JPH06277433A - 吸着器の加圧流量制御方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸着器から使用先に送られる精製ガスの流量
変動を最小に抑え、精製ガス使用先のプロセスの安定化
を図ることができる吸着器の加圧ガスの流量制御方法及
び装置を提供する。 【構成】 吸着筒Ａ，Ｂに導入する加圧ガスの流量を、
例えば、加圧段階の開始時に流量調節弁１０を徐々に開
いて設定流量に制御することにより、原料ガス流量調節
機構１４が追従可能な流量に制御する。または、流量調
節弁の下流に加圧ガスブロー弁を設け、加圧段階開始前
に該ブロー弁を開弁し、加圧段階開始と同時に加圧弁と
切換え開閉する。あるいは、加圧段階開始時に加圧弁を
徐々に開弁する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、吸着器の加圧流量制御
方法及び装置に関し、詳しくは、各種ガスの精製、例え
ば空気液化分離装置における原料空気の精製等に用いら
れる吸着器であって、複数の吸着筒を精製工程と再生工
程、及び再生終了後の吸着筒に精製ガスの一部を導入し
て吸着筒を加圧（充圧）する加圧段階を有する吸着器の
加圧ガスの流量、即ち加圧用精製ガスの流量を制御して
精製ガスの流量を略一定に保つことができる方法及び装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図９は、吸着筒を２個備えた吸着器の一
般的な系統を示すものである。原料ガスは、圧縮機１で
圧縮された後、精製工程にある一方の吸着筒、例えば吸
着筒Ａ側の入口弁２ａを通って吸着筒Ａ内に導入され
る。原料ガス中の不純物成分は、筒内に充填されている
吸着剤により吸着除去され、精製されたガス（精製ガ
ス）は、出口弁３ａを通って精製ガス供給管４に送られ
る。このとき、他方の吸着筒Ｂは再生工程にあり、第１
段階では、加温された再生ガス供給管５からの再生ガス
が再生弁６ｂを通って吸着筒Ｂ内に導入され、吸着剤に
吸着している不純物成分を脱着し、これを同伴して排気
弁７ｂから排気管８に排出される。再生の第２段階で
は、常温の再生ガスの流通により吸着剤が冷却がされ
る。そして、吸着剤の再生が終了すると、該吸着筒Ｂ内
を吸着運転圧力、即ち原料ガスの圧力に応じた圧力に高
めるための加圧段階が行われる。

【０００３】上記吸着筒Ｂの加圧段階は、前記精製ガス
供給管４から分岐した加圧ガス導入経路９に精製ガスの
一部を分岐し、該精製ガスの一部（以下、加圧ガスとい
う）を流量調節弁１０及び加圧弁１１ｂを介して吸着筒
Ｂ内に導入することにより行われる。再生終了から加圧
段階への切換えは、前記再生弁６ｂ及び排気弁７ｂを閉
じるとともに、加圧弁１１ｂを開くことにより行われ
る。

【０００４】吸着筒Ｂの加圧段階が終了すると、加圧弁
１１ｂが閉じられるとともに入口弁２ａ，２ｂ及び出口
弁３ａ，３ｂが切換え開閉されて吸着筒Ｂが精製工程
に、前記吸着筒Ａが再生工程に入る。そして、再生弁６
ａ及び排気弁７ａが開き、吸着筒Ａに再生ガスが導入さ
れて吸着剤の再生が行われ、次いで、加圧弁１１ａが開
いて加圧ガス導入経路９から加圧ガスが導入され、吸着
筒Ａの加圧段階が行われる。

【０００５】なお、通常の吸着器では、上記各切換弁、
即ち入口弁，出口弁，再生弁，排気弁，加圧弁を、所定
の手順を組み込んだ切換えシーケンスにより切換え開閉
して両吸着筒Ａ，Ｂを順次精製工程と再生工程とに切換
えるように構成されている。

【０００６】このような構成の吸着器においては、精製
ガス供給管４から精製ガス使用先に供給する精製ガスの
流量を所定量に保つための制御装置が設けられている。
この制御装置は、各部の流量を設定する流量設定器１２
と、前記加圧段階時の加圧ガスの流量を検出する流量検
出器１３ａ及び該流量検出器１３ａの検出値に基づいて
前記流量調節弁１０の開度を調節する流量指示調節計
（ＦＩＣ）１３ｂからなる加圧ガス流量調節機構１３
と、原料ガスの流量を検出する流量検出器１４ａ及び該
流量検出器１４ａの検出値に基づいて前記圧縮機１の吸
入弁１ａの開度を調節する流量指示調節計（ＦＩＣ）１
４ｂからなる原料ガス流量調節機構１４と、原料ガスの
圧力を検出する圧力検出器１５ａ及び該圧力検出器１５
ａの検出値に基づいて排気弁１６を開閉する圧力指示調
節計（ＰＩＣ）１５ｂからなる原料ガス圧力調節機構１
５と、加圧ガスの流量に応じて原料ガス量を調節するた
めの流量演算器（ＦＹ）１７ａ，１７ｂとを備えてお
り、各部の流量，圧力を所定量に調節制御して精製ガス
供給管４から供給先に送る精製ガス量を略一定に保つよ
うにしている。

【０００７】すなわち、精製ガス供給先での精製ガス使
用量が変化した場合は、前記流量設定器１２の設定値を
変更することにより、原料ガス流量調節機構１４を作動
させて原料ガスの流量を調整し、所定量の精製ガスを送
出できるようにしている。また、精製ガスの一部を吸着
筒の加圧用として用いるため、加圧段階時には、その
分、精製ガス送出量が低下することになるから、前記流
量検出器１３ａで検出した加圧ガスの流量を流量演算器
１７ａ，１７ｂで対応する原料ガス量に変換し、加圧段
階時には、加圧ガス使用量に見合う分だけ原料ガス量を
増加させ、吸着筒から導出する精製ガス量を増すように
している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、加圧段階時
以外、即ち加圧弁１１ａ，１１ｂが閉じており、加圧ガ
ス導入経路９にガスが流れていない状態では、前記流量
調節弁１０は、設定流量を流そうとするために全開状態
になっている。したがって、再生が終了して加圧段階に
切換わるときには、瞬間的に全開状態にある流量調節弁
１０を通って大量の加圧ガスが流れることになる。

【０００９】すなわち、図１０に示すように、タイムス
ケジュールに従って加圧段階が開始すると、再生工程中
の吸着筒に対応する加圧弁が全開になり、加圧ガス導入
経路９から全開状態の流量調節弁１０を通って設定流量
以上の加圧ガスが流れる。このとき、加圧ガス流量調節
機構１３は、流量検出器１３ａの検出値に基づいて流量
調節弁１０を閉方向に作動させて加圧ガスの流量を設定
点に調節し、同時に、流量検出器１３ａの検出値が流量
演算器１７ａ，１７ｂを介して原料ガス流量調節機構１
４に伝わり、原料ガス流量調節機構１４は、精製ガス供
給管４から供給先に送られる精製ガスの流量を所定量に
保持するように前記圧縮機１の吸入弁１ａを開方向に作
動させて原料ガスの流量を増加させる。

【００１０】しかしながら、上記のように、流量調節弁
１０が全開状態のときに加圧弁が全開されるため、該加
圧弁が開くのと同時に、再生終了時に略大気圧となって
いる吸着筒内に向かって大量の加圧ガスが流れることに
なる。この間の変動は、定置制御では追従不可能である
程の短時間の変動であり、原料ガス量の補正制御が追従
できないため、精製ガス供給管４から供給先に送る精製
ガスの流量が一時的に変動（減少）することになる。

【００１１】したがって、従来の制御装置では、供給先
に送る精製ガスの流量が加圧段階に入る度に変動するこ
とになり、精製ガス供給先の装置が、流量変動や圧力変
動に敏感な場合は、供給先装置のプロセスに悪影響を与
えることになる。

【００１２】そこで本発明は、吸着器から使用先に送ら
れる精製ガスの流量変動を最小に抑えることができる吸
着器の加圧流量制御方法及び装置を提供することを目的
としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明の吸着器の加圧流量制御方法の第１の構成
は、精製工程と再生工程とに順次切換えられる複数の吸
着筒に原料ガスを導入して連続的に精製ガスを導出し、
再生終了後の吸着筒に精製ガスの一部を導入して該吸着
筒内を所定圧力に加圧する加圧段階を有し、該加圧段階
時には、加圧用精製ガスを吸着筒に導入する経路に設け
た流量調節弁により加圧用精製ガスの流量を所定流量に
調節し、同時に該加圧用精製ガスの流量に応じて原料ガ
スの流量を補正する吸着器の加圧流量制御方法におい
て、前記加圧段階の開始時に、前記流量調節弁を徐々に
開いて設定流量に制御するとともに、加圧段階終了時
に、該流量調節弁を閉じて該流量調節弁を前記加圧段階
以外では全閉状態に保持することを特徴としている。

【００１４】本発明の吸着器の加圧流量制御方法の第２
の構成は、前記流量調節弁の下流に加圧用精製ガスを排
出するブロー弁を設け、加圧段階開始前に該ブロー弁を
徐々に開いて加圧用精製ガスを排出しながら前記流量調
節弁で加圧用精製ガスの流量を所定流量に制御し、加圧
段階開始時に前記ブロー弁を閉じると同時に加圧段階に
入る吸着筒に設けた加圧弁を開くことを特徴としてい
る。

【００１５】本発明の吸着器の加圧流量制御方法の第３
の構成は、前記複数の吸着筒の加圧用精製ガスの導入側
にそれぞれ加圧弁を設けるとともに、加圧段階開始時に
該加圧弁を徐々に開いていくことを特徴としている。

【００１６】また、本発明の吸着器の加圧流量制御装置
の第１の構成は、上記制御方法の第１の構成を実施する
のに適した装置構成であって、精製工程，再生工程に順
次切換えられる複数の吸着筒と、再生終了後の吸着筒に
精製ガスの一部を導入する加圧ガス導入経路と、該加圧
ガス導入経路を流れる加圧用精製ガスの流量を検出する
流量検出器と、該流量検出器の検出値に基づいて加圧ガ
ス導入経路に設けた流量調節弁の開度を制御して加圧用
精製ガスの流量を所定流量に制御する流量指示調節計
と、前記複数の吸着筒の加圧用精製ガスの導入側にそれ
ぞれ設けた加圧弁と、加圧用精製ガスの流量に応じて原
料ガスの流量を補正する原料ガス流量調節機構とを備え
た吸着器の加圧流量制御装置において、前記流量調節弁
に、該流量調節弁を加圧段階時以外には全閉状態とし、
加圧段階開始時には徐々に開くように制御する流量調節
弁開度制御手段を設けたことを特徴としている。

【００１７】本発明の吸着器の加圧流量制御装置の第２
の構成は、上記制御方法の第２の構成を実施するのに適
した装置構成であって、前記加圧ガス導入経路の流量調
節弁の下流側にブロー弁を設けるとともに、加圧段階開
始前に該ブロー弁を徐々に開き、加圧段階開始時の前記
加圧弁の開弁と同時に該ブロー弁を閉弁するブロー弁開
閉制御手段を設けたことを特徴としている。

【００１８】本発明の吸着器の加圧流量制御装置の第３
の構成は、上記制御方法の第３の構成を実施するのに適
した装置構成であって、前記各加圧弁に、加圧段階開始
時の加圧弁の開弁速度を制御する開弁速度制御手段を設
けたことを特徴としている。

【００１９】

【作 用】上記各構成によれば、加圧段階開始時の加圧
ガスの流量変化を小さくすることができ、原料ガスの流
量補正を容易に、かつ、確実に行うことが可能になり、
精製ガス使用先に供給する精製ガスの流量変動を最小に
抑えることができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明を、図面に示す実施例に基づい
て、さらに詳細に説明する。なお、以下の説明におい
て、前記従来例と同一要素のものには同一符号を付し
て、その詳細な説明は省略する。

【００２１】まず、図１は、本発明の第１実施例を示す
もので、前記方法及び装置の第１の構成に対応する一実
施例を示している。本実施例に示す吸着器は、前記加圧
ガスの流量を調節する加圧ガス流量調節機構１３に、流
量調節弁１０の開度を制御する流量調節弁開度制御手段
２１を設けたものである。この流量調節弁開度制御手段
２１は、吸着器の工程を管理する切換シーケンス２２
と、流量調節弁１０の開度を演算する開度演算器（Ｚ
Ｙ）２３とにより構成されており、該開度演算器２３
は、前記流量指示調節計１３ｂからの信号と切換シーケ
ンス２２からとの信号に基づいて流量調節弁１０の開度
を調節するように構成されている。

【００２２】すなわち、両吸着器Ａ，Ｂが共に加圧段階
にない場合は、切換シーケンス２２から加圧時間外の信
号が上記開度演算器２３に出力され、開度演算器２３で
は、この信号を受けて、流量調節弁１０への信号を、流
量指示調節計１３ｂの信号から開度演算器２３からの信
号に切換え、該開度演算器２３から流量調節弁１０を全
閉とする信号を出力し、流量調節弁１０を全閉とする。
次に、切換シーケンス２２から加圧開始の信号が出力さ
れると、流量調節弁１０を徐々に開いていく。このとき
の流量調節弁１０の開弁速度は、流量検出器１３ａの検
出値に基づいて前記原料ガス流量調節機構１４が原料ガ
スの流量を補正し、精製ガス供給管４から供給先に送る
精製ガスの流量を所定量に保持することができるように
設定されている。流量調節弁１０が開いていく間、開度
演算器２３は、流量指示調節計１３ｂからの出力を監視
し、該流量指示調節計１３ｂから弁開度出力と、開度演
算器２３の弁開度出力とが一致した時点で、流量調節弁
１０への信号出力を開度演算器２３から流量指示調節計
１３ｂに切換え、通常の流量調節へと移行する。所定の
加圧時間が経過して切換シーケンス２２から加圧終了
（加圧時間外）の信号が出力されると、流量調節弁１０
への信号出力を流量指示調節計１３ｂから開度演算器２
３に切換え、該開度演算器２３から流量調節弁１０を全
閉とする信号を出力し、流量調節弁１０を全閉とする。

【００２３】すなわち、図２に示すように、タイムスケ
ジュールに従って加圧段階が開始されると、再生工程中
の吸着筒に対応する加圧弁は全開になるが、流量調節弁
１０は全閉状態から徐々に開いていき、加圧ガス流量
は、流量調節弁１０の開度に従って徐々に増加し、設定
流量になった時点で略一定の流量になる。同時に、流量
検出器１３ａの検出値が流量演算器１７ａ，１７ｂを介
して原料ガス流量調節機構１４に伝わり、精製ガス供給
管４から供給先に送られる精製ガスの流量を所定量に保
持するように前記圧縮機１の吸入弁１ａを開方向に作動
させて原料ガスの流量を増加させる。このとき、原料ガ
ス流量調節機構１４が十分に追従できるような範囲に加
圧ガスの流量変化を設定することにより、即ち流量調節
弁１０の開弁速度を適度に設定することにより、原料ガ
スの流量補正を確実に行うことが可能になり、吸着器か
ら使用先に供給する精製ガスの流量変動を最小に抑える
ことが可能になる。

【００２４】次に、図３は、本発明の第２実施例を示す
もので、前記方法及び装置の第２の構成に対応する一実
施例を示している。本実施例に示す吸着器は、前記加圧
ガスの流量を調節する加圧ガス流量調節機構１３の流量
調節弁１０の下流、加圧弁１１ａ，１１ｂの上流側に加
圧ガスを排出するブロー弁３１を設けるとともに、該ブ
ロー弁３１を開閉制御するブロー弁開閉制御手段（開度
演算器（ＺＹ））３２を設けたもので、このブロー弁開
閉制御手段３２は、前記実施例と同様に切換シーケンス
２２からの信号に基づいて前記ブロー弁３１を開閉する
ように構成されている。

【００２５】図４に示すように、上記ブロー弁開閉制御
手段３２は、加圧開始の所定時間前に切換シーケンス２
２から加圧前工程開始の信号を受けとると、加圧段階開
始前にブロー弁３１を適当な開弁速度で全開状態にす
る。ブロー弁３１が開く前、即ち加圧段階以外のブロー
弁３１及び加圧弁が閉じており、加圧ガス導入経路９に
ガスが流れていない状態では、流量調節弁１０は、前述
のように、設定流量を流そうとするために全開状態にな
っているため、ブロー弁３１の開度に従って加圧ガスが
流れ出し、該加圧ガスの流量が設定流量に近付くと、流
量調節弁１０が加圧ガス流量調節機構１３により作動し
て加圧ガスの流量を設定値に保持する。

【００２６】一方、原料ガス流量調節機構１４は、ブロ
ー弁３１が開いて加圧ガスが流れ出すと同時に、流量検
出器１３ａの検出値に基づいて原料ガスの流量を補正
し、ブロー弁３１が全開になり、流量調節弁１０の開度
が所定流量に応じた開度に調節された時点では、加圧ガ
スの流量に応じた原料ガスの流量補正を終えた状態にな
っている。そして、切換シーケンス２２から加圧開始の
信号が出力されると、加圧段階に入る吸着筒側の加圧弁
が全開すると同時にブロー弁３１が閉じる。これによ
り、加圧ガスは、所定流量に保たれたまま吸着筒内に導
入されるので、加圧ガスの流量変動をほとんど生じるこ
とがなく、したがって、吸着器から使用先に供給する精
製ガスの流量変動を最小に抑えることが可能になる。な
お、ブロー弁３１の開弁速度は、原料ガス流量調節機構
１４が十分に追従できるような範囲で、かつ、排出する
加圧ガスの量ができるだけ少なくなるように設定され
る。このように加圧段階開始前に加圧ガスの流量を設定
流量に調節しておくことにより、前記第１実施例に比べ
て加圧段階の所用時間を短縮することができる。

【００２７】図５は、本発明の第３実施例を示すもの
で、前記方法及び装置の第３の構成に対応する一実施例
を示している。本実施例に示す吸着器は、各吸着筒Ａ，
Ｂにそれぞれ設けられた加圧弁１１ａ，１１ｂに、該加
圧弁１１ａ，１１ｂの開弁速度を制御する加圧弁開弁速
度制御手段（ＺＹ）４１ａ，４１ｂを設けたもので、こ
の加圧弁開弁速度制御手段４１ａ，４１ｂは、前記実施
例と同様に切換シーケンス２２からの信号に基づいて加
圧弁１１ａ，１１ｂを開閉するように構成されている。

【００２８】上記加圧弁開弁速度制御手段４１ａ，４１
ｂは、切換シーケンス２２から加圧開始の信号を受けと
ると、加圧弁１１ａ，１１ｂを所定の開弁速度で開弁す
るもので、この開弁速度は、前記同様に原料ガス流量調
節機構１４が十分に追従できるように設定されている。
すなわち、図６に示すように、例えば吸着筒Ｂの加圧段
階が始まると、該吸着筒Ｂ側の加圧弁１１ｂを所定の開
弁速度で徐々に開弁するように加圧弁開弁速度制御手段
４１ｂが作動する。この加圧弁１１ｂが開く前は、加圧
ガス導入経路９にガスが流れていないため、流量調節弁
１０は、前述のように全開状態になっており、加圧弁１
１ｂの開度に従って加圧ガスが流れだし、該加圧ガスの
流量が設定流量に近付くと、流量調節弁１０が加圧ガス
流量調節機構１３により作動して加圧ガスの流量を設定
値に保持する。

【００２９】一方、原料ガス流量調節機構１４は、加圧
弁１１ｂが開いて加圧ガスが流れだすと同時に、流量検
出器１３ａの検出値に基づいて原料ガスの流量を補正
し、加圧弁１１ｂが全開になった時点では、加圧ガスは
所定流量に調節された状態になり、原料ガスも流量補正
を終えた状態になる。このように、原料ガス流量調節機
構１４が十分に追従できるように、加圧弁を徐々に開弁
することにより、原料ガスの流量補正を確実に行うこと
が可能になり、吸着器から使用先に供給する精製ガスの
流量変動を最小に抑えることが可能になる。

【００３０】図７は、本発明の第４実施例を示すもの
で、上記第３実施例の変形例を示している。本実施例に
示す吸着器は、各吸着筒Ａ，Ｂにそれぞれ設けられた加
圧弁１１ａ，１１ｂに、該加圧弁１１ａ，１１ｂの開弁
速度を機械的に制御するスピードコントローラー４２を
設けて、加圧弁を徐々に開弁するように構成したもので
ある。前記スピードコントローラー４２は、例えば、図
８に示すように、加圧弁１１の開閉操作用シリンダー４
３に、ニードル弁４４のような流量調節手段を設け、加
圧弁１１を開方向に作動する際の開閉操作用シリンダー
４３の吸排速度を調節し、これによって加圧弁１１を徐
々に開弁できるように形成したものである。このように
構成することによっても、上記第３実施例と同様の作用
効果を得ることができ、吸着器から使用先に供給する精
製ガスの流量変動を最小に抑えることができる。また、
吸排気速度を変更する必要がない場合等は、スピードコ
ントローラー４２として、上記ニードル弁４４のような
流量可変型のものを用いずに、所定流量に設定されたオ
リフィスを用いることも可能である。

【００３１】なお、上記各実施例では、吸着筒を２個備
えた吸着器で説明を行ったが、３個以上の吸着筒を切換
える吸着器にも同様に適用することが可能であり、原料
ガス及び精製ガスの組成等は特に限定されるものではな
い。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の吸着器の
加圧流量制御方法及び装置によれば、吸着筒に導入する
加圧ガスの流量を、原料ガス流量調節機構が追従可能な
流量に制御することができるので、加圧段階開始時の精
製ガスの流量変動を最小に抑えることができ、精製ガス
使用先のプロセスの安定化を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施例を示す系統図である。

【図２】 第１実施例における弁の開閉状態及びガスの
流量変化を示す図である。

【図３】 本発明の第２実施例を示す系統図である。

【図４】 第２実施例における弁の開閉状態及びガスの
流量変化を示す図である。

【図５】 本発明の第３実施例を示す系統図である。

【図６】 第３実施例における弁の開閉状態及びガスの
流量変化を示す図である。

【図７】 本発明の第４実施例を示す系統図である。

【図８】 加圧弁及びスピードコントローラーの説明図
である。

【図９】 従来の吸着器の一例を示す系統図である。

【図１０】 従来例における弁の開閉状態及びガスの流
量変化を示す図である。

【符号の説明】

Ａ，Ｂ…吸着筒、１…圧縮機、４…精製ガス供給管、９
…加圧ガス導入経路、１０…流量調節弁、１１ａ，１１
ｂ…加圧弁、１２…流量設定器、１３…加圧ガス流量調
節機構、１４…原料ガス流量調節機構、１７ａ，１７ｂ
…流量演算器、２１…流量調節弁開度制御手段、２２…
切換シーケンス、２３…開度演算器、３１…ブロー弁、
３２…ブロー弁開閉制御手段、４１ａ，４１ｂ…加圧弁
開弁速度制御手段、４２…スピードコントローラー

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 精製工程と再生工程とに順次切換えられ
   る複数の吸着筒に原料ガスを導入して連続的に精製ガス
   を導出し、再生終了後の吸着筒に精製ガスの一部を導入
   して該吸着筒内を所定圧力に加圧する加圧段階を有し、
   該加圧段階時には、加圧用精製ガスを吸着筒に導入する
   経路に設けた流量調節弁により加圧用精製ガスの流量を
   所定流量に調節し、同時に該加圧用精製ガスの流量に応
   じて原料ガスの流量を補正する吸着器の加圧流量制御方
   法において、前記加圧段階の開始時に、前記流量調節弁
   を徐々に開いて設定流量に制御するとともに、加圧段階
   終了時に、該流量調節弁を閉じて該流量調節弁を前記加
   圧段階以外では全閉状態に保持することを特徴とする吸
   着器の加圧流量制御方法。
2. 【請求項２】 精製工程と再生工程とに順次切換えられ
   る複数の吸着筒に原料ガスを導入して連続的に精製ガス
   を導出し、再生終了後の吸着筒に精製ガスの一部を導入
   して該吸着筒内を所定圧力に加圧する加圧段階を有し、
   該加圧段階時には、加圧用精製ガスを吸着筒に導入する
   経路に設けた流量調節弁により加圧用精製ガスの流量を
   所定流量に調節し、同時に該加圧用精製ガスの流量に応
   じて原料ガスの流量を補正する吸着器の加圧流量制御方
   法において、前記流量調節弁の下流に加圧用精製ガスを
   排出するブロー弁を設け、加圧段階開始前に該ブロー弁
   を徐々に開いて加圧用精製ガスを排出しながら前記流量
   調節弁で加圧用精製ガスの流量を所定流量に制御し、加
   圧段階開始時に前記ブロー弁を閉じると同時に加圧段階
   に入る吸着筒に設けた加圧弁を開くことを特徴とする吸
   着器の加圧流量制御方法。
3. 【請求項３】 精製工程と再生工程とに順次切換えられ
   る複数の吸着筒に原料ガスを導入して連続的に精製ガス
   を導出し、再生終了後の吸着筒に精製ガスの一部を導入
   して該吸着筒内を所定圧力に加圧する加圧段階を有し、
   該加圧段階時には、加圧用精製ガスを吸着筒に導入する
   経路に設けた流量調節弁により加圧用精製ガスの流量を
   所定流量に調節し、同時に該加圧用精製ガスの流量に応
   じて原料ガスの流量を補正する吸着器の加圧流量制御方
   法において、前記複数の吸着筒の加圧用精製ガスの導入
   側にそれぞれ加圧弁を設けるとともに、加圧段階開始時
   に該加圧弁を徐々に開いていくことを特徴とする吸着器
   の加圧流量制御方法。
4. 【請求項４】 精製工程，再生工程に順次切換えられる
   複数の吸着筒と、再生終了後の吸着筒に精製ガスの一部
   を導入する加圧ガス導入経路と、該加圧ガス導入経路を
   流れる加圧用精製ガスの流量を検出する流量検出器と、
   該流量検出器の検出値に基づいて加圧ガス導入経路に設
   けた流量調節弁の開度を制御して加圧用精製ガスの流量
   を所定流量に制御する流量指示調節計と、前記複数の吸
   着筒の加圧用精製ガスの導入側にそれぞれ設けた加圧弁
   と、加圧用精製ガスの流量に応じて原料ガスの流量を補
   正する原料ガス流量調節機構とを備えた吸着器の加圧流
   量制御装置において、前記流量調節弁に、該流量調節弁
   を加圧段階時以外には全閉状態とし、加圧段階開始時に
   は徐々に開くように制御する流量調節弁開度制御手段を
   設けたことを特徴とする吸着器の加圧流量制御装置。
5. 【請求項５】 精製工程，再生工程に順次切換えられる
   複数の吸着筒と、再生終了後の吸着筒に精製ガスの一部
   を導入する加圧ガス導入経路と、該加圧ガス導入経路を
   流れる加圧用精製ガスの流量を検出する流量検出器と、
   該流量検出器の検出値に基づいて加圧ガス導入経路に設
   けた流量調節弁の開度を制御して加圧用精製ガスの流量
   を所定流量に制御する流量指示調節計と、前記複数の吸
   着筒の加圧用精製ガスの導入側にそれぞれ設けた加圧弁
   と、加圧用精製ガスの流量に応じて原料ガスの流量を補
   正する原料ガス流量調節機構とを備えた吸着器の加圧流
   量制御装置において、前記加圧ガス導入経路の流量調節
   弁の下流側にブロー弁を設けるとともに、加圧段階開始
   前に該ブロー弁を徐々に開き、加圧段階開始時の前記加
   圧弁の開弁と同時に該ブロー弁を閉弁するブロー弁開閉
   制御手段を設けたことを特徴とする吸着器の加圧流量制
   御装置。
6. 【請求項６】 精製工程，再生工程に順次切換えられる
   複数の吸着筒と、再生終了後の吸着筒に精製ガスの一部
   を導入する加圧ガス導入経路と、該加圧ガス導入経路を
   流れる加圧用精製ガスの流量を検出する流量検出器と、
   該流量検出器の検出値に基づいて加圧ガス導入経路に設
   けた流量調節弁の開度を制御して加圧用精製ガスの流量
   を所定流量に制御する流量指示調節計と、前記複数の吸
   着筒の加圧用精製ガスの導入側にそれぞれ設けた加圧弁
   と、加圧用精製ガスの流量に応じて原料ガスの流量を補
   正する原料ガス流量調節機構とを備えた吸着器の加圧流
   量制御装置において、前記各加圧弁に、加圧段階開始時
   の加圧弁の開弁速度を制御する開弁速度制御手段を設け
   たことを特徴とする吸着器の加圧流量制御方法及び装
   置。