JPH079397Y2 - ガスレ−ザ−発生装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は自動予備電離形のガスレーザー発生装置、特
に容量移行型のエキシマレーザー発生装置に関するもの
である。

（従来の技術） 周知のようにこの種ガスレーザー発生装置は、レーザー
ガスを数気圧で充填したチェンバー内で、グロー放電を
発生させてガスレーザーを励起し、これによってレーザ
ーを発生するように構成されたものである。そしてこの
放電のためにレーザーガスを予備的に電離するようにし
ており、この予備電離のために、紫外線を使用するよう
にしたものがある。

第３図はその構成における回路図を示し、高圧端子１に
印加される直流高電圧により、充電コイル２を介して充
電されるコンデンサ３の放電回路に、自動予備電離のた
めに紫外線を出す放電を行なうための一対の電離ピン4,
5と、コンデンサ６と、リアクトル７との直列回路を接
続し、前記コンデンサ６の放電回路に、ガスレーザーを
発生するための放電を行なう一対の主放電電極8,9を接
続して構成される。

なお10はコンデンサ３の放電を開始させるためのスイッ
チ素子、たとえばサイラトロン、11は主放電電極9,コン
デンサ６をアース側に接続するアースリターン路であ
る。

第４図はその従来例の構成を示し、絶縁性の支持板13
に、アースされているレーザーチェンバー14が支持され
てあり、その内部は導電性の支持板15によって仕切られ
ている。支持板15はアースリターン路11を兼用してい
る。

仕切られた一方の室16の内部に、電離ピン4,5、コンデ
ンサ６、主放電電極8,9が設置されている。17,18は導電
性の支持部材である。電離ピン４は支持部材17に対して
絶縁されて貫通しており、また支持部材17と支持板15と
の間を電気的に接続している支持部材18によって、コン
デンサ６が支持されている。主放電電極8,9は、支持部
材17と支持板15とによってそれぞれ支持されている。

支持板15によって仕切られた他方の室19は、電離ピン4,
5間および主放電電極8,9間に、新鮮なレーザーガスを循
環させて供給するため、熱交換器20およびファン21が設
置されている。室16、19間のガス循環のために、支持板
15に流通孔22が設けてある。

このような構成において、レーザーガスの循環を損ねな
いように、コンデンサ６を支持板15側に設置している
が、このようにしてもコンデンサ６を支持している支持
部材18により、および支持板15によって、レーザーガス
の循環が妨げられている。

また主放電電極8,9を接続するのに使用されている支持
部材18が近傍にあり、しかもコンデンサ６が支持板15側
に設置されるため、第５図に概略的に示すように、主放
電電極8,9間の電界分布が不均一になりやすい。すなわ
ちコンデンサ６側の付近Ａでは電界分布が密になり、反
対側の付近Ｂでは逆に粗になる。そのためレーザー放電
幅が狭くなってしまう。

さらにアースリターン路となる支持板15が、レーザーチ
ェンバー14に接続されているため、内部の保守点検の際
に、レーザーチェンバー14から支持板13を取り外して
も、各電極類をレーザーチェンバー14から取り外すのは
極めて困難である。

（考案が解決しようとする問題点） この考案はレーザーガスの循環性能を高めるとともに、
電界分布の均一化および保守点検の簡便化を図ることを
目的とする。

（問題点を解決するための手段） この考案は内部にレーザーガスが充填されてあり、およ
び主放電電極が設置されてあるレーザーチェンバーの内
部に、放電回路中に主放電電極が接続されるコンデンサ
を設置する構成において、このコンデンサを一方の主放
電電極の側方にあって、しかもコンデンサ電極が主放電
電極間の放電方向に沿うように配置するとともに、この
コンデンサの外側にアースリターン路を形成する導体を
設け、この導体に接続される支持部材に、他方の主放電
電極を支持したことを特徴とする。

（実施例） この考案を第１図によって説明する。なお第４図と同じ
符号を付した部分は、同一または対応する部分を示す。
この考案にしたがい、コンデンサ６をカソードとなる主
放電電極８の側方に位置させる。そしてそのコンデンサ
電極が主放電電極8,9間の放電方向に沿うように配置す
る。

絶縁性の支持板13に主放電電極８および電離ピン4,5、
コンデンサ６などが取り付けられている。コンデンサ６
の外側にアースリターン路を形成する導体25を設け、こ
の導体25に接続される支持部材26に、他方のアノードと
なる主放電電極８を支持する。導体25はバネ27を介して
レーザーチェンバー14に接続される。なお導体25も支持
板13に支持されている。

別にレーザーチェンバー14に一体的に連なるタンク28を
用意し、このタンク28内に充電コイル２、サイラトロン
10、コンデンサ３、リアクトル７などを収納する。バネ
27に代えて図のように貫通するボルト29によって、レー
ザーチェンバー14と、アースされているタンク28とを接
続するようにしてもよい。

以上の構成において、ファン21によってレーザーガスが
循環されるとき、その障害になるのは支持部材26だけと
なり、第４図に示す従来構成に比較してその障害個所は
少なくなる。それだけレーザーガスの循環性能は向上す
るようになる。

またコンデンサ６を主放電電極８の側方に位置させ、し
かもそのコンデンサ電極が主放電電極8,9間の放電方向
に沿うように配置したので、主放電電極の幅が従来構成
のものと同じであっても、第２図に示すように均一電界
領域が広がる。これによってレーザー発振幅を広くする
ことができるようになる。

さらにアースリターン路11となる導体25は、レーザーチ
ェンバー14より分離しているため、保守点検に際してレ
ーザーチェンバー14と支持板13とを連結している締付ボ
ルト（図示していない）を外すだけで、各電極類ならび
にコンデンサ６を一括して連結チェンバー14より外すこ
とができるようになる。したがって保守点検が容易とな
る。

（考案の効果） 以上詳述したようにこの考案によれば、従来構成に比較
してレーザーガスの循環性能、電界分布均一性および保
守点検の簡便性を向上させることができるといった効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第２図は同
じく動作説明用の部分断面図、第３図は同じく回路図、
第４図は従来例を示す断面図、第５図は部分断面図であ
る。 ３……コンデンサ、4,5……電離ピン、６……コンデン
サ、8,9……主放電電極、10……スイッチ素子、13……
支持板、14……レーザーチェンバー、25……導体、26…
…支持部材、28……タンク、

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】レーザーガスが充填されてあるレーザーチ
   ェンバーの内部に、一対の主放電電極、自動予備電離用
   の一対の電離ピン、放電回路中に前記主放電電極が接続
   されてあるコンデンサおよび前記主放電電極間と電離ピ
   ン間とに前記レーザーガスを循環させるためのファンを
   設けてなるガスレーザー発生装置において、 前記レーザーチェンバーに取外し自在に絶縁性の支持板
   を取り付け、前記支持板に、前記一方の主放電電極、前
   記一対の電離ピンならびに前記コンデンサを支持せしめ
   るとともに、前記コンデンサをそのコンデンサ電極が前
   記主放電電極間の放電方向に沿うようにして、前記一方
   の主放電電極の側方に配置してなり、さらに前記支持板
   に支持されてあって、アースリターン路を形成する導体
   を、前記コンデンサの外側に配置し、前記導体に接続さ
   れた支持部材に、前記他方の主放電電極を支持してなる
   ガスレーザー発生装置。