JPH06304958A - Resin molding device - Google Patents

Resin molding device

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JPH06304958A
JPH06304958A JP9430493A JP9430493A JPH06304958A JP H06304958 A JPH06304958 A JP H06304958A JP 9430493 A JP9430493 A JP 9430493A JP 9430493 A JP9430493 A JP 9430493A JP H06304958 A JPH06304958 A JP H06304958A
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pot
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Fumio Miyajima
文夫 宮島
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    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/02Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To manufacture an excellent piece by a device wherein a resin package part can be molded in an excellent molding way and warp of the resin package does not occur. CONSTITUTION:In a resin molding device wherein a pot 18 is communicated with a cavity 14 by a resin passage 22 and a melted resin is sent with pressure from the pot 18 to the cavity 14 so as to mold the resin, a heat resisting space is provided around the resin passage 22 in order to restrain heat conduction from a main body of a mold to the resin passage 22. For the heat resisting space, for example, a heat resisting groove 26 is provided on the outside of the resin passage 22. Thus, a product having a thin resin package can be molded ideally.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は樹脂モールド装置に関
し、とくに樹脂パッケージ部の成形性を良好にする樹脂
モールド装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin molding device, and more particularly to a resin molding device which improves the moldability of a resin package portion.

【0002】[0002]

【従来の技術】トランスファモールド装置は樹脂封止型
の半導体装置の製造に使用されているが、このモールド
装置ではポットに樹脂タブレットを投入し、溶融した樹
脂をプランジャーによりキャビティへ圧送して充填する
ことによって樹脂モールドする。樹脂封止型の半導体装
置では一般にエポキシ系の熱硬化性樹脂が使用されてお
り、成形性をあげるためポットおよびモールド金型は所
定温度に加熱して樹脂モールドしている。
2. Description of the Related Art A transfer mold device is used for manufacturing a resin-sealed semiconductor device. In this mold device, a resin tablet is put into a pot and the molten resin is pumped into a cavity by a plunger to fill it. By doing so, resin molding is performed. In the resin-sealed semiconductor device, an epoxy thermosetting resin is generally used, and the pot and the molding die are heated to a predetermined temperature for resin molding in order to improve moldability.

【0003】キャビティとポットとは樹脂路によって連
絡され、キャビティへ連絡する直前の樹脂路部分はゲー
トとして樹脂路を細くしぼり、樹脂パッケージが硬化し
た後に樹脂路内で硬化した樹脂が樹脂パッケージから容
易に分離できるようにしている。また、樹脂モールド工
程では樹脂路からキャビティ内へ樹脂を充填した後、樹
脂パッケージにボイドが生じたり樹脂の未充填が生じた
りしないように成形性よく成形するため保圧工程を経て
樹脂成形するようにしている。
The cavity and the pot are connected by a resin passage, and the resin passage portion just before connecting to the cavity narrows the resin passage as a gate, and the resin cured in the resin passage after the resin package is cured is easily removed from the resin package. It can be separated into. Also, in the resin molding process, after the resin is filled from the resin passage into the cavity, the resin package should be molded through a pressure-holding process in order to form it with good moldability so that voids and resin unfilling do not occur I have to.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記の保圧工程はキャ
ビティに充填された樹脂に対して一定の圧力を加えつつ
樹脂を硬化させる工程で、樹脂のシュリンクに応じて樹
脂を補填し、樹脂パッケージを成形性よく成形させる意
味がある。したがって、保圧工程においては樹樹脂は流
動性を有している必要がある。ところが、樹脂路中の樹
脂はモールド金型の加熱温度によって徐々に硬化してい
くものであり、とくにゲート部分は樹脂路の断面積が小
さいため熱硬化の影響を他よりも強く受けて閉塞しやす
く、ゲートが閉塞することによってキャビティに対する
保圧作用が作用しなくなる。
The above pressure holding step is a step of hardening the resin while applying a constant pressure to the resin filled in the cavity, and the resin is supplemented according to the shrinkage of the resin, and the resin package Has the meaning of being molded with good moldability. Therefore, the resin should have fluidity in the pressure-holding step. However, the resin in the resin passage gradually hardens depending on the heating temperature of the mold, and in particular, the gate portion is blocked by the heat curing effect more strongly than others because the cross-sectional area of the resin passage is small. In this case, the gate is closed, so that the pressure holding effect on the cavity does not work.

【0005】ところで、最近の樹脂封止型の半導体装置
では樹脂パッケージの厚さが非常に薄い製品が求められ
るようになってきた関係で、ゲート部分もこれに合わせ
て薄厚にせざるを得なくなっている。このため樹脂充填
時の樹脂の流動性が制限されるとともに、ゲート部分で
樹脂が熱硬化しやすくなり、保圧作用が有効に機能しな
いことから樹脂パッケージの成形性が悪くなったり樹脂
パッケージが反ったりするという問題が生じやすくなっ
ている。
By the way, with the recent demand for resin-sealed semiconductor devices having a very thin resin package, the gate portion must be thinned accordingly. There is. For this reason, the fluidity of the resin during resin filling is limited, and the resin is easily thermoset at the gate, and the pressure-holding function does not function effectively, resulting in poor moldability of the resin package and warping of the resin package. It is easy to cause problems such as.

【0006】なお、樹脂路内の樹脂の流動性を改善する
方法としては、樹脂路部分で金型を冷却し、樹脂の熱硬
化を抑制するようにする方法がある(特開昭56-44639
号)。この方法では樹脂路部分の近傍に冷却流体を通流
させる流路を設けて、樹脂路近傍部分を低温にして樹脂
材料の硬化反応が促進されないようにしている。しか
し、この方法の場合は冷却流体を通流させるために金型
装置の構造が複雑になるという問題点がある。
As a method of improving the fluidity of the resin in the resin passage, there is a method of cooling the mold in the resin passage portion so as to suppress the thermosetting of the resin (Japanese Patent Laid-Open No. 56-44639).
issue). In this method, a flow path for allowing a cooling fluid to flow is provided in the vicinity of the resin passage portion so that the temperature in the vicinity of the resin passage is lowered so that the curing reaction of the resin material is not promoted. However, in the case of this method, there is a problem in that the structure of the mold device is complicated because the cooling fluid is passed through.

【0007】本発明は上記問題点を解消すべくなされた
ものであり、その目的とするところは、薄形の樹脂パッ
ケージを有する樹脂封止製品の製造に対しても有効に使
用することができ、樹脂封止製品を成形性よく製造する
ことができるとともに金型の構造も簡素化することがで
き、その製作を容易にすることができるとともに装置の
取扱いを容易にすることができる樹脂モールド装置を提
供しようとするものである。
The present invention has been made to solve the above problems, and the object thereof is to be effectively used for manufacturing a resin-sealed product having a thin resin package. A resin molding device capable of manufacturing a resin-sealed product with good moldability, simplifying the structure of a mold, facilitating its manufacture, and handling the device. Is to provide.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、ポットとキャビ
ティとを樹脂路によって連絡し、ポット内から溶融樹脂
をキャビティへ圧送して樹脂成形する樹脂モールド装置
において、モールド金型の本体から前記樹脂路への熱伝
導を抑制すべく、前記樹脂路の周囲に断熱空間を設けた
ことを特徴とする。また、前記モールド金型のクランプ
面上で樹脂路の側方に断熱用の断熱溝を設けたことを特
徴とする。また、上型および下型で樹脂路の上方および
下方に断熱空間としてのほり込みを設けたことを特徴と
する。
The present invention has the following constitution in order to achieve the above object. That is, in the resin molding apparatus for connecting the pot and the cavity by the resin path and for forming the resin by pressure-feeding the molten resin from the pot to the cavity, in order to suppress heat conduction from the main body of the molding die to the resin path, A heat insulating space is provided around the resin path. Further, a heat insulating groove for heat insulation is provided on a side of the resin path on the clamp surface of the molding die. Further, the upper mold and the lower mold are characterized in that dust is provided as a heat insulating space above and below the resin path.

【0009】[0009]

【作用】樹脂路の周囲に断熱空間を設けることによって
金型本体から樹脂路への熱伝導が抑制され、熱硬化性樹
脂を用いて樹脂封止する際に樹脂路での樹脂の流動性を
一定程度保持することができ、キャビティへの樹脂の補
填および加圧が好適になされて、樹脂の未充填等のない
好適な樹脂封止が可能になる。断熱溝およびほり込みを
設けることで熱伝導を抑制できるとともに、樹脂路の周
囲の熱容量を制御することで熱交換量を制御でき、これ
によって好適な樹脂成形が可能になる。
By providing a heat insulating space around the resin passage, heat conduction from the mold body to the resin passage is suppressed, and when the resin is sealed with a thermosetting resin, the fluidity of the resin in the resin passage is improved. The resin can be held to a certain degree, and the cavity is preferably filled with the resin and pressed, so that the resin can be appropriately sealed without the resin being unfilled. The heat conduction can be suppressed by providing the heat insulating groove and the dust, and the heat exchange amount can be controlled by controlling the heat capacity around the resin passage, which enables suitable resin molding.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る樹脂モール
ド装置の一実施例の構成を示す断面図である。図で10
aおよび10bは下金型および上金型であり、その対向
面に被成形品12をモールドするキャビティ14が設け
られている。16aおよび16bは下金型10aおよび
上金型10bに隣接して設置される下インサートブロッ
クおよび上インサートブロックである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an embodiment of a resin molding apparatus according to the present invention. 10 in the figure
Reference numerals a and 10b are a lower mold and an upper mold, and cavities 14 for molding the molded product 12 are provided on the opposing surfaces thereof. Reference numerals 16a and 16b are a lower insert block and an upper insert block installed adjacent to the lower mold 10a and the upper mold 10b.

【0011】下インサートブロック16aにはポット1
8が設けられ、ポット18内に摺動自在にプランジャー
20が配置されている。ポット18の上部と前記キャビ
ティ14とは樹脂路22によって連絡され、キャビティ
14へ連絡する連絡端にゲート22aが設けられてい
る。なお、24a、24b、24c、24dはエジェク
タピンである。エジェクタピンは本実施例ではキャビテ
ィ14のコーナー部近傍に上型と下型で対向させて各々
4本ずつ設けている。
The pot 1 is provided in the lower insert block 16a.
8 is provided, and a plunger 20 is slidably arranged in the pot 18. The upper portion of the pot 18 and the cavity 14 are communicated with each other by a resin passage 22, and a gate 22a is provided at a communication end communicating with the cavity 14. Incidentally, 24a, 24b, 24c and 24d are ejector pins. In this embodiment, four ejector pins are provided in the vicinity of the corner of the cavity 14 so that the upper die and the lower die face each other.

【0012】樹脂路22は本実施例では下型側に設ける
が、図2に樹脂路22およびポット18、キャビティ1
4の平面配置を示す。図のように樹脂路22はポット1
8上から下インサートブロック16aと下金型10aを
通過してキャビティ14に通じ、キャビティ14の一つ
のコーナー部からキャビティ14へ連通している。これ
らポット18、樹脂路22、キャビティ14等の配置は
通常のトランスファモールド装置と同様であるが、本実
施例の樹脂モールド装置は樹脂路22に対する熱伝導を
抑制するため樹脂路22の周囲に断熱用の空間を設ける
ことを特徴とする。
Although the resin passage 22 is provided on the lower mold side in this embodiment, the resin passage 22 and the pot 18 and the cavity 1 are shown in FIG.
4 shows a plane layout of No. 4. As shown in the figure, the resin path 22 is the pot 1
8 through the lower insert block 16a and the lower mold 10a to communicate with the cavity 14, and one corner of the cavity 14 communicates with the cavity 14. The pot 18, the resin passage 22, the cavity 14 and the like are arranged in the same manner as in a normal transfer molding apparatus, but in the resin molding apparatus of this embodiment, in order to suppress heat conduction to the resin passage 22, heat insulation is provided around the resin passage 22. It is characterized by providing a space for use.

【0013】図2で26は上記の断熱用の空間としてポ
ット18の外周部分および樹脂路22の側面部に樹脂路
22およびポット18の外縁部から若干離してとり囲む
ように設けた断熱溝である。この断熱溝26は図1に示
すように上型と下型の両方にそのクランプ面に溝状に設
ける。
In FIG. 2, reference numeral 26 denotes a heat insulating groove which is provided as a space for heat insulation in the outer peripheral portion of the pot 18 and a side surface portion of the resin passage 22 so as to surround the resin passage 22 and the outer edge portion of the pot 18 slightly apart from each other. is there. As shown in FIG. 1, the heat insulating groove 26 is provided in a groove shape on the clamp surface of both the upper mold and the lower mold.

【0014】また、ポット18からキャビティ14側へ
延出する樹脂路22の上方および下方にも図1に示すよ
うに断熱空間としてのほり込み28a、28bを設け
る。このほり込み28a、28bは下金型10a、上金
型10bと下インサートブロック16aおよび上インサ
ートブロック16bで樹脂路22を配設する部分の上方
および下方部分をくり抜き形状としたものである。
Further, as shown in FIG. 1, dusts 28a and 28b as heat insulating spaces are provided above and below the resin path 22 extending from the pot 18 to the cavity 14 side. The dusts 28a and 28b are formed by hollowing out upper and lower portions of the lower die 10a, the upper die 10b, the lower insert block 16a and the upper insert block 16b where the resin passage 22 is disposed.

【0015】本実施例の樹脂モールド装置を使用して樹
脂モールドする際には、上記断熱溝26およびほり込み
28a、28bによる断熱作用によって、樹脂路22へ
の熱伝導が抑えられ、熱硬化性樹脂を使用して樹脂モー
ルドする際における樹脂路22内での樹脂の流動性を好
適に保持することが可能になる。なお、断熱溝26およ
びほり込み28a、28bを設けることによって樹脂路
22の周囲部分の熱容量を小さくできるから、これによ
っても樹脂路22での熱交換量を抑制して樹脂路22で
の樹脂流動性を制御することが可能になる。
When resin molding is performed using the resin molding apparatus of the present embodiment, the heat conduction to the resin path 22 is suppressed by the heat insulating effect of the heat insulating groove 26 and the dust 28a, 28b, and the thermosetting property is obtained. It becomes possible to suitably maintain the fluidity of the resin in the resin passage 22 when the resin is molded using the resin. Since the heat capacity of the peripheral portion of the resin passage 22 can be reduced by providing the heat insulating groove 26 and the dusts 28a and 28b, the amount of heat exchange in the resin passage 22 can be suppressed and the resin flow in the resin passage 22 can be suppressed. It becomes possible to control sex.

【0016】上記実施例の樹脂モールド装置を使用して
樹脂モールドする場合は、まず型開きした状態で被成形
品12を下金型10a上にセットし、ポット18内に樹
脂タブレットを投入して金型をクランプする。ここで、
樹脂タブレットとしては熱硬化性樹脂を使用するものと
する。次いで、プランジャー20を押動してポット18
内の溶融樹脂を樹脂路22を通じてキャビティ14内に
充填し、キャビティ14内に樹脂が充填されたところ
で、充填工程から保圧工程に移る。保圧工程ではプラン
ジャー20で圧力を加えながら樹脂を硬化させる。
When resin molding is performed using the resin molding apparatus of the above-described embodiment, first, the molded article 12 is set on the lower mold 10a with the mold opened, and the resin tablet is put into the pot 18. Clamp the mold. here,
A thermosetting resin is used as the resin tablet. Next, the plunger 20 is pushed to move the pot 18
The molten resin therein is filled in the cavity 14 through the resin passage 22, and when the resin is filled in the cavity 14, the filling step is followed by the pressure holding step. In the pressure-holding step, the resin is cured while applying pressure with the plunger 20.

【0017】本実施例の樹脂モールド装置の場合には、
樹脂路22の外側部分に設けた断熱溝26とほり込み2
8a、28bによる断熱作用によって金型本体から樹脂
路22への熱伝導が抑えられ、樹脂路22内の樹脂の硬
化反応が抑制されて樹脂路22内の樹脂の流動性を保つ
ことが可能になる。金型構造をこのような構成とすれば
樹脂路22およびゲート22aをかなり狭幅に形成した
場合でも保圧作用を効果的に作用させることができる。
これによって、樹脂パッケージ部にボイドを発生させた
り、樹脂の未充填が生じたりすることを防止して、好適
に樹脂成形することができる。
In the case of the resin molding apparatus of this embodiment,
Insulation groove 26 and dust 2 provided on the outer side of the resin path 22
Heat conduction from the mold body to the resin passage 22 is suppressed by the heat insulation effect of 8a and 28b, the curing reaction of the resin in the resin passage 22 is suppressed, and the fluidity of the resin in the resin passage 22 can be maintained. Become. With such a structure of the die structure, even if the resin path 22 and the gate 22a are formed in a considerably narrow width, the pressure holding effect can be effectively exerted.
As a result, it is possible to prevent the occurrence of voids in the resin package portion and the non-filling of the resin, and it is possible to suitably perform resin molding.

【0018】また、樹脂路22からの樹脂の補填性が良
好であることから樹脂パッケージ部のシュリンクの影響
を緩和でき、樹脂パッケージの反りを防止することがで
きる。また、樹脂路が閉塞するまでの時間を長くとるこ
とが可能になることから、樹脂が硬化するまでの間にお
ける樹脂の成形条件を選択して制御することが可能にな
り、これによって樹脂の未充填やボイド発生、配線流れ
を選択的に調整してきめのこまかい樹脂成形が可能にな
る。こうして、とくに薄型の樹脂パッケージを有する製
品の樹脂封止にも好適に利用でき、良品を製造すること
が可能になる。
Further, since the resin filling property from the resin passage 22 is good, the influence of the shrinkage of the resin package portion can be alleviated and the warp of the resin package can be prevented. Further, since it is possible to take a long time until the resin passage is closed, it becomes possible to select and control the molding conditions of the resin until the resin is cured. Finely detailed resin molding is possible by selectively adjusting filling, void generation, and wiring flow. In this way, it can be suitably used for resin encapsulation of a product having a particularly thin resin package, and a good product can be manufactured.

【0019】また、本実施例の樹脂モールド装置は上記
のように樹脂路を金型本体から断熱するための断熱空間
を金型に設けることで、樹脂路での樹脂の流動性を保持
しているから、金型構成を複雑にせずに樹脂の流動性を
確保することができ、金型の製作コストをかけることな
く好適な樹脂成形を可能にするとともに、樹脂モールド
装置の取扱い性を向上させることが可能になるという利
点もある。なお、モールド金型内に断熱空間を設ける方
法はマルチポットタイプの樹脂モールド装置やプロジェ
クションモールドタイプの樹脂モールド装置等に適宜利
用することが可能であり、樹脂封止製品に応じて適宜設
計することができる。
Further, in the resin molding apparatus of this embodiment, the heat insulating space for insulating the resin passage from the die body is provided in the die as described above, so that the fluidity of the resin in the resin passage is maintained. Therefore, it is possible to secure the fluidity of the resin without complicating the mold structure, enabling suitable resin molding without incurring the manufacturing cost of the mold, and improving the handleability of the resin molding device. There is also an advantage that it becomes possible. It should be noted that the method of providing the heat insulating space in the molding die can be appropriately used for a multi-pot type resin molding device, a projection molding type resin molding device, etc., and should be designed appropriately according to the resin-sealed product. You can

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明に係る樹脂モールド装置によれ
ば、上述したように、樹脂パッケージ部を成形性よく樹
脂モールドすることができ、樹脂の密度が高い好適な樹
脂パッケージ部を有する製品を得ることができる。ま
た、樹脂パッケージの反り等のない良品を製造すること
ができ、薄型の樹脂パッケージを有する製品にも好適に
利用することができる等の著効を奏する。
According to the resin molding apparatus of the present invention, as described above, the resin package portion can be resin-molded with good moldability, and a product having a suitable resin package portion with high resin density can be obtained. be able to. Further, it is possible to manufacture a non-defective product without warping of the resin package, and it is possible to suitably use the product having a thin resin package.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】樹脂モールド装置の各部の構成を示す断面図で
ある。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of each part of a resin molding device.

【図2】樹脂路、ポットおよびキャビティの平面配置を
示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a planar arrangement of resin paths, pots, and cavities.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10a 下金型 10b 上金型 12 被成形品 14 キャビティ 16a 下インサートブロック 16b 上インサートブロック 18 ポット 20 プランジャー 22 樹脂路 22a ゲート 26 断熱溝 28a、28b ほり込み 10a Lower mold 10b Upper mold 12 Molded product 14 Cavity 16a Lower insert block 16b Upper insert block 18 Pot 20 Plunger 22 Resin path 22a Gate 26 Insulation groove 28a, 28b Dirt

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポットとキャビティとを樹脂路によって
連絡し、ポット内から溶融樹脂をキャビティへ圧送して
樹脂成形する樹脂モールド装置において、 モールド金型の本体から前記樹脂路への熱伝導を抑制す
べく、前記樹脂路の周囲に断熱空間を設けたことを特徴
とする樹脂モールド装置。
1. In a resin molding apparatus for connecting a pot and a cavity by a resin path and forcing a molten resin from the pot to the cavity to perform resin molding, heat conduction from a main body of a molding die to the resin path is suppressed. In order to do so, a resin molding device characterized in that a heat insulating space is provided around the resin path.
【請求項2】 モールド金型のクランプ面上で樹脂路の
側方に断熱用の断熱溝を設けたことを特徴とする請求項
1記載の樹脂モールド装置。
2. The resin molding apparatus according to claim 1, wherein a heat insulating groove for heat insulation is provided laterally of the resin path on the clamp surface of the molding die.
【請求項3】 上型および下型で樹脂路の上方および下
方に断熱空間としてのほり込みを設けたことを特徴とす
る請求項1または2記載の樹脂モールド装置。
3. The resin molding apparatus according to claim 1, wherein the upper mold and the lower mold are provided with dust as a heat insulating space above and below the resin passage.
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