JPH06281988A - 防振光学装置 - Google Patents

防振光学装置

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JPH06281988A
JPH06281988A JP7063393A JP7063393A JPH06281988A JP H06281988 A JPH06281988 A JP H06281988A JP 7063393 A JP7063393 A JP 7063393A JP 7063393 A JP7063393 A JP 7063393A JP H06281988 A JPH06281988 A JP H06281988A
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JP
Japan
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vibration
objective lens
focusing
lens system
lens group
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JP7063393A
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English (en)
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Atsushi Shibayama
敦史 芝山
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】防振光学装置の提供。 【構成】 本発明における発明は、少なくとも2群以上
のレンズ群を有する対物レンズ系と、ブレを検出する振
動検出手段とを有し、前記対物レンズ系の最も物体側の
レンズ群以外の位置に振動補正手段を有し、対物レンズ
系の少なくとも一部がこの対物レンズ系の光軸方向に移
動し、対物レンズ系の可動レンズ群の移動量を検知する
少なくとも一つの移動量検知手段と、移動量検知手段か
らの信号と振動検出手段からの信号に基づいて振動補正
手段の駆動量を演算する演算手段を設けた構成である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、手ブレ等の振動により
光学機器の画面がブレるのを補正する装置に関し、特に
カメラ、ビデオカメラ、望遠鏡等に好適な防振光学装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、特開平1−191112号公報に
開示されるように、ズームレンズ中の一部のレンズ群を
光軸と直交する方向に移動させて防振を行なうズームレ
ンズにおいて、ズームレンズの変倍状態に応じて、振動
が生じた時に、その振動を補正するための補正量を制御
する防振光学系が提案されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、振動を補正す
る防振時に移動するレンズ群(以下、防振レンズ群とい
う。)が最も物体側に位置しない場合、無限遠合焦時と
近距離合焦時とでは、同一のブレ角に対する防振群の理
想的な移動量が異なる。このため、特開平1−1911
12号公報で提案された振動補正量で近距離合焦時の防
振を行なうと十分な防振効果が得られない場合があっ
た。
【0004】本発明の目的は、変倍や合焦等による対物
レンズ系の状態の変化に応じた最適な振動補正状態を実
現できる防振光学装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明における発明は、
少なくとも2群以上のレンズ群を有する対物レンズ系
と、ブレを検出する振動検出手段とを有し、前記対物レ
ンズ系の最も物体側のレンズ群以外の位置に振動補正手
段を有し、対物レンズ系の少なくとも一部がこの対物レ
ンズ系の光軸方向に移動し、対物レンズ系の可動レンズ
群の移動量を検知する少なくとも一つの移動量検知手段
と、移動量検知手段からの信号と振動検出手段からの信
号に基づいて振動補正手段の駆動量を演算する演算手段
を設けた構成である。
【0006】そして振動補正手段は、対物レンズ系の最
も物体側のレンズ群以外のレンズ群を該対物レンズ系の
光軸とほぼ直交する方向に偏心させるように駆動させる
ものである。さらに、本発明においては、合焦をおこな
うための合焦手段を有し、この合焦手段は、対物レンズ
系の少なくとも一部をこの対物レンズ系の光軸方向に移
動させて合焦を行なうものである。
【0007】また、本発明における発明は、少なくとも
2群以上のレンズ群を有する対物レンズ系と、ブレを検
出する振動検出手段とを有し、前記対物レンズ系の最も
物体側のレンズ群以外の位置に振動補正手段を有し、対
物レンズ系の少なくとも一部がこの対物レンズ系の光軸
方向に移動して合焦をおこなうための合焦手段と、焦点
距離を変化させるための焦点距離変更手段とを有する構
成であり、対物レンズ系の可動レンズ群の移動量を検知
する少なくとも一つの移動量検知手段と、移動量検知手
段からの信号と振動検出手段からの信号に基づいて振動
補正手段の駆動量を演算する演算手段とを設けた構成で
ある。
【0008】そして焦点距離変更手段は、前記対物レン
ズ系の少なくとも一部を該対物レンズ系の光軸方向に移
動させて焦点距離の変化を行うものである。
【0009】
【作用】本発明においては、k個(2≦k)のレンズ群
より成る対物レンズ系において、物体側より順に第j番
目(2≦j≦k)の防振レンズ群Gj を光軸と直交する
方向に移動させて振動の補正を行なう。このとき、各レ
ンズ群の前後の媒質の屈折率nをn=1とすると、各レ
ンズ群の前側主点Hと後側主点H'は、それぞれ前側節
点Nと後側節点N'に一致する。以下の説明において、
各レンズ群の前側節点Nと後側節点N'は、前側主点H
と後側主点H'にそれぞれ一致するものとして、以下、
前側主点Hと後側主点H'を用いて説明を行う。
【0010】図1に示すように、対物レンズ系を任意の
k個のレンズ群で構成している状態において、物体側か
ら数えて第i番目(i=1,2,3,・・・)のレンズ
群Gi の後側主点Hi'と、第i+1番目のレンズ群Gi+
1 の前側主点Hi+1 との間隔をei とし、第k番目のレ
ンズ群Gk の後側主点Hk'と像面Mとの間隔をek と
し、第i番目のレンズ群Gi の屈折力をφi とする。
【0011】近軸軸上光線Rが上記のような対物レンズ
系に入射し、像面Mの中心に達している時に、対物レン
ズ系全体が第1レンズ群G1の前側主点H1を回転中心と
して、光軸を含む平面内で角度εだけ傾いた時、光線R
が像面Mに達する点の像面中心からのズレ量zは、次の
(1)式で示される。(1)式において、各レンズ群の
主点間隔をe1 ,e2 ,・・ek 、第2番目以降の各レ
ンズ群の屈折力をφ2 ,・・φk としたとき、ズレ量z
は、各レンズ群の主点間隔と第2番目以降の各レンズ群
の屈折力との関数F1 と傾き角εの積で表わされる。
【0012】 z=F1 (e1 ,e2 ,・・ek ,φ2 ,・・φk )・ε (1) 一方、物体側からj番目のレンズ群を防振レンズ群Gj
とし、近軸軸上光線Rが対物レンズ系に入射し、像面M
の中心に達している時に、防振レンズ群Gj を光軸と直
交する方向にxだけ偏心させると、光線Rが像面Mに達
する点の像面中心からのズレ量yは、次の(2)式で示
される。(2)式において、防振レンズ群Gj 以降の各
レンズ群の主点間隔をej ,・・ek 、防振レンズ群G
j 以降の各レンズ群の屈折力をφj ,・・φk としたと
き、ズレ量yは、各レンズ群の第j番目以降の各レンズ
群の主点間隔と第j番目以降の各レンズ群の屈折力との
関数F2 と防振レンズ群の偏心量xの積で表わされる。
【0013】 y=F2 (ej ,・・ek ,φj ,・・φk )・x (2) そして角度εの傾きが生じた時に、防振レンズ群を偏心
量xだけ偏心させて防振を行なうには、ズレ量z,yの
関係がz+y=0 となるように防振レンズ群の偏心量
xを設定する。この時、傾き角εと偏心量xには、次の
(3)式の関係が成り立つ。 x=−ε・F1 (e1 ,e2 ,・・ek ,φ2 ,・・φk )/ F2 (ej ,・・ek ,φj ,・・φk ) (3) ここで、 F3(e1,e2,・・ek,φ2,・・φk)=−F1(e1,e2,・
・ek,φ2,・・φk)/F2 (ej ,・・ek ,φj ,・
・φk ) とすると、上述した(3)式は、次の(4)式に変換可
能である。
【0014】 x=F3 (e1 ,e2 ,・・ek ,φ2 ,・・φk )・ε (4) 以下、上記F3(e1 ,e2 ,・・ek ,φ2 ,・・φk
)を振動補正係数と呼ぶ。また、対物レンズ系の物点
から像面までの距離が無限遠、もしくは対物レンズ系が
広角端の状態を基準状態とする。対物レンズ系が基準状
態にある時、振動補正係数F3 (e1 ,e2 ,・・e
k,φ2 ,・・φk )は、基準状態での各レンズ群の主
点間隔をe01,e02,・・e0kとすれば、振動補正係数
F3 (e01,e02,・・e0k,φ2 ,・・φk )とな
る。
【0015】一方、変倍または合焦等のために、対物レ
ンズ系の少なくとも一部のレンズ群が光軸方向に移動し
た時の、各レンズ群の像面Mに対する移動量を、物体方
向への移動を正として、δ1 ,δ2 ,・・δk とする
と、図2に示すように、各レンズ群の主点間隔e1 ,e
2 ,・・ek は次のように表わされる。 e1 =e01+δ1 −δ2 e2 =e02+δ2 −δ3 ・ ・ ei =e0i+δi −δi+1 ・ ・ ek =e0k+δk なお、基準状態での各レンズ群の主点間隔e01,e02,
・・e0k,及び各レンズ群の屈折力φ2 ,・・φk は、
いずれも定数であるため、各レンズ群の移動量δ1 ,δ
2 ,・・δk を検知すれば、振動補正係数を算出でき
る。さらに、対物レンズ系の振動を検出することによ
り、防振レンズ群の振動補正量xを算出できる。
【0016】これを図3を用いて説明する。図3におけ
る外枠1は、カメラの外形を表しており、以下の図4〜
図9についても同様である。なお、図3において、簡単
のために対物レンズ系中のレンズ群は、物体側から第i
番目の第iレンズ群と防振レンズ群のみを示している。
図中の移動量検知手段105 は、第iレンズ群101 を含む
各レンズ群G1,G2,・・Gk からなる対物レンズ系の基
準状態から光軸方向に、各レンズ群が移動する移動量δ
1 ,δ2 ,・・δk 、第iレンズ群101 においては移動
量δi を検知し、その信号を演算手段106 に伝達する。
【0017】一方、振動検出手段103 は、対物レンズ系
全体の傾き角εを検出し、その信号を演算手段106 に伝
達する。そして、前記移動量検知手段105 と前記振動検
出手段103 からの2種類の信号と、演算手段106 内部の
記憶値とから、演算手段106 は、前記(4)式の関数式
を用いて防振レンズ群102 の駆動量xを演算する。演算
手段106 によって演算された駆動量xに基づき、振動補
正手段104 を駆動し、防振レンズ群102 を光軸と直交す
る方向に偏心させて振動の補正を行なう。
【0018】振動検出手段103 としては、例えば、重
力を利用した姿勢検出計、ジャイロスコープを利用し
た姿勢検出計、加速度計、角加速度計等が考えられ
る。補正手段104 のアクチュエーターとしては、例え
ば、DCモーター、ACモーター、ステッピング
モーター、ピエゾ素子等が考えられる。演算手段106
としては、例えば、CPU、CPUとROMまたは
RAMのメモリーから構成される電子回路等が考えられ
る。尚、演算手段106 は、装置全体の制御を行なう回路
を兼ねてもよい。
【0019】移動量検知手段105 としては、例えば、
位置の変化により電気的な抵抗値が変化するもの、位
置の変化により電気的なパルスの発生するもの、位置
の変化により光学的なパルスが発生し、これを電気信号
に変換するもの、位置の変化により、2進数で表わさ
れる信号値が変化するもの等が使用できる。従って、移
動量検知手段105 は、対物レンズ系の合焦や、焦点距離
の変化、バリソフト、像面特性変化等に伴うレンズ群の
移動が検知できる。
【0020】ところで、対物レンズ系が可変焦点距離レ
ンズの場合、図4に示すように、移動量検知手段105 の
代わりに焦点距離検知手段115 を配し、焦点距離検知手
段115 の焦点距離信号から演算手段106 は、各レンズ群
の移動量を算出する。この移動量算出値と振動検出手段
103 からの信号とから、演算手段106 は、防振レンズ群
102 の駆動量xを演算し、この駆動量xに基づき振動補
正手段104 を駆動し、防振レンズ群102 を光軸と直交す
る方向に偏心させて振動の補正を行なう。
【0021】合焦によって対物レンズ系の状態が変化す
る場合には、図5に示すように、物体距離検出手段107
により物体距離を検出し、この物体距離信号から第1の
演算手段108 は合焦レンズ群111 の合焦移動量を演算す
る。この演算値に基づき合焦手段109 は、合焦レンズ群
111 を、光軸上を移動させて合焦を行なう。その一方に
おいて、第1の演算手段108 による演算値と振動検出手
段103 からの信号とから、第2の演算手段116 は、防振
レンズ群102 の駆動量xを演算し、この駆動量xに基づ
き振動補正手段104 を駆動し、防振レンズ群102 を光軸
と直交する方向に偏心させて振動の補正を行なう。
【0022】若しくは、図5と同様の合焦を行い、図6
に示すように物体距離検出手段107からの物体距離信号
と振動検出手段103 からの信号とから、第2の演算手段
116は、防振レンズ群102 の駆動量xを演算し、この駆
動量xに基づき振動補正手段104 を駆動し、防振レンズ
群102 を光軸と直交する方向に偏心させて振動の補正を
行なうことも可能である。これらの場合は、対物レンズ
系をオートフォーカス用とするのに好適である。
【0023】対物レンズ系が可変焦点距離レンズの場合
であり、かつ合焦によって対物レンズ系の状態が変化す
る場合、図7に示すように、焦点距離検知手段115 から
の焦点距離信号と物体距離検出手段107 からの物体距離
信号とから、第1の演算手段108 は、合焦レンズ群111
の合焦移動量を演算し、この演算値に基づき合焦手段10
9 を用いて合焦レンズ群111 を移動させて合焦を行な
う。その一方において、第1の演算手段108 による演算
値と振動検出手段103 からの信号と焦点距離検知手段11
5 からの信号とから、第2の演算手段116 は、防振レン
ズ群102 の駆動量xを演算し、この駆動量xに基づき振
動補正手段104 を駆動し、防振レンズ群102 を光軸と直
交する方向に偏心させて振動の補正を行なう。
【0024】あるいは、図7と同様の合焦を行い、図8
に示すように物体距離検出手段107からの信号と振動検
出手段103 からの信号と焦点距離検知手段115 からの信
号とから、第2の演算手段116 は、防振レンズ群102 の
駆動量xを演算し、この駆動量xに基づき振動補正手段
104 を駆動し、防振レンズ群102 を光軸と直交する方向
に偏心させて振動の補正を行なうことも可能である。こ
れらの場合は、同一の物体距離に対して対物レンズ系の
異なる焦点距離状態に応じて、合焦レンズ群の移動量が
異なる、例えば、内焦式やリアフォーカス式等のいわゆ
るバリフォーカルレンズ等のレンズ系に好適である。
【0025】同一の物体距離に対して対物レンズ系の異
なる焦点距離状態に応じて、合焦レンズ群の移動量が一
定になるレンズ系、例えば、対物レンズ系の最も物体側
のレンズ群を合焦の際に移動させるようなズームレンズ
の場合には、図9に示すように、物体距離検出手段107
からの物体距離信号から第1の演算手段108 は、合焦レ
ンズ群111 の合焦移動量を演算し、この演算値に基づき
合焦手段109 を用いて合焦レンズ群111 を移動させて合
焦を行なう。その一方において、物体距離検出手段107
からの物体距離信号と振動検出手段103 からの信号と焦
点距離検知手段115 からの焦点距離信号とから、第2の
演算手段116 は、防振レンズ群102 の駆動量xを演算
し、この駆動量xに基づき振動補正手段104 を駆動し、
防振レンズ群102 を光軸と直交する方向に偏心させて振
動の補正を行なうことも可能である。この場合において
も、物体距離検出手段107 からの物体距離信号の代わり
に、第1の演算手段108 による演算値を用いて、第2の
演算手段116 は、防振レンズ群102 の駆動量xを演算
し、この駆動量xに基づき振動補正手段104 を駆動し、
防振レンズ群102 を光軸と直交する方向に偏心させて振
動の補正を行なうことも可能である。
【0026】尚、演算機能の違いにより第1の演算手段
と第2の演算手段とを分けて説明を行ったが、両者の機
能をひとつのCPUチップ上に一体に搭載することも可
能である。また、物体距離検出手段の例として、三角
測距を用いた赤外線アクティブ方式やパッシブの位相差
検出方式、音波や電波・光線等を用いたソナー方式、
TTL方式の自動焦点カメラレンズの距離環に設けた
距離エンコーダー等が考えられる。
【0027】
【実施例】以下に、本発明による各実施例について説明
する。なお、簡単のために各実施例の説明において、各
レンズ群は、それぞれの前側主点と前側節点が一致し、
後側主点と後側節点が一致するものとする。 〔実施例1〕本発明における実施例1は、防振レンズ群
を第3レンズ群G3 とし、合焦レンズ群を第2レンズ群
G2 とする3群構成の内焦式レンズである。以下の表1
に、実施例1の諸元値を示す。表中の左側に物体側から
数えた順に、第iレンズ群Gi (i=1,2,3 ) を示し、各
レンズ群の屈折力φi と、基準状態(RL=∞)におけ
る主点間隔e0iと、合焦レンズ群の移動量δ2 を示す。
そして、表中の主点厚ti は第iレンズ群Gi の前側主
点Hi から後側主点Hi’までの距離を示し、RLは物
点から像面までの距離を示し、fはRL=∞におけるレ
ンズ系全体の焦点距離を示す。
【0028】
【表1】 実施例1の諸元値 f=500 群 屈折力 主点間隔 主点厚 G1 φ1 = 0.003636 e01= 159.5000 t1 = 15.6669 G2 φ2 =-0.008658 e02= 43.0000 t2 = 6.2355 G3 φ3 = 0.004762 e03= 210.0000 t3 = 3.3160 第2レンズ群G2 の合焦移動量δ2 について以下に示
す。
【0029】 RL=∞ のとき δ2 = 0 RL=15727.7335 のとき δ2 =- 5.0366 RL= 5000.0000 のとき δ2 =-17.6394 図10は、上記のような実施例1の対物レンズ系が、第
1レンズ群G1 の前側主点H1 を回転中心として、光軸
を含む平面内で角度εで傾いた状態を示す。
【0030】近軸光線R1 は、対物レンズの光軸に対し
て角度εで第1レンズ群G1 の主点に入射する。そし
て、近軸光線R1 が第1レンズ群G1 を射出する角度
は、角度εであり、この近軸光線R1 が、第2レンズ群
G2 に入射する光軸からの高さh2 は、h2 =−e1 ・
tanεである。ここで、εが十分に小さい値だとすれ
ば、 tanε=εと近似できる。このとき、第2レンズ群
G2 に入射する光軸からの高さh2 は、h2 =−e1 ・
εである。近軸光線R1 が第2レンズ群G2 に入射する
角度はεであり、第2レンズ群G2でh2 ・φ2 の屈折
を受けるため、近軸光線R1 が第2レンズ群G2 を射出
する角度θ2 は、θ2 =ε+h2 ・φ2 =(1−e1 ・
φ2 )・εである。同様に、第3レンズ群G3 に入射す
る光軸からの高さh3 と、第3レンズ群G3からの射出
角度θ3 はそれぞれ、 h3 =h2 −e2 ・θ2 =−(e1 +e2 −e1 ・e2
・φ2 )・ε θ3 =θ2 +h3 ・φ3=(1−e1 ・φ2 −e1 ・φ3
−e2 ・φ3+e1 ・e2 ・φ2 ・φ3 )・ε で表わされる。さらに近軸光線R1 が像面Mに入射する
光軸からの高さz(像面上でのズレ量に相当する)は、 z=h3 −e3 ・θ3=−{e1 +e2 +e3 −(e2
+e3 )・e1 ・φ2−(e1 +e2 )・e3 ・φ3 +
e1 ・e2 ・e3 ・φ2 ・φ3 }・ε で表わされる。
【0031】また、図11は、防振レンズ群である第3
レンズ群G3 を光軸と直交する方向にxだけ偏心させた
状態を示している。近軸光線R2 が光軸上を第1レンズ
群G1 の中心に向かって入射する時、近軸光線R2 は、
第1レンズ群G1 と第2レンズ群G2 で屈折されずに光
軸上を進み、第3レンズ群G3 に入射する。第3レンズ
群G3 は、光軸に対しxだけ偏心しているので、第3レ
ンズ群への入射光線の光軸からの高さは−xである。こ
のとき、近軸光線R2 が第3レンズ群G3 で屈折して射
出する角度γ3 は、γ3 =−x・φ3 であり、近軸光線
R2 が像面Mに入射する光軸からの高さy(像面上での
ズレ量に相当する)は、 y=−e3 ・γ3 =e3 ・φ3 ・x である。
【0032】上述したように、ズレ量z,yの関係が、
z+y=0のときに防振が可能である。従って、偏心量
x(以下、振動補正量xという。)は、 x=[{e1 +e2 +e3 −(e2 +e3 )・e1 ・φ
2 −(e1 +e2 )・e3 ・φ3 +e1 ・e2 ・e3 ・
φ2 ・φ3 }/(e3 ・φ3 )]・ε と表わされる。
【0033】合焦によって、第2レンズ群G2 が合焦移
動量δ2 だけ移動したとき、 e1 =e01−δ2 e2 =e02+δ2 e3 =e03 と置換すれば、任意の合焦状態での振動補正量xは次の
(5)式で表わされる。 x=[{e01+e02+e03−(e02+δ2 +e03)・(e01−δ2 )・φ2 −(e01+e02)・e03・φ3 +(e01−δ2 )・(e02+δ2 )・e03 ・φ2 ・φ3 }/(e03・φ3 )]・ε (5) (5)式中で、e01,e02,e03,φ1 ,φ2 ,φ3 は
定数であるので、振動補正量xは、傾き角εと合焦移動
量δ2 との関数となり、次の(6)式のように変形でき
る。
【0034】 x=(A1 ・δ2 2+A2 ・δ2 +A3 )・ε (6) 尚、上式のA1 ,A2 ,A3 はそれぞれ定数である。本
発明の実施例1においては、A1 =0 、A2 =-1.8182
、A3 = 500.00 となる。ゆえに、合焦移動量検知手
段から合焦移動量δ2 を、振動検出手段から傾き角εを
得れば、演算により、振動補正手段の移動量である振動
補正量xが求められる。なお、合焦移動量δ2 は物体距
離RLの関数として表わされる。実施例1の対物レンズ
系では、第2レンズ群G2 と第3レンズ群G3 との間
は、アフォーカルとなっており、物体距離RLに対する
合焦移動量δ2 は次の(7)式で与えられる。
【0035】 δ2 =−1/[φ1 2・{RL−e01−e02−e03−t1 −t2 −t3 −(1/φ1 )}] (7) (7)式中のφ1 ,e01,e02,e03,t1 ,t2 ,t
3 は、それぞれ定数であり、合焦移動量δ2 は物体距離
RLの関数であることから、次の(8)式のように変形
できる。
【0036】 δ2 =−1/(B1 ・RL+B2 ) (8) ここで、上式のB1 ,B2 はそれぞれ定数である。本発
明の実施例1においては、B1 = 0.00001322 、B2 =
-0.00942249 であり、ゆえに、物体距離検出手段から物
体距離RLを得れば、演算により合焦移動量δ2 が求め
られる。
【0037】なお、(6)式と(8)式とから次の
(9)式が求められる。 x={A1 /(B1 ・RL+B2 )2 −A2 /(B1 ・RL+B2 ) +A3 }・ε (9) 上記(9)式を用いれば、振動検出手段からの傾き角ε
と物体距離検出手段からの物体距離RLとから、演算に
より振動補正手段の移動量である振動補正量xが求めら
れる。
【0038】以下の表2に、本発明における実施例1の
対物レンズ系が傾き角εで傾いた時に、防振レンズ群で
ある第3レンズ群G3 の移動量を示す。表中、εはレン
ズの傾き角、RLは物体距離、xは防振レンズ群の振動
補正量である。
【0039】
【表2】 ε= 0.0025rad ε= 0.0050rad ε= 0.0075rad RL=∞ x= 1.2500 x= 2.5000 x= 3.7500 RL=15727.7335 x= 1.2729 x= 2.5458 x= 3.8187 RL= 5000.0000 x= 1.3302 x= 2.6604 x= 3.9905 表2より本発明の実施例1によれば、物体距離と対物レ
ンズ系の振動する量に応じて、最適な振動補正量を得る
ことができる。 〔実施例2〕本発明における実施例2は、防振レンズ群
を第2レンズ群G2 とし、合焦レンズ群を第1レンズ群
G1 とする2群構成の可変焦点距離レンズである。以下
の表3に、実施例2の諸元値を示す。表中の左側に物体
側から数えた順に、第iレンズ群Gi (i=1,2)を示し、
各レンズ群の屈折力φi と、基準状態(f=36.0696 、
RL=∞)における主点間隔e0iと、焦点距離の変化及
び合焦時の各レンズ群の移動量δ1,δ2 を示す。そし
て、表中の主点厚ti は第iレンズ群Gi の前側主点H
i から後側主点Hi ’までの距離を示し、RLは物点か
ら像面までの距離を示し、fはRL=∞におけるレンズ
系全体の焦点距離を示す。
【0040】
【表3】 実施例2の諸元値 f= 36.0696 〜 68.0808 群 屈折力 主点間隔(f=36.0696) 主点厚 G1 φ1 = 0.037427 e01= 19.2700 t1 = 4.7063 G2 φ2 =-0.034807 e02= 10.0553 t2 = 1.5985 第1レンズ群G1 と第2レンズ群G2 の基準状態からの
移動量δ1 、δ2 について以下に示す。
【0041】 f= 36.0696 において RL=∞ のとき δ1 = 0 δ2 = 0 RL=1400.0000 のとき δ1 = 0.5339 δ2 = 0 RL=1000.0000 のとき δ1 = 0.7620 δ2 = 0 RL= 750.0000 のとき δ1 = 1.0397 δ2 = 0 f= 49.9990 において RL=∞ のとき δ1 = 9.0493 δ2 =14.9783 RL=1400.0000 のとき δ1 = 9.5868 δ2 =14.9783 RL=1000.0000 のとき δ1 = 9.8187 δ2 =14.9783 RL= 750.0000 のとき δ1 =10.1029 δ2 =14.9783 f= 68.0808 において RL=∞ のとき δ1 =24.4150 δ2 =34.4216 RL=1400.0000 のとき δ1 =24.9588 δ2 =34.4216 RL=1000.0000 のとき δ1 =25.1974 δ2 =34.4216 RL= 750.0000 のとき δ1 =25.4931 δ2 =34.4216 図12は、実施例2のレンズ系が、第1レンズ群G1 の
前側主点H1 を回転中心として、光軸を含む平面内で角
度ε傾いた状態を示す。
【0042】近軸光線R1 は光軸に対してεの角度で第
1レンズ群G1 の主点に入射する。そして近軸光線R1
が、第1レンズ群G1 を射出する角度はεであり、この
近軸光線R1 が第2レンズ群G2 に入射する光軸からの
高さh2 は、h2 =−e1 ・tanεである。ここで、ε
が十分に小さい値だとすれば、 tanε=εと近似でき
る。このとき、第2レンズ群G2 に入射する光軸からの
高さh2 は、h2 =−e1 ・εである。近軸光線R1 が
第2レンズ群G2 に入射する角度はεであり、第2レン
ズ群G2でh2 ・φ2 の屈折を受けるため、近軸光線R1
が第2レンズ群G2 を射出する角度θ2 は、θ2 =ε
+h2 ・φ2 =(1−e1 ・φ2 )・εである。さらに
近軸光線R1 が像面Mに入射する光軸からの高さz(像
面上でのズレ量に相当する)は、 z=h2 −e2 ・θ2=−(e1 +e2 −e1 ・e2 ・
φ2 )・ε で表される。
【0043】また、図13は、防振レンズ群である第2
レンズ群G2 を光軸と直交する方向にxだけ偏心させた
状態を示す。近軸光線R2 が光軸上を第1レンズ群G1
の中心に向かって入射する時、近軸光線R2 は、第1レ
ンズ群G1 で屈折されずに光軸上を進み、第2レンズ群
G2に入射する。第2レンズ群G2 は、光軸に対しxだ
け偏心しているので、第2レンズ群への入射光線の光軸
からの高さは−xである。このとき、近軸光線R2 が第
2レンズ群G2 で屈折して射出する角度γ2 は、γ2 =
−x・φ2 である。近軸光線R2 が像面Mに入射する光
軸からの高さy(像面上でのズレ量に相当する)は、 y=−e2 ・γ2 =e2 ・φ2 ・x である。
【0044】上述したように、ズレ量z,yの関係が、
z+y=0のときに防振が可能である。従って、振動補
正量xは、 x={(e1 +e2 −e1 ・e2 ・φ2 )/(e2 ・φ
2 )}・ε と表わされる。焦点距離の変化や合焦によって、第1レ
ンズ群G1 が移動量δ1 だけ移動し、第2レンズ群G2
が移動量δ2 だけ移動したときは、 e1 =e01+δ1 −δ2 e2 =e02+δ2 と置換すれば、所定の焦点距離状態及び所定の合焦状態
での振動補正量xは、 x=[{e01+e02+δ1 −(e01+δ1 −δ2 )・(e02+δ2 )・φ2 } /{(e02+δ2 )・φ2 }]・ε (10) となる。
【0045】(10)式中で、e01,e02,φ2 はそれ
ぞれ定数であるので、振動補正量xは、傾き角εと移動
量δ1 ,δ2 の関数となり、次の(11)式のように変
形できる。 x={(C1 ・δ 1 ・δ2 +C2 ・δ2 2+C3 ・δ1 +C4 ・δ2 +C5 ) /(C6 ・δ2 +C7 )}・ε (11) 尚、上式のC1 ,C2 ,・・C7 はそれぞれ定数であ
り、本発明の実施例2においては、 C1 = 0.034807,C2 = -0.034807,C3 = 1.3499
95 C4 = 0.320736,C5 = 36.069700,C6 = -0.0348
07 C7 = -0.349995 となる。
【0046】ゆえに、可動レンズ群の移動量検知手段か
ら移動量δ1 ,δ2 を、振動検出手段から傾き角εを得
れば、演算により、振動補正手段の移動量である振動補
正量xが求められる。以下の表4に、本発明の実施例2
のレンズ系が傾き角εで傾いた時に、防振レンズ群であ
る第2レンズG2 の移動量を示す。表中、εはレンズの
傾き角、RLは物体距離、xは防振レンズ群の振動補正
量である。
【0047】
【表4】 ε= 0.0025rad ε= 0.0050rad ε= 0.0075rad f= 36.0696 RL=∞ x=-0.2576 x=-0.5153 x=-0.7729 RL=1400.0000 x=-0.2628 x=-0.5256 x=-0.7884 RL=1000.0000 x=-0.2650 x=-0.5300 x=-0.7950 RL= 750.0000 x=-0.2677 x=-0.5353 x=-0.8030 f= 49.9990 RL=∞ x=-0.1435 x=-0.2869 x=-0.4304 RL=1400.0000 x=-0.1463 x=-0.2927 x=-0.4390 RL=1000.0000 x=-0.1476 x=-0.2952 x=-0.4428 RL= 750.0000 x=-0.1491 x=-0.2982 x=-0.4473 f= 68.0808 RL=∞ x=-0.1099 x=-0.2199 x=-0.3298 RL=1400.0000 x=-0.1122 x=-0.2244 x=-0.3365 RL=1000.0000 x=-0.1132 x=-0.2263 x=-0.3395 RL= 750.0000 x=-0.1144 x=-0.2288 x=-0.3431 表4より本発明の実施例2によれば、対物レンズ系の振
動する量と所定の焦点距離で物体距離を有するレンズ状
態に応じて、最適な振動補正量を得ることができる。
【0048】〔実施例3〕本発明における実施例3は、
防振レンズ群を第2レンズ群G2 とし、合焦レンズ群を
第1レンズ群G1 とする2群構成の可変焦点距離レンズ
である。以下の表5に、実施例3の諸元値を示す。表中
の左側に物体側から数えた順に、第iレンズ群Gi (i=
1,2)を示し、各レンズ群の屈折力φi と、基準状態(f
=68.0808 、RL=∞)における主点間隔e0iを示す。
そして、表中の主点厚tiは第iレンズ群Gi の前側主
点Hi から後側主点Hi ’までの距離を示し、RLは物
点から像面までの距離を示し、fはRL=∞におけるレ
ンズ系全体の焦点距離を示す。
【0049】なお、本発明の実施例3においては、焦点
距離の変化に伴う第1レンズ群G1と第2レンズ群G2
の主点間隔の変化量をΔe1 、第2レンズ群G2 の主点
と像面の間隔の変化量をΔe2 とし、合焦に伴う第1レ
ンズ群G1 の合焦移動量をδ1Fとする。
【0050】
【表5】 実施例3の諸元値 f= 68.0808 〜 36.0696 群 屈折力 主点間隔(f=68.0808) 主点厚 G1 φ1 = 0.037427 e01= 9.2634 t1 = 4.7063 Δe1 = 0 (f=68.0808) Δe1 = 4.0776 (f=49.9990) Δe1 = 10.0066 (f=36.0696) G2 φ2 =-0.034807 e02= 44.4769 t2 = 1.5985 Δe2 = 0 (f=68.0808) Δe2 =-19.4433 (f=49.9990) Δe2 =-34.4216 (f=36.0696) 合焦に伴う第1レンズ群G1 の合焦移動量を以下に示
す。
【0051】RL=∞ のとき δ1F= 0 RL=1400.0000 のとき δ1F= 0.5438 RL=1000.0000 のとき δ1F= 0.7824 RL= 750.0000 のとき δ1F= 1.0781 傾き角εに対する振動補正量xは、実施例2の場合と同
様に、 x={(e1 +e2 −e1 ・e2 ・φ2 )/(e2 ・φ2 )}・ε (12) と表わされる。
【0052】 ここで、e1 =e01+Δe1 +δ1F (13) e2 =e02+Δe2 (14) である。 なお、焦点距離の変化に伴う主点間隔の変化Δe1 、Δ
e2 は、焦点距離fの関数として表わされ、合焦に伴う
第1レンズ群の合焦移動量δ1Fは、物体距離RLの関数
として表わされる。
【0053】本発明における実施例3の場合には、次の
式(15)、(16)、(17)のように表わされる。 Δe1 =−1/(φ1 ・φ2 ・f)+1/φ1 +1/φ2 −e01 (15) Δe2 =−(φ1 /φ2 )・f+1/φ2 −e02 (16) δ1F=1/[φ1 2・{RL−e01−e02−t1 −t2 −(1/φ1 )}] (17) なお、(17)式の導出にあたり合焦移動量δ1Fは、物
体距離RLに比べ十分に小さいものとして近似を用い
た。また、(17)式は、基準状態からの合焦移動量で
あり、基準状態以外の焦点距離状態においては、全長の
変化により、わずかに異なる値となる。しかし、本発明
の実施例3のように全長の変化があまり大きくなく、第
1レンズ群G1 で合焦を行なう場合には、最長焦点距離
状態での合焦移動量を用いて、他の焦点距離状態で合焦
を行なっても十分に良好な画像が得られる。
【0054】式(15)、(16)、(17)に実施例
3の各定数の値を代入すると、次に示す式(18)、
(19)、(20)が得られる。 Δe1 =767.6237/f−11.2746 (18) Δe2 =1.0753・f−73.2068 (19) δ1F=1/(0.00140078・RL−0.121537) (20) このように、焦点距離検知手段より焦点距離の変化に伴
う主点間隔の変化と、物体距離検出手段より合焦移動量
をそれぞれ求めることができる。
【0055】式(15)、(16)を式(12)、(1
3)、(14)に代入すると次の式(21)、(22)
が得られる。 x={(1+φ1 ・δ1F)・f/(1−φ1 ・f)}・ε (21) x={(1+0.037427・δ1F)・f/(1−0.037427・f)}・ε (22) このように、物体距離検出手段からの信号に基づいて演
算により求められる合焦移動量と、焦点距離検知手段か
らの信号と、振動検出手段からの信号とから振動補正手
段の移動量を演算により求めることができる。
【0056】また、(22)式に(20)式を代入する
と、次の(23)式が得られる。 x=[{1/(0.037427・RL−3.247308)+1}・f /(1−0.037427・f)]・ε (23) このように、物体距離検出手段からの信号と、焦点距離
検知手段からの信号と、振動検出手段からの信号とから
振動補正手段の移動量を演算によって求めることができ
る。
【0057】以下の表6に、(23)式による本発明に
おける実施例3の対物レンズ系が傾いた時に、防振レン
ズ群である第2レンズ群G2 の移動量を表す。表中、ε
はレンズの傾き角、RLは物体距離、xは防振レンズ群
の振動補正量である。
【0058】
【表6】 ε= 0.0025rad ε= 0.0050rad ε= 0.0075rad f= 36.0696 RL=∞ x=-0.2577 x=-0.5153 x=-0.7730 RL=1400.0000 x=-0.2629 x=-0.5258 x=-0.7887 RL=1000.0000 x=-0.2652 x=-0.5304 x=-0.7956 RL= 750.0000 x=-0.2680 x=-0.5361 x=-0.8041 f= 49.9990 RL=∞ x=-0.1435 x=-0.2869 x=-0.4304 RL=1400.0000 x=-0.1464 x=-0.2928 x=-0.4391 RL=1000.0000 x=-0.1477 x=-0.2953 x=-0.4430 RL= 750.0000 x=-0.1492 x=-0.2985 x=-0.4477 f= 68.0808 RL=∞ x=-0.1099 x=-0.2199 x=-0.3298 RL=1400.0000 x=-0.1122 x=-0.2244 x=-0.3365 RL=1000.0000 x=-0.1132 x=-0.2263 x=-0.3395 RL= 750.0000 x=-0.1144 x=-0.2287 x=-0.3431 表6より本発明の実施例3によれば、レンズの焦点距離
と物体距離と対物レンズ系の振動する量に応じて、最適
な振動補正量を得ることができる。 〔実施例4〕本発明における実施例4は、第2レンズ群
G2 で防振補正を行い、かつ合焦も行う2群構成の可変
焦点距離レンズである。以下の表7に、実施例4の諸元
値を示す。表中の左側に物体側から数えた順に、第iレ
ンズ群Gi (i=1,2)を示し、各レンズ群の屈折力φi
と、基準状態(f=68.0808 、RL=∞)における主点
間隔e0iを示す。そして、表中の主点厚tiは第iレン
ズ群Gi の前側主点Hi から後側主点Hi ’までの距離
を示し、RLは物点から像面までの距離を示し、fはR
L=∞におけるレンズ系全体の焦点距離を示す。
【0059】なお、本発明の実施例4においては、焦点
距離の変化に伴う第1レンズ群G1と第2レンズ群G2
の主点間隔の変化量をΔe1 、第2レンズ群G2 の主点
と像面の間隔の変化量をΔe2 とし、合焦に伴う第2レ
ンズ群G2 の合焦移動量をδ2Fとする。
【0060】
【表7】 実施例4の諸元値 f= 68.0808 〜 36.0696 群 屈折力 主点間隔(f=68.0808) 主点厚 G1 φ1 = 0.037427 e01= 9.2634 t1 = 4.7063 Δe1 = 0 (f=68.0808) Δe1 = 4.0776 (f=49.9990) Δe1 = 10.0066 (f=36.0696) G2 φ2 =-0.034807 e02= 44.4769 t2 = 1.5985 Δe2 = 0 (f=68.0808) Δe2 =-19.4433 (f=49.9990) Δe2 =-34.4216 (f=36.0696) 合焦に伴う第2レンズ群G2 の合焦移動量を以下に示
す。
【0061】 f=68.0808 f=49.9990 f=36.0696 RL=∞ δ2F= 0 δ2F= 0 δ2F= 0 RL=1400.0000 δ2F=-0.6436 δ2F=-0.7564 δ2F=-1.2316 RL=1000.0000 δ2F=-0.9262 δ2F=-1.0850 δ2F=-1.7926 R L= 750.0000 δ2F=-1.2765 δ2F=-1.4895 δ2F=-2.5118 傾き角εに対する振動補正量xは、実施例2の場合と同
様に、 x={(e1 +e2 −e1 ・e2 ・φ2 )/(e2 ・φ2 )}・ε (24) と表わされる。
【0062】 ここで、e1 =e01+Δe1 −δ2F (25) e2 =e02+Δe2 +δ2F (26) である。 なお、焦点距離の変化に伴う主点間隔の変化Δe1 、Δ
e2 は焦点距離fの関数として表わされ、合焦に伴う第
2レンズ群G2 の移動量δ2Fは、物体距離RLと焦点距
離fの関数として表わされる。
【0063】焦点距離の変化に伴う主点間隔の変化Δe
1 、Δe2 は、実施例4の場合にも実施例3の場合と同
様に次の式のように表わされる。 Δe1 =−1/(φ1 ・φ2 ・f)+1/φ1 +1/φ2 −e01 (27) Δe2 =−(φ1 /φ2 )・f+1/φ2 −e02 (28) Δe1 =767.6237/f−11.2746 (29) Δe2 =1.0753・f−73.2068 (30) ところで合焦移動量δ2Fは、近似を用いると次の式(3
1)で表わされる。
【0064】 δ2F=f2 /{(RL−e1 −e2 −t1 −t2 −1/φ1 ) ・(1−f2 ・φ1 2)} (31) さらに、Δe1 ,Δe2 ,δ2Fが、それぞれ物体距離R
Lに比べて十分に小さいものとすると、 δ2F=f2 /{(RL−e01−e02−t1 −t2 −1/φ1 ) ・(1−f2 ・φ1 2)} (32) と近似できる。
【0065】(32)式に本発明における実施例4の各
定数値を代入すると、次に示す(33)式が得られる。 δ2F=f2 /{(RL−86.7638)・(1−0.00140078・f2 )} (33) このように、焦点距離検知手段より焦点距離の変化に伴
う主点間隔の変化と、物体距離検出手段と焦点距離検知
手段より合焦移動量をそれぞれ求めることができる。
【0066】式(27)、(28)を式(24)、(2
5)、(26)に代入すると次の式(34)、(35)
が得られる。 x=[{f−(φ1 ・f−1/φ1 /f+φ2 /φ1 )・δ2F+φ2 ・δ2F2 } /(φ2 ・δ2F−φ1 ・f+1)]・ε (34) x=[{f−(0.037427・f−26.718679/f−0.929997)・δ2F −0.034807・δ2F2 }/(1−0.034807・δ2F−0.037427・f)]・ε (35) このように、物体距離検出手段からの信号と焦点距離検
知手段からの信号に基づいて演算により求められる合焦
移動量と、焦点距離検知手段からの信号と、振動検出手
段からの信号とから振動補正手段の移動量を演算によっ
て求めることができる。
【0067】また、(35)式に(33)式を代入する
と、次の(36)式が得られる。 x=[{f−(0.037427・f−26.718679/f−0.929997)・f2 /(RL −86.7638)/(1−0.00140078・f2 )−0.034807・f4 /(RL −86.7638)2 /(1−0.00140078・f2 2 }/{1−0.034807 ・f2 /(RL−86.7638)/(1−0.00140078・f2 ) −0.037427・f}]・ε (36) このように、物体距離検出手段からの信号と、焦点距離
検知手段からの信号と、振動検出手段からの信号とから
振動補正手段の移動量を演算によって求めることができ
る。
【0068】以下の表8に、(36)式による実施例4
のレンズ系が傾いた時に、防振レンズ群である第2レン
ズ群G2 の移動量を示す。表中、εはレンズの傾き角、
RLは物体距離、xは防振レンズ群の振動補正量であ
る。
【0069】
【表8】 ε= 0.0025rad ε= 0.0050rad ε= 0.0075rad f= 36.0696 RL=∞ x=-0.2577 x=-0.5153 x=-0.7730 RL=1400.0000 x=-0.2892 x=-0.5784 x=-0.8675 RL=1000.0000 x=-0.3056 x=-0.6112 x=-0.9168 RL= 750.0000 x=-0.3288 x=-0.6575 x=-0.9863 f= 49.9990 RL=∞ x=-0.1435 x=-0.2869 x=-0.4304 RL=1400.0000 x=-0.1488 x=-0.2976 x=-0.4464 RL=1000.0000 x=-0.1512 x=-0.3025 x=-0.4537 RL= 750.0000 x=-0.1543 x=-0.3086 x=-0.4628 f= 68.0808 RL=∞ x=-0.1099 x=-0.2199 x=-0.3298 RL=1400.0000 x=-0.1128 x=-0.2256 x=-0.3385 RL=1000.0000 x=-0.1141 x=-0.2282 x=-0.3423 RL= 750.0000 x=-0.1157 x=-0.2314 x=-0.3470 表8より本発明の実施例4によれば、対物レンズ系の焦
点距離と物体距離と対物レンズ系の振動する量に応じ
て、最適な振動補正量を得ることができる。以上のよう
に、本発明における実施例1〜実施例4は、各々、変倍
や合焦等により対物レンズ系の状態が変化しても、その
変化に応じて最適な振動補正量を得ることができる。
尚、変倍や合焦のみならず諸収差を変化させる、例え
ば、球面収差を変化させるバリソフトレンズや、像面湾
曲を変化させる像面特性可変レンズ等の対物レンズ系の
状態が変化する多くの光学系に適用可能である。
【0070】
【発明の効果】このように本発明によれば、変倍や合焦
等により対物レンズ系の状態の変化しても、その変化に
応じた最適な振動補正量を演算し、振動補正手段を駆動
して良好に振動を補正することが可能な防振光学装置が
達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】多群構成のレンズ状態を模式的に示す図であ
る。
【図2】多群構成のレンズが基準状態にある時と任意の
状態にある時を模式的に示す図である。
【図3】対物レンズ系中のレンズ群が光軸上を移動する
場合における本発明の構成を示す図である。
【図4】可変焦点距離レンズの場合の本発明の構成を示
す図である。
【図5】合焦により対物レンズ系の状態が変化する場合
の本発明の一構成を示す図である。
【図6】合焦により対物レンズ系の状態が変化する場合
の本発明の一構成を示す図である。
【図7】可変焦点距離レンズかつ合焦により対物レンズ
系の状態が変化する場合の本発明の一構成を示す図であ
る。
【図8】可変焦点距離レンズかつ合焦により対物レンズ
系の状態が変化する場合の本発明の一構成を示す図であ
る。
【図9】物体距離が一定で変倍した時に合焦レンズ群の
移動量が一定になる場合の本発明の構成を示す図であ
る。
【図10】本発明における実施例1のレンズ系が傾いた
状態を模式的に示す図である。
【図11】本発明における実施例1のレンズ系の防振レ
ンズ群が偏心した状態を模式的に示す図である。
【図12】本発明における実施例2乃至4のレンズ系が
傾いた状態を模式的に示す図である。
【図13】本発明における実施例2乃至4のレンズ系の
防振レンズ群が偏心した状態を模式的に示す図である。
【符合の説明】
G1 ・・・ 第1レンズ群 G2 ・・・ 第2レンズ群 G3 ・・・ 第3レンズ群 Gi ・・・ 第iレンズ群 Gk ・・・ 第kレンズ群 H1 ・・・ 第1レンズ群の前側主点 H1'・・・ 第1レンズ群の後側主点 H2 ・・・ 第2レンズ群の前側主点 H2'・・・ 第2レンズ群の後側主点 H3 ・・・ 第3レンズ群の前側主点 H3'・・・ 第3レンズ群の後側主点 Hi ・・・ 第iレンズ群の前側主点 Hi'・・・ 第iレンズ群の後側主点 Hk ・・・ 第kレンズ群の前側主点 Hk'・・・ 第kレンズ群の後側主点 M ・・・ 像面

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも2群以上のレンズ群を有する対
    物レンズ系と、ブレを検出する振動検出手段とを有し、
    前記対物レンズ系の最も物体側のレンズ群以外の位置に
    振動補正手段を有し、 前記対物レンズ系の少なくとも一部が前記対物レンズ系
    の光軸方向に移動し、前記対物レンズ系の可動レンズ群
    の移動量を検知する少なくとも一つの移動量検知手段
    と、前記移動量検知手段からの信号と前記振動検出手段
    からの信号に基づいて前記振動補正手段の駆動量を演算
    する演算手段を設けたことを特徴とする防振光学装置。
  2. 【請求項2】前記振動補正手段は前記対物レンズ系の最
    も物体側のレンズ群以外のレンズ群を該対物レンズ系の
    光軸とほぼ直交する方向に偏心させるように駆動させる
    ことを特徴とする請求項1記載の防振光学装置。
  3. 【請求項3】合焦をおこなうための合焦手段を有するこ
    とを特徴とする請求項2記載の防振光学装置。
  4. 【請求項4】前記合焦手段は前記対物レンズ系の少なく
    とも一部を該対物レンズ系の光軸方向に移動させて合焦
    を行なうことを特徴とする請求項3記載の防振光学装
    置。
  5. 【請求項5】合焦をおこなうための合焦手段と、焦点距
    離を変化させるための焦点距離変更手段とを有すること
    を特徴とする請求項2記載の防振光学装置。
  6. 【請求項6】前記焦点距離変更手段は前記対物レンズ系
    の少なくとも一部を該対物レンズ系の光軸方向に移動さ
    せて焦点距離の変化を行うことを特徴とする請求項5記
    載の防振光学装置。
  7. 【請求項7】少なくとも2群以上のレンズ群を有する対
    物レンズ系と、前記対物レンズ系の少なくとも一部を該
    対物レンズ系の光軸方向に移動させて合焦をおこなう合
    焦手段と、合焦に際し、レンズ群の移動量を検知する合
    焦移動量検知手段と、前記対物レンズ系全体の振動を検
    出する振動検出手段と、前記対物レンズ系の最も物体側
    のレンズ群以外の位置に振動補正手段とを有し、前記合
    焦移動量検知手段からの信号と前記振動検出手段からの
    信号とに基づいて、前記振動補正手段の駆動量を演算す
    る演算手段を設けたことを特徴とする防振光学装置。
  8. 【請求項8】前記振動補正手段は前記対物レンズ系の最
    も物体側のレンズ群以外のレンズ群を該対物レンズ系の
    光軸とほぼ直交する方向に偏心させるように駆動するこ
    とを特徴とする請求項7記載の防振光学装置。
  9. 【請求項9】前記対物レンズ系は可変焦点距離レンズで
    あり、所定の焦点距離を検知する焦点距離検知手段を有
    し、前記合焦移動量検知手段からの信号と前記振動検出
    手段からの信号と前記焦点距離検知手段からの信号とに
    基づいて、前記振動補正手段の駆動量を演算する演算手
    段を設けたことを特徴とする請求項7記載の防振光学装
    置。
  10. 【請求項10】少なくとも2群以上のレンズ群を有する
    対物レンズ系と、物体距離を検出する物体距離検出手段
    と前記物体距離検出手段からの信号に基づき、前記対物
    レンズ系の少なくとも一部の合焦レンズ群の合焦移動量
    を演算する第1の演算手段と、該演算値に基づき前記対
    物レンズ系の少なくとも一部のレンズ群を移動させて合
    焦をおこなう合焦手段と、前記対物レンズ系全体の振動
    を検出する振動検出手段と、前記対物レンズ系の最も物
    体側のレンズ群以外の位置に振動補正手段とを有し、前
    記第1の演算手段の演算値と前記振動検出手段からの信
    号とに基づいて、前記振動補正手段の駆動量を演算する
    第2の演算手段を設けたことを特徴とする防振光学装
    置。
  11. 【請求項11】前記振動補正手段は前記対物レンズ系の
    最も物体側のレンズ群以外のレンズ群を該対物レンズ系
    の光軸と直交する方向に偏心させるように駆動すること
    を特徴とする請求項10に記載の防振光学装置。
  12. 【請求項12】前記対物レンズ系は可変焦点距離レンズ
    であり、所定の焦点距離を検知する焦点距離検知手段を
    有し、前記物体距離検出手段からの信号と前記焦点距離
    検知手段からの信号に基づき、前記対物レンズ系の少な
    くとも一部の合焦レンズ群の合焦移動量を演算する第1
    の演算手段と、該演算値に基づき前記対物レンズ系の少
    なくとも一部のレンズ群を移動させて合焦をおこなう合
    焦手段と、前記第1の演算手段の演算値と前記振動検出
    手段からの信号と前記焦点距離検知手段からの信号とに
    基づいて、前記振動補正手段の駆動量を演算する第2の
    演算手段を設けたことを特徴とする請求項10記載の防
    振光学装置。
  13. 【請求項13】前記対物レンズ系は可変焦点距離レンズ
    であり、所定の焦点距離を検知する焦点距離検知手段を
    有し、前記物体距離検出手段からの信号に基づき、前記
    対物レンズ系の少なくとも一部の合焦レンズ群の合焦移
    動量を演算する第1の演算手段と、該演算値に基づき前
    記対物レンズ系の少なくとも一部のレンズ群を移動させ
    て合焦をおこなう合焦手段と、前記第1の演算手段の演
    算値と前記振動検出手段からの信号と前記焦点距離検知
    手段からの信号とに基づいて、前記振動補正手段の駆動
    量を演算する第2の演算手段を設けたことを特徴とする
    請求項10記載の防振光学装置。
  14. 【請求項14】少なくとも2群以上のレンズ群を有する
    対物レンズ系と、物体距離を検出する物体距離検出手段
    と前記物体距離検出手段からの信号に基づき、前記対物
    レンズ系の少なくとも一部の合焦レンズ群の合焦移動量
    を演算する第1の演算手段と、該演算値に基づき前記対
    物レンズ系の少なくとも一部のレンズ群を移動させて合
    焦をおこなう合焦手段と、前記対物レンズ系全体の振動
    を検出する振動検出手段と、前記対物レンズ系の最も物
    体側のレンズ群以外の位置に振動補正手段とを有し、前
    記物体距離検出手段からの信号と、前記振動検出手段か
    らの信号とに基づいて、前記振動補正手段の駆動量を演
    算する第2の演算手段を設けたことを特徴とする防振光
    学装置。
  15. 【請求項15】前記振動補正手段は前記対物レンズ系の
    最も物体側のレンズ群以外のレンズ群を前記対物レンズ
    系の光軸と直交する方向に偏心させるように駆動させる
    ことを特徴とする請求項14記載の防振光学装置。
  16. 【請求項16】前記対物レンズ系は可変焦点距離レンズ
    であり、所定の焦点距離を検知する焦点距離検知手段を
    有し、前記物体距離検出手段からの信号と前記焦点距離
    検知手段からの信号に基づき、前記対物レンズ系の少な
    くとも一部の合焦レンズ群の合焦移動量を演算する第1
    の演算手段と、該演算値に基づき前記対物レンズ系の少
    なくとも一部のレンズ群を移動させて合焦をおこなう合
    焦手段と、前記物体距離検出手段からの信号と前記振動
    検出手段からの信号と前記焦点距離検知手段からの信号
    とに基づいて、前記振動補正手段の駆動量を演算する第
    2の演算手段を設けたことを特徴とする請求項14に記
    載の防振光学装置。
  17. 【請求項17】前記対物レンズ系は可変焦点距離レンズ
    であり、所定の焦点距離を検知する焦点距離検知手段を
    有し、前記物体距離検出手段からの信号に基づき、前記
    対物レンズ系の少なくとも一部の合焦レンズ群の合焦移
    動量を演算する第1の演算手段と、該演算値に基づき前
    記対物レンズ系の少なくとも一部のレンズ群を移動させ
    て合焦をおこなう合焦手段と、前記物体距離検出手段か
    らの信号と前記振動検出手段からの信号と前記焦点距離
    検知手段からの信号とに基づいて、前記振動補正手段の
    駆動量を演算する第2の演算手段を設けたことを特徴と
    する請求項14記載の防振光学装置。
  18. 【請求項18】前記対物レンズ系の前記合焦手段におい
    て、前記対物レンズ系の最も物体側のレンズ群を移動さ
    せて合焦を行なうことを特徴とする請求項13または請
    求項17記載の防振光学装置。
  19. 【請求項19】前記第1の演算手段と前記第2の演算手
    段を一体的に構成したことを特徴とする請求項10乃至
    18に記載の防振光学装置。
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