JPH06291396A - エキシマレーザ装置 - Google Patents
エキシマレーザ装置Info
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- JPH06291396A JPH06291396A JP18563492A JP18563492A JPH06291396A JP H06291396 A JPH06291396 A JP H06291396A JP 18563492 A JP18563492 A JP 18563492A JP 18563492 A JP18563492 A JP 18563492A JP H06291396 A JPH06291396 A JP H06291396A
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- charging
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 充電用のコンデンサから各放電用のコンデン
サに至る給電路の構成を簡略化すること、及び各放電用
のコンデンサへの充電の均一化を図ることを目的とす
る。 【構成】 主電極に沿って延びる給電導体をレーザチャ
ンバを貫通させて配置する。給電導体に各放電用のコン
デンサを順次接続する。レーザチャンバの外部に導出さ
れた給電導体の両端より、充電用のコンデンサの放電電
流を供給し、各放電用のコンデンサを順次充電する。
サに至る給電路の構成を簡略化すること、及び各放電用
のコンデンサへの充電の均一化を図ることを目的とす
る。 【構成】 主電極に沿って延びる給電導体をレーザチャ
ンバを貫通させて配置する。給電導体に各放電用のコン
デンサを順次接続する。レーザチャンバの外部に導出さ
れた給電導体の両端より、充電用のコンデンサの放電電
流を供給し、各放電用のコンデンサを順次充電する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は放電励起形のエキシマレ
ーザ装置に関する。
ーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のようにこの種エキシマレーザ装置
は、レーザガスを封入したレーザチャンバ内に相対して
一対の主電極を設置し、この主電極間で一様な放電を起
こしてレーザガスを励起し、レーザ光を発生させる。
は、レーザガスを封入したレーザチャンバ内に相対して
一対の主電極を設置し、この主電極間で一様な放電を起
こしてレーザガスを励起し、レーザ光を発生させる。
【０００３】図４、図５はその従来構成を示し、１はレ
ーザチャンバ、２、３は主電極、４は放電用のコンデン
サ、５は予備電離用の電極、６は充電用のコンデンサ、
７は充電コイル、８はサイラトロンのようなスイッチ素
子、９は充電電源端子、１０は熱交換器、１１はガス循
環用のファンである。
ーザチャンバ、２、３は主電極、４は放電用のコンデン
サ、５は予備電離用の電極、６は充電用のコンデンサ、
７は充電コイル、８はサイラトロンのようなスイッチ素
子、９は充電電源端子、１０は熱交換器、１１はガス循
環用のファンである。
【０００４】最初に充電電源端子９からの電圧によっ
て、充電コイル７を介してコンデンサ６が充電される。
その充電の後、スイッチ素子８をオンにすると、コンデ
ンサ６の放電電流は電極５を介してコンデンサ４に流
れ、これを充電することによって電気エネルギーを移行
する。コンデンサ４が所定電圧まで充電されると、主電
極２、３間で放電が発生し、レーザ光が発生する。
て、充電コイル７を介してコンデンサ６が充電される。
その充電の後、スイッチ素子８をオンにすると、コンデ
ンサ６の放電電流は電極５を介してコンデンサ４に流
れ、これを充電することによって電気エネルギーを移行
する。コンデンサ４が所定電圧まで充電されると、主電
極２、３間で放電が発生し、レーザ光が発生する。
【０００５】この種装置において、高効率、高エネルギ
ーのレーザ光を得るためには、コンデンサ４へのエネル
ギー注入を急峻かつ短時間で行なわなければならない。
そのため通常は複数のコンデンサ４を主電極２、３の両
側に列状に設置するのを普通としている。同様に主電極
２、３間で一様の放電を発生させるために、複数（コン
デンサ４と同数）の電極５を主電極２、３の両側に列状
に設置するのを普通としている。
ーのレーザ光を得るためには、コンデンサ４へのエネル
ギー注入を急峻かつ短時間で行なわなければならない。
そのため通常は複数のコンデンサ４を主電極２、３の両
側に列状に設置するのを普通としている。同様に主電極
２、３間で一様の放電を発生させるために、複数（コン
デンサ４と同数）の電極５を主電極２、３の両側に列状
に設置するのを普通としている。
【０００６】一方コンデンサ６はレーザチャンバ１の外
に配置されるので、コンデンサ６と各コンデンサ４とを
接続する必要がある。そのため図４に示す従来構成で
は、ガラスエポキシ板１２の表面にフッ素樹脂板１３を
貼付た絶縁板１４によって、レーザチャンバ１の下面を
封じ、この絶縁板１４にフィードスルー用の孔１５を設
け、この孔１５を通る給電導体１６および電極５を介し
てコンデンサ６と各コンデンサ４とを接続するようにし
ている。
に配置されるので、コンデンサ６と各コンデンサ４とを
接続する必要がある。そのため図４に示す従来構成で
は、ガラスエポキシ板１２の表面にフッ素樹脂板１３を
貼付た絶縁板１４によって、レーザチャンバ１の下面を
封じ、この絶縁板１４にフィードスルー用の孔１５を設
け、この孔１５を通る給電導体１６および電極５を介し
てコンデンサ６と各コンデンサ４とを接続するようにし
ている。
【０００７】しかしこの構成によると、絶縁板１４に電
極５と同数の孔１５を設ける必要がある。このように多
数の孔１５を設けると、ここからのガス洩れ、またはガ
ス抜けの可能性が極めて高くなる。そのため大気中への
有害なレーザガスが漏洩したり、紫外光を吸収する酸素
がレーザチャンバ１内に混入する恐れが生ずる。
極５と同数の孔１５を設ける必要がある。このように多
数の孔１５を設けると、ここからのガス洩れ、またはガ
ス抜けの可能性が極めて高くなる。そのため大気中への
有害なレーザガスが漏洩したり、紫外光を吸収する酸素
がレーザチャンバ１内に混入する恐れが生ずる。
【０００８】また各孔１５を封じ切る必要があるため、
構造が複雑となり、また部品点数も多くなるので、製作
費が高騰する。更に絶縁板１４にフッ素樹脂板１３を使
用するときは、レーザガスの寿命に悪影響を及ぼす物質
を発生することがある。
構造が複雑となり、また部品点数も多くなるので、製作
費が高騰する。更に絶縁板１４にフッ素樹脂板１３を使
用するときは、レーザガスの寿命に悪影響を及ぼす物質
を発生することがある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、充電用のコ
ンデンサから各放電用のコンデンサに至る給電路の構成
を簡略化することを目的とする。また本発明は各放電用
のコンデンサへの充電の均一化を図ることを目的とす
る。
ンデンサから各放電用のコンデンサに至る給電路の構成
を簡略化することを目的とする。また本発明は各放電用
のコンデンサへの充電の均一化を図ることを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、主電極に沿っ
て延びる給電導体をレーザチャンバを貫通させて配置
し、レーザチャンバの外部に導出された給電導体の両端
部より充電用のコンデンサからの放電電流を供給するよ
うにし、各放電用のコンデンサを給電導体に順次接続
し、各放電用のコンデンサにそれぞれ予備電離用の電極
を直列に接続したことを特徴とする。
て延びる給電導体をレーザチャンバを貫通させて配置
し、レーザチャンバの外部に導出された給電導体の両端
部より充電用のコンデンサからの放電電流を供給するよ
うにし、各放電用のコンデンサを給電導体に順次接続
し、各放電用のコンデンサにそれぞれ予備電離用の電極
を直列に接続したことを特徴とする。
【００１１】
【作用】放電用のコンデンサは給電導体を介して充電さ
れる。給電導体はレーザチャンバを貫通して設けられて
いるため、レーザチャンバに設けるコンデンサ充電に必
要な孔は２個所で足りることになる。したがってレーザ
ガスの洩れ、抜けの可能性は極めて低くなる。
れる。給電導体はレーザチャンバを貫通して設けられて
いるため、レーザチャンバに設けるコンデンサ充電に必
要な孔は２個所で足りることになる。したがってレーザ
ガスの洩れ、抜けの可能性は極めて低くなる。
【００１２】充電用のコンデンサからの放電電流は、給
電導体の両端から各放電用のコンデンサに流れる。放電
用のコンデンサは給電導体の長さ方向に沿って順次接続
されているので、並設されている各放電用のコンデンサ
は、並設方向に沿う両側から同時に充電されていくよう
になる。これにより各放電用のコンデンサの充電は、並
設方向に沿う一方の側のみからの充電による場合よりも
均一化される。
電導体の両端から各放電用のコンデンサに流れる。放電
用のコンデンサは給電導体の長さ方向に沿って順次接続
されているので、並設されている各放電用のコンデンサ
は、並設方向に沿う両側から同時に充電されていくよう
になる。これにより各放電用のコンデンサの充電は、並
設方向に沿う一方の側のみからの充電による場合よりも
均一化される。
【００１３】
【実施例】本発明の実施例を図１〜図３によって説明す
る。なお図４、図５と同じ符号を付した部分は同一また
は対応する部分を示す。本発明にしたがい、給電導体２
１を主電極２、３に沿ってレーザチャンバ１内に配置
し、その両端部２２、２３はレーザチャンバ１の側板２
４より外部に導出してある。この導出部分はセラミック
からなる絶縁物２５により側板２４に対して絶縁されて
いる。
る。なお図４、図５と同じ符号を付した部分は同一また
は対応する部分を示す。本発明にしたがい、給電導体２
１を主電極２、３に沿ってレーザチャンバ１内に配置
し、その両端部２２、２３はレーザチャンバ１の側板２
４より外部に導出してある。この導出部分はセラミック
からなる絶縁物２５により側板２４に対して絶縁されて
いる。
【００１４】給電導体２１の各端部２２、２３はコンデ
ンサ６に線路２６、２７を介して接続される。そして給
電導体２１の長手方向に沿って各コンデンサ４を順次接
続する。各コンデンサ４には各電極５が直列に接続され
る。給電導体２１には主電極２も接続される。各電極５
の一方の電極部および主電極３は、導電性の基板２８に
搭載され、これによって一括接続される。基板２８の両
端部はレーザチャンバ１の両側板２４に接続されてい
る。
ンサ６に線路２６、２７を介して接続される。そして給
電導体２１の長手方向に沿って各コンデンサ４を順次接
続する。各コンデンサ４には各電極５が直列に接続され
る。給電導体２１には主電極２も接続される。各電極５
の一方の電極部および主電極３は、導電性の基板２８に
搭載され、これによって一括接続される。基板２８の両
端部はレーザチャンバ１の両側板２４に接続されてい
る。
【００１５】以上の構成において、コンデンサ６を充電
した状態でスイッチ素子８をオンとすると、コンデンサ
６からの放電電流は線路２６、２７を介して給電導体２
１にその両端部２２、２３より流れ、これにより各コン
デンサ４に両側から順次充電していく。この充電の過程
で電極５間で予備電離用の放電が発生する。
した状態でスイッチ素子８をオンとすると、コンデンサ
６からの放電電流は線路２６、２７を介して給電導体２
１にその両端部２２、２３より流れ、これにより各コン
デンサ４に両側から順次充電していく。この充電の過程
で電極５間で予備電離用の放電が発生する。
【００１６】そして各コンデンサ４が所定の電圧まで充
電されると、主電極２、３間で放電が発生し、レーザ光
を発生する。このレ一ザ光は、側板２４に設けた出射窓
２９よりレーザチャンバ１の外部に放出される。
電されると、主電極２、３間で放電が発生し、レーザ光
を発生する。このレ一ザ光は、側板２４に設けた出射窓
２９よりレーザチャンバ１の外部に放出される。
【００１７】前記した説明から理解されるように、主電
極２、３の長手方向に沿って列状に配列されている各コ
ンデンサ４の充電は、その列の両側から同時に開始して
いくようになる。
極２、３の長手方向に沿って列状に配列されている各コ
ンデンサ４の充電は、その列の両側から同時に開始して
いくようになる。
【００１８】もしその充電がその列の一方側からのみ開
始したとすると、遅延線効果のため給電端側のコンデン
サ４（最初に充電されるコンデンサ４）の充電状態と、
最終端のコンデンサ４（最後に充電されるコンデンサ
４）の充電状態とでは相当の差が生ずるようになる。そ
のため主電極２、３間の電位上昇に不均一性が生じ、主
電極２、３間において一様な放電が得られないようにな
る。
始したとすると、遅延線効果のため給電端側のコンデン
サ４（最初に充電されるコンデンサ４）の充電状態と、
最終端のコンデンサ４（最後に充電されるコンデンサ
４）の充電状態とでは相当の差が生ずるようになる。そ
のため主電極２、３間の電位上昇に不均一性が生じ、主
電極２、３間において一様な放電が得られないようにな
る。
【００１９】これに対して本発明のようにコンデンサ４
の列の両端が給電端となって、その両側から同時に充電
を開始すれば、全てのコンデンサ４の充電に要する時間
は短縮され、最初に充電されるコンデンサ４と最後に充
電されるコンデンサ４との充電状態の差は少なくなり、
それだけ主電極２、３間の電位上昇に不均一性が改善さ
れるようになる。
の列の両端が給電端となって、その両側から同時に充電
を開始すれば、全てのコンデンサ４の充電に要する時間
は短縮され、最初に充電されるコンデンサ４と最後に充
電されるコンデンサ４との充電状態の差は少なくなり、
それだけ主電極２、３間の電位上昇に不均一性が改善さ
れるようになる。
【００２０】図７はコンデンサ４の列の一方側からのみ
充電を開始した場合の、コンデンサ４の両端電圧波形を
示すもので、波形Ａは給電端側のコンデンサ４のもの
を、また波形Ｂは最終端のコンデンサ４のものを示す。
両波形Ａ，Ｂを比較した場合、両コンデンサ４の充電状
態にはかなりの不均一性が存在している。
充電を開始した場合の、コンデンサ４の両端電圧波形を
示すもので、波形Ａは給電端側のコンデンサ４のもの
を、また波形Ｂは最終端のコンデンサ４のものを示す。
両波形Ａ，Ｂを比較した場合、両コンデンサ４の充電状
態にはかなりの不均一性が存在している。
【００２１】図６は本発明のようにコンデンサ４の列の
両端が給電端となるようにして充電した場合のコンデン
サ４の両端電圧波形を示すもので、波形Ｃは一方の給電
端側のコンデンサ４のものを、Ｄはコンデンサ４の列の
うちの中央の列のコンデンサ４のものを示す。両波形
Ｃ、Ｄはほぼ等しく推移しており、各コンデンサ４の充
電状態はほぼ均一化されている。これにより各コンデン
サ４は均一に充電され、主電極２、３間で均一な放電が
得られるようになる。
両端が給電端となるようにして充電した場合のコンデン
サ４の両端電圧波形を示すもので、波形Ｃは一方の給電
端側のコンデンサ４のものを、Ｄはコンデンサ４の列の
うちの中央の列のコンデンサ４のものを示す。両波形
Ｃ、Ｄはほぼ等しく推移しており、各コンデンサ４の充
電状態はほぼ均一化されている。これにより各コンデン
サ４は均一に充電され、主電極２、３間で均一な放電が
得られるようになる。
【００２２】一方各コンデンサ４の充電は前記のように
給電導体２１を介して行なわれる。給電導体２１の両端
部２２、２３はレーザチャンバ１を貫通しているので、
レーザチャンバ１に対する貫通個所は２個所ですむ。し
たがって図４、図５に示す構成に比較してフィードスル
ーの孔を極端に少なくすることができる。これによりレ
ーザガスの洩れ、抜けの可能性を著しく低減することが
できる。
給電導体２１を介して行なわれる。給電導体２１の両端
部２２、２３はレーザチャンバ１を貫通しているので、
レーザチャンバ１に対する貫通個所は２個所ですむ。し
たがって図４、図５に示す構成に比較してフィードスル
ーの孔を極端に少なくすることができる。これによりレ
ーザガスの洩れ、抜けの可能性を著しく低減することが
できる。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、レ
ーザチャンバの内部に設置されている放電用のコンデン
サに効率良く電気エネルギーを移行させることができる
とともに、放電用のコンデンサへの給電のためにレーザ
チャンバに設けるフィードスルの数を低減し、レーザガ
スの洩れ、抜けを低減することができる効果を奏する。
ーザチャンバの内部に設置されている放電用のコンデン
サに効率良く電気エネルギーを移行させることができる
とともに、放電用のコンデンサへの給電のためにレーザ
チャンバに設けるフィードスルの数を低減し、レーザガ
スの洩れ、抜けを低減することができる効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。
【図２】同じく本発明の実施例を示す横断面図である。
【図３】同じく本発明の実施例を示す回路図である。
【図４】従来例の横断面図である。
【図５】従来例の回路図である。
【図６】本発明によるコンデンサの両端電圧波形であ
る。
る。
【図７】比較例におけるコンデンサの両端電圧波形であ
る。
る。
１ レーザチャンバ ２ 主電極 ３ 主電極 ４ 放電用のコンデンサ ５ 予備電離用の電極 ６ 充電用のコンデンサ ２１ 給電導体 ２２ 給電導体の端部 ２３ 給電導体の端部
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザチャンバの内部に、レーザガス励
起用の放電を発生させる主電極と、前記主電極間のレー
ザガスを電離する予備電離用の電極と、前記主電極間お
よび予備電離用の電極間で放電を発生させる放電用のコ
ンデンサとを具備してなるエキシマレーザ装置におい
て、前記主電極の長手方向に沿って給電導体を設け、前
記各放電用のコンデンサを前記給電導体に順次接続し、
前記各放電用のコンデンサにそれぞれ予備電離用の電極
を直列に接続するとともに、前記給電導体の両端部を前
記レーザチャンバより外部に導出し、導出された前記給
電導体の両端部より前記放電用のコンデンサを充電する
ためのコンデンサからの放電電流を供給するようにした
エキシマレーザ装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4185634A JP2581377B2 (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4185634A JP2581377B2 (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | エキシマレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06291396A true JPH06291396A (ja) | 1994-10-18 |
| JP2581377B2 JP2581377B2 (ja) | 1997-02-12 |
Family
ID=16174208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4185634A Expired - Lifetime JP2581377B2 (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2581377B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6255980A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-11 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ発振器 |
| JPS63229771A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 |
| JPH03198390A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-29 | Toshiba Corp | ガスレーザ発振装置 |
-
1992
- 1992-06-02 JP JP4185634A patent/JP2581377B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6255980A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-11 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ発振器 |
| JPS63229771A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 |
| JPH03198390A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-29 | Toshiba Corp | ガスレーザ発振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2581377B2 (ja) | 1997-02-12 |
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