JPH06285451A - 基板端縁洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数種類のリンス液を予め決められた順序で
基板端縁に吐出して洗浄することができる基板端縁洗浄
装置を提供する。 【構成】 第１および第３の吐出ユニット５１ａ，５３
ａのうちの一方に選択的に第１のリンス液を供給する第
１のリンス液供給手段が設けられ、選択された吐出ユニ
ットより第１のリンス液を角型基板１の主面端縁に向け
て吐出する一方、第２の吐出ユニット５２ａに第１のリ
ンス液とは異なる第２のリンス液を供給する第２のリン
ス液供給手段が設けられ、第２の吐出ユニット５２ａよ
り第２のリンス液を角型基板１の主面端縁に向けて吐出
する。また、基板１に対する第１ないし第３の吐出ユニ
ット５１ａ，５２ａ，５３ａがＸ方向に移動する場合に
は、第３の吐出ユニット５３ａに第１のリンス液が選択
的に供給される一方、（−Ｘ）方向に移動する場合に
は、第１の吐出ユニット５１ａに第１のリンス液が選択
的に供給される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォトレジスト液，感
光性ポリイミド樹脂，カラーフィルタ用の染色剤などか
らなる薄膜がその一方主面に塗布された液晶用ガラス基
板，フォトマスク用ガラス基板などの基板に対し、上記
薄膜塗布後に基板の端面（側面）に付着した不要薄膜を
洗浄除去する基板端縁洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上述のような基板端縁洗浄装置として
は、従来、例えば特公平３−７８７７７号公報に開示さ
れているものがあった。

【０００３】この公知例によれば、その一方主面に薄膜
が形成された基板の周縁部の上方主面（表面）と下方主
面（裏面）に対向して第１の管と第２の管がそれぞれ設
けられるとともに、第１および第２の管の間の間隙部で
かつ基板端部の延長上に第３の管が設けられている。そ
して、第１および第２の管から基板の周縁部の上方主面
と下方主面にリンス液として溶剤を供給するとともに、
その溶剤ならびに溶解除去された不要薄膜を第３の管か
ら吸引排出できるように構成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、基板に形成
された薄膜の種類によっては、複数種類のリンス液を用
いて端縁洗浄する、例えば第１のリンス液による基板の
端縁洗浄を行った後、続けて第１のリンス液と異なる第
２のリンス液としての溶剤による端縁洗浄を行うのが好
ましい場合がある。

【０００５】しかしながら、上記従来例では、１種類の
リンス液を用いることしか考慮されていないため、複数
種類のリンス液を用いた基板の端縁洗浄を行うことがで
きなかった。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、複数種類のリンス液を予め決められた
順序で基板端縁に吐出して洗浄することができる基板端
縁洗浄装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するため、一方主面に薄膜が形成された基板
を載置保持する基板保持手段と、該基板保持手段によっ
て保持された基板の両主面うちの少なくともいずれか一
方の主面側で、該主面端縁の長手方向に沿って、この順
序で配置された第１ないし第３の吐出手段と、前記第１
ないし第３の吐出手段を、前記基板に対し前記長手方向
に相対往復移動させる移動機構と、前記第１および第３
の吐出手段のうちの一方に選択的に第１のリンス液を供
給し、選択された吐出手段より前記第１のリンス液を前
記主面端縁に向けて吐出する第１のリンス液供給手段
と、前記第２の吐出手段に第１のリンス液とは異なる第
２のリンス液を供給し、前記第２の吐出手段より前記第
２のリンス液を前記主面端縁に向けて吐出する第２のリ
ンス液供給手段とを備えており、前記基板に対する前記
第１ないし第３の吐出手段の相対移動に際して、前記第
１のリンス液の供給先を切り換えて、往動状態において
も復動状態においても、前記基板の端縁に前記第１のリ
ンス液を前記第２のリンス液に先行して吐出させるよう
にしている。

【０００８】請求項２の発明は、上記目的を達成するた
め、一方主面に薄膜が形成された基板を載置保持する基
板保持手段と、該基板保持手段によって保持された基板
の両主面うちの少なくともいずれか一方の主面側で、該
主面端縁の長手方向に沿って、この順序で配置された第
１ないし第３の吐出手段と、前記第１ないし第３の吐出
手段を、前記基板に対し前記長手方向に相対往復移動さ
せる移動機構と、前記第２の吐出手段に第１のリンス液
を供給し、前記第２の吐出手段より前記第１のリンス液
を前記主面端縁に向けて吐出する第１のリンス液供給手
段と、前記第１および第３の吐出手段のうちの一方に選
択的に第１のリンス液とは異なる第２のリンス液を供給
し、選択された吐出手段より前記第２のリンス液を前記
主面端縁に向けて吐出する第２のリンス液供給手段とを
備えており、前記基板に対する前記第１ないし第３の吐
出手段の相対移動に際して、前記第２のリンス液の供給
先を切り換えて、往動状態においても復動状態において
も、前記基板の端縁に前記第１のリンス液を前記第２の
リンス液に先行して吐出させるようにしている。

【０００９】

【作用】請求項１の発明では、第１および第３の吐出手
段のうちの一方に選択的に第１のリンス液を供給する第
１のリンス液供給手段が設けられ、選択された吐出手段
より前記第１のリンス液を前記主面端縁に向けて吐出す
る一方、第２の吐出手段に第１のリンス液とは異なる第
２のリンス液を供給する第２のリンス液供給手段が設け
られ、前記第２の吐出手段より前記第２のリンス液を前
記主面端縁に向けて吐出するようになっている。そし
て、基板に対する前記第１ないし第３の吐出手段の相対
移動に際して、前記第１のリンス液の供給先が切り換え
られ、往動状態においても復動状態においても、前記基
板の端縁に前記第１のリンス液が前記第２のリンス液に
先行して吐出される。

【００１０】請求項２の発明では、前記第２の吐出手段
に第１のリンス液を供給する第１のリンス液供給手段が
設けられ、前記第２の吐出手段より前記第１のリンス液
を前記主面端縁に向けて吐出する一方、第１および第３
の吐出手段のうちの一方に選択的に第１のリンス液とは
異なる第２のリンス液を供給する第２のリンス液供給手
段が設けられ、選択された吐出手段より前記第２のリン
ス液を前記主面端縁に向けて吐出するようになってい
る。そして、前記基板に対する前記第１ないし第３の吐
出手段の相対移動に際して、前記第２のリンス液の供給
先が切り換えられ、往動状態においても復動状態におい
ても、前記基板の端縁に前記第１のリンス液が前記第２
のリンス液に先行して吐出される。

【００１１】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面に用いて説明す
る。

【００１２】Ａ．第１実施例

【００１３】図１は、本発明にかかる基板端縁洗浄装置
の第１実施例の全体概略平面図であり、図２は一部切欠
全体概略側面図である。この基板端縁洗浄装置４では、
回転塗布によって表面に薄膜が形成された角型基板１を
載置保持する基板保持ユニット２が基台Ｂ上に設けら
れ、さらにその基板保持ユニット２の周囲４箇所に基板
端縁洗浄具３が配置されている。

【００１４】基板保持ユニット２では、基台Ｂに、第１
のエアーシリンダ５と一対の第１のガイド６，６を介し
てシリンダ支持台７が昇降可能に設けられている。ま
た、そのシリンダ支持台７上に第２のエアーシリンダ８
が設けられ、さらに第２のエアーシリンダ８に角型基板
１を真空吸着によって載置保持する基板載置プレート９
が一体的に設けられている。

【００１５】基板端縁洗浄具３は、洗浄具本体１０（後
述する図４を参照）と、その洗浄具本体１０を角型基板
１の端縁に沿わせて直線移動する移動機構１１と、洗浄
具本体１０を角型基板１の端縁に対して遠近変位する位
置調整機構１２とで構成されている。

【００１６】図３は、基板端縁洗浄具３を示す図であ
る。移動機構１１は、同図に示すように、基台Ｂに取り
付けられた支持台１３を有している。そして、図１に示
すように、この支持台１３に一対の第２のガイド１４，
１４を介して角型基板１の端縁に沿う方向に移動可能に
移動台１５が設けられるとともに、支持台１３に主動プ
ーリー１６と従動プーリー１７とが取り付けられ、さら
に、これらのプーリー１６，１７にベルト１８が巻回さ
れている。また、そのベルト１８には移動台１５が一体
的に取り付けられており、主動プーリー１６に連動連結
されている電動モータ１９を駆動することによって、洗
浄具本体１０を角型基板１の端縁に沿わせて直線移動す
ることができるように構成されている。また、同図への
図示を省略しているが、洗浄具本体１０が角型基板１の
コーナ部分を通過したか否かを検出するセンサが設けら
れている。

【００１７】なお、センサを設ける代わりに、モータ１
９のパルス数をカウントして、上記検出を行うようにし
てもよい。

【００１８】位置調整機構１２は、一対の第３のガイド
２０，２０と、第３のエアーシリンダ２１と、支持部材
２２（図４）とで構成されている。支持部材２２は、一
対の第３のガイド２０，２０と第３のエアーシリンダ２
１とを介して、移動台１５に取り付けられており、第３
のエアーシリンダ２１を駆動することによって角型基板
１に対して遠近する方向に駆動移動するようになってい
る。したがって、この支持部材２２の移動により、支持
部材２２に取り付けられた洗浄具本体１０を角型基板１
の大きさに応じて、変位できるように構成されている。

【００１９】図４は、洗浄具本体１０を角型基板１側か
ら見た正面図である。同図に示すように、この支持部材
２２には、吸引部材２３が取り付けられるとともに、そ
の吸引部材２３の吸引口２３ａを挟んだ上下方向の上側
に３つの吐出ユニット５１ａ，５２ａ，５３ａとガスノ
ズル２５ａ（図３）とが設けられる一方、その下側に３
つの吐出ユニット５１ｂ，５２ｂ，５３ｂとガスノズル
２５ｂ（図３）とが設けられている。なお、図示を省略
するが、吸引部材２３には排気管を介して真空源が接続
されている。さらに、ガスノズル２５ａ，２５ｂそれぞ
れには、ガスとして窒素ガスを供給するガス供給管が接
続されている。

【００２０】図５は、吸引部材２３の吸引口２３ａを挟
んだ上下方向の上側に配列された３つの吐出ユニット５
１ａ，５２ａ，５３ａの配列関係を模式的に示した斜視
図である。同図に示すように、吐出ユニット５１ａ，５
２ａ，５３ａは基板１の主面端縁の長手方向Ｘ，（−
Ｘ）に沿って配列しており、以下の説明の便宜から、そ
れぞれ「第１の吐出ユニット５１ａ」，「第２の吐出ユ
ニット５２ａ」，「第３の吐出ユニット５３ａ」と称す
る。また、第１および第３の吐出ユニット５１ａ，５３
ａは、次に説明する第１のリンス液供給ユニットに接続
されており、選択的に第１のリンス液が供給され、その
選択された吐出ユニット（５１ａあるいは５３ａ）に設
けられたノズル５４から基板保持ユニット２に保持され
た基板１の端縁部分に吐出される一方、第２の吐出ユニ
ット５２ａは、次に説明する第２のリンス液供給ユニッ
トに接続されており、第２のリンス液が供給され、その
第２の吐出ユニット５２ａに設けられたノズル５４から
基板保持ユニット２に保持された基板１の端縁部分に吐
出されるように構成されている。

【００２１】なお、吸引部材２３の吸引口２３ａを挟ん
だ上下方向の下側に配列された３つの吐出ユニット５１
ｂ，５２ｂ，５３ｂについても、上側の吐出ユニット５
１ａ，５２ａ，５３ａと同様に構成されている。

【００２２】図６は、第１および第２のリンス液供給ユ
ニットの構成を示す概略ブロック図である。この実施例
では、リンス液として互いに種類の異なる第１および第
２のリンス液を用意し、第１のリンス液供給ユニット２
７ａから第１のリンス液を第１あるいは第３の吐出ユニ
ット５１ａ，５３ａに供給し、また第２のリンス液供給
ユニット２７ｂから第２のリンス液を第２の供給ユニッ
ト５２ａに供給するようにしている。なお、第１のリン
ス液供給ユニット２７ａから供給する第１のリンス液
と、第２のリンス液供給ユニット２７ｂから供給する第
２のリンス液との組み合わせてとしては、例えばＮ−メ
チル，２−ピロリドン（以下「ＮＭＰ」という）とメチ
ルイソブチルケトン（以下「ＭＩＢＫ」という）との組
み合わせがある。これ以外の、組み合わせとしては、例
えばジメチルホルムアミド（以下「ＤＭＦ」という）と
上記ＭＩＢＫとの組み合わせ、ジメチルアセトアミド
（以下「ＤＭＡｃ」という）と上記ＭＩＢＫとの組み合
わせ、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト（以下「ＥＣＡ」という）と上記ＭＩＢＫとの組み合
わせ等がある。

【００２３】第１のリンス液供給ユニット２７ａでは、
第１のリンス液を貯留するボトル２８ａが加圧タンク２
９ａに収納されている。この加圧タンク２９ａには、開
閉バルブ３０ａが取り付けられており、この開閉バルブ
３０ａを介して窒素ガスやエアーを加圧タンク２９ａに
導入すると、内圧が上昇し、ボトル２８ａ内の第１のリ
ンス液がチューブ３１ａを通ってトラップタンク３２ａ
に供給される。なお、このトラップタンク３２ａには、
エアー抜き用のバルブ３３ａが取り付けられている。

【００２４】トラップタンク３２ａはチューブ３４ａに
よってマニホールド３５ａと接続されており、トラップ
タンク３２ａに一時的に貯留された第１のリンス液がマ
ニホールド３５ａに与えられる。そして、マニホールド
３５ａから伸びる４本の分岐端３６ａ〜３９ａのうちの
分岐端３６ａには、流量計４０ａが接続されて、さらに
その流量計４０ａの出力側がエアーオペレート弁４１，
４３を介して第１および第３の吐出ユニット５１ａ，５
３ａとそれぞれ接続されている。そのため、エアーオペ
レート弁４１，４３を制御することにより、第１のリン
ス液を選択的に第１あるいは第３の吐出ユニット５１
ａ，５３ａに供給し、選択された吐出ユニット（５１ａ
あるいは５３ａ）から基板１の上面へ第１のリンス液が
吐出される。例えば、エアーオペレート弁４１を開成す
る一方、エアーオペレート弁４３を閉成した場合、第１
のリンス液供給ユニット２７ａからの第１のリンス液は
第１の吐出ユニット５１ａにのみ供給され、その吐出ユ
ニット５１ａのノズル５４から基板１に向けて吐出され
る。また、逆の場合には、第３の吐出ユニット５３ａが
選択されたこととなり、第３の吐出ユニット５３ａのノ
ズル５４から第１のリンス液が基板１に向けて吐出され
る。

【００２５】一方、第２のリンス液供給ユニット２７ｂ
では、ボトル２８ｂ内に第１のリンス液とは異なる種類
の第２のリンス液としての溶剤が貯留されている。ま
た、ボトル２８ｂからの第２のリンス液がエアーオペレ
ート弁４２を介して第２の吐出ユニット５２ａに供給さ
れるように構成されており、そのエアーオペレート弁４
２の開閉制御により第２の吐出ユニット５２ａへの第２
のリンス液の供給が制御される。なお、その他の構成は
上記第１のリンス液供給ユニット２７ａと同一構成であ
るため、相当符号を付して、その説明を省略する。

【００２６】なお、上記においては、吸引口２３ａの上
側に配置された吐出ユニット５１ａ，５２ａ，５３ａに
ついて説明したが、下側に配置された吐出ユニット５１
ｂ，５２ｂ，５３ｂについても同様に、第１および第２
のリンス液供給ユニット２７ａ，２７ｂと接続されてい
る。

【００２７】また、上記では、分岐端３６ａ，３６ｂに
関連する要素（流量計４０ａ，４０ｂ，エアーオペレー
ト弁４１，４２，４３）のみを図示しているが、その他
の分岐端３７ａ〜３９ａ，３７ｂ〜３９ｂにも同一要素
が設けられており、上記と同様にして、所定のリンス液
が供給されるように構成されている。

【００２８】次に、基板端縁洗浄装置の動作について具
体例（ポリイミド薄膜を除去する場合）を示しながら説
明する。

【００２９】図７は、基板端縁洗浄装置の動作を示すフ
ローチャートである。

【００３０】角型基板１へのポリイミド薄膜の形成が完
了すると、以下の処理が実行されて、基板端縁の洗浄処
理が行われる。なお、予め基板端縁洗浄装置には、ボト
ル２８ａに第１のリンス液として溶剤ＮＭＰを、またボ
トル２８ｂに第２のリンス液として溶剤ＭＩＢＫを貯留
しておく。また、薄膜形成完了時点では、エアーオペレ
ート弁４１〜４３はともに閉成されている。

【００３１】まず、ステップＳ１で、端縁洗浄処理を行
うために洗浄具本体１０を往動させる（Ｘ方向に移動す
る）か否かを判別する。このステップＳ１で、”ＹＥ
Ｓ”と判別すると、以下のステップＳ２〜Ｓ４を実行す
る。

【００３２】すなわち、ステップＳ２でエアーオペレー
ト弁４３を開成し、これによってボトル２８ａに貯留さ
れている第１のリンス液（ＮＭＰ）を第３の吐出ユニッ
ト５３ａ，５３ｂに供給し、それらのノズル５４から角
型基板１の両主面（表面，裏面）の端縁部に向けて吐出
することができる状態にする。つまり、洗浄具本体１０
の往動により基板の端縁洗浄処理を行う際には、第３の
吐出ユニット５３ａ，５３ｂを選択する。また同時に、
エアーオペレート弁４２を開成し、これによってボトル
２８ｂに貯留されている第２のリンス液（ＭＩＢＫ）を
第２の吐出ユニット５２ａ，５２ｂに供給し、それらの
ノズル５４から角型基板１の両主面（表面，裏面）の端
縁部に向けて吐出することができる状態にする。

【００３３】それに続いて、エアーオペレート弁４２，
４３を開成させた状態のままで、洗浄具本体１０をＸ方
向に移動させ（ステップＳ３）、角型基板１の両主面
（表面，裏面）の端縁部に向けて第１および第２のリン
ス液を吐出して、基板１の端縁洗浄処理を行う。

【００３４】ところで、この往動状態では、図５からわ
かるように、第２および第３の吐出ユニットの配列関係
から、各端縁部には、まず第１のリンス液（ＮＭＰ）が
吐出され、それに続いて第２のリンス液（ＭＩＢＫ）が
吐出される。ここで、この順序で互いに異なる種類のリ
ンス液を吐出する理由は、以下のことからである。つま
り、第１のリンス液（ＮＭＰ）のみにより端縁洗浄処理
を行うことも可能であるが、ＮＭＰは揮発性が比較的低
いので、第２のリンス液を吐出することなく、角型基板
１を充分に乾燥させるためには、第１のリンス液（ＮＭ
Ｐ）による端縁洗浄後、角型基板１をその状態（基板保
持ユニット２に載置された状態）で長時間放置しておく
必要がある。その結果、全体の処理時間が長くなってし
まう。また、ＮＭＰは乾燥しにくいため、その吐出領域
（基板端縁部）で「シミ」，「ムラ」などの不具合が生
じることがある。それに対し、この実施例のように、長
時間放置する代わりに、第１のリンス液（ＮＭＰ）を供
給した後、続けて第２のリンス液（ＭＩＢＫ）を供給す
ることにより、基板端縁洗浄処理に要する処理時間の短
縮化を図るとともに、上記不具合の発生を防止すること
ができるからである。

【００３５】上記のようにして、洗浄具本体１０がＸ方
向に移動（往動）し、第１の吐出ユニット５１ａ，５１
ｂが往動側の基板コーナＣ１（図５）を通過すると、エ
アーオペレート弁４２，４３をともに閉成して（ステッ
プＳ４）、処理を完了する。

【００３６】一方、ステップＳ１において、”ＮＯ”と
判別される、つまり洗浄具本体１０を（−Ｘ）方向に移
動（復動）させて基板端縁洗浄処理を行う場合には、ス
テップＳ５〜Ｓ７を実行する。すなわち、ステップＳ５
で、エアーオペレート弁４１を開成し、第１の吐出ユニ
ット５１ａ，５１ｂを選択し、これらの吐出ユニット５
１ａ，５１ｂのノズル５４から第１のリンス液（ＮＭ
Ｐ）を角型基板１の両主面（表面，裏面）の端縁部に向
けて吐出することができるようにする。また、それと同
時に、エアーオペレート弁４２を開成して、第２のリン
ス液（ＭＩＢＫ）を角型基板１の両主面（表面，裏面）
の端縁部に向けて吐出することができる状態にする。

【００３７】それに続いて、エアーオペレート弁４１，
４２を開成させた状態のままで、洗浄具本体１０を（−
Ｘ）方向に移動させ（ステップＳ６）、角型基板１の両
主面（表面，裏面）の端縁部に向けて第１および第２の
リンス液を吐出して、基板１の端縁洗浄処理を行う。な
お、この復動状態においても、図５からわかるように、
第１および第２の吐出ユニットの配列関係から、各端縁
部には、まず第１のリンス液（ＮＭＰ）が吐出され、そ
れに続いて第２のリンス液（ＭＩＢＫ）が吐出される。

【００３８】上記のようにして、洗浄具本体１０が（−
Ｘ）方向に移動（復動）に第３の吐出ユニット５３ａ，
５３ｂが復動側の基板コーナＣ２（図５）を通過する
と、エアーオペレート弁４１，４２をともに閉成して
（ステップＳ７）、処理を完了する。

【００３９】このように、この具体例によれば、ポリイ
ミド薄膜を溶解させるための溶剤（ＮＭＰ）と、揮発性
の高い溶剤（ＭＩＢＫ）とを用意し、第１のリンス液
（ＮＭＰ）でポリイミド薄膜を溶解した後、第２のリン
ス液（ＭＩＢＫ）をその溶解除去した領域に供給して短
時間で乾燥するようにしているので、基板端縁洗浄に要
する時間を大幅に短縮することができる。また、溶解処
理により基板端縁に残り「シミ」，「ムラ」の原因とな
る第１のリンス液（ＮＭＰ）を第２のリンス液（ＭＩＢ
Ｋ）で洗い流すため、上記不具合の発生を効果的に防止
することができる。

【００４０】なお、上記具体例では、第１および第２の
リンス液の組み合わせを（ＮＭＰ，ＭＩＢＫ）とした
が、その組み合わせはこれに限定されるものではなく、
上記したような各種の組み合わせによって基板端縁洗浄
処理を行うことができ、同様の効果が得られる。

【００４１】また、上記説明では、角型基板１の端縁部
に形成されたポリイミド薄膜を溶解除去する具体例につ
いて詳述しているが、この実施例にかかる基板端縁洗浄
装置はこれ以外の目的にも適用できる。例えば、カラー
レジストが形成された基板の端縁を洗浄する場合、カラ
ーレジストを溶解するためには互いに種類の異なる第１
および第２のリンス液を用いる必要があり、従来の基板
端縁洗浄装置では対応することができなかった。しか
し、上記のように構成された基板端縁洗浄装置によれ
ば、第１および第２のリンス液をそれぞれボトル２８
ａ，２８ｂに貯留し、上記のように予め決まられた順序
（第１のリンス液を吐出した後、第２のリンス液を吐出
するという順序）で基板端縁に吐出することによってカ
ラーレジストの溶解除去が可能となる。

【００４２】Ｂ．第２実施例

【００４３】上記第１実施例では、第１および第３の吐
出ユニット５１ａ，５１ｂ，５３ａ，５３ｂを第１のリ
ンス液供給ユニット２７ａに接続し、洗浄具本体１０の
往復動作に応じてエアーオペレート弁４１，４３の開閉
動作を制御することにより、選択的にどちらか一方の吐
出ユニットにのみ第１のリンス液を供給し、往動状態に
おいても復動状態においても、基板１の端縁に第１のリ
ンス液を第２のリンス液に先行して吐出させるようにし
ているが、これに限定されるものではない。すなわち、
図８に示すように、第１および第３の吐出ユニット５１
ａ，５１ｂ，５３ａ，５３ｂを第２のリンス液供給ユニ
ット２７ｂに接続し、洗浄具本体１０の往復動作に応じ
てエアーオペレート弁４１，４３の開閉動作を制御する
ことにより、選択的にどちらか一方の吐出ユニットにの
み第２のリンス液を供給し、往動状態においても復動状
態においても、基板１の端縁に第１のリンス液を第２の
リンス液に先行して吐出させるようにしてもよい。

【００４４】Ｃ．その他の実施例

【００４５】上記実施例では、例えば図５に示すよう
に、各吐出ユニットには３本のノズル５４が設けられて
いるが、ノズルの本数はこれに限定されるものではな
く、それ以外の本数（例えば、５本）とすることも可能
である。

【００４６】また、上記第１実施例では、第１ないし第
３の吐出ユニット５１ａ，５２ａ，５３ａをそれぞれ一
体的に形成しているが、それらの一つ、例えば図９に示
すように、第２の吐出ユニット５２ａを２つのブロック
Ｂ２１，Ｂ２２に分割してもよい。また、図１０に示す
ように、すべての吐出ユニット５１ａ，５２ａ，５３ａ
について、それぞれ２つのブロックＢ１１，Ｂ１２，Ｂ
２１，Ｂ２２，Ｂ３１，Ｂ３２に分割してもよい。逆
に、第１ないし第３の吐出ユニット５１ａ，５２ａ，５
３ａを一体化してもよい。

【００４７】また、上記説明では、２種類のリンス液を
用いて基板の端縁洗浄を行う場合について説明したが、
リンス液の種類は２種類に限定されるものではなく、３
種類以上のリンス液を決められた順序で吐出する場合に
も、本発明を適用することができることはいうまでもな
い。

【００４８】なお、上記実施例では、第１、第２の吐出
ノズルからリンス液として互いに種類の異なる溶剤を吐
出させて基板端縁を洗浄するように構成されていたが、
水溶性の材料からなる薄膜が基板上に形成されている場
合には、水もしくは湯などによって洗浄することができ
るので、第１の吐出ノズルからは、薄膜材料の種類に応
じて、溶剤の代わりに水、湯、アルカリ現像液等、他の
種類のリンス液を吐出するよう構成してもよい。

【００４９】さらに、上記実施例では、基板１の両主面
における端縁を洗浄するようにしているが、どちらか一
方主面の端縁のみを洗浄する場合にも本発明を適用する
ことができ、上記と同様の効果が得られる。

【００５０】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、第１および第
３の吐出手段のうちの一方に選択的に第１のリンス液を
供給し、選択された吐出手段より前記第１のリンス液を
主面端縁に向けて吐出する第１のリンス液供給手段と、
第２の吐出手段に第１のリンス液とは異なる第２のリン
ス液を供給し、前記第２の吐出手段より前記第２のリン
ス液を前記主面端縁に向けて吐出する第２のリンス液供
給手段とを設け、前記基板に対する前記第１ないし第３
の吐出手段の相対移動に際して、前記第１のリンス液の
供給先を切り換えて、往動状態においても復動状態にお
いても、前記基板の端縁に前記第１のリンス液を前記第
２のリンス液に先行して吐出させるようにしているの
で、第１および第２のリンス液をこの順序で基板端縁に
吐出して洗浄することができる。

【００５１】また、請求項２の発明によれば、第２の吐
出手段に第１のリンス液を供給し、前記第２の吐出手段
より前記第１のリンス液を前記主面端縁に向けて吐出す
る第１のリンス液供給手段と、第１および第３の吐出手
段のうちの一方に選択的に第１のリンス液とは異なる第
２のリンス液を供給し、選択された吐出手段より前記第
２のリンス液を前記主面端縁に向けて吐出する第２のリ
ンス液供給手段とを設け、前記基板に対する前記第１な
いし第３の吐出手段の相対移動に際して、前記第２のリ
ンス液の供給先を切り換えて、往動状態においても復動
状態においても、前記基板の端縁に前記第１のリンス液
を前記第２のリンス液に先行して吐出させるようにして
いるので、上記請求項１の発明と同様の効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる基板端縁洗浄装置の第１実施例
の全体概略平面図である。

【図２】図１の一部切欠拡大概略側面図である。

【図３】図１の要部の一部切欠拡大側面図である。

【図４】洗浄具本体を角型基板側から見た正面図であ
る。

【図５】第１ないし第３の吐出ユニットの配列関係を示
す斜視図である。

【図６】第１および第２のリンス液供給ユニットの構成
を示す概略ブロック図である。

【図７】第１実施例にかかる基板端縁洗浄装置の動作を
示すフローチャートである。

【図８】本発明にかかる基板端縁洗浄装置の第２実施例
を示す概略ブロック図である。

【図９】本発明にかかる基板端縁洗浄装置の他の実施例
を示すブロック図である。

【図１０】本発明にかかる基板端縁洗浄装置のさらに別
の他の実施例を示すブロック図である。

【符号の説明】

２７ａ 第１のリンス液供給ユニット ２７ｂ 第２のリンス液供給ユニット ５１ａ，５１ｂ 第１の吐出ユニット ５２ａ，５２ｂ 第２の吐出ユニット ５３ａ，５３ｂ 第３の吐出ユニット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方主面に薄膜が形成された基板を載置
   保持する基板保持手段と、 該基板保持手段によって保持された基板の両主面うちの
   少なくともいずれか一方の主面側で、該主面端縁の長手
   方向に沿って、この順序で配置された第１ないし第３の
   吐出手段と、 前記第１ないし第３の吐出手段を、前記基板に対し前記
   長手方向に相対往復移動させる移動機構と、 前記第１および第３の吐出手段のうちの一方に選択的に
   第１のリンス液を供給し、選択された吐出手段より前記
   第１のリンス液を前記主面端縁に向けて吐出する第１の
   リンス液供給手段と、 前記第２の吐出手段に第１のリンス液とは異なる第２の
   リンス液を供給し、前記第２の吐出手段より前記第２の
   リンス液を前記主面端縁に向けて吐出する第２のリンス
   液供給手段とを備え、 前記基板に対する前記第１ないし第３の吐出手段の相対
   移動に際して、前記第１のリンス液の供給先を切り換え
   て、往動状態においても復動状態においても、前記基板
   の端縁に前記第１のリンス液を前記第２のリンス液に先
   行して吐出させることを特徴とする基板端縁洗浄装置。
2. 【請求項２】 一方主面に薄膜が形成された基板を載置
   保持する基板保持手段と、 該基板保持手段によって保持された基板の両主面うちの
   少なくともいずれか一方の主面側で、該主面端縁の長手
   方向に沿って、この順序で配置された第１ないし第３の
   吐出手段と、 前記第１ないし第３の吐出手段を、前記基板に対し前記
   長手方向に相対往復移動させる移動機構と、 前記第２の吐出手段に第１のリンス液を供給し、前記第
   ２の吐出手段より前記第１のリンス液を前記主面端縁に
   向けて吐出する第１のリンス液供給手段と、 前記第１および第３の吐出手段のうちの一方に選択的に
   第１のリンス液とは異なる第２のリンス液を供給し、選
   択された吐出手段より前記第２のリンス液を前記主面端
   縁に向けて吐出する第２のリンス液供給手段とを備え、 前記基板に対する前記第１ないし第３の吐出手段の相対
   移動に際して、前記第２のリンス液の供給先を切り換え
   て、往動状態においても復動状態においても、前記基板
   の端縁に前記第１のリンス液を前記第２のリンス液に先
   行して吐出させることを特徴とする基板端縁洗浄装置。