JPH06302586A - ポリイミドエッチング液及び廃液処理方法 - Google Patents
ポリイミドエッチング液及び廃液処理方法Info
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- JPH06302586A JPH06302586A JP8749893A JP8749893A JPH06302586A JP H06302586 A JPH06302586 A JP H06302586A JP 8749893 A JP8749893 A JP 8749893A JP 8749893 A JP8749893 A JP 8749893A JP H06302586 A JPH06302586 A JP H06302586A
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- polyimide
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化
合物を主成分とするポリイミド樹脂のエッチング液にお
いて、界面活性剤成分を含むポリイミド樹脂のエッチン
グ液および該エッチング操作において、ポリイミド樹脂
をエッチング加工した後の一部ゲル化した廃液に、界面
活性剤成分を混入せしめて、該ゲル化成分を再溶解させ
る廃液処理方法。 【効果】 本発明によれば、ポリイミドのエッチ
ング加工がより高精度で可能になり、液の管理、回収、
廃液処理及びエッチング機器の保全管理が容易になる。
また、一度ゲル化した廃液も再溶解が可能となり液の管
理、廃液処理が容易になる。
合物を主成分とするポリイミド樹脂のエッチング液にお
いて、界面活性剤成分を含むポリイミド樹脂のエッチン
グ液および該エッチング操作において、ポリイミド樹脂
をエッチング加工した後の一部ゲル化した廃液に、界面
活性剤成分を混入せしめて、該ゲル化成分を再溶解させ
る廃液処理方法。 【効果】 本発明によれば、ポリイミドのエッチ
ング加工がより高精度で可能になり、液の管理、回収、
廃液処理及びエッチング機器の保全管理が容易になる。
また、一度ゲル化した廃液も再溶解が可能となり液の管
理、廃液処理が容易になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ポリイミド樹脂のエッ
チング液及びエッチング液の廃液取扱い方法に関するも
のである。
チング液及びエッチング液の廃液取扱い方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、耐熱性、耐燃焼性、耐薬品性、電
気諸特性及び機械的強度に優れるポリイミド樹脂が、多
種多様な分野で使用されるようになってきた。特に、フ
レキシブル印刷配線板（以下、ＦＰＣと略記する。）や
テープ自動ボンディング用フィルムキャリヤに使用する
場合には、フィルム状のポリイミドを用いて基板を作成
し、この基板のポリイミドフィルムの一部をエッチング
加工して、スルーホールを形成する必要がある。
気諸特性及び機械的強度に優れるポリイミド樹脂が、多
種多様な分野で使用されるようになってきた。特に、フ
レキシブル印刷配線板（以下、ＦＰＣと略記する。）や
テープ自動ボンディング用フィルムキャリヤに使用する
場合には、フィルム状のポリイミドを用いて基板を作成
し、この基板のポリイミドフィルムの一部をエッチング
加工して、スルーホールを形成する必要がある。
【０００３】一方、従来よりポリイミドフィルムを、エ
ッチングする方法として、高濃度の水酸化アルカリとヒ
ドラジンとアミン化合物の混合溶液を用いる方法が提案
されている。しかしながら、ヒドラジンとアミン化合物
は通常では混合せず、使用時には常時撹拌を必要として
いた。また、ポリイミドフィルムを溶解した水酸化アル
カリ、ヒドラジン及びアミン化合物からなるエッチング
液を常温保管すると、液の一部がゲル化し、液の回収、
廃液処理及びエッチング機器の保全管理の面で問題が多
いことを見いだした。
ッチングする方法として、高濃度の水酸化アルカリとヒ
ドラジンとアミン化合物の混合溶液を用いる方法が提案
されている。しかしながら、ヒドラジンとアミン化合物
は通常では混合せず、使用時には常時撹拌を必要として
いた。また、ポリイミドフィルムを溶解した水酸化アル
カリ、ヒドラジン及びアミン化合物からなるエッチング
液を常温保管すると、液の一部がゲル化し、液の回収、
廃液処理及びエッチング機器の保全管理の面で問題が多
いことを見いだした。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、水酸
化アルカリ、ヒドラジン及びアミン化合物の相溶性を高
め、ポリイミドエッチング効率とエッチング加工精度を
高め、さらに、液を容易に扱えるようにせしめ、同時に
廃液のゲル化を防止せんとするものである。また、一度
ゲル化した成分を再溶解させたりゲル化を防止すること
により、液の管理、廃液処理及びエッチング機器の保全
管理を容易にせんとするものである。
化アルカリ、ヒドラジン及びアミン化合物の相溶性を高
め、ポリイミドエッチング効率とエッチング加工精度を
高め、さらに、液を容易に扱えるようにせしめ、同時に
廃液のゲル化を防止せんとするものである。また、一度
ゲル化した成分を再溶解させたりゲル化を防止すること
により、液の管理、廃液処理及びエッチング機器の保全
管理を容易にせんとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、かかる観
点から、鋭意検討した結果、アルカリとヒドラジンとア
ミン化合物を主成分とするポリイミドエッチング液に、
界面活性剤を混合させることにより、ポリイミドエッチ
ング液の各成分を充分に相溶させうること、このことに
より、ポリイミド樹脂のエッチング効率とエッチング加
工精度を高め、かつ取り扱いを容易にせしめ、さらに、
廃液のゲル化を未然に防止し、液の管理・回収、廃液処
理及びエッチング機器の保全管理を容易にすることが出
来ることを見いだし、本発明を完成した。また、水酸化
アルカリとヒドラジンとアミン化合物を主成分とするポ
リイミドエッチングにおいて、ポリイミド樹脂をエッチ
ング加工した後の一部ゲル化した廃液に、界面活性剤成
分を混入し、加温撹拌すると、ゲル化した成分が再溶解
し廃液の管理やエッチング機の管理保全が容易かつ安全
にできることを見いだし、本発明を完成した。
点から、鋭意検討した結果、アルカリとヒドラジンとア
ミン化合物を主成分とするポリイミドエッチング液に、
界面活性剤を混合させることにより、ポリイミドエッチ
ング液の各成分を充分に相溶させうること、このことに
より、ポリイミド樹脂のエッチング効率とエッチング加
工精度を高め、かつ取り扱いを容易にせしめ、さらに、
廃液のゲル化を未然に防止し、液の管理・回収、廃液処
理及びエッチング機器の保全管理を容易にすることが出
来ることを見いだし、本発明を完成した。また、水酸化
アルカリとヒドラジンとアミン化合物を主成分とするポ
リイミドエッチングにおいて、ポリイミド樹脂をエッチ
ング加工した後の一部ゲル化した廃液に、界面活性剤成
分を混入し、加温撹拌すると、ゲル化した成分が再溶解
し廃液の管理やエッチング機の管理保全が容易かつ安全
にできることを見いだし、本発明を完成した。
【０００６】すなわち、本発明は、水酸化アルカリとヒ
ドラジンとアミン化合物を主成分とするポリイミド樹脂
のエッチング液において、界面活性剤成分を重量比１〜
３０％含むポリイミド樹脂のエッチング液、であり、ま
た、水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化合物を主成
分とするエッチング液を使用するポリイミド樹脂のエッ
チング操作において、ポリイミド樹脂をエッチング加工
した後の一部ゲル化した廃液に、界面活性剤成分を重量
比で１〜５０％混入せしめて、該ゲル化成分を再溶解さ
せる廃液処理方法、であり、また、水酸化アルカリとヒ
ドラジンとアミン化合物を主成分とするエッチング液を
使用するポリイミド樹脂のエッチング操作における、該
エッチング液を使用するエッチング機器の管理操作であ
って、ポリイミド樹脂をエッチング加工した廃液に、界
面活性剤成分を重量比で１〜５０％混入せしめて、エッ
チング廃液のゲル化を防ぎ機器の保全を容易にさせ、同
時に機器の循環系の洗浄を行う廃液処理方法、である。
ドラジンとアミン化合物を主成分とするポリイミド樹脂
のエッチング液において、界面活性剤成分を重量比１〜
３０％含むポリイミド樹脂のエッチング液、であり、ま
た、水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化合物を主成
分とするエッチング液を使用するポリイミド樹脂のエッ
チング操作において、ポリイミド樹脂をエッチング加工
した後の一部ゲル化した廃液に、界面活性剤成分を重量
比で１〜５０％混入せしめて、該ゲル化成分を再溶解さ
せる廃液処理方法、であり、また、水酸化アルカリとヒ
ドラジンとアミン化合物を主成分とするエッチング液を
使用するポリイミド樹脂のエッチング操作における、該
エッチング液を使用するエッチング機器の管理操作であ
って、ポリイミド樹脂をエッチング加工した廃液に、界
面活性剤成分を重量比で１〜５０％混入せしめて、エッ
チング廃液のゲル化を防ぎ機器の保全を容易にさせ、同
時に機器の循環系の洗浄を行う廃液処理方法、である。
【０００７】本発明に使用する水酸化アルカリは、炭酸
カリ、炭酸ナトリウム等の炭酸アルカリ、水酸化カルシ
ウム、水酸化バリウム等のアルカリ土類金属の水酸化物
も使用しうるが、好ましくは、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム等、アルカリ金属の水酸化
物である。そして、ポリイミドのエッチング効率を考え
た場合、水酸化カリウムが最も好ましい。この濃度は、
通常２〜２５％程度である。また、これら水酸化アルカ
リは、単独でも２種類以上混合で使用しても良い。
カリ、炭酸ナトリウム等の炭酸アルカリ、水酸化カルシ
ウム、水酸化バリウム等のアルカリ土類金属の水酸化物
も使用しうるが、好ましくは、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム等、アルカリ金属の水酸化
物である。そして、ポリイミドのエッチング効率を考え
た場合、水酸化カリウムが最も好ましい。この濃度は、
通常２〜２５％程度である。また、これら水酸化アルカ
リは、単独でも２種類以上混合で使用しても良い。
【０００８】本発明に使用する界面活性剤は、１００℃
以下で充分に化学的に安定であれば良い。具体的には、
アルキル硫酸エステルナトリウム、アルキルエーテル硫
酸エステルナトリウム、脂肪酸ナトリウム、脂肪酸カリ
ウム、アルファスルフォ脂肪酸エステルナトリウム、直
鎖式アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、アルファ
オレフィンスルホン酸ナトリウム、アルキルスルホン酸
ナトリウム、しょ糖脂肪酸エステル、ソルビダン脂肪酸
エステル、ポリオキシエチレンソルダビタン脂肪酸エス
テル、脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシエチレン
アルキルフェノールエーテル、アルキルアミノ脂肪酸ナ
トリウム、アルキルベタイン等が挙げられる。これら
は、単独でも複数からなる混合液でも良く、さらに、エ
タノール、メタノール、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパ
ノール、ブタノール、フェノール等のアルコール類、水
または、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメ
チルスルヒキサイド、１，３−ジメチル−２−イミダゾ
リジノン等の化学的に安定な溶媒で希釈して使用しても
良い。さらに、例えば、花王社製・商品名ルナマイルド
のような市販の家庭用洗剤で代用も充分に可能である。
エッチング液に、混入する界面活性剤は、ヒドラジンと
アミン化合物が充分に相溶すれば、できる限り少ない方
が良いが、重量比で３０％以下１％以上が良い。実用的
には、１〜１５％がより好ましい。
以下で充分に化学的に安定であれば良い。具体的には、
アルキル硫酸エステルナトリウム、アルキルエーテル硫
酸エステルナトリウム、脂肪酸ナトリウム、脂肪酸カリ
ウム、アルファスルフォ脂肪酸エステルナトリウム、直
鎖式アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、アルファ
オレフィンスルホン酸ナトリウム、アルキルスルホン酸
ナトリウム、しょ糖脂肪酸エステル、ソルビダン脂肪酸
エステル、ポリオキシエチレンソルダビタン脂肪酸エス
テル、脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシエチレン
アルキルフェノールエーテル、アルキルアミノ脂肪酸ナ
トリウム、アルキルベタイン等が挙げられる。これら
は、単独でも複数からなる混合液でも良く、さらに、エ
タノール、メタノール、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパ
ノール、ブタノール、フェノール等のアルコール類、水
または、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメ
チルスルヒキサイド、１，３−ジメチル−２−イミダゾ
リジノン等の化学的に安定な溶媒で希釈して使用しても
良い。さらに、例えば、花王社製・商品名ルナマイルド
のような市販の家庭用洗剤で代用も充分に可能である。
エッチング液に、混入する界面活性剤は、ヒドラジンと
アミン化合物が充分に相溶すれば、できる限り少ない方
が良いが、重量比で３０％以下１％以上が良い。実用的
には、１〜１５％がより好ましい。
【０００９】本発明に使用するアミン化合物は、エチレ
ンジアミン、トリエチレンジアミン、テトラメチレンジ
アミン、ヘキサメチレンジアミン、ジエチレントリアミ
ン、トリエチレンテトラアミン等が考えられるが、エチ
レンジアミンが最も実用的である。また、これらアミン
化合物は、単独で使用する方が生産コスト的に好ましい
が、複数のアミン化合物を混合して使用しても良い。
ンジアミン、トリエチレンジアミン、テトラメチレンジ
アミン、ヘキサメチレンジアミン、ジエチレントリアミ
ン、トリエチレンテトラアミン等が考えられるが、エチ
レンジアミンが最も実用的である。また、これらアミン
化合物は、単独で使用する方が生産コスト的に好ましい
が、複数のアミン化合物を混合して使用しても良い。
【００１０】本発明のポリイミドエッチング液におい
て、アミン化合物の濃度を高くすると、ポリイミドのエ
ッチング精度が良くなる。ヒドラジンとアミン化合物の
混合作業性を考えた場合、ヒドラジン／アミン化合物
が、重量比で９９／１〜１／１０が実用的であり、５／
１〜１／５がより好ましい。一方、水酸化アルカリの濃
度をより高くすると、エッチング効率が向上する。エッ
チング効率と実用性を考えた場合、水酸化アルカリ／ヒ
ドラジンとアミン化合物の混合溶液が、重量比で１／２
０〜１／３が実用的である。また、エッチング効率の抑
制、エッチング精度のさらなる向上、または安全性の問
題等の理由で、本発明のエッチング液に、メタノール、
エタノール、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパノール、ブ
タノール、フェノール等のアルコール類、水または、Ｎ
−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムア
ミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルヒ
キサイド、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン等
の化学的に安定で沸点の比較的高い有機溶媒で希釈して
も良い。これら希釈液は、単独でも、２種類以上混合で
用いられても良い。エッチング効率を考えた場合、これ
ら希釈成分は、液組成の６０％未満が好ましい。
て、アミン化合物の濃度を高くすると、ポリイミドのエ
ッチング精度が良くなる。ヒドラジンとアミン化合物の
混合作業性を考えた場合、ヒドラジン／アミン化合物
が、重量比で９９／１〜１／１０が実用的であり、５／
１〜１／５がより好ましい。一方、水酸化アルカリの濃
度をより高くすると、エッチング効率が向上する。エッ
チング効率と実用性を考えた場合、水酸化アルカリ／ヒ
ドラジンとアミン化合物の混合溶液が、重量比で１／２
０〜１／３が実用的である。また、エッチング効率の抑
制、エッチング精度のさらなる向上、または安全性の問
題等の理由で、本発明のエッチング液に、メタノール、
エタノール、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパノール、ブ
タノール、フェノール等のアルコール類、水または、Ｎ
−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムア
ミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルヒ
キサイド、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン等
の化学的に安定で沸点の比較的高い有機溶媒で希釈して
も良い。これら希釈液は、単独でも、２種類以上混合で
用いられても良い。エッチング効率を考えた場合、これ
ら希釈成分は、液組成の６０％未満が好ましい。
【００１１】エッチング温度は、特に限定はないが、通
常エッチング液温度が３０〜９５℃程度である。使用温
度が高いほどエッチング効率が良いが、スルーホールの
加工精度を考えた場合、液組成にもよるが、６０〜８０
℃が実用的である。また、比較的水酸化アルカリ成分の
少ない液または低温のエッチング液を用いて、ポリイミ
ドの表面改質、具体的には表面粗化等に使用することも
効果があるのである。
常エッチング液温度が３０〜９５℃程度である。使用温
度が高いほどエッチング効率が良いが、スルーホールの
加工精度を考えた場合、液組成にもよるが、６０〜８０
℃が実用的である。また、比較的水酸化アルカリ成分の
少ない液または低温のエッチング液を用いて、ポリイミ
ドの表面改質、具体的には表面粗化等に使用することも
効果があるのである。
【００１２】また、前記の水酸化アルカリとヒドラジン
と前記アミン化合物を主成分とするポリイミドエッチン
グ液において、ポリイミド樹脂をエッチング加工した
後、冷暗所にて保管すると、エッチング液の一部ゲル化
する。このポリイミドエッチング廃液に、前記の界面活
性剤成分を混入し、加温撹拌すると、ゲル化した成分が
再溶解し廃液の管理やエッチング機の管理保全が容易か
つ安全になる。界面活性剤混入量は、作業性能上５０％
以下１％以上、好ましくは２％以上である。実用的に
は、水、エタノール、メタノール等の希釈成分で、界面
活性剤を１．５〜１０倍好ましくは２〜３倍に希釈して
混入する方が作業効率上好ましい。加温温度は、５０〜
８０℃が好ましい。
と前記アミン化合物を主成分とするポリイミドエッチン
グ液において、ポリイミド樹脂をエッチング加工した
後、冷暗所にて保管すると、エッチング液の一部ゲル化
する。このポリイミドエッチング廃液に、前記の界面活
性剤成分を混入し、加温撹拌すると、ゲル化した成分が
再溶解し廃液の管理やエッチング機の管理保全が容易か
つ安全になる。界面活性剤混入量は、作業性能上５０％
以下１％以上、好ましくは２％以上である。実用的に
は、水、エタノール、メタノール等の希釈成分で、界面
活性剤を１．５〜１０倍好ましくは２〜３倍に希釈して
混入する方が作業効率上好ましい。加温温度は、５０〜
８０℃が好ましい。
【００１３】さらに、前記の界面活性剤もしくは界面活
性債剤の希釈液を、前記のゲル化する以前のエッチング
廃液に混入し、廃液のゲル化防止とエッチング機器の循
環系の洗浄を同時に行うことができる。界面活性剤混入
量は、重量比で５０％以下１％以上、より好ましくは２
％以上である。実際的には、液温を３５〜５０℃に保持
し、最初に水で３〜５倍に希釈した活性剤をエッチング
廃液の重量比で５〜５０％混入し、廃液を数分以上、撹
拌・循環させた後、常温に冷却し、液抜きをして、再
度、水で１０００倍程に希釈した界面活性剤で内部を撹
拌・循環洗浄して液抜きし、水で充分に洗浄すれば、エ
ッチング機器の循環系、特に、ポンプや配管が廃液やス
ラッジで不備を起こすことはない。
性債剤の希釈液を、前記のゲル化する以前のエッチング
廃液に混入し、廃液のゲル化防止とエッチング機器の循
環系の洗浄を同時に行うことができる。界面活性剤混入
量は、重量比で５０％以下１％以上、より好ましくは２
％以上である。実際的には、液温を３５〜５０℃に保持
し、最初に水で３〜５倍に希釈した活性剤をエッチング
廃液の重量比で５〜５０％混入し、廃液を数分以上、撹
拌・循環させた後、常温に冷却し、液抜きをして、再
度、水で１０００倍程に希釈した界面活性剤で内部を撹
拌・循環洗浄して液抜きし、水で充分に洗浄すれば、エ
ッチング機器の循環系、特に、ポンプや配管が廃液やス
ラッジで不備を起こすことはない。
【００１４】本発明のエッチング液は、東レ・デュポン
社製のポリイミドフィルム・商品名：カプトンＨ及び商
品名カプトンＶや宇部興産製のポリイミドフィルム・商
品名：ユーピレックスＳ及びユーピレックスＭ、三井東
圧化学製のポリイミドフィルム・商品名レグルス等、ポ
リイミドの種類に関係なく、同時にエッチング処理が可
能である。
社製のポリイミドフィルム・商品名：カプトンＨ及び商
品名カプトンＶや宇部興産製のポリイミドフィルム・商
品名：ユーピレックスＳ及びユーピレックスＭ、三井東
圧化学製のポリイミドフィルム・商品名レグルス等、ポ
リイミドの種類に関係なく、同時にエッチング処理が可
能である。
【００１５】
実施例１ ８０％ヒドラジン４０ｇに、エチレンジアミンを２０
ｇ、水酸化カリウムを２０ｇ加え、水で２倍に希釈した
アルキルエーテル硫酸エステルナトリウム水溶液を２０
ｇ加え、７０℃にて３０分撹拌し、ポリイミドエッチン
グ液を得た。このポリイミドエッチング液を７０℃に加
温し、０．３ｇのユーピレックスＳ及び０．１ｇのカプ
トンＶを、１００ｒｐｍで撹拌しながら、１０分間浸漬
した。この液を、冷却し冷暗所で１０日間保管したが、
ゲル化は、全く見られなかった。
ｇ、水酸化カリウムを２０ｇ加え、水で２倍に希釈した
アルキルエーテル硫酸エステルナトリウム水溶液を２０
ｇ加え、７０℃にて３０分撹拌し、ポリイミドエッチン
グ液を得た。このポリイミドエッチング液を７０℃に加
温し、０．３ｇのユーピレックスＳ及び０．１ｇのカプ
トンＶを、１００ｒｐｍで撹拌しながら、１０分間浸漬
した。この液を、冷却し冷暗所で１０日間保管したが、
ゲル化は、全く見られなかった。
【００１６】実施例２ 厚さ５０μｍのカプトンＨの全面に、ビスアジト計環化
天然ゴムを主成分としたフォトレジスト（富士薬品工業
社製・商品名：ＦＳＲ）をホワイトラーで塗布した後、
約７０℃で２０分間乾燥し、約８μｍのレジスト膜を形
成した。次いで、反対の面に所定のマスクを設け、両面
に１６０ｍｊの紫外線を照射して、レジストを感光させ
た。続いて、現像し、１３０℃で２０分間乾燥し、部分
的に直径１００μｍの露出面を持つ、ポリイミドを得
た。
天然ゴムを主成分としたフォトレジスト（富士薬品工業
社製・商品名：ＦＳＲ）をホワイトラーで塗布した後、
約７０℃で２０分間乾燥し、約８μｍのレジスト膜を形
成した。次いで、反対の面に所定のマスクを設け、両面
に１６０ｍｊの紫外線を照射して、レジストを感光させ
た。続いて、現像し、１３０℃で２０分間乾燥し、部分
的に直径１００μｍの露出面を持つ、ポリイミドを得
た。
【００１７】９８％ヒドラジン４０ｇに、エチレンジア
ミンを２０ｇ、水酸化カリウムを２０ｇに、エタノール
を４０ｇ加え、水で４倍に希釈したアルキル硫酸エステ
ルナトリウム水溶液を４０ｇ加え、６０℃にて３０分撹
拌し、ポリイミドエッチング液を得た。このポリイミド
エッチング液を７５℃に加温し、前記のポリイミドフィ
ルムを１００ｒｐｍで希釈しながら、３分間浸漬した。
直径約１０１μｍのエッチング形状の良い、スルーホー
ルが得られた。この液を、冷却し冷暗所で７日間保管し
たが、ゲル化は、見られなかった。
ミンを２０ｇ、水酸化カリウムを２０ｇに、エタノール
を４０ｇ加え、水で４倍に希釈したアルキル硫酸エステ
ルナトリウム水溶液を４０ｇ加え、６０℃にて３０分撹
拌し、ポリイミドエッチング液を得た。このポリイミド
エッチング液を７５℃に加温し、前記のポリイミドフィ
ルムを１００ｒｐｍで希釈しながら、３分間浸漬した。
直径約１０１μｍのエッチング形状の良い、スルーホー
ルが得られた。この液を、冷却し冷暗所で７日間保管し
たが、ゲル化は、見られなかった。
【００１８】比較例１ ８０％ヒドラジン４０ｇに、エチレンジアミンを２０
ｇ、水酸化カリウムを２０ｇ加え、水を２０ｇ加え、７
０℃にて３０分撹拌し、ポリイミドエッチング液を得
た。このポリイミドエッチング液を７０℃に加温し、
０．３ｇのユーピレックスＳ及び０．１ｇのカプトンＶ
を、１００ｒｐｍで撹拌しながら、３０分間浸漬し、ポ
リイミドフィルムを完全に溶解させた。この液を、冷却
し冷暗所で２日間保管後、一部がゲル化して仕舞った。
ｇ、水酸化カリウムを２０ｇ加え、水を２０ｇ加え、７
０℃にて３０分撹拌し、ポリイミドエッチング液を得
た。このポリイミドエッチング液を７０℃に加温し、
０．３ｇのユーピレックスＳ及び０．１ｇのカプトンＶ
を、１００ｒｐｍで撹拌しながら、３０分間浸漬し、ポ
リイミドフィルムを完全に溶解させた。この液を、冷却
し冷暗所で２日間保管後、一部がゲル化して仕舞った。
【００１９】実施例３ 比較例１の一部ゲル化した廃液に、水で３倍に希釈した
ルナマイルドを５０ｇ加え、６５℃にて、３０分間、１
００ｒｐｍで撹拌した。この液を、冷却し冷暗所で８日
間保管したが、ゲル化は、見られなかった。
ルナマイルドを５０ｇ加え、６５℃にて、３０分間、１
００ｒｐｍで撹拌した。この液を、冷却し冷暗所で８日
間保管したが、ゲル化は、見られなかった。
【００２０】実験例４ ドレイン口付きのガラス製撹拌容器にて、８０％ヒドラ
ジン４０ｇに、エチレンジアミンを２０ｇ、水酸化カリ
ウムを２０ｇ加え、水を２０ｇ加え、７０℃にて３０分
撹拌し、ポリイミドエッチング液を得た。このポリイミ
ドエッチング液を７０℃に加温し、０．３ｇのユーピレ
ックスＳ及び０．１ｇのカプトンＨを、１００ｒｐｍで
撹拌しながら、３０分間浸漬し、ポリイミドフィルムを
完全に溶解させた。
ジン４０ｇに、エチレンジアミンを２０ｇ、水酸化カリ
ウムを２０ｇ加え、水を２０ｇ加え、７０℃にて３０分
撹拌し、ポリイミドエッチング液を得た。このポリイミ
ドエッチング液を７０℃に加温し、０．３ｇのユーピレ
ックスＳ及び０．１ｇのカプトンＨを、１００ｒｐｍで
撹拌しながら、３０分間浸漬し、ポリイミドフィルムを
完全に溶解させた。
【００２１】この廃液を４０℃に冷却し、水で３倍に希
釈したルナマイルド液６０ｇを混入し、２００ｒｐｍで
１０分撹拌した。ドレイン口を通して排出させ、前記の
希釈水で、１００ｒｐｍ、５分撹拌後ドレイン口を通し
て排出させ、再度水３００ｇを流水洗浄した。９日後、
この容器を検査したが、ゲル化した付着物やスラッジ等
は確認されず、充分に清浄されていた。
釈したルナマイルド液６０ｇを混入し、２００ｒｐｍで
１０分撹拌した。ドレイン口を通して排出させ、前記の
希釈水で、１００ｒｐｍ、５分撹拌後ドレイン口を通し
て排出させ、再度水３００ｇを流水洗浄した。９日後、
この容器を検査したが、ゲル化した付着物やスラッジ等
は確認されず、充分に清浄されていた。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、ポリイミドのエッチン
グ加工がより高精度で可能になり、液の管理、回収、廃
液処理及びエッチング機器の保全管理が容易になる。ま
た、一度ゲル化した廃液も再溶解が可能となり液の管
理、廃液処理が容易になる。したがって、本発明はポリ
イミドのエッチング方法として非常に有用であると云わ
ざるを得ない。
グ加工がより高精度で可能になり、液の管理、回収、廃
液処理及びエッチング機器の保全管理が容易になる。ま
た、一度ゲル化した廃液も再溶解が可能となり液の管
理、廃液処理が容易になる。したがって、本発明はポリ
イミドのエッチング方法として非常に有用であると云わ
ざるを得ない。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 相沢 浩一 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 東圧化学株式会社内 (72)発明者 宍戸 重之 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 東圧化学株式会社内 (72)発明者 高木 繁行 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 東圧化学株式会社内 (72)発明者 津嶋 敬章 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 東圧化学株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化
合物を主成分とするポリイミド樹脂のエッチング液にお
いて、界面活性剤成分を重量比１〜３０％含むポリイミ
ド樹脂のエッチング液。 - 【請求項２】 水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化
合物を主成分とするエッチング液を使用するポリイミド
樹脂のエッチング操作において、ポリイミド樹脂をエッ
チング加工した後の一部ゲル化した廃液に、界面活性剤
成分を重量比で１〜５０％混入せしめて、該ゲル化成分
を再溶解させる廃液処理方法。 - 【請求項３】 水酸化アルカリとヒドラジンとアミン化
合物を主成分とするエッチング液を使用するポリイミド
樹脂のエッチング操作における、該エッチング液を使用
するエッチング機器の管理操作であって、ポリイミド樹
脂をエッチング加工した廃液に、界面活性剤成分を重量
比で１〜５０％混入せしめて、エッチング廃液のゲル化
を防ぎ機器の保全を容易にさせ、同時に機器の循環系の
洗浄を行う廃液処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8749893A JPH06302586A (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | ポリイミドエッチング液及び廃液処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8749893A JPH06302586A (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | ポリイミドエッチング液及び廃液処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302586A true JPH06302586A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=13916644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8749893A Pending JPH06302586A (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | ポリイミドエッチング液及び廃液処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06302586A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101660035B1 (ko) * | 2015-04-16 | 2016-09-27 | 풍원화학(주) | 폴리이미드 식각액 |
| US9909063B2 (en) | 2010-11-03 | 2018-03-06 | 3M Innovative Properties Company | Polymer etchant and method of using same |
| KR20230079929A (ko) * | 2021-11-29 | 2023-06-07 | 풍원화학(주) | 폴리이미드 식각액 조성물 |
-
1993
- 1993-04-14 JP JP8749893A patent/JPH06302586A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9909063B2 (en) | 2010-11-03 | 2018-03-06 | 3M Innovative Properties Company | Polymer etchant and method of using same |
| KR101660035B1 (ko) * | 2015-04-16 | 2016-09-27 | 풍원화학(주) | 폴리이미드 식각액 |
| KR20230079929A (ko) * | 2021-11-29 | 2023-06-07 | 풍원화학(주) | 폴리이미드 식각액 조성물 |
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