JPH06288899A - フィルムの偏光透過率特性測定方法 - Google Patents

フィルムの偏光透過率特性測定方法

Info

Publication number
JPH06288899A
JPH06288899A JP9722793A JP9722793A JPH06288899A JP H06288899 A JPH06288899 A JP H06288899A JP 9722793 A JP9722793 A JP 9722793A JP 9722793 A JP9722793 A JP 9722793A JP H06288899 A JPH06288899 A JP H06288899A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
filter
polarization
film
point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9722793A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyokazu Sakai
清和 酒井
Hiromasa Aihara
広征 粟飯原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
New Oji Paper Co Ltd
Original Assignee
New Oji Paper Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by New Oji Paper Co Ltd filed Critical New Oji Paper Co Ltd
Priority to JP9722793A priority Critical patent/JPH06288899A/ja
Publication of JPH06288899A publication Critical patent/JPH06288899A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 偏光フィルムの透過率特性を測定する安価な
装置を得る。 【構成】 特性既知の偏光フィルタと試料フィルムを重
ね両者の透過軸の相対方位を変えて透過光強度の変化を
測定し、計算により試料フィルムの透過軸方向と吸収軸
方向の透過率を算出する。 【作用,効果】 偏光フィルタは安価であるから、測定
装置も安価にできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は偏光フィルムの偏光方向
と透過率との関係特性を測定する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】偏光フィルムの偏光方向と透過率との関
係特性を測定するには結晶偏光子を用いた偏光解析装置
が用いられている。結晶偏光子は偏光度100%の完全
な直線偏光が得られるから、試料に入射させる直線偏光
の偏光方向を回転させて、透過光強度の最大,最小を求
めれば直ちに試料の偏光透過率特性が求まる。しかし結
晶偏光子は高価であるから偏光解析装置も高価であり、
偏光フィルムの生産現場等で、製品の品質管理を行うた
めのオンライン測定等には不向きな装置である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】偏光子として安価な偏
光フィルタを用いて、簡単にフィルム試料の偏光透過特
性を測定する装置を構成しようとするものである。
【0004】
【課題を解式するための手段】偏光透過率特性既知の偏
光フィルタと試料フィルムとを重ね、両者を相対的に回
転させながら、何れか一方の方位を基準にした他方の方
位角と両者を透過した光の強度との関係から計算によっ
て試料の偏光透過率特性を求める。
【0005】
【作用】結晶を用いた偏光子では偏光度100%の完全
な直線偏光が得られるので、試料に対して偏光子を回転
させることで直接的に試料の透過軸透過率と吸収軸透過
率を測定することができる。しかし偏光フィルムは吸収
軸方位の直線偏光に対しても有限の透過率を持っている
ので偏光度100%の直線偏光を得ることはできない。
このため偏光フィルタと試料の夫々の透過軸を直交させ
て、即ち透過光を遮断する関係にしても若干の透過光が
観測される。しかしこの透過光強度は直ちに試料の吸収
軸方向の透過率を与えるものではなく、偏光フィルタの
透過軸方向の透過率と試料の吸収軸透過率との積と偏光
フィルタの吸収軸方向の透過率と試料の透過軸方向の透
過率の積の和となっている。しかしこのような関係から
計算によって試料の吸収軸方向の透過率を求めることは
可能であり、コンピュータが安価に利用できるので、計
算自体は測定作業上格別の負担にならず、従ってフィル
ムの偏光透過率特性を測定する安価な装置が得られるの
である。今偏光フィルタの透過軸方向の透過率即ち透過
軸と入射偏光の偏光方向が平行のときの透過率をTp、
同様に吸収軸方向の透過率をTvとし、試料の透過軸方
向透過率をTy、吸収軸方向の透過率をTxとする。簡
単のため偏光フィルタも試料も透過軸の方向が分かって
いるとする。入射光強度をIoとして両者を平行関係即
ち相互の透過軸同士が平行になるようにして重ねたとき
の全体の透過光強度Ipは、(1/2)Io(TpTy
+TvTx)である。また両者を直交関係即ち夫々の透
過軸を直交させたときの全体の透過光強度Ivは(1/
2)Io(TpTx+TvTy)である。Ip,Ivは
透過光強度の測定から求まるので、連立方程式 (TpTy+TvTx)/2=Ip/Io (TvTy+TpTx)/2=Iv/Io からTx,Tyが求まる。即ち Ty=2(IpTp−IvTv)/(Tp2 −Tv2 )Io … (1) Tx=2(IpTv−IvTp)/(Tp2 −Tv2 )Io … (2) 実際には試料の透過軸方向が不明であるから、偏光フィ
ルタと試料の平行,直交二つの場合だけからTx,Tv
を求めることはできず、他の幾つかの方位関係での測定
が必要であるが、詳細は実施例で述べる。
【0006】
【実施例】図1に本発明の一実施例装置を示す。この装
置は複屈折性シートの複屈折特性を測定するために開発
された装置で、本実施例はこの装置を偏光フィルムの偏
光透過率特性の測定にも使えるようにしたものである。
図で1は偏光フィルタで、回転台11に取付けられる。
21は検光子用の偏光フィルタを取付ける回転台で、偏
光透過率測定のために検光子フィルタは取外してある。
偏光子台11,検光子台21はモータ3によって一体的
に回転せしめられるようになっている。4は白色光光
源、5はオプチカルファイバ、6は波長選択用のフィル
タで、幾つかの波長が選択できるようになっている。A
は装置の光軸で、フィルタ6によって選択された或る波
長の光の光束が光軸Aに沿って偏光フィルタ1、その下
に置かれた試料S,検光子台21を通って受光素子7に
入射する。受光素子7の出力はデータ処理装置8に取込
まれてデータ処理を受け、試料Sの偏光透過率特性等が
算出されて、結果が表示装置9に表示される。データ処
理装置8はモータ3の回転を制御し、偏光フィルタの角
位置のデータを取込んで、データ処理に用いる。
【0007】上述した装置で、偏光フィルタ1を回転さ
せ、その角位置と受光素子出力の関係を極座標で記録す
ると図2のようになる。この図で、透過光強度最大の点
は偏光フィルタ1と試料Sの透過軸が平行になった点
で、透過光強度最小の点は両方の透過軸が直交した点で
ある。これらの点の透過光強度と、もとの入射光の強度
Ioが求まれば前述した式1および式2で試料の透過軸
透過率と吸収軸透過率が算出できる。
【0008】上述した方法では偏光フィルタ1への入射
光強度Ioを前以て測定しておく必要があって、光源の
変動とか測光回路のドリフトの影響を受け易い。従って
以下述べるようにする方がより実際的である。偏光フィ
ルタ1と試料Sが夫々の透過軸が角度θで斜交している
場合を考える。図3でξ,ηは装置の座標軸で光軸Aと
直交している。X,Yは偏光フィルタ1の吸光軸(X)
と透過軸(Y)で、x,yは試料の吸光軸(x)と透過
軸(y)である。偏光フィルタの透過軸振幅透過率をA
y,吸光軸振幅透過率をAxとし、入射光の振幅をAo
とする(入射光は自然光なので、全ての方向の直線偏光
の振幅がAo)。偏光フィルタ透過光X方向の振幅Xは
X=AxAo,Y方向の振幅YはY=AyAo、試料の
透過軸振幅透過率をSy,吸光軸振幅透過率をSxとす
ると、試料Sのy方向透過光の強度Ipは Ip=(Sy・Ycosθ)2 +(SyXsinθ)2 上式で右辺が2項の自乗和になっているのは、偏光フィ
ルタを透過したY方向,X方向夫々の直線偏光は互に独
立で干渉しないから、夫々の強度の和がIpとなるため
である。上式の右辺にX=AxAo,Y=AyAoを代
入して整理すると、 Ip=Sy2 ・Ao2 (Ay2 cos2 θ+Ax2 sin2 θ) =Ty(Io/2)(Tpcos2 θ+Tvsin2 θ) … (3) 同様にして、試料の吸光軸透過強度Ivは Iv=(SxYsinθ)2 +(SxXcosθ)2 =Sx2 Ao2 (Ay2 sin2 θ+Ax2 cos2 θ) =Tx(Io/2)(Tpsin2 θ+Tvcos2 θ) … (4) 交角θにおける全透過光強度Iθは上記 式の和で、 Iθ=(Io/2)(Tpcos2 θ+Tvsin2θ)Ty +(Io/2)(Tpsin2 θ+Tvcos2θ)Tx … (5) 前頁で述べた(1)(2)式にこの(5)式を連立させ
て3つの式からIoを消去して、Tx,Tyを算出する
ことができる。角度θは直接には求まらないが、図2に
示すIθの測定結果から極大,極小を検出すれば、その
方向がY,Xとなるから、その方向を基準にして任意の
θにおけるIθを求めることができる。
【0009】上述方法では偏光フィルタ1を連続回転さ
せて受光素子出力を連続的(実際は細いサンプリング間
隔)に採取しているが、受光素子出力は上記(5)式の
関係で変化しているので、3点以上の測定点のデータか
ら図2の図形の形を内挿的に決定することができ、その
結果からIθの極大Ip,極小Iv,極大点から離角θ
でのIθを計算し、(1)(2)(5)式に入れてT
x,Tyを算出する方が便利である。図4はこの方法の
実施に適した装置例で、偏光フィルタを回転させる代わ
りに6個の偏光フィルタ1a〜1fを夫々の透過軸の方
位を30°ずつずらせて固定配置し、これらの偏光フィ
ルタと対向させて6個の受光素子7a〜7fを配置し、
θの6個の方位についての測定を一度に行ってしまうも
のである。
【0010】
【発明の効果】本発明によれば、偏光フィルタと試料フ
ィルムを重ねて、両者の方位を変えて透過光を測定する
だけの装置で、計算によって試料の偏光透過率特性が求
められるので、装置が安価にでき、簡単な構造であるか
ら、製造現場での使用にも耐えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の斜視図
【図2】測定結果の一例のグラフ
【図3】本発明の作用説明図
【図4】本発明の他の実施例の斜視図
【符号の説明】
1 偏光フィルタ 3 モータ 4 光源 6 フィルタ 7 受光素子 8 データ処理装置 9 表示装置 11 偏光フィルタ回転台

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 偏光透過特性既知の偏光フィルタと試料
    フィルムとを重ね、両者相互の透過軸方向を変えて、両
    者に自然光を入射させて、透過光強度を測定し、透過光
    強度と上記相互の透過軸方向との関係から、試料フィル
    ムの偏光透過率を算出することを特徴とするフィルムの
    偏光透過率特性測定方法。
JP9722793A 1993-03-31 1993-03-31 フィルムの偏光透過率特性測定方法 Pending JPH06288899A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9722793A JPH06288899A (ja) 1993-03-31 1993-03-31 フィルムの偏光透過率特性測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9722793A JPH06288899A (ja) 1993-03-31 1993-03-31 フィルムの偏光透過率特性測定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06288899A true JPH06288899A (ja) 1994-10-18

Family

ID=14186750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9722793A Pending JPH06288899A (ja) 1993-03-31 1993-03-31 フィルムの偏光透過率特性測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06288899A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100531199B1 (ko) * 2002-09-12 2005-11-25 군산대학교산학협력단 광탄성 프린지 측정용 편광기구
US20120170040A1 (en) * 2010-12-30 2012-07-05 Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd. Apparatus for measuring transmissivity of patterned glass substrate
TWI409450B (zh) * 2006-05-04 2013-09-21 Au Optronics Corp 光學量測機構
CN114371151A (zh) * 2020-10-15 2022-04-19 深圳莱宝高科技股份有限公司 一种透过率测试方法及透过率测试系统

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100531199B1 (ko) * 2002-09-12 2005-11-25 군산대학교산학협력단 광탄성 프린지 측정용 편광기구
TWI409450B (zh) * 2006-05-04 2013-09-21 Au Optronics Corp 光學量測機構
US20120170040A1 (en) * 2010-12-30 2012-07-05 Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd. Apparatus for measuring transmissivity of patterned glass substrate
US9030664B2 (en) * 2010-12-30 2015-05-12 Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd. Apparatus for measuring transmissivity of patterned glass substrate
CN114371151A (zh) * 2020-10-15 2022-04-19 深圳莱宝高科技股份有限公司 一种透过率测试方法及透过率测试系统
CN114371151B (zh) * 2020-10-15 2024-04-19 深圳莱宝高科技股份有限公司 一种透过率测试方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5956145A (en) System and method for improving data acquisition capability in spectroscopic rotatable element, rotating element, modulation element, and other ellipsometer and polarimeter and the like systems
EP3093636B1 (en) Optical polarisation modulation and detection apparatus and detection method
JP5198980B2 (ja) 光学異方性パラメータ測定方法及び測定装置
JPH10332533A (ja) 複屈折評価装置
EP0737856A2 (en) Polarisation monitoring methods and apparatus
JPH06288899A (ja) フィルムの偏光透過率特性測定方法
JP2000509830A (ja) フォトアレイ検出器を備える回帰較正による回転補正器型分光エリプソメータシステム
JPH08201277A (ja) 複屈折測定方法及び装置
JP2005227019A (ja) 偏光軸の測定方法および測定装置
JP5991230B2 (ja) 位相差測定方法及び装置
JPH0283428A (ja) 自動複屈折測定装置
JP4926003B2 (ja) 偏光解析方法
JPH02102436A (ja) レターデーション測定方法
JP2645252B2 (ja) 自動複屈折計
JP2789575B2 (ja) 複屈折測定装置
JPH06317519A (ja) 複合シートのレターデーション測定方法
JPH0552657A (ja) 偏光測定器
JP2956731B2 (ja) 複屈折測定装置
JPH08152399A (ja) 複合層のレターデーション測定方法及び装置
JPH053535B2 (ja)
GB2352513A (en) Ellipsometer for determininig the polarisation state of monochromatic light
JPH04127004A (ja) エリプソメータ及びその使用方法
JPH06229909A (ja) 偏光二色性測定装置
JPH02183142A (ja) スペクトロポーラリメータ
JP3554374B2 (ja) 偏光測定装置