JPH06300198A - シリンダーキャビネットの構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 省スペース化や製造コストの削減等を図り
得、しかも、ダンパーのサイズ、ガス漏洩検知器の検知
能力、及び爆風口板の面積をそれぞれ縮小等することが
できるシリンダーキャビネットの構造を提供する。 【構成】 支持柱１の上部に、ガス供給ライン１６で半
導体製造用の特殊材料ガスをシリンダー２４から外部に
供給するシリンダーキャビネット４を小型に縮小して載
設する。そして、このシリンダーキャビネット４の内部
には、シリンダー２４の危険性の高い上部のみを被包状
態で着脱自在に嵌入するとともに、シリンダー２４の上
部以外の残部を外部に露出させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造に必要な
特殊材料ガスをシリンダーから外部に供給等するシリン
ダーキャビネットの構造の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のシリンダーキャビネット４は、図
８や図９に示す如く、薄い鉄板から正面が開口した縦長
の箱形に構成され、その内部上方にガス供給ライン１
６、ベントライン２０及びパージガス供給ライン２２が
配設されており、内蔵したシリンダー２４から半導体製
造用の特殊材料ガスを外部の半導体製造装置に減圧して
供給等する機能を有している。

【０００３】上記シリンダーキャビネット４の開口正面
には、図８に示す如く、扉４ｃが開閉可能に框着され、
この扉４ｃの上部には、図示しない作業者の内部観察や
シリンダー２４の操作を許容する小窓９が開閉可能に框
着されるとともに、扉４ｃの下部には、矢印で示す空気
を流通させる給気用のレジスター６が取り付けられてい
る。

【０００４】また、シリンダーキャビネット４の天井に
は、円形の排気孔が縦貫して穿設され、この排気孔に
は、高圧ガス取締法の規定に基づき円筒形を露呈した排
気用のダンパー１２が立設されるとともに、内部の爆発
に伴う爆風を外部に逃がす平面矩形の爆風口板（リリー
フハッチ）１０が開閉可能に框着され、且つ、ガス漏洩
検知器１１が取り付けられている。

【０００５】ダンパー１２は、図９に示す如く、負圧監
視用の負圧監視用ゲージ１３を備え、取付用のフランジ
１４が上部周縁部に嵌着されており、その内部には、排
気ガスの流量を調整する円形の調整弁１５が回動可能に
軸着されている。

【０００６】また、ガス漏洩検知器１１は、同図に示す
如く、ダンパー１２と同様に高圧ガス取締法の規定遵守
の観点から取り付けられ、シリンダーキャビネット４の
内部におけるガス漏洩を検知する機能を有している。

【０００７】一方、上記ガス供給ライン１６は、図９に
示す如く、耐食性に優れたステンレス等から細管に構成
され、シリンダーキャビネット４の内部上方に配設され
ており、シリンダー接続用口金１７、減圧弁１８、及び
濾過用のフィルター１９がそれぞれ取り付けられてい
る。

【０００８】シリンダー接続用口金１７の下流に位置す
るガス供給ライン１６は、その一部が上下方向に伸縮可
能なコイル部１６ａに巻回形成され、このコイル部１６
ａがシリンダー２４の高さに拘らず、シリンダー２４の
上部にシリンダー接続用口金１７を円滑に接続させる作
用を営む。

【０００９】然して、ガス供給ライン１６は、毒性・可
燃性・腐食性・窒息性等を有する危険な特殊材料ガス
（例えば、シランガスやホスフィンガス等）をシリンダ
ー２４から外部の半導体製造装置（図示せず）に減圧し
て供給する機能を有している。

【００１０】尚、ボンベであるシリンダー２４は、図９
に示す如く、基本的には円柱形に構成され、その上部に
は元弁等が設けられており、シリンダーキャビネット４
の内部に収納されるとともに、倒れないようバンド３で
固定される。

【００１１】他方、上記ベントライン２０は、同図に示
す如く、耐食性に優れたステンレス等から細管に構成さ
れ、ガス供給ライン１６に接続された状態でシリンダー
キャビネット４の内部上方に配設されており、弁２１が
取り付けられている。

【００１２】さらに、上記パージガス供給ライン２２
は、同図に示す如く、耐食性に優れたステンレス等から
細管に構成され、ガス供給ライン１６に接続された状態
でシリンダーキャビネット４の内部上方に配設されてお
り、弁２１Ａと逆止弁２３とがそれぞれ取り付けられて
いる。然して、パージガス供給ライン２２は、窒素ガス
等のパージガスを外部からガス供給ライン１６に導いて
パージする機能を有している。

【００１３】尚、この種の先行技術文献として特開平４
ー３４３００号公報等がある。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】従来のシリンダーキャ
ビネット４は以上のように構成され、シリンダー２４を
内部に収納していたが、内部下方に余分で大きなスペー
スが否応なく発生するので、省スペース化や製造コスト
の削減等を図ることができなかった。

【００１５】さらに、余分で大きなスペースが発生する
関係上、排気用のダンパー１２のサイズ、ガス漏洩検知
器１１の検知能力、及び爆風口板１０の面積をそれぞれ
増大・向上させざるを得なかった。そして、この増大・
向上させざるを得ないという問題点により、半導体製造
工場におけるランニングコストの大部分を占める空調費
用の低減が図れなかった。

【００１６】一方、ガスの漏洩や発火の危険性は、元弁
等を備えたシリンダー２４の上部やガス供給ライン１
６、ベントライン２０及びパージガス供給ライン２２付
近からしか生じないことは構造的・経験則的にも明白で
ある。さらに、クリーンルームに設置する場合を除き、
シリンダー２４の危険性のない下部等を外部に露出させ
ても何等問題は生じないものである。

【００１７】本発明は上記に鑑みなされたもので、省ス
ペース化や製造コストの削減等を図ることができ、しか
も、ダンパーのサイズ、ガス漏洩検知器の検知能力、及
び爆風口板の面積をそれぞれ縮小等することができるシ
リンダーキャビネットの構造を提供することを目的とし
ている。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明においては上述の
目的を達成するため、半導体製造用の特殊材料ガスを貯
えたシリンダーと、このシリンダーの危険性の高い部分
に被包状態で取り付けられるシリンダーキャビネット
と、このシリンダーキャビネットの内部に配設され該特
殊材料ガスをシリンダーから外部に供給する供給手段と
を備え、しかも、該シリンダーの危険性の低い部分を外
部に露出させるようにしている。

【００１９】また、本発明においては上述の目的を達成
するため、清潔性が要求される場所に設置され半導体製
造用の特殊材料ガスを貯えたシリンダーと、このシリン
ダーの危険性の高い部分のみに被包状態で取り付けられ
るシリンダーキャビネットと、このシリンダーキャビネ
ットの内部に配設され該特殊材料ガスをシリンダーから
外部に供給する供給手段とを備え、しかも、該シリンダ
ーの危険性の低い部分をボックス内に収納するようにし
ている。

【００２０】さらに、本発明においては上述の目的を達
成するため、半導体製造用の特殊材料ガスを貯えたシリ
ンダーと、このシリンダーの危険性の高い部分に被包状
態で取り付けられるシリンダーキャビネットと、このシ
リンダーキャビネットの内部に配設され該特殊材料ガス
をシリンダーから外部に供給する供給手段と、該シリン
ダーの外部に露出した危険性の低い部分を囲む周壁と、
この周壁に内蔵され該シリンダーを冷却する冷却媒体を
流通させる冷却配管とを備えるようにしている。

【００２１】

【作用】上記構成を有する本発明によれば、シリンダー
のガスの漏洩や発火の危険性がある危険部分のみに、シ
リンダーキャビネットが被包状態で取り付けられるとと
もに、このシリンダーキャビネットの内部に危険性の高
い供給手段が内蔵され、シリンダーの危険性の低い残部
が外部に露出する。従って、シリンダーキャビネットの
縮小を通じて、余分で大きなスペースが発生するのを防
止できる。

【００２２】また、上記構成を有する本発明によれば、
清潔性が要求される場所に設置されるシリンダーの危険
性の低い部分をボックス内に収納するので、シリンダー
に付着した塵埃が清潔度を低下させるのを防止すること
ができる。

【００２３】さらに、上記構成を有する本発明によれ
ば、冷却配管に冷却媒体を流通させてシリンダーを冷却
するので、シリンダーの温度よりも供給ラインの周囲温
度を高くしたい場合に有意義である。

【００２４】

【実施例】以下、図１乃至図４に示す一実施例に基づい
て本発明を詳説する。

【００２５】本発明に係るシリンダーキャビネットの構
造は、図１に示す如く、支持柱１の上部に、縮小された
小型のシリンダーキャビネット４を載設し、このシリン
ダーキャビネット４の内部には、シリンダー２４の危険
な上部のみを被包状態で着脱自在に嵌入するようにして
いる。

【００２６】上記支持柱１は、図１に示す如く、平面矩
形の敷き板２上に垂直状態で立設され、シリンダー２４
を固定する複数のバンド３が所定の間隔で取り付けられ
ている。

【００２７】また、上記シリンダーキャビネット４は、
同図に示す如く、一対の箱４ａ・４ｂを備え、この一対
の箱４ａ・４ｂの内部には、ガス供給ライン１６、ベン
トライン２０及びパージガス供給ライン２２が配設され
ており、シリンダー２４から半導体製造用の特殊材料ガ
スを外部の半導体製造装置（図示せず）に減圧して供給
等する機能を有している。

【００２８】一対の箱４ａ・４ｂは、薄い鉄板から従来
のシリンダーキャビネット４の約１／２の内容積となる
ようほぼ直方体形に構成され、支持柱１の上部に載設さ
れており、相互に対向する対向面がそれぞれ開口形成さ
れるとともに、複数の蝶番５を介して相互に框着されて
いる。

【００２９】また、一対の箱４ａ・４ｂの下面四隅部に
は、矢印で示す空気を流通させる給気用のレジスター６
がそれぞれ取り付けられるとともに、一対の箱４ａ・４
ｂの下面中心部には、シリンダー２４の外周面に沿うよ
う半円形の切り欠き７がそれぞれ切り欠かれ、この一対
の切り欠き７には、密封作用を営む半円弧状のゴムパッ
キン８がそれぞれ取着されている。

【００３０】正面側に位置する箱４ａは、その正面に図
示しない作業者の内部観察やシリンダー２４の操作を許
容する小窓９が開閉可能に框着されている。また、正面
側に位置する箱４ａの天井には、内部の爆発に伴う爆風
を外部に逃がす平面矩形の爆風口板（リリーフハッチ）
１０が開閉可能に框着され、且つ、ガス漏洩検知器１１
が取り付けられている。

【００３１】このガス漏洩検知器１１は、図３に示す如
く、高圧ガス取締法の規定遵守の観点から取り付けら
れ、シリンダーキャビネット４の内部におけるガス漏洩
を検知する機能を有している。

【００３２】また、背面側に位置する箱４ｂの天井に
は、円形の排気孔が縦貫して穿設され、この排気孔に
は、高圧ガス取締法の規定に基づき円筒形を露呈した排
気用のダンパー１２が立設されており、このダンパー１
２には、図３に示す如く、負圧監視用の負圧監視用ゲー
ジ１３が取り付けられている。

【００３３】そして、ダンパー１２は、図４に示す如
く、取付用のフランジ１４が上部周縁部に嵌着されてお
り、その内部には、排気ガスの流量を調整する円形の調
整弁１５が回動可能に軸着されている。

【００３４】一方、上記ガス供給（プロセス）ライン
（供給手段）１６は、図３に示す如く、耐食性等に優れ
たステンレス等から細管に構成され、シリンダーキャビ
ネット４の内部に配設されており、シリンダー接続用口
金１７、減圧弁１８、及び濾過用のフィルター１９がそ
れぞれ取り付けられている。

【００３５】シリンダー接続用口金１７の下流に位置す
るガス供給ライン１６は、その一部が上下方向に伸縮可
能なコイル部１６ａに巻回形成され、このコイル部１６
ａがシリンダー２４の高さに拘らず、シリンダー２４の
上部にシリンダー接続用口金１７を円滑に接続させる作
用を営む。

【００３６】然して、ガス供給ライン１６は、毒性・可
燃性・腐食性・窒息性等を有する危険な特殊材料ガス
（例えば、シランガスやホスフィンガス等）をシリンダ
ー２４から外部の半導体製造装置に減圧して供給する機
能を有している。

【００３７】他方、上記ベントライン２０は、同図に示
す如く、耐食性等に優れたステンレス等から細管に構成
され、ガス供給ライン１６に接続された状態でシリンダ
ーキャビネット４の内部に配設されており、弁２１が取
り付けられている。

【００３８】さらに、上記パージガス供給ライン２２
は、同図に示す如く、耐食性等に優れたステンレス等か
ら細管に構成され、ガス供給ライン１６に接続された状
態でシリンダーキャビネット４の内部に配設されてお
り、弁２１Ａと逆止弁２３とがそれぞれ取り付けられて
いる。然して、このパージガス供給ライン２２は、窒素
ガス等のパージガスを外部からガス供給ライン１６に導
いてパージする機能を有している。

【００３９】さらにまた、ガスボンベである上記シリン
ダー２４は、図１や図２に示す如く、基本的には円柱形
に構成され、敷き板２上に設置されるとともに、倒れな
いよう支持柱１に重合してバンド３で固定される。そし
て、元弁等を備えた上部が一対の箱４ａ・４ｂの内部に
被包状態で着脱自在に嵌入されるとともに、上部以外の
残部が外部に露出するようになっている。

【００４０】従って、シリンダーキャビネット４にシリ
ンダー２４をセットするには、先ず、敷き板２上にシリ
ンダー２４を設置して倒れないよう支持柱１に重合し、
支持柱１にシリンダー２４をバンド３で固定し、背面側
の箱４ｂの切り欠きにシリンダー２４の上部外周面を嵌
合する。

【００４１】そして、背面側の箱４ｂに正面側の箱４ａ
を重合してシリンダー２４の上部を挟み込み、その後、
小窓９を開放してシリンダー２４の上部にシリンダー接
続用口金１７を接続すれば、シリンダーキャビネット４
にシリンダー２４を容易にセットすることができる。

【００４２】上記構成によれば、ガスの漏洩や発火の危
険性がある元弁等を備えたシリンダー２４の上部やガス
供給ライン１６、ベントライン２０及びパージガス供給
ライン２２付近のみが小型のシリンダーキャビネット４
に集約して被包されるとともに、シリンダー２４の危険
性のない上部以外の残部が外部に露出することとなる。

【００４３】従って、シリンダーキャビネット４の縮小
を通じて図４に斜線で示す余分で大きなスペースの発生
を防止でき、省スペース化や製造コストの削減等を図る
ことができる。

【００４４】そして、この省スペース化や製造コストの
削減を通じて、排気用のダンパー１２のサイズ、ガス漏
洩検知器１１の検知能力、及び爆風口板１０の面積をそ
れぞれ縮小・低下させることが可能となる。さらに、こ
の縮小・低下が可能になることにより、半導体製造工場
におけるランニングコストの大部分を占める空調費用の
低減が期待できる。

【００４５】次に、図５は本発明の第２の実施例を示す
もので、この場合には、シリンダー２４の危険性のない
上部以外の残部を外部に露出させるのではなく、シリン
ダー２４の下部等をボックス２５の内部に収納して、シ
リンダー２４の表面に付着した塵埃がクリーンルームを
汚染するのを防止するようにしている。その他の部分に
ついては上記実施例と同様である。

【００４６】本実施例においても上記実施例と同様の作
用効果が期待し得られ、しかも、シリンダー２４をクリ
ーンルーム内に設置する場合には、シリンダー２４の表
面に付着した塵埃がクリーンルームの内部に侵入するの
を防止できるので、クリーン度を維持・向上させること
ができるのは明白である。

【００４７】次に、図６は本発明の第３の実施例を示す
もので、この場合には、シリンダー２４の残部を外部に
露出させるのではなく、シリンダー２４に、シリンダー
２４の下部等を囲繞する円筒形のジャケット（周壁）２
６を嵌合配置し、このジャケット２６の内部には、冷却
配管２７を螺旋状に内蔵しており、この冷却配管２７の
下部から上部に冷却液や冷却空気（冷却媒体）を流通さ
せてシリンダー２４を冷却するようにしている。その他
の部分については上記実施例と同様である。

【００４８】本実施例においても上記実施例と同様の作
用効果が期待し得られ、しかも、冷却配管２７に冷却液
等を流通させてシリンダー２４を冷却するので、シリン
ダー２４の温度よりも供給ラインの周囲温度を高くした
い場合に特に有意義である。

【００４９】尚、本実施例ではシリンダー２４の全外周
面を囲繞するジャケット２６の内部に、冷却配管２７を
螺旋状に内蔵するものを示したが、ジャケット２６にシ
リンダー２４の外周面の一部を囲繞させたり、冷却配管
２７を螺旋状以外の形状にしても良いのは言うまでもな
い。

【００５０】また、上記諸実施例では直方体形で小型の
シリンダーキャビネット４を使用するものを示したが、
これに限定されるものではなく、図７に示すようにシリ
ンダーキャビネット４の下面を傾斜させてシリンダー２
４の危険部分以外の部分をも被包したり、シリンダーキ
ャビネット４を円柱形等に構成しても良い。

【００５１】また、上記諸実施例ではシリンダーキャビ
ネット４の下面にレジスター（吸気孔、又は、吸気口）
６を取り付けたものを示したが、シリンダーキャビネッ
ト４の側面等にレジスター６を取り付けても良いのは言
うまでもない。

【００５２】そして、上記諸実施例では爆風口板１０を
備えたシリンダーキャビネット４に単一のシリンダー２
４の上部を嵌入したものを示したが、爆風口板１０を省
略しても良く、又、複数のシリンダー２４の上部を嵌入
するようにしても良い。

【００５３】さらに、上記諸実施例では支持柱１にシリ
ンダーキャビネット４を支持させたものを示したが、こ
れに限定されるものではなく、シリンダーキャビネット
４を壁に取り付けたり、天井からチェーンでシリンダー
キャビネット４を吊持等するようにしても、上記実施例
と同様の作用効果を奏する。

【００５４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、余分で大
きなスペースの発生を防止でき、省スペース化や製造コ
ストの削減等を図ることができるという顕著な効果があ
る。そして、この省スペース化や製造コストの削減を通
じて排気用のダンパーのサイズ、ガス漏洩検知器の検知
能力、及び爆風口板の面積をそれぞれ確実に縮小・低下
させることが可能になるという格別の効果がある。

【００５５】また、本発明によれば、清潔性が要求され
る場所に設置されるシリンダーの危険性の低い部分をボ
ックス内に収納するので、シリンダーに付着した塵埃が
清潔度を低下させるのを確実に防止することができると
いう優れた効果がある。

【００５６】さらに、本発明によれば、冷却配管に冷却
媒体を流通させてシリンダーを冷却するので、シリンダ
ーの温度よりも供給ライン等の周囲温度を高くすること
ができるという大きな効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るシリンダーキャビネットの構造の
一実施例を示す斜視図である。

【図２】本発明に係るシリンダーキャビネットの構造の
一実施例を示す要部斜視図である。

【図３】本発明に係るシリンダーキャビネットの構造の
一実施例を示す説明図である。

【図４】本発明に係るシリンダーキャビネットの構造の
一実施例を示す説明図である。

【図５】本発明に係るシリンダーキャビネットの構造の
第２の実施例を示す説明図である。

【図６】本発明に係るシリンダーキャビネットの構造の
第３の実施例を示す説明図である。

【図７】本発明に係るシリンダーキャビネットの構造の
他の実施例を示す説明図である。

【図８】従来のシリンダーキャビネットを示す斜視図で
ある。

【図９】従来のシリンダーキャビネットを示す説明図で
ある。

【符号の説明】

１…支持柱、４…シリンダーキャビネット、４ａ・４ｂ
…一対の箱、６…レジスター、９…小窓、１０…爆風口
板、２１…ガス漏洩検知器、１２…ダンパー、１６…ガ
ス供給ライン、１８…減圧弁、２４…シリンダー、２５
…ボックス、２６…ジャケット、２７…冷却配管。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造用の特殊材料ガスを貯えたシ
   リンダーと、このシリンダーの危険性の高い部分に被包
   状態で取り付けられるシリンダーキャビネットと、この
   シリンダーキャビネットの内部に配設され該特殊材料ガ
   スをシリンダーから外部に供給する供給手段とを備え、
   該シリンダーの危険性の低い部分を外部に露出させるこ
   とを特徴とするシリンダーキャビネットの構造。
2. 【請求項２】 清潔性が要求される場所に設置され半導
   体製造用の特殊材料ガスを貯えたシリンダーと、このシ
   リンダーの危険性の高い部分のみに被包状態で取り付け
   られるシリンダーキャビネットと、このシリンダーキャ
   ビネットの内部に配設され該特殊材料ガスをシリンダー
   から外部に供給する供給手段とを備え、該シリンダーの
   危険性の低い部分をボックス内に収納することを特徴と
   するシリンダーキャビネットの構造。
3. 【請求項３】 半導体製造用の特殊材料ガスを貯えたシ
   リンダーと、このシリンダーの危険性の高い部分に被包
   状態で取り付けられるシリンダーキャビネットと、この
   シリンダーキャビネットの内部に配設され該特殊材料ガ
   スをシリンダーから外部に供給する供給手段と、該シリ
   ンダーの外部に露出した危険性の低い部分を囲む周壁
   と、この周壁に内蔵され該シリンダーを冷却する冷却媒
   体を流通させる冷却配管とを備えたことを特徴とするシ
   リンダーキャビネットの構造。