JPH06300593A - 温度及び変位測定装置 - Google Patents
温度及び変位測定装置Info
- Publication number
- JPH06300593A JPH06300593A JP9030293A JP9030293A JPH06300593A JP H06300593 A JPH06300593 A JP H06300593A JP 9030293 A JP9030293 A JP 9030293A JP 9030293 A JP9030293 A JP 9030293A JP H06300593 A JPH06300593 A JP H06300593A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric coil
- temperature
- displacement
- signal
- frequency component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 単一の検出ヘッドによって温度と変位を同時
に測定することが出来る測定装置を明らかにする。 【構成】 検出ヘッド１に内蔵した電気コイル11に、該
電気コイル11に対して直流成分及び高周波成分からなる
交番検査信号を供給する信号供給回路２と、該電気コイ
ル11のインピーダンス変動の直流成分に基づいて温度信
号ＳＴを検出する温度検出回路３と、該電気コイル11の
インピーダンス変動の高周波成分に基づいて変位信号Ｓ
Ｄを検出する変位検出回路４とが接続されている。
に測定することが出来る測定装置を明らかにする。 【構成】 検出ヘッド１に内蔵した電気コイル11に、該
電気コイル11に対して直流成分及び高周波成分からなる
交番検査信号を供給する信号供給回路２と、該電気コイ
ル11のインピーダンス変動の直流成分に基づいて温度信
号ＳＴを検出する温度検出回路３と、該電気コイル11の
インピーダンス変動の高周波成分に基づいて変位信号Ｓ
Ｄを検出する変位検出回路４とが接続されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、温度と変位を同時に測
定する装置に関するものである。
定する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えばアルミダイキャスト用の鋳造機械
等の成型械においては、成型時の雄型と雌型の２つ金型
の密着状態を確認すると共に、金型表面の温度を測定す
る必要があり、このために従来は、金型に近接センサー
と温度センサーの２つのセンサーを埋設していた。
等の成型械においては、成型時の雄型と雌型の２つ金型
の密着状態を確認すると共に、金型表面の温度を測定す
る必要があり、このために従来は、金型に近接センサー
と温度センサーの２つのセンサーを埋設していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金型に
はセンサー埋設用の２つの穴が開設されるから、これに
よって金型の製造工程が複雑となるばかりでなく、金型
の機械的強度が低下する問題があった。本発明の目的
は、単一の検出ヘッドによって温度と変位を同時に測定
することが出来る測定装置を明らかにすることである。
はセンサー埋設用の２つの穴が開設されるから、これに
よって金型の製造工程が複雑となるばかりでなく、金型
の機械的強度が低下する問題があった。本発明の目的
は、単一の検出ヘッドによって温度と変位を同時に測定
することが出来る測定装置を明らかにすることである。
【０００４】
【課題を解決する為の手段】本発明に係る温度及び変位
測定装置は、検出ヘッド(１)に内蔵した電気コイル(11)
に、該電気コイル(11)に対して直流成分又は低周波成分
と高周波成分とからなる交番検査信号を供給する信号供
給回路(２)と、該電気コイル(11)のインピーダンス変動
の直流成分又は低周波成分に基づいて温度信号ＳＴを検
出する温度検出回路(３)と、該電気コイル(11)のインピ
ーダンス変動の高周波成分に基づいて変位信号ＳＤを検
出する変位検出回路(４)とが接続されている。
測定装置は、検出ヘッド(１)に内蔵した電気コイル(11)
に、該電気コイル(11)に対して直流成分又は低周波成分
と高周波成分とからなる交番検査信号を供給する信号供
給回路(２)と、該電気コイル(11)のインピーダンス変動
の直流成分又は低周波成分に基づいて温度信号ＳＴを検
出する温度検出回路(３)と、該電気コイル(11)のインピ
ーダンス変動の高周波成分に基づいて変位信号ＳＤを検
出する変位検出回路(４)とが接続されている。
【０００５】
【作用】電気コイル(11)に交番検査信号が供給された状
態で、該電気コイル(11)の温度が変化すると、そのイン
ピーダンスが変化して、信号供給回路(２)の出力部に電
圧値の変動となって現われる。該変動には、交番検査信
号の高周波成分の変動が含まれるが、これを除いた直流
成分又は低周波成分は電気コイル(11)の温度変化による
ものであり、これらの成分に基づいて温度信号ＳＴが作
成される。又、電気コイル(11)が金属表面に近接する
と、該電気コイル(11)から発せられる磁力線が金属表面
に作用し、金属表面に生ずる渦電流の磁界の影響を受け
て、電気コイル(11)のインピーダンスＺが変動すること
になる。該変動には、電気コイル(11)の温度変化に基づ
く直流成分又は低周波成分の変動が含まれるが、これを
除いた高周波成分は電気コイル(11)の金属表面に対する
接近によるものであり、該高周波成分に基づいて変位信
号ＳＤが作成される。
態で、該電気コイル(11)の温度が変化すると、そのイン
ピーダンスが変化して、信号供給回路(２)の出力部に電
圧値の変動となって現われる。該変動には、交番検査信
号の高周波成分の変動が含まれるが、これを除いた直流
成分又は低周波成分は電気コイル(11)の温度変化による
ものであり、これらの成分に基づいて温度信号ＳＴが作
成される。又、電気コイル(11)が金属表面に近接する
と、該電気コイル(11)から発せられる磁力線が金属表面
に作用し、金属表面に生ずる渦電流の磁界の影響を受け
て、電気コイル(11)のインピーダンスＺが変動すること
になる。該変動には、電気コイル(11)の温度変化に基づ
く直流成分又は低周波成分の変動が含まれるが、これを
除いた高周波成分は電気コイル(11)の金属表面に対する
接近によるものであり、該高周波成分に基づいて変位信
号ＳＤが作成される。
【０００６】
【発明の効果】本発明に係る温度及び変位測定装置によ
れば、検出ヘッドに内蔵した単一の電気コイルを用いて
温度と変位を同時に測定することが出来るので、温度検
出用ヘッドと変位検出用ヘッドを別個に設ける必要がな
く、検出ヘッドの単一化が可能である。従って、例えば
金型に組み込む場合にも、検出ヘッドを埋設するための
穴を１つ明ければ可い。
れば、検出ヘッドに内蔵した単一の電気コイルを用いて
温度と変位を同時に測定することが出来るので、温度検
出用ヘッドと変位検出用ヘッドを別個に設ける必要がな
く、検出ヘッドの単一化が可能である。従って、例えば
金型に組み込む場合にも、検出ヘッドを埋設するための
穴を１つ明ければ可い。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例につき、図面に沿っ
て詳述する。検出ヘッド(１)は、図３に示す如く円筒状
の耐熱資材(例えばセラミック)からなる円筒状のホルダ
ー(12)内に、渦巻き状の電気コイル(11)を埋設して構成
されており、電気コイル(11)はホルダー端面(12ａ)に沿
って配置されている。
て詳述する。検出ヘッド(１)は、図３に示す如く円筒状
の耐熱資材(例えばセラミック)からなる円筒状のホルダ
ー(12)内に、渦巻き状の電気コイル(11)を埋設して構成
されており、電気コイル(11)はホルダー端面(12ａ)に沿
って配置されている。
【０００８】電気コイル(11)はタングステン線から形成
され、その抵抗値は、従来の近接センサーに装備されて
いたコイルの抵抗値よりも大きく設定されている。
され、その抵抗値は、従来の近接センサーに装備されて
いたコイルの抵抗値よりも大きく設定されている。
【０００９】図１は上記検出ヘッド(１)に接続すべき測
定回路の一例を示しており、検出ヘッド(１)の電気コイ
ル(11)には、信号供給回路(２)、温度検出回路(３)及び
変位検出回路(４)が接続されている。
定回路の一例を示しており、検出ヘッド(１)の電気コイ
ル(11)には、信号供給回路(２)、温度検出回路(３)及び
変位検出回路(４)が接続されている。
【００１０】信号供給回路(２)は、直流電圧を発生すべ
き直流源(21)と、高周波電圧を発生すべき発振回路(22)
と、直流源(21)及び発振回路(22)からの２つの電圧信号
を合成して図４の如く一定の直流成分Ｉdc及び単一周波
数(例えば１ＭＨｚ)の高周波成分Ｉacからなる交流電流
Ｉ(＝Ｉac＋Ｉdc)を作成する定電流回路(23)とから構成
され、該交流電流Ｉが検出ヘッド(１)の電気コイル(11)
へ供給される。
き直流源(21)と、高周波電圧を発生すべき発振回路(22)
と、直流源(21)及び発振回路(22)からの２つの電圧信号
を合成して図４の如く一定の直流成分Ｉdc及び単一周波
数(例えば１ＭＨｚ)の高周波成分Ｉacからなる交流電流
Ｉ(＝Ｉac＋Ｉdc)を作成する定電流回路(23)とから構成
され、該交流電流Ｉが検出ヘッド(１)の電気コイル(11)
へ供給される。
【００１１】温度検出回路(３)は、信号供給回路(２)と
電気コイル(11)の接続点に接続されたローパスフィルタ
ーＬＰＦ(31)によって構成される。又、変位検出回路
(４)は、前記接続点に対してＬＰＦ(31)とは並列に接続
されたハイパスフィルターＨＰＦ(41)及び検波回路(42)
によって構成されている。
電気コイル(11)の接続点に接続されたローパスフィルタ
ーＬＰＦ(31)によって構成される。又、変位検出回路
(４)は、前記接続点に対してＬＰＦ(31)とは並列に接続
されたハイパスフィルターＨＰＦ(41)及び検波回路(42)
によって構成されている。
【００１２】上記測定回路の温度検出動作は次の様に行
なわれる。即ち、電気コイル(11)に前記交流電流Ｉが供
給された状態で、該電気コイル(11)の温度が変化する
と、そのインピーダンスＺが変化し、これに伴って前記
接続点における電圧値が変動することになる。該電圧変
動には、前記供給電流の高周波成分が含まれるが、該高
周波成分はＬＰＦ(31)を通過する際に除去され、温度検
出回路(３)からは、電気コイル(11)の温度変化のみに基
づく温度信号ＳＴが得られるのである。
なわれる。即ち、電気コイル(11)に前記交流電流Ｉが供
給された状態で、該電気コイル(11)の温度が変化する
と、そのインピーダンスＺが変化し、これに伴って前記
接続点における電圧値が変動することになる。該電圧変
動には、前記供給電流の高周波成分が含まれるが、該高
周波成分はＬＰＦ(31)を通過する際に除去され、温度検
出回路(３)からは、電気コイル(11)の温度変化のみに基
づく温度信号ＳＴが得られるのである。
【００１３】一方、上記測定回路の変位検出動作は次の
様に行なわれる。即ち、電気コイル(11)が金属表面に近
接すると、該電気コイル(11)から発せられる磁力線が金
属表面に作用し、金属表面には渦電流が生じる。この渦
電流の磁界の影響を受けて、電気コイル(11)のインピー
ダンスＺが変動し、これに伴って前記接続点における電
圧値が変動することになる。該電圧変動には、電気コイ
ル(11)の温度変化に基づく直流成分又は低周波成分が含
まれるが、これらの成分はＨＰＦ(41)を通過する際に除
去される。ＨＰＦ(41)を通過した信号は更に検波回路(4
2)にて検波され、金属表面に対する電気コイル(11)の変
位のみに基づく変位信号ＳＤが得られるのである。
様に行なわれる。即ち、電気コイル(11)が金属表面に近
接すると、該電気コイル(11)から発せられる磁力線が金
属表面に作用し、金属表面には渦電流が生じる。この渦
電流の磁界の影響を受けて、電気コイル(11)のインピー
ダンスＺが変動し、これに伴って前記接続点における電
圧値が変動することになる。該電圧変動には、電気コイ
ル(11)の温度変化に基づく直流成分又は低周波成分が含
まれるが、これらの成分はＨＰＦ(41)を通過する際に除
去される。ＨＰＦ(41)を通過した信号は更に検波回路(4
2)にて検波され、金属表面に対する電気コイル(11)の変
位のみに基づく変位信号ＳＤが得られるのである。
【００１４】尚、上記検出ヘッド(１)においては、電気
コイル(11)の抵抗値が前述の如く一般の近接センサーに
装備されるコイルよりも大きく設定されているので、温
度変化に伴うインピーダンス変動の幅が大きく、高精度
の測定が可能である。
コイル(11)の抵抗値が前述の如く一般の近接センサーに
装備されるコイルよりも大きく設定されているので、温
度変化に伴うインピーダンス変動の幅が大きく、高精度
の測定が可能である。
【００１５】又、図２は測定回路の他の構成例を示して
いる。該測定回路においては、信号供給回路(２)を構成
する直流源(21)及び発振回路(22)からの２つの電圧信号
を加算した後、該加算電圧Ｅを抵抗(24)と電気コイル(1
1)によって分圧し、抵抗(24)と電気コイル(11)の接続点
における電圧Ｖの変化を検出するものである。
いる。該測定回路においては、信号供給回路(２)を構成
する直流源(21)及び発振回路(22)からの２つの電圧信号
を加算した後、該加算電圧Ｅを抵抗(24)と電気コイル(1
1)によって分圧し、抵抗(24)と電気コイル(11)の接続点
における電圧Ｖの変化を検出するものである。
【００１６】該測定回路においては、電気コイル(11)の
温度が変化すると、そのインピーダンスＺが変化し、こ
れに伴って前記接続点における電圧値が変動することに
なる。該電圧変動に含まれる高周波成分はＬＰＦ(31)を
通過する際に除去され、温度検出回路(３)からは、電気
コイル(11)の温度変化のみに基づく温度信号ＳＴが得ら
れる。
温度が変化すると、そのインピーダンスＺが変化し、こ
れに伴って前記接続点における電圧値が変動することに
なる。該電圧変動に含まれる高周波成分はＬＰＦ(31)を
通過する際に除去され、温度検出回路(３)からは、電気
コイル(11)の温度変化のみに基づく温度信号ＳＴが得ら
れる。
【００１７】又、電気コイル(11)が金属表面に近接する
と、そのインピーダンスＺが変動し、これに伴って前記
接続点における電圧値が変動することになる。該電圧変
動に含まれる低周波成分はＨＰＦ(41)を通過する際に除
去される。ＨＰＦ(41)を通過した信号は更に検波回路(4
2)にて検波され、金属表面に対する電気コイル(11)の変
位のみに基づく変位信号ＳＤが得られる。
と、そのインピーダンスＺが変動し、これに伴って前記
接続点における電圧値が変動することになる。該電圧変
動に含まれる低周波成分はＨＰＦ(41)を通過する際に除
去される。ＨＰＦ(41)を通過した信号は更に検波回路(4
2)にて検波され、金属表面に対する電気コイル(11)の変
位のみに基づく変位信号ＳＤが得られる。
【００１８】尚、図１或いは図２に示す測定回路におい
ては、温度検出回路(３)及び変位検出回路(４)の後段
に、必要に応じてリニアライザー等を接続することによ
って、温度信号ＳＴ及び変位信号ＳＤを線形化し、温度
及び変位に比例した測定データを得ることも可能であ
る。
ては、温度検出回路(３)及び変位検出回路(４)の後段
に、必要に応じてリニアライザー等を接続することによ
って、温度信号ＳＴ及び変位信号ＳＤを線形化し、温度
及び変位に比例した測定データを得ることも可能であ
る。
【００１９】上記温度及び変位測定装置によれば、図３
の如く検出ヘッド(１)のホルダー(12)内には単一の電気
コイル(11)が埋設されているに過ぎないので、検出ヘッ
ド(１)の小形化が可能である。
の如く検出ヘッド(１)のホルダー(12)内には単一の電気
コイル(11)が埋設されているに過ぎないので、検出ヘッ
ド(１)の小形化が可能である。
【００２０】上記実施例の説明は、本発明を説明するた
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本
発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲
に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは
勿論である。例えば検出ヘッド(１)内の電気コイル(11)
は、検出すべき金属表面に対して垂直な巻軸を有する螺
旋状に形成することも可能である。又、図１及び図２に
示す信号供給回路(２)において、直流源(21)の替わりに
低周波信号源を装備して、電気コイル(11)のインピーダ
ンスの低周波の変動を検出することによって、温度信号
ＳＴを検出することも可能である。この場合、ＬＰＦ(3
1)の後段には検波回路が接続される。
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本
発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲
に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは
勿論である。例えば検出ヘッド(１)内の電気コイル(11)
は、検出すべき金属表面に対して垂直な巻軸を有する螺
旋状に形成することも可能である。又、図１及び図２に
示す信号供給回路(２)において、直流源(21)の替わりに
低周波信号源を装備して、電気コイル(11)のインピーダ
ンスの低周波の変動を検出することによって、温度信号
ＳＴを検出することも可能である。この場合、ＬＰＦ(3
1)の後段には検波回路が接続される。
【図１】本発明に係る温度及び変位測定装置のブロック
図である。
図である。
【図２】他の実施例を示すブロック図である。
【図３】検出ヘッドの構造を示す斜視図である。
【図４】交番検査信号の波形図である。
(１) 検出ヘッド (11) 電気コイル (２) 信号供給回路 (３) 温度検出回路 (４) 変位検出回路
Claims (1)
- 【請求項１】 検出ヘッド(１)に内蔵した電気コイル(1
1)に、該電気コイル(11)に対して直流成分と高周波成
分、又は低周波成分と高周波成分からなる交番検査信号
を供給する信号供給回路(２)と、該電気コイル(11)のイ
ンピーダンス変動の直流成分又は低周波成分に基づいて
温度信号ＳＴを検出する温度検出回路(３)と、該電気コ
イル(11)のインピーダンス変動の高周波成分に基づいて
変位信号ＳＤを検出する変位検出回路(４)とが接続され
ていることを特徴とする温度及び変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9030293A JPH06300593A (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 温度及び変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9030293A JPH06300593A (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 温度及び変位測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06300593A true JPH06300593A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=13994747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9030293A Withdrawn JPH06300593A (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 温度及び変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06300593A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1078336A (ja) * | 1996-07-30 | 1998-03-24 | Kaman Instrumentation Corp | パラメータ補償付き複数パラメータうず電流計測システム |
| JP2006300719A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Ribekkusu:Kk | 測定方法および装置 |
| JP2007241602A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Oriental Motor Co Ltd | 回転位置検出装置 |
| CN103808367A (zh) * | 2014-02-28 | 2014-05-21 | 湖南科技大学 | 一种地下测量供电和通信装置 |
| CN104117393A (zh) * | 2013-04-25 | 2014-10-29 | 海尔集团公司 | 一种具有自监测功能的生物安全柜及其控制方法 |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP9030293A patent/JPH06300593A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1078336A (ja) * | 1996-07-30 | 1998-03-24 | Kaman Instrumentation Corp | パラメータ補償付き複数パラメータうず電流計測システム |
| JP2006300719A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Ribekkusu:Kk | 測定方法および装置 |
| JP4699797B2 (ja) * | 2005-04-20 | 2011-06-15 | 株式会社リベックス | 測定方法および装置 |
| JP2007241602A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Oriental Motor Co Ltd | 回転位置検出装置 |
| JP4691459B2 (ja) * | 2006-03-08 | 2011-06-01 | オリエンタルモーター株式会社 | 回転位置検出装置 |
| CN104117393A (zh) * | 2013-04-25 | 2014-10-29 | 海尔集团公司 | 一种具有自监测功能的生物安全柜及其控制方法 |
| CN104117393B (zh) * | 2013-04-25 | 2016-06-22 | 海尔集团公司 | 一种具有自监测功能的生物安全柜及其控制方法 |
| CN103808367A (zh) * | 2014-02-28 | 2014-05-21 | 湖南科技大学 | 一种地下测量供电和通信装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6481939B1 (en) | Tool tip conductivity contact sensor and method | |
| US6777930B2 (en) | Sequentially non-destructive thickness measurement | |
| JP4607752B2 (ja) | 可変容量回路、電圧測定装置および電力測定装置 | |
| US5489888A (en) | Sensor system for contactless distance measuring | |
| JPH0114545B2 (ja) | ||
| WO2000037881A3 (de) | Verfahren zum betreiben eines wirbelstromsensors und wirbelstromsensor | |
| JPH09502267A (ja) | 空のパイプ検出器を有する磁気流量計 | |
| JP2007163415A (ja) | 可変容量回路、電圧測定装置および電力測定装置 | |
| JP2911828B2 (ja) | パラメータ補償付き複数パラメータうず電流計測システム | |
| JP2009505085A (ja) | 磁気誘導式の流量測定装置 | |
| JP2954662B2 (ja) | 共振回路の出力信号の変動を補償する方法および距離検知器 | |
| JPH0518791A (ja) | 非接触距離計測用センサ装置 | |
| JPH06300593A (ja) | 温度及び変位測定装置 | |
| CN110260773B (zh) | 一种低温漂的电涡流传感器前置调理装置 | |
| KR930013677A (ko) | 변위 측정장치 | |
| JP2008134208A (ja) | 電流センサ | |
| JP4072030B2 (ja) | センサ容量検出装置及びセンサ容量検出方法 | |
| JPH0933204A (ja) | 導電性リアクションレールとそれに対して相対的に動く機能面との間隔を確実に測定する測定方法及びこの方法に適したセンサ | |
| JPH08271204A (ja) | 渦電流式変位センサー | |
| US5959449A (en) | Process for the determination of electrical values without contacting | |
| JP3717753B2 (ja) | 磁気センサの感度校正装置 | |
| JP3946827B2 (ja) | 近接検出装置 | |
| JP2003004830A (ja) | 磁界検出装置 | |
| JP3094246B2 (ja) | 静電容量測定法 | |
| JP2002071770A (ja) | 磁場検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000704 |