JPH06281886A - 光アイソレータ及び光アイソレータを用いた光学装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光アイソレータを構成する光学部品の諸特性
を、所定の入射角範囲においてほぼ一定とし、光アイソ
レータを使用する光学装置の小型化、低コスト化を図
る。 【構成】 ＰＢＳ１とλ／４板２とから構成される光ア
イソレータにおいて、ＰＢＳ１の反射率特性を入射角３
５度乃至５５度の範囲においてほぼ一定とする。この結
果、光アイソレータに発散光、斜めに入射するコリメー
ト光などを入射しても使用可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、非相反的伝搬機能を有
する光アイソレータと、前記アイソレータを用いた光学
機器に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１７及び図１８は光学素子としての１
／４波長板（以下λ／４板）と偏光ビームスプリッタ
（以下ＰＢＳ）とで構成されるアイソレータの一例の原
理を示す。図１７において、図示しない光源（以下Ｌ
Ｄ）からＰＢＳ１へ入射する光（電界成分）は、ｘ方向
成分が通過し、ｙ方向成分は反射する。ＬＤを出た光は
直線偏光しており、この偏光方向がｘ方向になっている
と、ＰＢＳ１への入射光は１００％通過する。また光の
進行方向ｚに垂直なｘ方向に偏光方向をもつ直線偏光を
λ／４板２に入射させると、図１８に示すλ／４板２の
結晶の光軸Ｘ方向に偏光面を持つ常光線と、これに直交
するｙ方向に偏光面を持つ異常光線との間に位相差π／
２（λ／４に相当）を生ずる。ここで、結晶の光軸ｘと
入射光線とを含む面、すなわち主断面に対して方位角４
５度で光が入射するようにすると、いい換えると、光軸
Ｘをｘ軸に対して４５度傾けてλ／４板を配置すると、
λ／４板からの出力は円偏光となる。

【０００３】この円偏光となった光束がディスク３で反
射し再びλ／４板を通過すると、ｙ軸方向に偏光した光
束となるので、ＰＢＳ１に再入射した光は反射されてｘ
方向へ進む。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように構成された従来の光アイソレータにおいては、光
アイソレータを構成するλ／４板２などの光学素子に入
射する光の入射角は厳しく限定され、結果として光アイ
ソレータへの光の入射角も厳しく限定されていた。

【０００５】このため光アイソレータを構成する各光学
素子の位置や光アイソレータへ入射させる光の入射角の
それぞれの精度を高精度にしなければならないという問
題があった。また、光アイソレータへ入射する光が非平
行光の場合はアイソレートが不可能であった。

【０００６】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
もので、光アイソレータを構成する各光学素子の位置精
度及び光アイソレータへ入射させる光の入射角のそれぞ
れの精度を緩和し、入射光が非平行光の場合も使用する
ことができる、小型で安価な光アイソレータを提供する
ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の光アイ
ソレータは、発散光、もしくは収束光が入射する光アイ
ソレータ、あるいはある入射角で平行光が入射する光ア
イソレータにおいて、前記光アイソレータは第１の偏光
ビームスプリッタとしてのＰＢＳ１を有し、前記ＰＢＳ
１は、光分離面における所定の入射角範囲の光に対し
て、光を分離する際の反射率、もしくは透過率のばらつ
きが１０％の範囲内である光分離膜を形成していること
を特徴とする。

【０００８】請求項２に記載の光アイソレータは、ＰＢ
Ｓ１と、直線偏光の光を円偏光の光に変換する光学素子
とを有し、前記光アイソレータには直線偏光の光を入射
させ、前記光アイソレータ中のＰＢＳ１を透過または反
射した直線偏光の光を前記光学素子によって円偏光に変
換して光アイソレータより出射し、所定の媒体としての
ディスク３を経て光アイソレータに戻ってきた円偏光の
光を前記光学素子により前記直線偏光の光とは垂直な偏
光方向の直線偏光の光に変換し、ＰＢＳ１により、前記
光アイソレータへ入射した光源からの光の光軸とは異な
る方向へと光を分離し、アイソレートすることを特徴と
する。

【０００９】請求項３に記載の光アイソレータは、前記
光学素子はλ／４板２であることを特徴とする。

【００１０】請求項４に記載の光アイソレータは、前記
光学素子は反射ミラー４であり、所定の入射角範囲の光
に対して、光を反射する際の反射率が９５％以上である
ことを特徴とする。

【００１１】請求項５に記載の光アイソレータは、前記
光学素子は第２のＰＢＳ５、６であり、所定の入射角範
囲の光に対して、光を分離する際の反射率、もしくは透
過率のばらつきが１０％の範囲内であることを特徴とす
る。

【００１２】請求項６に記載の光アイソレータは、前記
光学素子を通過することにより発生する互いに垂直な偏
光成分の間の位相差は所定の入射角範囲の光において、
９０度±５度の範囲であることを特徴とする。

【００１３】請求項７に記載の光アイソレータは、前記
光学素子を反射して戻ってきた光をＰＢＳ１により、前
記光アイソレータへ入射した光源からの光の光軸とは異
なる方向へと光を分離し、アイソレートすることを特徴
とする。

【００１４】請求項８に記載の光アイソレータは、第２
のＰＢＳ５、６は第１の透明部材と第２の透明部材を張
り合わせた構造のものであって、前記第１の透明部材の
張り合わせ面には光分離面を構成する光分離膜７が形成
され、光分離膜７が形成された前記第１の透明部材の張
り合わせ面と前記第２の透明部材の張り合わせ面とを接
着剤層８を介して張り合わせた構造のものであり、第２
のＰＢＳ５、６は、前記第１の透明部材を第２のＰＢＳ
５、６がディスク３を介して戻ってきた光を第１のＰＢ
Ｓ１へと反射する側に向けて配置することを特徴とす
る。

【００１５】請求項９に記載の光アイソレータは、第１
のＰＢＳ１と前記光学素子との間にレンズ９を有するこ
とを特徴とする。

【００１６】請求項１０に記載の光アイソレータは、レ
ンズ９はコリメートレンズであることを特徴とする。

【００１７】請求項１１に記載の光アイソレータは、２
つのＰＢＳ１、１０によりファラデー回転子１１をはさ
む構成であり、ファラデー回転子１１のファラデー効果
を利用してアイソレートすることを特徴とする。

【００１８】請求項１２に記載の光アイソレータは、第
１のＰＢＳ１の反射率もしくは透過率は、前記光アイソ
レータへの戻り光の偏光方向の光に対し、ほぼ１００％
前記光アイソレータへの順方向の光の光軸とは異なる方
向に光を分離することを特徴とする。請求項１３に記載
の光アイソレータは、前記入射角範囲は５度以上である
ことを特徴とする。

【００１９】請求項１４に記載の光アイソレータは、第
１のＰＢＳ１もしくは前記光学素子は、±１０ｎｍの波
長変動に対しても各請求項記載の特徴を有することを特
徴とする。

【００２０】請求項１５に記載の光アイソレータは、第
１のＰＢＳ１の光分離面は、５層以上の誘電体多層膜と
しての偏光膜２２からなっていることを特徴とする。

【００２１】請求項１６に記載の光アイソレータは、第
１のＰＢＳ１の光分離面は、金属膜２３を含む５層以上
の偏光膜２２からなっていることを特徴とする。

【００２２】請求項１７に記載の光アイソレータは、偏
光膜２２は、少なくとも４種以上の材料からなっている
ことを特徴とする。

【００２３】請求項１８に記載の光アイソレータは、偏
光膜２２は、光学的膜厚が極めて薄い層２２ｅを少なく
とも１層以上含んでいることを特徴とする。

【００２４】請求項１９に記載の光アイソレータは、前
記光学的膜厚が極めて薄い層２２ｅは、その光学的膜厚
が波長の１／１０以下であることを特徴とする。

【００２５】請求項２０に記載の光アイソレータは、偏
光膜２２は、ＨｆもしくはＨｆの酸化物を主成分とする
層を少なくとも１層以上含んでいることを特徴とする。

【００２６】請求項２１に記載の光アイソレータは、偏
光膜２２は、ＺｒもしくはＺｒの酸化物を主成分とする
層を少なくとも１層以上含んでいることを特徴とする。

【００２７】請求項２２に記載の前記光アイソレータを
用いた光学装置は、投受光装置であることを特徴とす
る。

【００２８】請求項２３に記載の前記光アイソレータを
用いた光学装置は、光学的情報記録再生装置であること
を特徴とする。

【００２９】請求項２４に記載の前記光アイソレータを
用いた光学装置は、光伝送システムであることを特徴と
する。

【００３０】請求項２５に記載の前記光アイソレータを
用いた光学装置は、光ファイバ通信システムであること
を特徴とする。

【００３１】

【作用】本発明の光アイソレータ及び光アイソレータを
用いた光学装置においては、光アイソレータを構成する
ＰＢＳ１が光分離面における所定の入射角範囲の光に対
して、光を分離する際の反射率もしくは透過率のばらつ
きが１０％の範囲である光分離膜７を形成したので、入
射する光として非平行光を使用することができ、入射さ
せる光の入射角精度をゆるくすることができる。この結
果、この光アイソレータを用いた光学装置を小型化し、
コストの低減を図ることができる。

【００３２】

【実施例】以下、本発明の光アイソレータの実施例を図
面を参照して説明する。

【００３３】図１乃至図１６に本発明の第１乃至第１１
の実施例の構成を示す。これらの図において、図１７に
示す従来例の部分と対応する部分には同一の符号を付し
てあり、その説明は適宜省略する。

【００３４】図１に示す第１の実施例では、ＰＢＳ１と
λ／４板２とにより構成される光アイソレータにおい
て、ＰＢＳ１の反射率特性を図２に示すようにした。す
なわち、入射角が３５度乃至５５度の範囲において、Ｓ
偏光方向の光となっている戻り光の反射率Ｒｓがほぼ一
定となり、入射角無依存の特性を示す。従ってこの入射
角範囲における光に対しては、斜め入射に対するλ／４
板２の影響は小さいため、アイソレートすることが可能
となる。

【００３５】この結果、ＰＢＳ１のプリズム材質の屈折
率を考慮しなければ、図１（ａ）に示すような拡がり角
２０度の発散光、（ｂ）に示すような入射角３５度乃至
５５度の斜めに入射するコリメート光、（ｃ）に示すよ
うな本来の位置より±１０度傾けて配置されたＰＢＳ１
に入射するコリメート光、（ｄ）に示すような拡がり角
が比較的小さく斜めに入射する発散光に対しても、それ
ぞれＰＢＳ１としての機能をもたせることができる。

【００３６】図３に示す第２の実施例では、光学素子と
して反射ミラー４を用い、反射ミラー４を入射する光の
偏光面に対して傾けて配置した。反射ミラー４は所定の
入射角範囲の光に対して、光を反射する際の反射率が９
５％以上であり、発生する位相差も入射角に依存せず、
ほぼ９０度とした。この結果、反射ミラー４に入射する
直線偏光の光を、損失が少なくほぼ円偏光の光とするこ
とができる。

【００３７】図４に示す第３の実施例では、光学素子と
して第２のＰＢＳ５を用い、このＰＢＳ５を第１のＰＢ
Ｓ１に対して傾けて配置したものである。このＰＢＳ５
により第１のＰＢＳ１を出射した直線偏光の光を円偏光
の光として出射することができる。

【００３８】図５及び図６に示す第４の実施例では、光
学素子としてプリズム型の第２のＰＢＳ６を用い、ＰＢ
Ｓ６を構成する２個のプリズムを光分離膜７を介して接
着剤８で接着した。そして戻り光が接着剤８の層を介さ
ずに光分離膜７により反射することにより、直線偏光と
円偏光との変換を行うことができる。

【００３９】すなわち、図７に示すＡの入射方向の光
は、接着剤８の層を通って光分離膜７で反射するが、Ｂ
の入射方向の光は接着剤８の層を通さずに光分離膜７の
みによって反射する。このときＡの入射方向では光の入
射から反射の過程で接着剤８の層を通るため、図８
（ａ）に示すようにＢＳ６によって生ずる位相差の入射
角の角度依存性が非常に大きい。特にこの角度依存性は
接着剤８の層の厚さに大きく関係しているが、この層の
厚さの制御は非常に困難であるため、位相差の制御は不
可能である。

【００４０】一方、Ｂの入射方向では光が接着剤８の層
を通らないため、位相差の制御が比較的容易であり、図
８（ｂ）に示すように入射角に依存せずにほぼ９０度の
位相差を持たせることが可能である。

【００４１】図９に示す第５の実施例では、ＰＢＳ１と
λ／４板２との間にレンズ９を入れて、λ／４板２へ入
射する光の入射角をできるだけ小さくした。この結果直
線偏光と円偏光との変換を正確に行うことができる。ま
た、レンズ９をコリメートレンズとすれば、λ／４板２
に入射する光の入射角は一定となるので、ＰＢＳ１に入
射したどの入射角の光も、λ／４板２により円偏光の光
とすることができる。

【００４２】図１０に示す第６の実施例では、偏光子と
してのＰＢＳ１と検光子としてのＰＢＳ１０との間にフ
ァラデー回転子１１を設け、ＰＢＳ１またはＰＢＳ１０
の光分離膜をある入射角範囲において角度無依存とし
た。この結果、発散光や斜め入射のコリメート光に対し
ても、ほぼ同等にアイソレートすることができる。

【００４３】図１１に示す第７の実施例は、図１０に示
す偏光子としてのＰＢＳ１により光源からの光のＰ成分
のみ透過し、戻り光が再びＰＢＳ１に至るときには、フ
ァラデー回転子１１の作用によりＰＢＳ１に対しＳ偏光
方向の光となっているため、Ｓ偏光方向の成分に対し１
００％反射する光分離面をＰＢＳ１に設けたものであ
る。このようにすれば光源への戻り光を少なくすること
ができる。この入射角と反射率との関係の特性を図１２
に示す。

【００４４】図１３及び図１４に示す第８の実施例は、
透明部材で形成された基板２１上に偏光膜または反射膜
２２が誘電体の多層膜で構成されているとき、この誘電
体膜を保護するために、基板２１から最も離れた層に金
属薄膜２３を積層させたものである。金属薄膜２３上に
は接着剤層２４を介して対向する透明基板２５が接着さ
れている。この構成によると、金属薄膜２３により、誘
電体膜が接着剤層２４中の水分や大気中の水蒸気などに
対して、光学特性が不安定になることを防止できる。

【００４５】図１５及び図１６に示す第９の実施例は、
図１３及び図１４に示す偏光膜２２の設計、製作例であ
り、多層膜はＨｆＯ₂層２２ａ、Ａｌ₂Ｏ₃層２２ｂ、Ｔ
ｉＯ₂層２２ｃ、ＭｇＦ₂層２２ｄの４種類の層で構成さ
れている。この実施例では通常紫外域以外の波長用とし
ては使用されないＨｆＯ₂またはＨｆを使用している
が、ＺｒＯ₂またはＺｒを使用してもよい。

【００４６】多層膜の構成としては、ＨｆＯ₂層２２ａ
を基板２１から最も離れた層に積層し、多層膜中には図
１５に示すように、光学的膜厚をλ／１０以下にした極
めて薄い層２２ｅを含んでいる。ここで光学的膜厚は、
膜の屈折率をｎ、膜中で光が進む距離をｄとしたとき、
ｎｄで表せる。さらに基板２１にはＰｂＯ、ＳｉＯ₂を
主成分とするＳＦ系ガラスを用いており、基板２１と接
するＴｉＯ₂層２２ｃでは、ＴｉＯ₂と基板２１中のＰｂ
とが混ざりあっている。

【００４７】図１６に示す偏光膜２２は１３層で構成さ
れており、それぞれの層のおおよその幾何学的膜厚は、
基板２１側から順に、１１０ｎｍ、１７０ｎｍ、８０ｎ
ｍ、８０ｎｍ、３００ｎｍ、８０ｎｍ、１１０ｎｍ、１
８０ｎｍ、１３０ｎｍ、１９０ｎｍ、８０ｎｍ、１３０
ｎｍ、２０ｎｍ、９０ｎｍである。また２つの基板２
１、２４を偏光膜２２を介して接着剤層２３で接着する
とき、接着剤は１００度Ｃ以上の環境においても物理的
及び光学的特性の変化を生じないものを使用することに
より、耐環境性に優れたものが得られる。

【００４８】上記各実施例で示した光アイソレータは投
受光装置、光学的情報記録再生装置、光伝送システム、
光ファイバ通信システムなどの光学装置に用いられる。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光アイソ
レータ及び光アイソレータを用いた光学装置によれば、
光アイソレータを構成する光学部品の諸特性を、所定の
入射角範囲においてほぼ一定としたので、入射する光と
して非平行光を使用することができ、光源からの光をコ
リメートして光アイソレータに入射させるレンズが不要
となる。また入射させる光の入射角精度をゆるくするこ
とができる。この結果、光アイソレータを用いた光学装
置を小型化し、コストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光アイソレータの第１の実施例の構成
と入射光の入射角の例を示す説明図である。

【図２】本発明の第１の実施例による光アイソレータの
入射角と反射率との関係を示す線図である。

【図３】本発明の第２の実施例の構成を示す説明図であ
る。

【図４】本発明の第３の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図５】本発明の第４の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図６】図５のＰＢＳの構成を示す説明図である。

【図７】図６のＰＢＳの反射先の経路を示す説明図であ
る。

【図８】本発明の第４の実施例による光アイソレータの
入射角と位相差との関係を示す線図である。

【図９】本発明の第５の実施例の構成を示す説明図であ
る。

【図１０】本発明の第６の実施例の構成を示す説明図で
ある。

【図１１】本発明の第７の実施例の構成を示す説明図で
ある。

【図１２】図１１に示す第７の実施例の入射光の角度と
反射率との関係を示す線図である。

【図１３】本発明の第８の実施例の構成の一例を示す要
部断面図である。

【図１４】本発明の第８の実施例の構成の他の一例を示
す断面図である。

【図１５】本発明の第９の実施例の偏光膜の構成の一例
を示す説明図である。

【図１６】本発明の第９の実施例の偏光膜の構成の他の
一例を示す説明図である。

【図１７】光アイソレータの原理を示す説明図である。

【図１８】図１７のλ／４板の結晶の光軸と入射光との
関係を示す説明図である。

【符号の説明】

１ ＰＢＳ（第１の偏光ビームスプリッタ） ２ λ／４板（光学素子） ３ ディスク（媒体） ４ 反射ミラー（光学素子） ５、６ 第２のＰＢＳ（光学素子） ７ 光分離膜 ８、２４ 接着剤層 ９ レンズ １０ 検光子（偏光ビームスプリッタ） １１ ファラデー回転子 ２２ 偏光膜（誘電体多層膜） ２２ｅ 薄層 ２３ 金属薄膜

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【手続補正書】

【提出日】平成６年３月３０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【図３】

【図４】

【図６】

【図１】

【図５】

【図７】

【図８】

【図９】

【図１０】

【図１１】

【図１２】

【図１３】

【図１４】

【図１７】

【図１８】

【図１５】

【図１６】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清本 浩伸 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内

Claims (25)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 発散光、もしくは収束光が入射する光ア
   イソレータ、あるいはある入射角で平行光が入射する光
   アイソレータにおいて、 前記光アイソレータは第１の偏光ビームスプリッタを有
   し、前記第１の偏光ビームスプリッタは、光分離面にお
   ける所定の入射角範囲の光に対して、光を分離する際の
   反射率、もしくは透過率のばらつきが１０％の範囲内で
   ある光分離膜を形成していることを特徴とする光アイソ
   レータ。
2. 【請求項２】 前記光アイソレータは前記第１の偏光ビ
   ームスプリッタと、 直線偏光の光を円偏光の光に変換する光学素子とを有
   し、前記光アイソレータには直線偏光の光を入射させ、
   前記光アイソレータ中の前記第１の偏光ビームスプリッ
   タを透過または反射した直線偏光の光を前記光学素子に
   よって円偏光に変換して光アイソレータより出射し、所
   定の媒体を経て光アイソレータに戻ってきた円偏光の光
   を前記光学素子により前記直線偏光の光とは垂直な偏光
   方向の直線偏光の光に変換し、前記第１の偏光ビームス
   プリッタにより、前記光アイソレータへ入射した光源か
   らの光の光軸とは異なる方向へと光を分離し、アイソレ
   ートすることを特徴とする請求項１に記載の光アイソレ
   ータ。
3. 【請求項３】 前記光学素子はλ／４波長板であること
   を特徴とする請求項２に記載の光アイソレータ。
4. 【請求項４】 前記光学素子は反射ミラーであり、所定
   の入射角範囲の光に対して、光を反射する際の反射率が
   ９５％以上であることを特徴とする請求項２に記載の光
   アイソレータ。
5. 【請求項５】 前記光学素子は第２の偏光ビームスプリ
   ッタであり、所定の入射角範囲の光に対して、光を分離
   する際の反射率、もしくは透過率のばらつきが１０％の
   範囲内であることを特徴とする請求項２に記載の光アイ
   ソレータ。
6. 【請求項６】 前記光学素子を通過することにより発生
   する互いに垂直な偏光成分の間の位相差は所定の入射角
   範囲の光において、９０度±５度の範囲であることを特
   徴とする請求項２乃至５いずれかに記載の光アイソレー
   タ。
7. 【請求項７】 前記光アイソレータは、前記光学素子を
   反射して戻ってきた光を前記第１の偏光ビームスプリッ
   タにより、前記光アイソレータへ入射した光源からの光
   の光軸とは異なる方向へと光を分離し、アイソレートす
   ることを特徴とする請求項２、４、５、６いずれかに記
   載の光アイソレータ。
8. 【請求項８】 前記第２の偏光ビームスプリッタは第１
   の透明部材と第２の透明部材を張り合わせた構造のもの
   であって、前記第１の透明部材の張り合わせ面には光分
   離面を構成する光分離膜が形成され、前記光分離膜が形
   成された前記第１の透明部材の張り合わせ面と前記第２
   の透明部材の張り合わせ面とを接着剤層を介して張り合
   わせた構造のものであり、 前記第２の偏光ビームスプリッタは、前記第１の透明部
   材を第２の偏光ビームスプリッタが所定の媒体を介して
   戻ってきた光を前記第１の偏光ビームスプリッタへと反
   射する側に向けて配置することを特徴とする請求項７に
   記載の光アイソレータ。
9. 【請求項９】 前記第１の偏光ビームスプリッタと前記
   光学素子との間にレンズを有することを特徴とする請求
   項２乃至８いずれかに記載の光アイソレータ。
10. 【請求項１０】 前記レンズはコリメートレンズである
    ことを特徴とする請求項９に記載の光アイソレータ。
11. 【請求項１１】 前記光アイソレータは２つのビームス
    プリッタによりファラデー回転子はさむ構成であり、前
    記ファラデー回転子のファラデー効果を利用してアイソ
    レートし、前記２つのビームスプリッタのうち少なくと
    も１つは前記第１の偏光ビームスプリッタであることを
    特徴とする請求項１に記載の光アイソレータ。
12. 【請求項１２】 前記第１の偏光ビームスプリッタの反
    射率もしくは透過率は、前記光アイソレータへの戻り光
    の偏光方向の光に対し、ほぼ１００％前記光アイソレー
    タへの順方向の光の光軸とは異なる方向に光を分離する
    ことを特徴とする請求項１乃至１１いずれかに記載の光
    アイソレータ。
13. 【請求項１３】 前記入射角範囲は５度以上であること
    を特徴とする請求項１乃至１２いずれかに記載の光アイ
    ソレータ。
14. 【請求項１４】 前記第１の偏光ビームスプリッタ、も
    しくは前記光学素子は、±１０ｎｍの波長変動に対して
    も各請求項記載の特徴を有することを特徴とする請求項
    １乃至１３いずれかに記載の光アイソレータ。
15. 【請求項１５】 前記偏光ビームスプリッタの光分離面
    は、５層以上の誘電体多層膜からなっていることを特徴
    とする請求項１乃至１４いずれかに記載の光アイソレー
    タ。
16. 【請求項１６】 前記偏光ビームスプリッタの光分離面
    は、金属膜を含む５層以上の誘電体多層膜からなってい
    ることを特徴とする請求項１乃至１５いずれかに記載の
    光アイソレータ。
17. 【請求項１７】 前記多層膜は、少なくとも４種以上の
    材料からなっていることを特徴とする請求項１乃至１６
    いずれかに記載の光アイソレータ。
18. 【請求項１８】 前記多層膜は、光学的膜厚が極めて薄
    い層を少なくとも１層以上含んでいることを特徴とする
    請求項１乃至１７いずれかに記載の光アイソレータ。
19. 【請求項１９】 前記光学的膜厚が極めて薄い層は、そ
    の光学的膜厚が波長の１／１０以下であることを特徴と
    する請求項１８に記載の光アイソレータ。
20. 【請求項２０】 前記多層膜は、ＨｆもしくはＨｆの酸
    化物を主成分とする層を少なくとも１層以上含んでいる
    ことを特徴とする請求項１乃至１９いずれかに記載の光
    アイソレータ。
21. 【請求項２１】 前記多層膜は、ＺｒもしくはＺｒの酸
    化物を主成分とする層を少なくとも１層以上含んでいる
    ことを特徴とする請求項１乃至２０いずれかに記載の光
    アイソレータ。
22. 【請求項２２】 前記光アイソレータを用いた光学装置
    は、投受光装置であることを特徴とする光学装置。
23. 【請求項２３】 前記光アイソレータを用いた光学装置
    は、光学的情報記録再生装置であることを特徴とする光
    学装置。
24. 【請求項２４】 前記光アイソレータを用いた光学装置
    は、光伝送システムであることを特徴とする光学装置。
25. 【請求項２５】 前記光アイソレータを用いた光学装置
    は、光ファイバ通信システムであることを特徴とする光
    学装置。