JPH06300656A - Gas leak detector - Google Patents
Gas leak detectorInfo
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- JPH06300656A JPH06300656A JP11408993A JP11408993A JPH06300656A JP H06300656 A JPH06300656 A JP H06300656A JP 11408993 A JP11408993 A JP 11408993A JP 11408993 A JP11408993 A JP 11408993A JP H06300656 A JPH06300656 A JP H06300656A
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- Pipeline Systems (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ガス漏洩検知装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas leak detection device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ＬＳＩ等の半導体装置の製造時に
使用されるガスの供給設備において、ガス漏洩対策は、
ガス配管施設のガス供給元、配管の継ぎ部、消費設備等
の要所ごとに設置されたガス検知器からの漏洩信号を利
用して、ガスの供給を遮断することにより行っていた。2. Description of the Related Art Conventionally, in a gas supply facility used when manufacturing a semiconductor device such as an LSI, a gas leakage countermeasure is
This is done by shutting off the gas supply by using the leakage signal from the gas detector installed at each important point such as the gas supply source of the gas pipe facility, the joint of the pipe, and the consumption facility.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところが、ガス検知器
が設置されていない場所でのガス漏洩や、ガス検知器が
作動しない程度の少量のガス漏洩等に対してはガスの供
給遮断がかからず、ガス漏洩対策はされていない。ま
た、現在の主流となっているガス供給元の屋外設置方式
においては、ガス配管が長くなることにより、必要とさ
れるガス検知器の数も増大し、コストがかかるという問
題があった。However, the gas supply is cut off for a gas leak in a place where the gas detector is not installed or a small amount of gas leak that does not activate the gas detector. No, no gas leakage measures have been taken. In addition, in the current mainstream outdoor installation method of the gas supply source, there is a problem in that the number of gas detectors required is increased due to the lengthened gas piping, resulting in cost increase.
【０００４】そこで、この発明は、上述のガス検知器で
は検知できないガス漏洩を確実に検知することが可能な
ガス漏洩検知装置を提供することを目的とする。Therefore, it is an object of the present invention to provide a gas leak detection device capable of reliably detecting a gas leak that cannot be detected by the gas detector described above.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、製造設備に、
製造に使用するガスを供給する際、該ガスの漏洩を検知
し、該ガスの供給を停止する装置であって、前記ガスの
使用量、圧力及び重量の各値を予め記憶する記憶手段
と、ガス供給時に、前記ガスの使用量、圧力及び重量を
計測する計測手段と、前記記憶手段により記憶した情報
と前記計測手段により計測した情報とを比較する比較手
段とを備え、前記計測した情報が前記記憶した情報より
大きい時、前記製造設備へのガスの供給を停止するよう
にしたものである。The present invention provides a manufacturing facility,
A device for detecting leakage of the gas when supplying the gas used for manufacturing, and stopping the supply of the gas, and a storage unit that stores in advance each value of the usage amount, pressure and weight of the gas, At the time of gas supply, a measuring means for measuring the usage amount, pressure and weight of the gas, and a comparing means for comparing the information stored by the storage means with the information measured by the measuring means are provided, and the measured information is When the stored information is larger than the stored information, the gas supply to the manufacturing facility is stopped.
【０００６】[0006]
【作用】上述した技術手段によれば、ガス漏洩がその発
生場所や漏洩量によらずすみやかに検知され、ガス漏洩
を最小限におさえることが可能となる。According to the above-mentioned technical means, the gas leak can be detected promptly regardless of the place where the gas leaks and the leak amount, and the gas leak can be minimized.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。図１は、ガスボンベより供給されるガスの漏洩を
遮断する装置を示す構成図である。同図において、３は
ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等により構成されるマイクロコ
ンピュータであり、ガスの使用量、ウェーハ処理の連続
使用時間、半導体製造設備の稼働時間帯等のガスの使用
を予め情報として入力し、マイクロコンピュータ３内の
メモリに記憶する。このような情報は、ＣＲＴ２を備え
たキーボード１から入力する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing an apparatus for shutting off leakage of gas supplied from a gas cylinder. In the figure, reference numeral 3 is a microcomputer including a CPU, a RAM, a ROM, etc., and gas usage such as gas usage amount, continuous processing time of wafer processing, and operating time zone of semiconductor manufacturing equipment is input as information in advance. Then, it is stored in the memory in the microcomputer 3. Such information is input from the keyboard 1 equipped with the CRT 2.
【０００８】７は半導体製造設備であり、図示しないが
スパッタ装置やＣＶＤ装置等の半導体の製造に使用され
る装置が配置されている。そして、この半導体製造設備
７内の各種装置には、ガスボンベ５からのガスがガス供
給配管６を介して供給されている。Reference numeral 7 denotes a semiconductor manufacturing facility, in which devices (not shown) used for manufacturing semiconductors such as a sputtering device and a CVD device are arranged. The gas from the gas cylinder 5 is supplied to various devices in the semiconductor manufacturing facility 7 through the gas supply pipe 6.
【０００９】このガス供給配管６には圧力制御器８、流
量センサー９が備え付けられており、ガスの圧力情報及
び流量情報をマイクロコンピュータ３に信号ケーブル１
０を介して出力する。また、１１はガスボンベ５の重量
を常時計測するガスボンベ重量計であり、計測したガス
ボンベ５の重量情報を信号ケーブル１０を介してマイク
ロコンピュータ３に出力する。The gas supply pipe 6 is provided with a pressure controller 8 and a flow rate sensor 9, and the gas pressure information and flow rate information are sent to the microcomputer 3 by the signal cable 1.
Output through 0. Reference numeral 11 is a gas cylinder weighing machine that constantly measures the weight of the gas cylinder 5, and outputs the measured weight information of the gas cylinder 5 to the microcomputer 3 via the signal cable 10.
【００１０】４はガスバルブ遮断装置であり、マイクロ
コンピュータ３と信号ケーブル１０を介して接続されて
おり、ガス漏洩を検知した時は、マイクロコンピュータ
３はガスバルブ遮断装置４にバルブ１２を遮断する信号
を出力し、ガスバルブ遮断装置４はこの信号を受けてバ
ルブ１２を遮断する。A gas valve shutoff device 4 is connected to the microcomputer 3 via a signal cable 10. When a gas leak is detected, the microcomputer 3 sends a signal to the gas valve shutoff device 4 to shut off the valve 12. Upon output, the gas valve shutoff device 4 shuts off the valve 12 in response to this signal.
【００１１】次に、図１の本実施例の装置の動作につい
て、図２を用いて説明する。まずステップＳ１におい
て、マイクロコンピュータ３に圧力制御器８、流量セン
サー９及びガスボンベ重量計１１に関し、本来消費され
るべきガスの量を表す各情報（使用量、圧力、重量の各
情報）をキーボード１より入力し、マイクロコンピュー
タ３内のメモリに記憶させる。Next, the operation of the apparatus of this embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. First, in step S1, the keyboard 1 stores in the microcomputer 3 various information (usage amount, pressure, weight information) indicating the amount of gas that should be originally consumed with respect to the pressure controller 8, the flow sensor 9, and the gas cylinder scale 11. It is input by the user and stored in the memory in the microcomputer 3.
【００１２】そしてステップＳ２において、図示しない
操作機構によりガスボンベ５からガス供給配管６を介し
て半導体製造設備７にガス供給を開始する。この時、同
時に圧力制御器８、流量センサー９及びガスボンベ重量
計１１による各情報の計測をマイクロコンピュータ３で
開始する。Then, in step S2, gas supply to the semiconductor manufacturing facility 7 is started from the gas cylinder 5 through the gas supply pipe 6 by an operating mechanism (not shown). At this time, at the same time, the microcomputer 3 starts the measurement of each information by the pressure controller 8, the flow rate sensor 9 and the gas cylinder weight scale 11.
【００１３】次に、ステップＳ３に進んで、ステップＳ
１において入力した各情報値とステップＳ２において計
測した各計測情報値とを比較する。このようにガスを半
導体製造設備７に供給している時は、入力した各情報値
と計測した各情報値とをマイクロコンピュータ３で常に
比較する。Next, the process proceeds to step S3, and step S
Each information value input in 1 is compared with each measurement information value measured in step S2. When the gas is being supplied to the semiconductor manufacturing facility 7 as described above, the microcomputer 3 constantly compares each input information value with each measured information value.
【００１４】そして、もし何らかの原因によりガス漏洩
が発生しても、本実施例においては、ガス漏洩による事
故を最小限にとどめるようにガス漏洩を確実に遮断する
ものである。If a gas leak occurs due to some cause, the gas leak is reliably shut off in the present embodiment so that the accident due to the gas leak can be minimized.
【００１５】すなわち、ステップＳ３において、入力し
た各情報値と計測した各情報値とを比較し、その結果、
ステップＳ４において、計測した各情報値のいずれかが
これに対応する入力した情報値より大きいかどうかを判
断する（計測した各情報値のいずれかが対応する入力情
報値と比較してガス漏洩を示す値になったか否かを検出
する）。計測した各情報値が入力した情報値より大きく
なければステップＳ３に戻り、入力した各情報値と計測
した各情報値との比較を続けて行う。ところが、もし計
測した各情報値が入力した情報値より大きいならば、ス
テップＳ５に進んでガスバルブ遮断装置４を作動させ、
バルブ１２を閉じてガス使用を中止する。That is, in step S3, each input information value is compared with each measured information value, and as a result,
In step S4, it is determined whether any of the measured information values is larger than the corresponding input information value (the measured information value is compared with the corresponding input information value to detect gas leakage). Detects whether or not the indicated value is reached). If the measured information values are not larger than the input information values, the process returns to step S3, and the input information values and the measured information values are continuously compared. However, if each measured information value is larger than the input information value, the process proceeds to step S5 to operate the gas valve shutoff device 4,
The valve 12 is closed to stop using the gas.
【００１６】このように本実施例においては、キーボー
ド１から入力した本来消費されるべきガスの量を表す各
情報値とマイクロコンピュータ３で計測した実際に消費
されているガスの量を表す圧力制御器８、流量センサー
９及びガスボンベ重量計１１からの各情報値とをマイク
ロコンピュータ３で常に比較してガス漏洩を検知するこ
とにより、もし何らかの原因によりガス漏洩が発生して
も、このガス漏洩を確実に遮断でき、ガス漏洩による事
故を最小限にとどめることができる。As described above, in the present embodiment, each information value input from the keyboard 1 indicating the amount of gas originally to be consumed and the pressure control indicating the amount of gas actually consumed measured by the microcomputer 3 are controlled. By constantly comparing the information values from the container 8, the flow rate sensor 9 and the gas cylinder weighing scale 11 with the microcomputer 3 to detect the gas leak, even if the gas leak occurs due to some cause, the gas leak is detected. It can be shut off reliably and accidents due to gas leakage can be minimized.
【００１７】以上述べた実施例では、ガスボンベからの
ガス供給を例に挙げたが、汎用ガス（Ｎ2 ，Ａr ，
Ｏ2 ）等の液化ガス設備より供給を受ける場合も、供給
配管途中に遮断バルブを設けることで同様に適用でき
る。In the above-mentioned embodiments, the gas supply from the gas cylinder is taken as an example, but general-purpose gases (N 2 , Ar ,
Even when supplied from a liquefied gas facility such as O 2 ), it can be similarly applied by providing a shutoff valve in the middle of the supply pipe.
【００１８】また、一つのガス供給設備より複数の装置
にガス供給を行う場合は、複数の装置の直近のガス配管
に対して遮断バルブを設け、他の装置への影響を最小限
にすることもできる。この場合は、各装置ごとに本ガス
漏洩検知装置を適用し、またガスボンベ等の供給元では
上記各装置の情報の総加算値に対して使用ガス量が適正
か否かを判定することがガス漏洩遮断に有効である。な
お、本ガス漏洩検知装置の情報入力装置は、ガス配管位
置に関係なく任意の位置に設備可能である。When supplying gas to a plurality of devices from one gas supply facility, a shutoff valve should be provided for the gas pipes in the immediate vicinity of the plurality of devices to minimize the influence on other devices. You can also In this case, the gas leak detection device is applied to each device, and it is possible for the supplier of the gas cylinder to determine whether the amount of gas used is appropriate for the total added value of the information of each device. Effective for blocking leakage. The information input device of the gas leak detection device can be installed at any position regardless of the gas pipe position.
【００１９】[0019]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ガ
ス漏洩をその発生場所や漏洩量によらず検知することが
可能となるので、ガス検知器の数を増大させることなし
に、少量のガス漏洩も検知することができ、ガス供給系
よりのガス漏洩を確実に遮断することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to detect a gas leak regardless of the place where the gas leaks or the leak amount. Therefore, a small amount of gas can be detected without increasing the number of gas detectors. It is also possible to detect the gas leakage of the above, and to reliably block the gas leakage from the gas supply system.
【図１】本発明のガス漏洩検知装置の一実施例を示す構
成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a gas leakage detection device of the present invention.
【図２】ガス漏洩検知装置の動作を示すフローチャート
である。FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the gas leakage detection device.
１ キーボード ２ ＣＲＴ ３ マイクロコンピュータ ４ ガスバルブ遮断装置 ７ 半導体製造設備 ８ 圧力制御器 ９ 流量センサー １０ 信号ケーブル １１ ガスボンベ重量計 １２ バルブ 1 Keyboard 2 CRT 3 Microcomputer 4 Gas Valve Shutoff Device 7 Semiconductor Manufacturing Equipment 8 Pressure Controller 9 Flow Sensor 10 Signal Cable 11 Gas Cylinder Scale 12 Valve
Claims (1)
する際、該ガスの漏洩を検知し、該ガスの供給を停止す
る装置であって、 前記ガスの使用量、圧力及び重量の各値を予め記憶する
記憶手段と、 ガス供給時に、前記ガスの使用量、圧力及び重量を計測
する計測手段と、 前記記憶手段により記憶した情報と前記計測手段により
計測した情報とを比較する比較手段とを備え、 前記計測した情報が前記記憶した情報より大きい時、前
記製造設備へのガスの供給を停止するようにしたことを
特徴とするガス漏洩検知装置。1. A device for detecting a leak of the gas and stopping the supply of the gas when the gas used for the production is supplied to the manufacturing facility, wherein each of the usage amount, the pressure and the weight of the gas is used. Storage means for pre-storing a value, measurement means for measuring the usage amount, pressure and weight of the gas at the time of gas supply, and comparison means for comparing the information stored by the storage means with the information measured by the measurement means The gas leakage detection device according to claim 1, wherein the gas supply to the manufacturing facility is stopped when the measured information is larger than the stored information.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11408993A JPH06300656A (en) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | Gas leak detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11408993A JPH06300656A (en) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | Gas leak detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06300656A true JPH06300656A (en) | 1994-10-28 |
Family
ID=14628826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11408993A Withdrawn JPH06300656A (en) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | Gas leak detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06300656A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7802462B2 (en) * | 2005-01-12 | 2010-09-28 | Micro Motion, Inc. | Gas flowmeter calibration stand |
| CN110487492A (en) * | 2018-05-15 | 2019-11-22 | 株式会社堀场制作所 | Storage cylinder management system, storage cylinder management method, storage medium and leakage detection system in gas |
-
1993
- 1993-04-16 JP JP11408993A patent/JPH06300656A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7802462B2 (en) * | 2005-01-12 | 2010-09-28 | Micro Motion, Inc. | Gas flowmeter calibration stand |
| CN110487492A (en) * | 2018-05-15 | 2019-11-22 | 株式会社堀场制作所 | Storage cylinder management system, storage cylinder management method, storage medium and leakage detection system in gas |
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|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000704 |