1 にLDアレイBが実装される。具体的には、ベース基
板Aの微小凹部12aに位置決め部材13をいれ、この
位置決め部材13の上にLDアレイBの微小凹部12b
を嵌め込むことによって実装される。これらの微小凹部
は、設計基準に基づいて高い位置精度で刻設されている
ので、実装されたLDアレイBは設計基準に基づく所定
位置A1 に配置される。A positioning member 13 is provided in each of the minute recesses 12a and 12b, and a predetermined position A of the base substrate A is provided.
The LD array B is mounted on 1 . Specifically, the positioning member 13 is put in the minute recess 12 a of the base substrate A, and the minute recess 12 b of the LD array B is placed on the positioning member 13.
It is implemented by fitting. Since these minute recesses are formed with high positional accuracy based on the design standard, the mounted LD array B is arranged at the predetermined position A 1 based on the design standard.
【0017】ここで、微小凹部に介装される位置決め部
材13としては、例えば、液晶パネルなどのスペーサと
して使用されている石英ガラス製のボールのように、直
径の誤差が直径の1%以下の精度を有する球体であるこ
とが好ましい。また、微小凹部としては、位置決め部材
として球体を用いたときに、その球体の直径の1/3程
度が嵌まり込むような角錐形状をした凹部であることが
好ましい。Here, the positioning member 13 provided in the minute recess has a diameter error of 1% or less, such as a quartz glass ball used as a spacer for a liquid crystal panel. It is preferably a sphere having accuracy. Further, it is preferable that the minute recesses are pyramid-shaped recesses into which about ⅓ of the diameter of the sphere is fitted when the sphere is used as the positioning member.
【0018】微小凹部が角錐形状であり、位置決め部材
が球体である場合に、例えばベース基板Aの微小凹部1
2aに球体13を嵌め込んだ状態を図4に示した。ベー
ス基板AのV字溝3a,3bは、上記した微小凹部12
aをエッチングにより刻設したのち、その微小凹部をマ
スクした状態で再びエッチングを行なって刻設すること
が好ましい。V字溝の位置精度を高めることができるか
らである。しかし、ホトリソグラフィーとエッチングの
プロセスを2回反復したくない場合には、例えば微小凹
部12aを刻設したのち、その微小凹部12aを位置基
準にして、面1aに機械加工を施してもサブミクロンオ
ーダーの位置精度をだすことも可能である。When the minute recesses are pyramidal and the positioning member is a sphere, for example, the minute recesses 1 on the base substrate A are used.
FIG. 4 shows a state in which the sphere 13 is fitted in 2a. The V-shaped grooves 3a and 3b of the base substrate A are formed by the above-mentioned minute recesses 12
After engraving a by etching, it is preferable to engrave by etching again with the minute recesses masked. This is because it is possible to improve the positional accuracy of the V-shaped groove. However, if it is not desired to repeat the photolithography and etching processes twice, for example, even if the minute recess 12a is engraved and then the minute recess 12a is used as a position reference, machining is performed on the surface 1a in a submicron range. It is also possible to provide position accuracy on the order.
【0019】また、光ファイバアレイCにおけるV字溝
8もホトリソグラフィー技術とエッチングを組み合わせ
て刻設することが好ましい。このV字溝8に配列される
光ファイバ9の位置精度を高めことができ、その結果、
設計基準に基づく位置にこれら光ファイバ9を配列する
ことができるからである。なお、この光ファイバアレイ
CにおけるV字溝10a,10bは、ベース基板AのV
字溝3a,3bと同じようにして刻設すればよい。The V-shaped groove 8 in the optical fiber array C is also preferably engraved by combining photolithography technology and etching. The positional accuracy of the optical fibers 9 arranged in the V-shaped groove 8 can be increased, and as a result,
This is because these optical fibers 9 can be arranged at positions based on the design criteria. The V-shaped grooves 10a and 10b in the optical fiber array C are the V-shaped grooves of the base substrate A.
It may be carved in the same manner as the character grooves 3a and 3b.
【0020】また、配列する光ファイバ9としては、先
端形状を 研磨したものであってもよいが、LDアレイ
Bとの光結合効率を高めるために、先端がレンズ加工さ
れているものや、先端に球レンズなどのレンズ,アレイ
レンズが付加されているものであってもよい。本発明の
並列伝送光モジュールは次のようにして組み立てられ
る。The optical fibers 9 to be arrayed may have a polished tip shape, but in order to improve the optical coupling efficiency with the LD array B, the tip is lens-processed, or the tip is lens-finished. Further, a lens such as a spherical lens or an array lens may be added. The parallel transmission optical module of the present invention is assembled as follows.
【0021】まず、図4で示したような角錐形状をした
微小凹部12aとピンガイド部(I)であるV字溝3
a,3bが図2で示したように面1aに刻設されている
ベース基板Aが用意される。このベース基板Aとして
は、配線回路2のうち所定位置A 1 は、例えば厚み15
〜20μm程度のはんだが供給されているフリップチッ
プ接合用はんだパッド2aで構成されていることが好ま
しい。First, a pyramid shape as shown in FIG. 4 was formed.
Minute recess 12a and V-shaped groove 3 that is the pin guide portion (I)
a and 3b are engraved on the surface 1a as shown in FIG.
A base substrate A is prepared. As this base substrate A
Is a predetermined position A in the wiring circuit 2. 1Is, for example, 15
Flip chip supplied with solder of about 20 μm
It is preferable that the solder pad 2a for bonding is used.
Good
【0022】このベース基板Aは、つぎに、加熱台の上
にセットされる。そして、真空吸着ツールで所定直径の
球体13をピックアップし、これらを、全ての微小凹部
12aの中に置く。このとき、球体13が微小凹部12
aからとびでてしまうようなことが起こる場合には、例
えば、球体13を予め熱硬化性の接着剤でコーティング
しておき、微小凹部12aに置いたときに、加熱台でベ
ース基板Aを数10℃の温度に加熱して上記熱硬化性接
着剤を硬化することにより球体13を微小凹部12aの
中に接着固定すればよい。The base substrate A is then set on the heating table. Then, a sphere 13 having a predetermined diameter is picked up by a vacuum suction tool, and these are placed in all the minute recesses 12a. At this time, the sphere 13 becomes the minute recess 12
In the case where the protrusion from a occurs, for example, the spheres 13 are coated with a thermosetting adhesive in advance, and when the spheres 13 are placed in the minute recesses 12a, the base substrate A is tens of tens with a heating table. The spheres 13 may be bonded and fixed in the minute recesses 12a by heating to a temperature of ° C to cure the thermosetting adhesive.
【0023】ついで、図3で示したようなLDアレイB
を面4aを下側にして真空吸着ツールでピックアップ
し、その微小凹部12bが、ベース基板Aの微小凹部1
2aから例えば約2/3程度突出している球体13を包
むように、LDアレイBをベース基板Aの上に置き、全
体を加熱する。このときの微小凹部12bと球体13の
位置合わせは、高精度の画像認識装置を用いることによ
り、両者を画像認識して行えばよい。Then, the LD array B as shown in FIG.
Is picked up by a vacuum suction tool with the surface 4a facing down, and the minute recesses 12b are the minute recesses 1 of the base substrate A.
The LD array B is placed on the base substrate A so as to wrap the spheres 13 projecting from the 2a by, for example, about 2/3, and the whole is heated. At this time, the fine concave portion 12b and the spherical body 13 may be aligned with each other by performing image recognition on both by using a highly accurate image recognition device.
【0024】このとき、図5で示したように、何らかの
理由で、微小凹部12bと球体13の位置合わせがずれ
てしまう場合がある。しかし、この場合にも、はんだパ
ッド2aのはんだは溶融した状態で電極5に付着する。
そして、そのときには、溶融はんだの表面張力によっ
て、LDアレイBには矢印pで示した方向の力が作用す
る。その結果、LDアレイBは図の左方に微小移動し、
図6で示したように、球体13と微小凹部12bとの位
置合わせが実現し、同時にはんだパッド2aのはんだも
正規の状態で固化できるようになる。このように、配線
回路2の所定位置A1 の部分をフリップチップ接合用の
はんだパッドとして構成すれば、自己位置合わせ機能も
発現できるようになるので効果的である。At this time, as shown in FIG. 5, for some reason, the alignment between the minute concave portion 12b and the spherical body 13 may be displaced. However, also in this case, the solder of the solder pad 2a adheres to the electrode 5 in a molten state.
Then, at that time, a force in the direction indicated by the arrow p acts on the LD array B due to the surface tension of the molten solder. As a result, LD array B moves slightly to the left in the figure,
As shown in FIG. 6, the alignment of the sphere 13 and the minute recess 12b is realized, and at the same time, the solder of the solder pad 2a can be solidified in a regular state. Thus, if the portion of the wiring circuit 2 at the predetermined position A 1 is configured as a solder pad for flip-chip bonding, it is effective because the self-alignment function can be exhibited.
【0025】このようにして、ベース基板Aの所定位置
A1 にLDアレイBを実装したのち、光ファイバアレイ
Cから突出している連結ピン11a,11bをそれぞ
れ、ベース基板AのV字溝3a,3bに嵌め込んでベー
ス基板Aと光ファイバアレイCを連結し、接着剤やはん
だパッドで用いたはんだよりも低融点のはんだを用いる
ことにより、両者を接合して本発明の光モジュールの組
立が完了する。After mounting the LD array B on the predetermined position A 1 of the base substrate A in this manner, the connecting pins 11a and 11b protruding from the optical fiber array C are respectively connected to the V-shaped grooves 3a and 3a of the base substrate A. 3b, the base substrate A and the optical fiber array C are connected to each other, and a solder having a melting point lower than that of the solder used in the adhesive or the solder pad is used to join the two to assemble the optical module of the present invention. Complete.
【0026】なお、実施例では、LDアレイBとして4
個のLDが並列したものを用いて説明したが、例えば8
チャンネル以上のLDアレイを実装する場合には、それ
は細長いので、そのLDアレイの中央部にも微小凹部−
球体構造を形成して全体のたわみを防止するようにして
もよい。また、実施例では、ピンガイド部(I),ピン
ガイド部(II)のいずれもV字溝とした場合を示した
が、これらピンガイド部はこの形状に限定されるもので
はなく、例えば、ベース基板と光ファイバアレイの厚み
部分に穿設された穴であってもよい。In the embodiment, the LD array B is 4
Although the description has been made using the one in which the LDs are arranged in parallel, for example, 8
When mounting an LD array of more than channels, since it is elongated, a minute recess in the center of the LD array-
A spherical structure may be formed to prevent the entire deflection. Further, in the embodiment, the pin guide portion (I) and the pin guide portion (II) are both V-shaped grooves, but these pin guide portions are not limited to this shape. It may be a hole formed in the thickness portion of the base substrate and the optical fiber array.
【0027】[0027]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
並列伝送光モジュールは、従来のように光軸調整作業を
行うことなく組み立てることができるので、製造時にお
ける生産性は高くなり、したがって、低コストになり、
その工業的価値は大である。As is apparent from the above description, the parallel transmission optical module of the present invention can be assembled without performing the optical axis adjusting work as in the prior art, and therefore the productivity at the time of manufacturing is increased, Therefore, the cost is low,
Its industrial value is great.
【図1】従来の並列伝送光モジュール例を示す斜視図で
ある。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a conventional parallel transmission optical module.
【図2】本発明の並列伝送光モジュールの例を示す分解
斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view showing an example of a parallel transmission optical module of the present invention.
【図3】本発明のLDアレイを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an LD array of the present invention.
【図4】本発明の微小凹部と位置決め部材の例を示す斜
視図である。FIG. 4 is a perspective view showing an example of a minute recess and a positioning member of the present invention.
【図5】本発明の並列伝送光モジュールの組立時に、ベ
ース基板とLDアレイとの間に位置ずれを起こした状態
を示す一部断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing a state in which the base substrate and the LD array are displaced when the parallel transmission optical module of the present invention is assembled.
【図6】ベース基板とLDアレイの間で正規の位置合わ
せがなされた状態を示す一部断面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a state where regular alignment is performed between the base substrate and the LD array.
A ベース基板 B LDアレイ(受光/発光素子) C 光ファイバアレイ C’ 光ファイバアレイの押えカバー 1a ベース基板Aの表面 1b ベース基板Aの光ファイバアレイCとの接合面 2 配線回路 2a フリップチップ接合用はんだパッド 3a,3b V字溝(ピンガイド部(I)) 4a LDアレイBの表面(エピタキシャル結晶成長
面) 4b LDアレイBの光ファイバとの結合面 5 電極 6 発光部 7a 光ファイバアレイCの表面 7b 光ファイバアレイCのベース基板Aとの接合面 8 光ファイバ配列用のV字溝 9 光ファイバ 10a,10b V字溝(ピンガイド部(II)) 11a,11b 連結ピン 12a ベース基板A側の微小凹部 12b LDアレイB側の微小凹部 13 球体(位置決め部材) 14 ヒートシンク 15 受光/発光素子 16 光ファイバアレイ 17 連結部材A base substrate B LD array (light receiving / light emitting element) C optical fiber array C'holding cover for optical fiber array 1a surface of base substrate A 1b joint surface of base substrate A with optical fiber array C 2 wiring circuit 2a flip chip joining Solder pad 3a, 3b V-shaped groove (pin guide portion (I)) 4a Surface of LD array B (epitaxial crystal growth surface) 4b Bonding surface with optical fiber of LD array B 5 Electrode 6 Light emitting portion 7a Optical fiber array C Surface 7b Joint surface of optical fiber array C with base substrate 8 Optical fiber array V-shaped groove 9 Optical fibers 10a, 10b V-shaped groove (pin guide part (II)) 11a, 11b Connecting pin 12a Base substrate A Side minute recess 12b LD array B side minute recess 13 Sphere (positioning member) 14 Heat sink 15 Light reception / light emission Child 16 optical fiber array 17 connecting member
Claims (2)
いる表面の両側部分にそれぞれピンガイド部(I)が形
成されているベース基板と、前記ベース基板の表面の所
定位置にフリップチップ方式で実装され、前記ベース基
板との対向面には前記配線回路に接続する電極がパター
ニングされている受光/発光素子と、複数本の光ファイ
バが配列され、その両側部分にはピンガイド部(II)が
形成され、前記ピンガイド部(I)と前記ピンガイド部
(II)に共通した連結ピンを配置することにより、前記
光ファイバの光軸を前記受光/発光素子の光軸と一致さ
せた光ファイバアレイとから成る並列伝送光モジュール
において、前記ベース基板と前記受光/発光素子におけ
るそれぞれの対向面に互いに対をなす微小凹部を刻設
し、前記微小凹部に位置決め部材を介装して前記受光/
発光素子が前記ベース基板に実装されていることを特徴
とする並列伝送光モジュール。1. A base substrate having pin guide portions (I) formed on both sides of a surface on which a plurality of wiring circuits are patterned, and a flip-chip mounting method at a predetermined position on the surface of the base substrate. And a plurality of optical fibers are arranged on a surface facing the base substrate, the light receiving / light emitting element having electrodes connected to the wiring circuit patterned, and pin guide portions (II) on both sides thereof. An optical fiber in which the optical axis of the optical fiber is aligned with the optical axis of the light-receiving / light-emitting element by arranging a connecting pin common to the pin guide portion (I) and the pin guide portion (II). In a parallel transmission optical module including an array, minute recesses that make a pair with each other are engraved on the respective facing surfaces of the base substrate and the light receiving / light emitting element, and the minute recesses are positioned in the minute recesses. Interposed member decided to the light receiving /
A parallel transmission optical module in which a light emitting element is mounted on the base substrate.
の並列伝送光モジュール。2. The positioning member is a sphere.
Parallel transmission optical module.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9752793A JPH06308356A (en) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Parallel transmission optical module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9752793A JPH06308356A (en) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Parallel transmission optical module |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06308356A true JPH06308356A (en) | 1994-11-04 |
Family
ID=14194729
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9752793A Pending JPH06308356A (en) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Parallel transmission optical module |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06308356A (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1993
- 1993-04-23 JP JP9752793A patent/JPH06308356A/en active Pending
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