JPH06282831A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
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- JPH06282831A JPH06282831A JP6833893A JP6833893A JPH06282831A JP H06282831 A JPH06282831 A JP H06282831A JP 6833893 A JP6833893 A JP 6833893A JP 6833893 A JP6833893 A JP 6833893A JP H06282831 A JPH06282831 A JP H06282831A
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置に搭
載される磁気ヘッドに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head mounted on a magnetic disk device.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、磁気ディスク装置の利用が盛んで
あり、磁気ディスク面の耐久性を考慮して浮上式スライ
ダが広く使われる。このスライダは一般的に正圧スライ
ダとよばれ、薄い板バネからできたサスペンションに支
持され、磁気ディスク上を微小隙間を持って浮上するも
のである。一般的に磁気ディスク装置はCSS(コンタ
クトスタートストップ)と呼ばれる機構を採用してお
り、正圧スライダは非動作時には磁気ディスクに接触し
ているために、回転起動時および停止時には磁気ヘッド
が磁気ディスク上を摺動し、その結果、スライダとディ
スク間で摩耗粉が発生しているため、装置を立ち上げて
も磁気ディスクとスライダが張り付いてまわらなくなる
という吸着現象が発生した。このため、非動作時におい
ても磁気ディスクとスライダが接触しないロードアンロ
ード機構が考案された。ロードアンロード機構を図2を
用いて説明する。図2において左側はディスク装置の側
面図、右側には平面図を表す。1は磁気ヘッド、2は磁
気ディスク、3は磁気ヘッド1を支持するサスペンショ
ン、4はロードアンロードを行うためのロードバー、5
はサスペンション3を支持するためのアームである。ロ
ードバー4の側面図を図3に示す。ロードバー4は磁気
ディスク2に対して平行な部分4−Hと、傾斜を持つ部
分4−Kを持つ。図2(A)に示すように、非動作時にお
いては磁気ディスク2と磁気ヘッド1は非接触であり、
磁気ヘッド1は磁気ディスク2の半径方向の外側であっ
て、磁気ディスク表面の存在する平面上より離れた空間
上に配置される。この状態から、モータを回転させた
後、サスペンション3を支持するアーム5をアーム5の
支点を中心にディスク側へ回転させ、磁気ヘッド1を磁
気ディスク2側に移動させると、サスペンション3はロ
ードバー4の平行な部分4−Hを滑り、やがて傾斜部4
−Kに到達し傾斜に沿って滑っていく。さらにアーム5
が回転すると、サスペンション3を支持していたロード
バー4からロックが解け、磁気ヘッド1は磁気ディスク
2側へと変位をし、やがて磁気ヘッド1は磁気ディスク
2上を浮上する(図2(B),(C))。一方、磁気ヘッド1を
磁気ディスク2からアンロードするときは、装置の電源
を切ったとき、アーム5がアーム5の支点を中心に磁気
ディスク外周の方へ回転し、サスペンション3がロード
バー4の傾斜部4−K上に引っかかり、サスペンション
3は斜面に沿って磁気ディスク2から遠ざかり、磁気ヘ
ッド1は磁気ディスク2からアンロードできる(図2
(D))。そして、図2(A)に示す初めの状態へ戻る。2. Description of the Related Art In recent years, magnetic disk devices have been widely used, and floating sliders are widely used in consideration of the durability of the magnetic disk surface. This slider is generally called a positive pressure slider, and is supported by a suspension made of a thin leaf spring and floats above the magnetic disk with a minute gap. Generally, a magnetic disk device employs a mechanism called CSS (contact start stop). Since the positive pressure slider is in contact with the magnetic disk when it is not operating, the magnetic head has a magnetic disk when starting and stopping rotation. As a result of sliding on the slider, and as a result, abrasion powder was generated between the slider and the disk, an adsorption phenomenon occurred in which the magnetic disk and the slider were stuck to each other even when the apparatus was started up and could not be rolled. Therefore, a load / unload mechanism has been devised in which the magnetic disk and the slider do not come into contact with each other even when not in operation. The load / unload mechanism will be described with reference to FIG. In FIG. 2, the left side is a side view of the disk device, and the right side is a plan view. Reference numeral 1 is a magnetic head, 2 is a magnetic disk, 3 is a suspension for supporting the magnetic head 1, 4 is a load bar for performing load / unload, and 5 is a load bar.
Is an arm for supporting the suspension 3. A side view of the load bar 4 is shown in FIG. The load bar 4 has a portion 4-H parallel to the magnetic disk 2 and a portion 4-K having an inclination. As shown in FIG. 2A, the magnetic disk 2 and the magnetic head 1 are in non-contact with each other during non-operation,
The magnetic head 1 is arranged on the outer side in the radial direction of the magnetic disk 2 and in a space apart from the plane on which the surface of the magnetic disk exists. From this state, after rotating the motor, the arm 5 supporting the suspension 3 is rotated to the disk side around the fulcrum of the arm 5 and the magnetic head 1 is moved to the magnetic disk 2 side. 4 slide in parallel section 4-H, and eventually slope 4
-K is reached and slides along the slope. Further arm 5
When is rotated, the lock is released from the load bar 4 supporting the suspension 3, the magnetic head 1 is displaced to the magnetic disk 2 side, and the magnetic head 1 floats above the magnetic disk 2 (see FIG. 2 (B ), (C)). On the other hand, when unloading the magnetic head 1 from the magnetic disk 2, when the power of the apparatus is turned off, the arm 5 rotates around the fulcrum of the arm 5 toward the outer circumference of the magnetic disk, and the suspension 3 moves to the load bar 4. The suspension 3 is caught on the inclined portion 4-K, the suspension 3 moves away from the magnetic disk 2 along the slope, and the magnetic head 1 can be unloaded from the magnetic disk 2 (see FIG. 2).
(D)). Then, the process returns to the initial state shown in FIG.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】以上のようにロードア
ンロードを採用したことにより、CSSによる摩耗ある
いは吸着といった問題点は解決されたが、新たな問題点
が発生した。それはアッセンブリ誤差による磁気ヘッド
の磁気ディスクに対する相対姿勢のばらつきである。磁
気ヘッドが磁気ディスクに対して大きく傾いたときは、
アンロード時に磁気ヘッドが磁気ディスクに近づいてい
くとき、磁気ヘッドと磁気ディスクは接触し、磁気ヘッ
ドは磁気ディスク表面に傷つけてしまうという問題があ
った。As described above, by adopting the load / unload, the problems such as wear and adsorption due to CSS have been solved, but new problems have occurred. It is a variation in the relative attitude of the magnetic head with respect to the magnetic disk due to an assembly error. When the magnetic head is greatly tilted with respect to the magnetic disk,
When the magnetic head approaches the magnetic disk during unloading, the magnetic head and the magnetic disk come into contact with each other and the magnetic head damages the surface of the magnetic disk.
【0004】本発明は上記従来の問題を解決するもの
で、信頼性を向上させ、磁気ヘッドと磁気ディスクが接
触して磁気ディスクに傷が入らない磁気ヘッドを提供す
ることを目的とするものである。The present invention solves the above conventional problems, and an object of the present invention is to provide a magnetic head having improved reliability and in which the magnetic head and the magnetic disk do not come into contact with each other to damage the magnetic disk. is there.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、磁気ヘッド表面の粗さを除去するために磁気
ヘッドの側面に沿ってラップなどをかけ、表面粗さRa
が3nm以下となるようにした。また浮上面と浮上面に対
して垂直に交わる側面との間の稜線上には曲面加工を施
した。In order to achieve the above object, the present invention provides a surface roughness Ra by applying a lap along the side surface of the magnetic head in order to remove the roughness of the magnetic head surface.
Was set to 3 nm or less. In addition, curved surface processing was performed on the ridgeline between the air bearing surface and the side surface perpendicular to the air bearing surface.
【0006】[0006]
【作用】したがって本発明によれば、磁気ヘッドが磁気
ディスクに近づいて浮上を始める際、磁気ヘッドが磁気
ディスクに当たっても磁気ディスクにダメージを与えず
浮上に至る。Therefore, according to the present invention, when the magnetic head approaches the magnetic disk and starts to fly, even if the magnetic head hits the magnetic disk, it does not damage the magnetic disk and reaches the flying.
【0007】[0007]
【実施例】図1は本発明の一実施例における磁気ヘッド
の図面である。図9に従来の磁気ヘッドを示す。この従
来の磁気ヘッドの外側エッジは機械加工により加工さ
れ、また浮上面は微小砥粒を用いたラップ装置により、
機械加工中に生じた表面の凹凸を除去している。従来の
工程ではここで磁気ヘッド加工は終わりであったが、本
発明は浮上面と垂直な側面(1b,1c,1d)においても
ラップ工程を設けることを特徴としている。ラップの仕
方は従来と変わらない。さらに、ランプの終わった磁気
ヘッドにブレンド加工と呼ぶ加工を施す。浮上面と、浮
上面に対して垂直である側面の間に存在する稜線は、従
来の磁気ヘッドのままだと垂直な断面を持っており、こ
のするどい部分で磁気ディスクがこすられた場合、磁気
ディスクには微小な傷が入り、それが連続的に起こる
と、やがてクラッシュにつながることがあった。そこで
稜線に丸みを持たせることにより、磁気ヘッドが磁気デ
ィスクと接触した際も衝撃力をやわらげる効果を持たせ
る。図4にブレンド加工機の略図を示す。図4におい
て、6は本体のステージ、7は磁気ヘッドを加工するた
めのラッピングテープであり、表面には砥粒を含みステ
ージ6の上に位置する。1は磁気ヘッド、8は磁気ヘッ
ド1が両面テープなどで固定される磁気ヘッド取り付け
部分で材質はゴムのような弾性体である。磁気ヘッド1
が取り付けられる場合、磁気ヘッド1の浮上面が下側
に、すなわちラッピングシート側に向くように磁気ヘッ
ド取り付け部分8に取り付けられる。9は重石であり加
工量に応じて質量は調整される。以上のように構成した
装置の重石9を上下方向に加振する。振動は弾性体を通
じ磁気ヘッド1へ至り、磁気ヘッド1は加振力に応じて
振動を起こす。このとき磁気ヘッド1の下には加工用ラ
ッピングテープ7があるので磁気ヘッド1が振動する
際、磁気ヘッド1は加工されることになる。こうしてで
きた磁気ヘッドが従来の磁気ヘッドに比べ、どのくらい
信頼性が高くなったかを次に示す。1 is a drawing of a magnetic head according to an embodiment of the present invention. FIG. 9 shows a conventional magnetic head. The outer edge of this conventional magnetic head is machined, and the air bearing surface is lapped using fine abrasive grains.
The irregularities on the surface generated during machining are removed. Although the magnetic head processing is finished here in the conventional process, the present invention is characterized in that the lapping process is also provided on the side surfaces (1b, 1c, 1d) perpendicular to the air bearing surface. The way to wrap is the same as before. Further, a process called blending is performed on the magnetic head after the ramp. The ridgeline that exists between the air bearing surface and the side surface that is perpendicular to the air bearing surface has a vertical cross section when it is the same as the conventional magnetic head. The disc had microscopic scratches, and if it happened continuously, it could eventually lead to a crash. Therefore, by making the ridge line round, the impact force can be softened even when the magnetic head comes into contact with the magnetic disk. FIG. 4 shows a schematic view of the blend processing machine. In FIG. 4, 6 is a stage of the main body, 7 is a wrapping tape for processing a magnetic head, and the surface of the wrapping tape contains abrasive grains and is located on the stage 6. Reference numeral 1 is a magnetic head, and 8 is a magnetic head mounting portion to which the magnetic head 1 is fixed with a double-sided tape or the like, and the material is an elastic body such as rubber. Magnetic head 1
Is attached to the magnetic head attachment portion 8 so that the air bearing surface of the magnetic head 1 faces downward, that is, toward the wrapping sheet. Reference numeral 9 is a weight and its mass is adjusted according to the processing amount. The weight 9 of the apparatus configured as described above is vertically vibrated. The vibration reaches the magnetic head 1 through the elastic body, and the magnetic head 1 vibrates according to the exciting force. At this time, since the lapping tape 7 for processing is located under the magnetic head 1, the magnetic head 1 is processed when the magnetic head 1 vibrates. The degree of reliability of the magnetic head thus formed is higher than that of the conventional magnetic head.
【0008】(1) 表面粗さの効果の実験 全長が4mm,全幅が3mm,全高が1mmである磁気ヘッド
のスライダ材料と同一材料からなり、かつ表面粗さが異
なる種々の試験片を作製する。なお、1つの試験片で
は、すべての面で表面粗さは同一にした。実験では材質
としてMnZnFerriteを用いた。それぞれの試験片をサ
スペンションにアッセンブリをして回転している磁気デ
ィスク上で摺動試験を行う。この際、試験片の姿勢を磁
気ディスクに対して傾けて、図5に示すようにピッチン
グ方向にもローリング方向にも60μmの姿勢をとる。10
は試験片である。サスペンションを取り付けるアーム上
には試験片と磁気ディスクの接触のレベルを測定するた
めに、AE(acoustic emission)センサを取り付ける。
この状態で試験片10を磁気ディスク上で摺動試験を行
い、種々の試験片でAE出力の電圧値を測定した。その
結果を図8に示す。図8から分かるように、表面粗さR
aが小さいほどAE出力は小さくなっている。しかし、
3nm以下ではAE出力は低い値のまま、ほぼ一定になっ
ている。そこでAE出力と信頼性の関係を調べるため、
表面粗さRaが1nm程度のものと100nm程度の2種類を上
に記した実験を断続して行い、クラッシュするまでの時
間を調べた。結果はAE出力とともに表1にまとめる。(1) Experiment of Effect of Surface Roughness Various test pieces made of the same material as the slider material of the magnetic head having a total length of 4 mm, a total width of 3 mm and a total height of 1 mm and different surface roughness are prepared. . In one test piece, the surface roughness was the same on all surfaces. In the experiment, MnZn Ferrite was used as the material. Each test piece is assembled to a suspension and a sliding test is performed on a rotating magnetic disk. At this time, the posture of the test piece is tilted with respect to the magnetic disk so that the posture is 60 μm in both the pitching direction and the rolling direction as shown in FIG. Ten
Is a test piece. An AE (acoustic emission) sensor is mounted on the arm to which the suspension is mounted in order to measure the level of contact between the test piece and the magnetic disk.
In this state, the test piece 10 was subjected to a sliding test on the magnetic disk, and various test pieces were used to measure the voltage value of the AE output. The result is shown in FIG. As can be seen from FIG. 8, the surface roughness R
The smaller a is, the smaller the AE output is. But,
Below 3 nm, the AE output remains low and almost constant. Therefore, to investigate the relationship between AE output and reliability,
The above-described experiments were conducted intermittently for two types of the surface roughness Ra of about 1 nm and about 100 nm, and the time until the crash was investigated. The results are summarized in Table 1 along with the AE output.
【0009】[0009]
【表1】 [Table 1]
【0010】この表からわかるように、表面粗さRaの
小さいものは接触力は小さく、クラッシュしにくい。一
方、表面粗さRaの大きなものは接触力が大きく、クラ
ッシュしやすい。つまり、クラッシュ到達時間を決める
のはAE出力電圧値で代表される試験片と磁気ディスク
の接触力であり、その接触力を決めるのが表面粗さであ
り、表面粗さが小さいほど接触力は小さくなる。ここで
は代表として表面粗さが1nm程度のものしか行っていな
いが、AE出力がほぼ同じである表面粗さが3nm以下の
ものについてもほとんど同様な結果が得られることが予
想される。As can be seen from this table, those having a small surface roughness Ra have a small contact force and are unlikely to crash. On the other hand, those having a large surface roughness Ra have a large contact force and are apt to crash. In other words, it is the contact force between the test piece represented by the AE output voltage value and the magnetic disk that determines the crash arrival time, and the surface roughness that determines the contact force. The smaller the surface roughness, the smaller the contact force. Get smaller. Here, as a representative, only the surface roughness of about 1 nm is performed, but it is expected that almost the same results can be obtained for the surface roughness of 3 nm or less, which has almost the same AE output.
【0011】ただ、磁気ヘッドの浮上面での表面粗さR
aが信頼性に関与しているということを上記で示した
が、側面の表面粗さRaが信頼性に関与するかどうかに
ついては、図6を用いて説明する。ロードアンロードに
おいては、磁気ヘッドが磁気ディスク上を浮上を始める
直前の磁気ヘッドの磁気ディスクに対する姿勢はできる
だけ平行に近いというのが理想的ではあるが、実際は加
工誤差,組立誤差などにより、100μm以上もずれてしま
うこともある。そのとき図6(A)に示すように側面にラ
ップをしない従来例の場合は、側面の表面がディスクに
影響を与え、信頼性を低くする。一方、図6(B)に示す
本発明のように側面にラップをかけて表面粗さRaを小
さくした場合、たとえ組立誤差,加工誤差により姿勢が
大きく傾いても磁気ヘッドの側面も表面粗さRaを小さ
くしてあるので信頼性を低下させることはない。以上示
したように、磁気ヘッドをロードアンロードで使用する
場合、磁気ヘッドの側面におけるラップ加工は信頼性向
上のためには大きな効果をもたらす。However, the surface roughness R on the air bearing surface of the magnetic head
Although it has been shown above that a is involved in reliability, whether or not the surface roughness Ra on the side surface is involved in reliability will be described with reference to FIG. When loading and unloading, it is ideal that the posture of the magnetic head with respect to the magnetic disk should be as close to parallel as possible just before the magnetic head starts to fly over the magnetic disk. It may slip out. At this time, in the case of the conventional example in which the side surface is not wrapped as shown in FIG. 6 (A), the surface of the side surface affects the disk and lowers the reliability. On the other hand, when the surface roughness Ra is reduced by wrapping the side surface as in the present invention shown in FIG. 6B, the side surface of the magnetic head also has a surface roughness even if the posture is greatly inclined due to an assembly error or a processing error. Since Ra is made small, the reliability is not lowered. As described above, when the magnetic head is used for loading and unloading, lapping on the side surface of the magnetic head has a great effect for improving reliability.
【0012】(2)ブレンド加工の効果 前項(1)に書いた側面ランプヘッドにさらにブレンド加
工を施した磁気ヘッドについて従来例と比較してみる。
全長が4mm,全幅が3mm,全高が1mmである磁気ヘッド
のスライダ材料と同一材料からなる試験片を作り、この
全面にラップをかけ、Ra=1nm程度とする。この試験
片を浮上面側にブレンド加工を施したものと、そのまま
のものに分け、サスペンションにアッセンブリをして回
転している磁気ディスク上で摺動試験を行う。この際、
試験片の姿勢を磁気ディスクに対して傾け、図5に示す
ようにピッチング方向にもローリング方向にも60μmの
姿勢をとる。10は試験片である。サスペンションを取り
付けるアーム上には試験片と磁気ディスクの接触のレベ
ルを測定するためのAEセンサを取り付ける。この状態
で試験片10を磁気ディスク上で摺動試験を行い、2つの
試験片でAE出力の電圧値とクラッシュに至るまでの時
間を表2に示す。(2) Effect of blending processing A magnetic head obtained by further blending the side ramp head described in (1) above will be compared with a conventional example.
A test piece made of the same material as the slider material of the magnetic head having a total length of 4 mm, a total width of 3 mm and a total height of 1 mm is prepared, and the entire surface is lapped so that Ra = 1 nm. This test piece is divided into one with a blending process on the air bearing surface side and the other as it is, and an assembly is performed on the suspension to perform a sliding test on a rotating magnetic disk. On this occasion,
The posture of the test piece is tilted with respect to the magnetic disk, and the posture is set to 60 μm in both the pitching direction and the rolling direction as shown in FIG. 10 is a test piece. An AE sensor for measuring the contact level between the test piece and the magnetic disk is mounted on the arm on which the suspension is mounted. In this state, the test piece 10 was subjected to a sliding test on the magnetic disk, and Table 2 shows the voltage value of the AE output and the time until the crash with the two test pieces.
【0013】[0013]
【表2】 [Table 2]
【0014】この表2から分かるようにブレンド加工有
のものは、ブレンド加工無しのものに比べて、接触力は
小さくクラッシュしにくい。これは、試験片と磁気ディ
スクの接触の仕方に違いがあるためである。ブレンド加
工無し試験片はエッジが直角であるのに対して(図7
(A))、ブレンド加工試験片は丸みを持っているため(図
7(B))磁気ディスクに対してはソフトでありダメージは
小さい。このことが信頼性の差となって表れてくると思
われる。As can be seen from Table 2, the one with blend processing has a smaller contact force than the one without blend processing and is less likely to crash. This is because there is a difference in the manner of contact between the test piece and the magnetic disk. The edges of the unblended test pieces have right angles (Fig. 7).
(A)), since the blended test piece has roundness (FIG. 7 (B)), the magnetic disk is soft and the damage is small. This seems to be a difference in reliability.
【0015】上記本発明のように、磁気ヘッドの側面の
表面粗さを小さくすることによって従来例よりも信頼性
が高くなる。またブレンド加工を施すことにより一層の
高信頼性が約束される。なお、実験ではスライダ材質を
MnZnFerriteとしたが、他の材質を用いても同様な効
果がある。By reducing the surface roughness of the side surface of the magnetic head as in the present invention, the reliability becomes higher than that of the conventional example. In addition, the blending process promises higher reliability. Although the slider material is MnZnFerrite in the experiment, the same effect can be obtained by using other materials.
【0016】[0016]
【発明の効果】本発明は上記実施例から明らかなよう
に、磁気ヘッドの側面にラップをかけて表面粗さRaを
3nm以下にすることにより、ロードアンロード時の信頼
性が向上する。また、その磁気ヘッドにブレンド加工を
施せば、より一層の高信頼性が約束される等の効果を有
する。As is apparent from the above embodiment, the present invention improves the reliability during load / unload by wrapping the side surface of the magnetic head so that the surface roughness Ra is 3 nm or less. Further, if the magnetic head is subjected to blending processing, there is an effect that higher reliability is promised.
【図1】本発明の一実施例における磁気ヘッドの図面で
ある。FIG. 1 is a drawing of a magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図2】磁気ヘッドのローディング状態を示す側面図お
よび正面図である。FIG. 2 is a side view and a front view showing a loading state of a magnetic head.
【図3】ロードバーを表す図である。FIG. 3 is a diagram showing a load bar.
【図4】ブレンド加工機の側面図である。FIG. 4 is a side view of the blend processing machine.
【図5】実験時の試験片のディスクに対する姿勢の設定
を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing setting of a posture of a test piece with respect to a disc during an experiment.
【図6】従来と本発明における磁気ヘッドが磁気ディス
クと接触する状態を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a state in which a magnetic head according to the related art and the present invention are in contact with a magnetic disk.
【図7】本発明におけるブレンド有り・無しの磁気ヘッ
ドに対応する試験片が磁気ディスクと接触する状態を示
す図である。FIG. 7 is a view showing a state in which a test piece corresponding to a magnetic head with / without blend according to the present invention is in contact with a magnetic disk.
【図8】表面粗さとAE出力の関係を表す図である。FIG. 8 is a diagram showing a relationship between surface roughness and AE output.
【図9】従来の磁気ヘッドの図面である。FIG. 9 is a drawing of a conventional magnetic head.
1…磁気ヘッド、 2…磁気ディスク、 3…サスペン
ション、 4…ロードバー、 5…アーム、 6…ステ
ージ、 7…ラッピングテープ、 8…磁気ヘッド取り
付け部分、 9…重石、 10…試験片。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic head, 2 ... Magnetic disk, 3 ... Suspension, 4 ... Load bar, 5 ... Arm, 6 ... Stage, 7 ... Wrapping tape, 8 ... Magnetic head attachment part, 9 ... Weights, 10 ... Test piece.
Claims (3)
ドにおいて、磁気ディスクと向かい合う浮上面および前
記浮上面にぼぼ直角な位置関係にある側面であって、前
記磁気ヘッド走行方向とぼぼ平行な2つの側面および前
記磁気ヘッドが浮上するための空気が流入する側の側面
および前記浮上面と反対側の面の計5面の表面粗さRa
が3nm以下であることを特徴とする磁気ヘッド。1. A magnetic head for use in a magnetic disk device, wherein an air bearing surface facing a magnetic disk and two side surfaces having a positional relationship at a right angle to said air bearing surface are substantially parallel to said magnetic head running direction. And a surface roughness Ra of a total of five surfaces, namely, a side surface on the side where air for floating the magnetic head flows in and a surface opposite to the air bearing surface.
Of 3 nm or less.
ドにおいて、磁気ディスクと向かい合う浮上面および前
記浮上面にぼぼ直角な位置関係にある側面であって、前
記磁気ヘッド走行方向とぼぼ平行な2つの側面および前
記磁気ヘッドが浮上するための空気が流入する側の側面
の計4面の表面粗さRaが3nm以下であることを特徴と
する磁気ヘッド。2. A magnetic head used in a magnetic disk device, wherein an air bearing surface facing a magnetic disk and two side surfaces which are in a positional relationship at a right angle to the air bearing surface and which are substantially parallel to the running direction of the magnetic head. A magnetic head having a total surface roughness Ra of 3 nm or less on a side surface on a side on which air for inflowing the magnetic head flows in.
ドにおいて、浮上面と浮上面に対して直角な位置関係に
ある側面との間の稜線部分が緩やかな曲面を描くことを
特徴とする請求項1または2記載の磁気ヘッド。3. A magnetic head used in a magnetic disk device, wherein a ridge line portion between an air bearing surface and a side surface having a positional relationship perpendicular to the air bearing surface draws a gentle curved surface. Alternatively, the magnetic head described in 2.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6833893A JPH06282831A (en) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6833893A JPH06282831A (en) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | Magnetic head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06282831A true JPH06282831A (en) | 1994-10-07 |
Family
ID=13370961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6833893A Pending JPH06282831A (en) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | Magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06282831A (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6040959A (en) * | 1997-12-17 | 2000-03-21 | Tdk Corporation | Slider with blunt edges |
US6162114A (en) * | 1997-12-17 | 2000-12-19 | Tdk Corporation | Slider processing method and apparatus |
US6257959B1 (en) | 1998-09-25 | 2001-07-10 | Tdk Corporation | Apparatus and method for processing slider, load applying apparatus and auxiliary device for processing slider |
US6398623B1 (en) | 1999-04-12 | 2002-06-04 | Tdk Corporation | Processing method of device and processing method of slider |
US6452750B1 (en) | 1999-04-30 | 2002-09-17 | Tdk Corporation | Slider including a rail having a concave end and method of manufacturing same |
CN100419858C (en) * | 1998-09-25 | 2008-09-17 | Tdk株式会社 | Slider processing apparatus and auxiliary device for processing slider |
-
1993
- 1993-03-26 JP JP6833893A patent/JPH06282831A/en active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6040959A (en) * | 1997-12-17 | 2000-03-21 | Tdk Corporation | Slider with blunt edges |
US6162114A (en) * | 1997-12-17 | 2000-12-19 | Tdk Corporation | Slider processing method and apparatus |
US6257959B1 (en) | 1998-09-25 | 2001-07-10 | Tdk Corporation | Apparatus and method for processing slider, load applying apparatus and auxiliary device for processing slider |
US6361399B2 (en) | 1998-09-25 | 2002-03-26 | Tdk Corporation | Slider processing apparatus, load applying apparatus and auxiliary device for processing slider |
CN100419858C (en) * | 1998-09-25 | 2008-09-17 | Tdk株式会社 | Slider processing apparatus and auxiliary device for processing slider |
US6398623B1 (en) | 1999-04-12 | 2002-06-04 | Tdk Corporation | Processing method of device and processing method of slider |
US6452750B1 (en) | 1999-04-30 | 2002-09-17 | Tdk Corporation | Slider including a rail having a concave end and method of manufacturing same |
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