JPH06275890A - レーザ加工装置用反射鏡 - Google Patents
レーザ加工装置用反射鏡Info
- Publication number
- JPH06275890A JPH06275890A JP6447693A JP6447693A JPH06275890A JP H06275890 A JPH06275890 A JP H06275890A JP 6447693 A JP6447693 A JP 6447693A JP 6447693 A JP6447693 A JP 6447693A JP H06275890 A JPH06275890 A JP H06275890A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- attached
- cooling
- laser processing
- processing apparatus
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ加工装置に取り付けて用いるレーザ加
工装置用反射鏡に関し、いつでも容易にメンテナンスを
行うことができるようにする。 【構成】 反射鏡１は、その反射面１ｂでない方の面に
磁性物質１ａが貼付され、その磁力によって冷却部材３
の端面に接合される。冷却部材３の端面の周囲には、位
置決め用リング２が設けられており、反射鏡１は、その
位置決め用リング２に嵌合し、反射鏡１の位置決めが精
度良く行われる。冷却部材３には冷却水路６が設けられ
る。導入口４から入った冷却水は、この冷却水路６を流
れて反射鏡１を冷却し、排出口５から排出される。反射
鏡１は、このように冷却部材３の端面に固定された状態
でレーザ加工装置に取り付けられる。このため、反射鏡
１の反射面側から容易に脱着でき、従来必要とされてい
たホルダーとの間での分解作業や組立作業も不要とな
り、いつでも容易に反射鏡１を取り外してメンテナンス
を行うことができるようになる。
工装置用反射鏡に関し、いつでも容易にメンテナンスを
行うことができるようにする。 【構成】 反射鏡１は、その反射面１ｂでない方の面に
磁性物質１ａが貼付され、その磁力によって冷却部材３
の端面に接合される。冷却部材３の端面の周囲には、位
置決め用リング２が設けられており、反射鏡１は、その
位置決め用リング２に嵌合し、反射鏡１の位置決めが精
度良く行われる。冷却部材３には冷却水路６が設けられ
る。導入口４から入った冷却水は、この冷却水路６を流
れて反射鏡１を冷却し、排出口５から排出される。反射
鏡１は、このように冷却部材３の端面に固定された状態
でレーザ加工装置に取り付けられる。このため、反射鏡
１の反射面側から容易に脱着でき、従来必要とされてい
たホルダーとの間での分解作業や組立作業も不要とな
り、いつでも容易に反射鏡１を取り外してメンテナンス
を行うことができるようになる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工装置用反射鏡
に関し、特にレーザ加工装置に取り付けて用いるレーザ
加工装置用反射鏡に関する。
に関し、特にレーザ加工装置に取り付けて用いるレーザ
加工装置用反射鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的にレーザ加工装置に用いる反射鏡
の母材（基材）は、シリコンや銅でできており、これら
を丸い形状に加工して、薄い円柱状プレートとし、その
反射面に研磨を施した後、さらにその反射面に反射用コ
ーティングを施して仕上げている。この反射鏡は、ホル
ダーに固定されてレーザ加工装置に取り付けられる。
の母材（基材）は、シリコンや銅でできており、これら
を丸い形状に加工して、薄い円柱状プレートとし、その
反射面に研磨を施した後、さらにその反射面に反射用コ
ーティングを施して仕上げている。この反射鏡は、ホル
ダーに固定されてレーザ加工装置に取り付けられる。
【０００３】図２は従来の反射鏡をホルダーに取り付け
た状態を示す図である。図において、反射鏡１１をホル
ダー（反射鏡受け）２１に取り付ける場合は、ホルダー
２１に反射鏡１１を挿入し、続いてその反射鏡１１の裏
面側に冷却部材３１が位置するように冷却部材３１を挿
入し、この冷却部材３１と反射鏡１１を固定用リング７
１でホルダー２１にねじ込み、ホルダー２１のエッジ部
分２１ａとの間で固定する。なお、冷却部材３１には冷
却水路６１が設けられる。導入口４１から入った冷却水
は、この冷却水路６１を流れて反射鏡１１を冷却し、排
出口５１から排出される。反射鏡１１は、このようにホ
ルダー２１に固定された状態でレーザ加工装置に取り付
けられる。
た状態を示す図である。図において、反射鏡１１をホル
ダー（反射鏡受け）２１に取り付ける場合は、ホルダー
２１に反射鏡１１を挿入し、続いてその反射鏡１１の裏
面側に冷却部材３１が位置するように冷却部材３１を挿
入し、この冷却部材３１と反射鏡１１を固定用リング７
１でホルダー２１にねじ込み、ホルダー２１のエッジ部
分２１ａとの間で固定する。なお、冷却部材３１には冷
却水路６１が設けられる。導入口４１から入った冷却水
は、この冷却水路６１を流れて反射鏡１１を冷却し、排
出口５１から排出される。反射鏡１１は、このようにホ
ルダー２１に固定された状態でレーザ加工装置に取り付
けられる。
【０００４】一方、反射鏡１１をレーザ加工装置に取り
付けて使用していると、反射鏡１１はレーザガスによっ
て汚染されていく。このため、この汚染をそのまま放置
していると、出力低下による切断不良が生じる。また、
熱吸収が大きくなって反射面が熱膨張し、曲率を持つよ
うになることによるレーザ光の変形やビーム径の拡大を
引き起こすので、その点からも切断不良が生じる。した
がって、反射鏡１１のメンテナンスは、できれば毎日で
も行った方が良い。
付けて使用していると、反射鏡１１はレーザガスによっ
て汚染されていく。このため、この汚染をそのまま放置
していると、出力低下による切断不良が生じる。また、
熱吸収が大きくなって反射面が熱膨張し、曲率を持つよ
うになることによるレーザ光の変形やビーム径の拡大を
引き起こすので、その点からも切断不良が生じる。した
がって、反射鏡１１のメンテナンスは、できれば毎日で
も行った方が良い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、反射鏡１１
は、上述したような方法で固定されているため、反射鏡
１１をメンテナンスする際には、ホルダー２１と反射鏡
１１とを分離するための分解作業や、メンテナンス後に
取り付ける際の組立作業が必要となり、これらの作業が
煩雑で困難であるばかりでなく、この作業中に反射鏡１
１の取り付け位置が機械的に変化する等して、光軸ズレ
を生じたりする。このため、メンテナンスは積極的には
行われておらず、加工不良が頻発するまでは、メンテナ
ンスは行われないのが現状であった。
は、上述したような方法で固定されているため、反射鏡
１１をメンテナンスする際には、ホルダー２１と反射鏡
１１とを分離するための分解作業や、メンテナンス後に
取り付ける際の組立作業が必要となり、これらの作業が
煩雑で困難であるばかりでなく、この作業中に反射鏡１
１の取り付け位置が機械的に変化する等して、光軸ズレ
を生じたりする。このため、メンテナンスは積極的には
行われておらず、加工不良が頻発するまでは、メンテナ
ンスは行われないのが現状であった。
【０００６】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、いつでも容易にメンテナンスを行うことがで
きるレーザ加工装置用反射鏡を提供することを目的とす
る。
のであり、いつでも容易にメンテナンスを行うことがで
きるレーザ加工装置用反射鏡を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、レーザ加工装置に取り付けて用いるレー
ザ加工装置用反射鏡において、裏面に磁性物質を貼付し
たことを特徴とするレーザ加工装置用反射鏡が、提供さ
れる。
決するために、レーザ加工装置に取り付けて用いるレー
ザ加工装置用反射鏡において、裏面に磁性物質を貼付し
たことを特徴とするレーザ加工装置用反射鏡が、提供さ
れる。
【０００８】
【作用】レーザ加工装置用反射鏡の裏面に磁性物質を貼
付したので、レーザ加工装置用反射鏡は、磁力で相手側
に接合することができる。このため、レーザ加工装置用
反射鏡の反射面側から容易に脱着でき、ホルダーとの間
での分解作業や組立作業が不要となる。
付したので、レーザ加工装置用反射鏡は、磁力で相手側
に接合することができる。このため、レーザ加工装置用
反射鏡の反射面側から容易に脱着でき、ホルダーとの間
での分解作業や組立作業が不要となる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明のレーザ加工装置用反射鏡を冷却
部材に取り付けた状態を示す図である。図において、本
発明のレーザ加工装置用反射鏡（以下、単に「反射鏡」
という）１は、その反射面１ｂの反対側面１ｃ（以下裏
面という）に磁性物質１ａが貼付され、その磁力によっ
て冷却部材（ウォータジャケット）３の端面に接合され
る。なお、磁性物質１ａと冷却部材３の各接合面には、
鏡面仕上げ加工が施されている。冷却部材３の端面の周
囲には、位置決め用リング２が設けられており、反射鏡
１は、その位置決め用リング２に嵌合し、反射鏡１の位
置決めが精度良く行われるようになっている。
明する。図１は本発明のレーザ加工装置用反射鏡を冷却
部材に取り付けた状態を示す図である。図において、本
発明のレーザ加工装置用反射鏡（以下、単に「反射鏡」
という）１は、その反射面１ｂの反対側面１ｃ（以下裏
面という）に磁性物質１ａが貼付され、その磁力によっ
て冷却部材（ウォータジャケット）３の端面に接合され
る。なお、磁性物質１ａと冷却部材３の各接合面には、
鏡面仕上げ加工が施されている。冷却部材３の端面の周
囲には、位置決め用リング２が設けられており、反射鏡
１は、その位置決め用リング２に嵌合し、反射鏡１の位
置決めが精度良く行われるようになっている。
【００１０】磁性物質１ａとしては磁力の強い希土類磁
石材料が好適である。なお、冷却部材３には冷却水路６
が設けられる。導入口４から入った冷却水は、この冷却
水路６を流れて反射鏡１を冷却し、排出口５から排出さ
れる。
石材料が好適である。なお、冷却部材３には冷却水路６
が設けられる。導入口４から入った冷却水は、この冷却
水路６を流れて反射鏡１を冷却し、排出口５から排出さ
れる。
【００１１】反射鏡１は、このように冷却部材３の端面
に固定された状態でレーザ加工装置に取り付けられる。
このため、反射鏡１の反射面側から容易に反射鏡１を脱
着でき、従来必要とされていたホルダーとの間での分解
作業や組立作業も不要となり、いつでも容易に反射鏡１
を取り外してメンテナンスを行うことができるようにな
る。
に固定された状態でレーザ加工装置に取り付けられる。
このため、反射鏡１の反射面側から容易に反射鏡１を脱
着でき、従来必要とされていたホルダーとの間での分解
作業や組立作業も不要となり、いつでも容易に反射鏡１
を取り外してメンテナンスを行うことができるようにな
る。
【００１２】また、冷却部材３との接合は、磁性物質１
ａの磁力によって強力に行われるので、メンテナンスに
伴う反射鏡１の傾斜による光軸ズレも発生しない。しか
も反射鏡１の位置決めは、位置決め用リング２によって
精度良く行われるので、反射鏡１の垂直方向のズレによ
る光軸ズレは一層発生しにくくなっている。
ａの磁力によって強力に行われるので、メンテナンスに
伴う反射鏡１の傾斜による光軸ズレも発生しない。しか
も反射鏡１の位置決めは、位置決め用リング２によって
精度良く行われるので、反射鏡１の垂直方向のズレによ
る光軸ズレは一層発生しにくくなっている。
【００１３】上記の説明では、反射鏡１に磁性物質１ａ
を貼付するように構成したが、磁性物質１ａを貼付する
代わりに、反射鏡１そのものを磁性物質で形成するよう
にしてもよい。
を貼付するように構成したが、磁性物質１ａを貼付する
代わりに、反射鏡１そのものを磁性物質で形成するよう
にしてもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、レーザ
加工装置用反射鏡の裏面に磁性物質を貼付しレーザ加工
装置用反射鏡を磁力で冷却部材に接合するように構成し
たので、レーザ加工装置用反射鏡の反射面側から容易に
脱着でき、従来必要とされていたホルダーとの間での分
解作業や組立作業も不要となり、いつでも容易にメンテ
ナンスを行うことができる。
加工装置用反射鏡の裏面に磁性物質を貼付しレーザ加工
装置用反射鏡を磁力で冷却部材に接合するように構成し
たので、レーザ加工装置用反射鏡の反射面側から容易に
脱着でき、従来必要とされていたホルダーとの間での分
解作業や組立作業も不要となり、いつでも容易にメンテ
ナンスを行うことができる。
【００１５】また、冷却部材との接合は、磁性物質の磁
力によって強力に行われるので、メンテナンスに伴う光
軸ズレも発生しない。
力によって強力に行われるので、メンテナンスに伴う光
軸ズレも発生しない。
【図１】本発明のレーザ加工装置用反射鏡を冷却部材に
取り付けた状態を示す図である。
取り付けた状態を示す図である。
【図２】従来の反射鏡をホルダーに取り付けた状態を示
す図である。
す図である。
１ 反射鏡 ２ 位置決め用リング ３ 冷却部材
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ加工装置に取り付けて用いるレー
ザ加工装置用反射鏡において、 裏面に磁性物質を貼付したことを特徴とするレーザ加工
装置用反射鏡。 - 【請求項２】 前記磁性物質の磁力で冷却部材の一端面
に固定され、位置決め部材により、前記冷却部材の一端
面に平行な方向に位置決めされて前記レーザ加工装置に
取り付けられることを特徴とする請求項１記載のレーザ
加工装置用反射鏡。 - 【請求項３】 レーザ加工装置に取り付けて用いるレー
ザ加工装置用反射鏡において、 基材を磁性物質としたことを特徴とするレーザ加工装置
用反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6447693A JPH06275890A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | レーザ加工装置用反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6447693A JPH06275890A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | レーザ加工装置用反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06275890A true JPH06275890A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13259325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6447693A Withdrawn JPH06275890A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | レーザ加工装置用反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06275890A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101284655B1 (ko) * | 2011-05-31 | 2013-07-10 | 레이져라이팅(주) | 레이저 가공장치용 반사경 조립체 |
| JP2020027110A (ja) * | 2018-08-13 | 2020-02-20 | コマツクス・ホールデイング・アー・ゲー | ケーブルのケーブル先端を検査するための検査装置および検査装置のミラーを洗浄するための方法 |
-
1993
- 1993-03-24 JP JP6447693A patent/JPH06275890A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101284655B1 (ko) * | 2011-05-31 | 2013-07-10 | 레이져라이팅(주) | 레이저 가공장치용 반사경 조립체 |
| JP2020027110A (ja) * | 2018-08-13 | 2020-02-20 | コマツクス・ホールデイング・アー・ゲー | ケーブルのケーブル先端を検査するための検査装置および検査装置のミラーを洗浄するための方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000530 |